JPWO2003055826A1 - セラミックス光学部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、赤外光あるいは紫外光を透過する光学部品に関し、赤外あるいは紫外光学部品の製造方法に関するものである。
背景技術
赤外光や紫外光の持つ優れた機能を利用した新たな高機能装置の開発が進んでいる。例えば、赤外光のセンシング機能を活用した実用途には、物体の表面温度を非接触で測定する表面温度計、地球上の資源分布を上空から検知する資源探査システム、暗視野中で物体を検知する装置、人体検知用センサーとしてそれを利用したセキュリティーシステム、ガス分析装置等を挙げることができる。このように高機能な赤外光あるいは紫外光利用装置の実用化に伴い、それらの装置に組み込まれる光学的な機能を果たす部品、例えば、窓材、レンズ材等の種々の光学部品に対して高い実用機能と低コスト化が以前にも増して要求されるようになってきている。
従来、前記窓材やレンズ材等の光学部品の製造方法は、原料粉末を混合し、所定の形状に成形した後、焼結して焼結体とし、さらに目的の形状に仕上げ加工するというものである。
この仕上加工は、研削や研磨といった機械加工によって行われるが、通常はセラミックス焼結体からの削り出しで行われるため、仕上加工のコストが非常に高いものとなっていた。特に、非球面レンズのような形状を得る場合には、超精密旋盤等による超精密加工が必要であるので、加工費が高いとともに、通常円柱体からの削り出しであるので、焼結体素材の捨て代が非常に大きくなり、捨てる焼結体素材の費用も高いものとなり、その結果最終形状の光学部品は非常に高価なものとなっていた。
また、特公昭41−412号公報には、成形や焼結時に用いる金型を最終形状にしたものを用いて、ZnS粉末を真空中又は不活性ガス中で成形して密度99%以上の光学エレメントを形成する方法が示されているが、型換えを行う必要があり、生産性が悪い上、バインダーを用いない成形体は強度が低いので、型換えや搬送時に割れやカケが起こりやすく歩留りが悪いという問題があった。さらに、加熱と加圧を同時に行うと、原料中の不純物が抜けにくいことがあるので、不純物の多い原料を用いると、透過率の悪いものしか得られないという問題もあった。また、不純物を除去しようとすれば加熱時間を長くしなければならないので、生産性が低下するという問題もあった。
本発明の目的は、赤外光あるいは紫外光用光学部品に関し、上記のような問題点を解消して、赤外光あるいは紫外光の透過率の良い窓材やレンズ等の赤外あるいは紫外光学部品を安価に製造する方法を提供することである。本発明によれば、仕上加工をしないか取り代を少なくすることができ、赤外光あるいは紫外光の透過率が良好な緻密なセラミックス光学部品を安価に得ることができる。
従来、赤外光学部品や紫外光学部品用材料は、焼結後に変形させることは困難であると考えられてきた。本発明者等は、材料を予めある程度気孔が残るまで焼結しておいて、加圧・加熱プレスを用い、焼結体に含まれた気孔を利用して変形追随性を発現させ、またその変形量に応じた最適な気孔径、気孔率を選択し、加熱温度、加圧速度並びに加圧圧力を最適化することにより、赤外光学部品や紫外光学部品材料を最終形状にまで変形させることができ、緻密な焼結体となるので赤外光あるいは紫外光の透過率が良好であり、機械強度に優れた焼結体を得ることができることを発見した。
発明の開示
本発明は、セラミックス原料粉末を成形し成形体とする成形工程と、該成形体を焼結し焼結体とする焼結工程と、該焼結体を最終形状に変形させる変形工程とを備える。最終形状にまで変形させるので、従来行われていた仕上加工が不要となるので、材料費と加工費を大幅に低減することができる。
また、本発明は、セラミックス原料粉末を成形し成形体とする成形工程と、該成形体を焼結し焼結体とする焼結工程と、該焼結体を最終形状に近い形状に変形させる変形工程と、最終形状に仕上加工する仕上加工工程とを備える。最終形状に近い形状に変形しているため、最終形状とするための仕上加工の取り代が大幅に減少するので、材料費並びに加工費を大幅に低減することができる。前記変形には、加圧・加熱プレスを用いることが好ましい。
本発明は、上記のように、粉末を成形した後、焼結体とし、その後該焼結体を変形させるので、焼結工程において不純物濃度を低下させることが可能であり、不純物の多い安価な原料を用いることも可能である。また予め焼結しているので、ハンドリングが容易であり、また変形に要する時間が短くなるので、歩留りや生産性を向上させることもできる。
前記焼結工程での焼結体は相対密度が50〜99%が好ましく、55〜80%がより好ましい。最終形状に変形させる工程においては、加熱と加圧を行うが、先に加熱しておいて、材料の融点の30%以上の温度になってから加圧することが好ましい。
前記変形工程での圧力は、1MPa以上300MPa以下であることが好ましい。また、前記変形工程での最終到達温度は、セラミックス光学部品材料の融点の30%以上、融点もしくは昇華点以下が好ましく、融点の35%以上、融点もしくは昇華点の95%以下がより好ましい。融点の30%未満の温度では、変形中に亀裂が発生することがあるので好ましくない。融点の35%未満の温度では、変形速度が極端に遅くなるので経済的ではない。また、融点や昇華点を超えると素材の溶融や昇華が始まるので好ましくない。また、融点もしくは昇華点の95%の温度を超えると粒成長が起こるので、機械的強度が劣化する。
前記変形工程での変形速度は、0.1mm/分以上10mm/分以下であることが好ましい。また、圧力の増加速度では、15kPa/秒以上1MPa/秒以下であることが好ましい。
発明を実施するための最良の形態
本発明におけるセラミックスは、赤外光の直線透過率の高いセラミックス、例えば、硫化亜鉛(ZnS)、セレン化亜鉛(ZnSe)、フッ化バリウム(BaF2)およびガリウム砒素(GaAs)を主成分とするセラミックスならびに珪素(Si)およびゲルマニウム(Ge)の多結晶体を用いることができる。これらの中では、安価で透過特性に優れたZnSを主成分としたものやZnSeもしくはGeが望ましい。さらには安価で透過特性に優れ、実用的な耐環境性や強度からZnSが好ましい。
また、前記セラミックスは、必要に応じて波長3μm以下の光を遮蔽するような添加剤を含有させたものであってもよい。前記添加剤は、鉄、コバルト、銀、酸化鉄、カーボンブラック、黒鉛、ダイヤモンド、チタンブラック、銅、ニッケル、クロム、金、マンガン、モリブデン、タングステン、シリコン、ゲルマニウムの中から選ばれる1種類もしくは2種類以上の元素あるいはその化合物であることが好ましい。
また紫外光の直線透過率の高いセラミックス、例えば、フッ化カルシウム(CaF2)、フッ化マグネシウム(MgF2)、フッ化リチウム(LiF)、酸化ジリコニウム(ZrO2)、スピネル(MgAl2O4)、石英(SiO2)の多結晶体を用いることができる。
本発明の光学部品の製造方法は、まず主成分原料粉末に、必要に応じて前述のような添加剤粉末を混合し、所定の形状に成形した後、焼結して焼結体とし、さらに最終形状に変形する工程とを備える。また、最終形状に近い形状に変形させた後、仕上加工を行ってもよい。
セラミックス粉末を成形した後、それぞれのセラミックス主成分に見合った適正な条件で焼結する。ただし緻密な焼結体にすると、後の変形工程での変形追随性が悪くなるので、焼結体の相対密度は50%以上99%以下にすることが好ましい。焼結体の相対密度をこのような範囲にすることによって焼結体中の気孔を利用して、変形追随性を発現させることができる。相対密度は55%以上80%以下がより好ましい。50%未満の場合変形体が緻密になりにくく、55%未満では変形体の強度が低くなる。また、99%を超えると変形追随性が極端に悪くなり、80%を超えると変形速度が遅くなる。
また、その過程では、不純物の混入を可能な限り避けるのが望ましい。例えば混合された粉末の充填性を高めるために行う造粒や成形体の作製は、乾式で有機質のバインダーの要らない方法とするのが望ましい。したがって例えば成形は、静水圧成形や一軸方向の金型プレス成形によって行うのが望ましい。さらに焼結時のコンテナーや加熱の雰囲気にも、セラミックスを変質させないように配慮するのが望ましい。
焼結は、常圧下での焼結であってもよく、また型内でのホットプレスや熱間静水圧成形(HIP)のような加圧焼結法であってもよい。なお、常圧焼結では、緻密質焼結体を得ることは困難であるが、本発明の方法によれば、最終的に、緻密質焼結体を得ることができるので、焼結費用の削減にもつながる。
以上のようにして得られた焼結体を、目的とする光学部品の最終形状に変形させる。あるいは、最終形状に近い形状に変形させ、仕上加工を行う。例えば、赤外光センサーに用いられる図1のようなフレネルレンズ形状の場合には、焼結時の型を所定の直径の円形として円板状の焼結体を得た後、フレネルレンズ形状を転写した形状のモールドに焼結体を設置して、温度を上昇させた後、加圧して前記焼結体をモールドに添うように変形させることにより、フレネルレンズ形状を得ることができる。また、外周部を機械加工により、仕上加工を施してもよい。
また、図2のような凸レンズの場合には、凸レンズ形状に近い図3のような形状の焼結体を得た後、凸レンズ形状を転写した形状のモールドを用いて変形させることにより、凸レンズ形状を得ることができる。さらに、必要であれば、球面研磨加工機や超精密旋盤などを用いて仕上加工を行う。また、円板形状の焼結体を得た後、図2のような形状に変形させることもできる。
焼結体を変形させるためには、加熱と加圧が必要である。加圧、加熱の雰囲気は、真空中又は不活性ガス中が好ましい。変形させるための加熱温度は、材料の融点の30%以上、融点もしくは昇華点以下が好ましい。より好ましくは、融点の35%以上、融点もしくは昇華点の95%以下である。例えばZnSを主成分とするセラミックスの場合は、550℃以上、1200℃以下の範囲が好ましい。より好ましくは、650℃以上、1100℃以下である。550℃未満では、変形中に亀裂が発生することがあるので好ましくない。650℃未満では、変形速度が極端に遅くなり経済的ではない。また1200℃を超えると焼結体の昇華が発生するので好ましくない。1100℃を超えると、ZnSの粒成長により機械的強度が劣化する。
また、加圧圧力は、1〜300MPaの範囲が好ましい。1MPaより低い圧力の場合は、緻密質焼結体を得ることが困難となる。また、300MPaを超えると、使用するモールドの材質によっては、モールドが破損することがあるので好ましくない。好ましくは、20MPa以上、200MPa以下である。20MPa未満では、変形速度が極端に遅くなるので、経済的ではない。200MPaを超えると、焼結体が破損する可能性がある。加圧の開始は、前記変形温度に到達してからでもよいが、昇温途中で加圧を開始してもよい。昇温途中で加圧を開始する場合は、ZnSであれば550℃以上の温度に到達してからの方が、焼結体に亀裂が入らないので好ましい。
さらに、加圧速度が重要である。すなわち加圧速度は、例えば、上杵を下降させて加圧する場合、上杵の下降速度で、0.1〜10mm/分の範囲が好ましい。0.1mm/分より遅い速度では変形に要する時間がかかるので経済的ではない。また、10mm/分を超えると変形中に焼結体が破損することがあるので好ましくない。より好ましくは、0.2〜5mm/分の速度である。0.2mm/分未満の速度では、変形中に粒成長して機械的強度が劣化する。また、5mm/分を超えると、気孔が残りやすく緻密化しにくい。
また、加圧速度は、圧力の増加速度で規定してもよい。この場合、15kPa/秒以上、1MPa/秒以下の速度が好ましい。このような加圧速度の範囲で加圧して、最終到達圧力まで加圧する。より好ましくは、30kPa/秒以上、700kPa/秒以下である。15kPa未満の速度では、変形に要する時間がかかるので経済的ではない。また、1MPa/秒を超えると変形中に焼結体が破損することがあるので好ましくない。30kPa/秒未満の速度では、変形中に粒成長して機械的強度が劣化する。また、700kPa/秒を超えると、気孔が残りやすく緻密化しにくい。
変形に使用する型(モールド)の材質は、ガラス状カーボン、黒鉛、超硬合金あるいはSiCやB4C、Si3N4、cBN、ダイヤモンドなどの高温強度に優れたセラミックス等を用いることができる。また、離型性を向上させる目的で、ダイヤモンド状カーボン(DLC)や窒化クロム(CrN)あるいはPt、IrTiNなどをコーティングしてもよい。
実施例1
セラミックス素材として、ZnSを主成分としたセラミックスからなる素材を調製した。主成分の原料となる粉末としてZnSからなり、その平均粒径が1μm、純度が99.7%のものを用意した。また、添加剤として、平均粒径2μm、純度98.2%以上の鉄粉末と平均粒径1μm,純度99.9%以上のコバルト粉末ならびに平均粒径0.5μm、純度99.7%以上のFe3O4粉末を用意した。前記ZnS粉末に、鉄粉末を0.2wt%、コバルト粉末を0.2wt%、Fe3O4粉末を0.01wt%配合し、乾式で20時間ボールミル混合した。
その後、混合した粉末をゴム型に振動を加えながら充填し、さらにゴム蓋をして真空脱気しつつ封入した。その後、静水圧成形装置内に入れて、圧力98MPaにて図7の形状に静水圧成形した。成形体の相対密度は50〜55%であった。
次いで、この成形体を通常の真空炉を用いて、600℃の温度で5時間焼結した。焼結体の相対密度は、60〜70%であり緻密化はしていなかった。さらに、加圧と加熱が可能なプレスに、図5の形状を転写した形状のガラス状カーボン製モールドを設置し、得られた焼結体をモールド内に設置した。そして、まず、モールド全体を真空引きした後、表1に示す変形温度に加熱した。各温度に到達した後、0.4mm/分の速度で加圧することにより、前記焼結体を徐々に変形させ、最終的に34MPa(350kg/cm2)の圧力をかけ、カーボン製モールドの形状に添わせるとともに緻密化させるため、5分間保持した。変形温度で保持した時間は合計13分であった。徐圧、降温後取り出したところ各焼結体は、図5の形状となっていた。なお、割れや亀裂は存在しなかった。焼結体の表面粗さを接触式表面粗さ計で、水中法により相対密度を、赤外分光光度計で波長10μmに置ける透過率を、焼結体重量と変形後の重量の差から重量減を、JIS R1601に準拠して4点曲げ強度を測定した。それらの結果を合わせて表1に示す。
表1から判るように、常圧焼結の後、550〜1200℃の温度範囲に加熱して、加圧することにより、モールドの形状に添うように変形するとともに、緻密化が図れる。その結果、常圧焼結のままでは波長10μmでの透過率が50%未満であったものが、本発明によれば、60%以上に向上させることができる。また、変形後の焼結体の表面粗さは、相対密度が99%以上に緻密化すれば、使用するモールドの表面粗さとほぼ同じになる。このため、使用するモールドの表面粗さを調整しておけば、研磨などの仕上加工を省略することができる。また、1200℃を超える温度では、重量減が30%であり、ZnSの昇華が起こったことが判る。
実施例2
実施例1と同様の粉末を用いて、実施例1と同様に成形し、焼結を行った。実施例1で用いたモールドを用いて変形させた。この時、表2に示す温度になったときに5mm/分の速度で上杵を下降させ、57MPaの圧力まで加圧した。57MPaに加圧した状態で、加熱を継続し、最終的に900℃まで加熱した。モールド形状に添わせるとともに緻密化させるため、ストロークが進まなくなってから5分間保持した。その結果、500℃から加圧したものは割れていた。500℃以上の温度で加圧したものには、割れはなかった。割れのなかったものについて、加圧した後の変形速度を表2に示す。また、実施例1と同様に、相対密度、透過率、重量減、4点曲げ強度を測定した結果をあわせて表2に示す。
実施例3
実施例2と同様にして成形、焼結、変形を行った。ただし、表3に示す温度になったときに5mm/分の速度で34MPaの圧力まで加圧した。34MPaに加圧した状態で、加熱を継続し、最終的に1000℃まで加熱した後、実施例2と同様に5分間保持した。その結果、500℃から加圧したものは割れていた。500℃以上の温度で加圧したものには、割れはなかった。割れのなかったものについて、加圧した後の変形速度を表3に示す。また、実施例1と同様に、相対密度、透過率、重量減、4点曲げ強度を測定した結果をあわせて表3に示す。
表2と表3の結果から、550℃以上の温度から加圧を行えば、割れ等がなく良好に変形することができるが、600℃では、変形速度が極端に遅くなり生産性がよくないことが判る。また、加圧圧力は、高い方が変形速度が速くなるので、生産性をより向上させることができる。さらに、実施例1のNo6と実施例3のNo16を比較すると、No16の1000℃での保持時間は5分間であり、変形の最終温度が同じ1000℃でも、昇温途中から加圧することによって、最終温度での保持時間が短くなり、生産性がより向上するとともに、変形後の相対密度や透過率が高く、機械的強度も優れたセラミックス光学部品を得ることができることが判る。
実施例4
原料粉末として、純度97%で平均粒径が2μmのZnS粉末を準備し、一軸式金型プレス成形により図3の形状に成形した。この成形体を表4に示す温度、時間条件で、通常の真空炉を用いて焼結した。焼結後の相対密度を表4にあわせて示す。
得られた焼結体を図2の形状を転写した形状の超硬製モールドに設置し、表4に示す変形温度条件で加熱、加圧した。なお、加熱は、実施例1と同様とし、加圧は0.3mm/分の速度で上杵を下降させることにより行い、焼結体を変形させ、最高圧力(34MPa)に到達後30分保持した。その結果、いずれの条件でも、図2の形状の焼結体を得ることができた。変形後の焼結体の不純物濃度並びに実施例1と同様にして測定した重量減並びに波長10μmでの透過率と相対密度を表5に示す。
表5から判るように、300℃で焼結すると、不純物が多く残存した。これはZnSの主な不純物であるSOxの解離が進まなかったためと思われる。1250℃で焼結すれば、昇華による重量減が30%と大きくなる。500℃から1000℃で焼結し、900℃から1100℃で変形させたものは、透過率が60%以上であり、実用的な透過特性を示すことが判る。
実施例5
原料粉末として、純度99.9%で平均粒径が1.2μmのZnS粉末を準備し、実施例1と同様にして円板形状に成形した。この成形体を800℃、3時間真空炉を用いて焼結した。得られた焼結体の相対密度は、60〜70%であった。この焼結体を図5の形状を転写した形状のSiC製のモールドに設置し、最終900℃まで昇温する途中の700℃より表6に示す圧力で加圧した。変形後の相対密度と変形時の変形速度をあわせて表6に示す。
表6より、圧力が200MPaを超えると、焼結体に亀裂が入るかSiC製モールドが破損する不具合が発生した。200MPa以下の圧力では、いずれも良好な変形をしたが、20MPa未満では、変形速度が極端に遅くなり、生産性が悪くなった。また、1MPa未満では、緻密な焼結体を得ることができなかった。
実施例6
原料粉末として、純度99.9%で平均粒径が1.2μmのZnS粉末を準備し、実施例1と同様にして図8の形状に成形した。この成形体を800℃、3時間真空炉を用いて焼結した。得られた焼結体の相対密度は、60〜70%であった。この焼結体を図5の形状を転写した形状のSiC製モールドに設置した。1000℃まで昇温する途中の750℃より、表7に示す変形速度で加圧した結果、いずれも60MPaまで加圧した時点で変形が停止したため、その時点で、1分間保持し、その後徐圧、降温し、変形体を取り出した。実施例1と同様に相対密度と機械的強度を測定した結果を表7に示す。
変形速度が20mm/分では、変形中に焼結体に亀裂が入った。20mm/分より遅い速度では、亀裂は入らなかった。10mm/分では、変形後に、気孔が残存しており、緻密な焼結体を得られなかった。0.1mm/分以下の遅い速度では、粒成長が起こり、機械的強度が低下した。
実施例7
原料粉末として、純度99.9%で平均粒径が1.2μmのZnS粉末を準備し、実施例1と同様にして円板形状に成形した。この成形体を900℃、9時間真空炉を用いて焼結した。得られた焼結体の相対密度は、70%であった。この焼結体を図1の形状を転写した形状のSi3N4製モールドに設置した。950℃まで昇温する途中の700℃より、表8に示す変形速度で加圧した結果、いずれも60MPaまで加圧した時点で変形が停止したため、その時点で、10分間保持し、その後徐圧、降温し、変形体を取り出した。実施例1と同様に相対密度と機械的強度を測定した結果を表8に示す。
変形速度が3000kPa/秒では、変形中に焼結体に亀裂が入った。3000kPa/秒より遅い速度では、亀裂は入らなかった。1000kPa/秒では、変形後に、気孔が残存しており、充分に緻密な焼結体を得られなかった。15kPa/秒以下の遅い速度では、粒成長が起こり、機械的強度が低下した。
実施例8
原料粉末として、純度99.8%で平均粒径が1.2μmのZnS粉末を準備し、実施例1と同様にして円板形状に成形した。この成形体を黒鉛製の上下パンチ付きの一軸加圧方式の型内に設置し、0.15Paの真空雰囲気中で昇温し950℃で40MPaの圧力を加えながら30分焼結した。得られた焼結体は相対密度99%であった。
得られた焼結体を図4の形状を転写した形状の黒鉛製モールドに設置し、実施例1と同様に加熱、加圧した。なお、変形温度は1000℃とした。その結果、図4の形状の焼結体を得ることができた。
実施例9
原料粉末として、純度が99.99%以上で平均粒径が1μmのZnSe粉末を準備し、実施例1と同様に成形した。次いでこの成形体を黒鉛製であり上下パンチ付きの一軸加圧方式の型内に配置し、0.15Paの真空雰囲気中にて昇温した。その後同じ雰囲気中で950℃にて保持後、上パンチによって40MPaの圧力を加えつつ30分ホットプレス焼結した。得られた焼結体の相対密度は、99%であった。
得られた焼結体を図5の形状を転写した形状の黒鉛製モールドを用いて、実施例1と同様の加熱(温度1000℃)、加圧条件で変形させたところ、図5の形状のZnSeを主成分とする焼結体を得ることができた。
実施例10
原料粉末として、純度が99.99%以上で平均粒径が2μmのGe粉末を準備し、実施例1と同様にして円板形状に成形した。次いでこの成形体を黒鉛製であり上下パンチ付きの一軸加圧方式の型内に配置し、0.15Paの真空雰囲気中にて昇温した。その後同じ雰囲気中で550℃にて保持後、上パンチによって40MPaの圧力を加えつつ30分ホットプレス焼結した。
得られた焼結体を図6の形状を転写した形状の黒鉛製モールドを用いて、加熱温度を850℃としたこと以外は、実施例1と同様に加熱、加圧して変形させたところ、図6の形状のGe焼結体を得ることができた。
実施例11
原料粉末として、純度99.5%で平均粒径が40μmのCaF2粉末を準備し、実施例1と同様に円板形状に成形した。次いでこの成形体を、真空炉を用いて、500℃で5時間焼結した。得られた焼結体を図1の形状を転写した形状のSiC製モールドに設置し、0.15Paの真空中で、1250℃まで昇温し5分間保持した後、20kPa/秒の速度で加圧することにより、焼結体を変形させ、最終的に35MPaまで加圧し、60分間保持した。その結果、図1の形状の焼結体を得ることができた。変形後の相対密度は99.9%であった。波長10μmでの透過率は、85%であり、紫外域である波長400nmでの透過率は50%であった。
産業上の利用可能性
本発明のセラミックス光学部品の製造方法によれば、セラミックス焼結体を最終形状に変形させると共に緻密化することができるので、透過率の優れた窓材やレンズ等の赤外光学部品や紫外光学部品を安価に製造することができる。また、最終形状に近い形状に変形させた後、仕上加工を行うので、材料費や加工費を従来の方法よりも大幅に低減することができる。このため、赤外光や紫外光を利用する高機能な装置に用いられる窓材やレンズ材等の光学部品を安価に提供することができる。
【図面の簡単な説明】
図1は、本発明の最終形状の一例を示す。
図2は、本発明の最終形状の他の一例を示す。
図3は、本発明の図2の形状を得る場合の成形体の形状の一例を示す。
図4は、本発明の最終形状の他の一例を示す。
図5は、本発明の最終形状の他の一例を示す。
図6は、本発明の最終形状の他の一例を示す。
図7は、本発明の図5の形状を得る場合の成形体の形状の一例を示す。
図8は、本発明の図5の形状を得る場合の成形体の形状の他の一例を示す。
Claims (7)
- セラミックス原料粉末を成形し成形体とする成形工程と、該成形体を焼結し焼結体とする焼結工程と、該焼結体を最終形状に変形させる変形工程とを備えたセラミックス光学部品の製造方法。
- セラミックス原料粉末を成形し成形体とする成形工程と、該成形体を焼結し焼結体とする焼結工程と、該焼結体を最終形状に近い形状に変形させる変形工程と、最終形状に仕上加工する仕上加工工程とを備えたセラミックス光学部品の製造方法。
- 前記変形工程が、加圧・加熱プレスを用いることを特徴とする請求項1又は2に記載のセラミックス光学部品の製造方法。
- 前記変形工程において、圧力が、1MPa以上300MPa以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のセラミックス光学部品の製造方法。
- 前記変形工程において、温度が、セラミックス光学部品材料の融点の30%以上、該材料の融点もしくは昇華点以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のセラミックス光学部品の製造方法。
- 前記変形工程において、変形速度が、0.1mm/分以上10mm/分以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のセラミックス光学部品の製造方法。
- 前記変形工程において、変形速度が、15kPa/秒以上1MPa/秒以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のセラミックス光学部品の製造方法。
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