JP2952978B2 - 透光性イツトリア焼結体及びその製造方法 - Google Patents
透光性イツトリア焼結体及びその製造方法Info
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、優れた透光性と機械的強度とを兼ね備え、
特に厚さ3mm以上で使用する赤外透過窓等の用途に好適
な透光性イツトリア焼結体、及びその製造方法に関す
る。
特に厚さ3mm以上で使用する赤外透過窓等の用途に好適
な透光性イツトリア焼結体、及びその製造方法に関す
る。
イツトリア（Y2O3）は2350℃以下において結晶型が立
方晶であるため結晶粒界での散乱が少なく、高密度に焼
結した場合非常に高い透光性を示すことが知られてい
る。
方晶であるため結晶粒界での散乱が少なく、高密度に焼
結した場合非常に高い透光性を示すことが知られてい
る。
通常、イツトリア焼結体の透光性は可視領域の波長0.
3μｍ付近から急激に高くなり、赤外領域の波長３〜６
μｍ付近で最高となる。従つて、イツトリア焼結体は光
学窓のような透光性材料として有望視され、従来から各
種の方法によつて製造が試みられている。
3μｍ付近から急激に高くなり、赤外領域の波長３〜６
μｍ付近で最高となる。従つて、イツトリア焼結体は光
学窓のような透光性材料として有望視され、従来から各
種の方法によつて製造が試みられている。
例えば、特開昭54−17911号公報や特開昭54−17910号
公報に記載されるように、焼結助剤として酸化ランタン
（La2O3）やアルミナ（Al2O3）を添加して低O3雰囲気中
で焼結する方法がある、しかし、この焼結助剤を用いる
方法では、緻密化が容易で機械的強度が高くなるもの
の、焼結助剤が焼結体中に残留するため部分的に第２相
が出現し易く、組織的不均一性により光が散乱されて透
過率が低くなる欠点があり、従つて又直径50mm以上のよ
うな大型材について光学的に均一な材料を得ることが困
難であつた。又、La2O3等を添加すると熱伝導率が7W/m
・Ｋ程度に低下し、耐熱衝撃性も低下する欠点があつ
た。
公報に記載されるように、焼結助剤として酸化ランタン
（La2O3）やアルミナ（Al2O3）を添加して低O3雰囲気中
で焼結する方法がある、しかし、この焼結助剤を用いる
方法では、緻密化が容易で機械的強度が高くなるもの
の、焼結助剤が焼結体中に残留するため部分的に第２相
が出現し易く、組織的不均一性により光が散乱されて透
過率が低くなる欠点があり、従つて又直径50mm以上のよ
うな大型材について光学的に均一な材料を得ることが困
難であつた。又、La2O3等を添加すると熱伝導率が7W/m
・Ｋ程度に低下し、耐熱衝撃性も低下する欠点があつ
た。
米国特許第3,878,280号には、イツトリア粉末を真空
中でホツトプレスする方法が開示されている。しかし、
この方法ではグラフアイト型の強度上の制約から500kg/
cm2以上の高圧をかけることが難しく、そのため充分な
緻密化が進行せず、透過率が低いという欠点があつた。
中でホツトプレスする方法が開示されている。しかし、
この方法ではグラフアイト型の強度上の制約から500kg/
cm2以上の高圧をかけることが難しく、そのため充分な
緻密化が進行せず、透過率が低いという欠点があつた。
又、特開昭63−201061号公報に示されるように、Y2O3
粉末を1700〜1900℃で無加圧焼結して閉気孔とした後、
圧力25000〜30000psi及び温度1700〜1900℃でHIP処理す
る方法も知られている。しかし、この方法では焼結温度
及びHIP温度が共に1700℃以上高いため、Y2O3焼結体の
平均結晶粒径が150μｍ程度と粗大になり、曲げ強度も1
10MPa程度に留まり、残留歪の発生も多いため、充分な
耐熱衝撃性が得られない欠点があつた。
粉末を1700〜1900℃で無加圧焼結して閉気孔とした後、
圧力25000〜30000psi及び温度1700〜1900℃でHIP処理す
る方法も知られている。しかし、この方法では焼結温度
及びHIP温度が共に1700℃以上高いため、Y2O3焼結体の
平均結晶粒径が150μｍ程度と粗大になり、曲げ強度も1
10MPa程度に留まり、残留歪の発生も多いため、充分な
耐熱衝撃性が得られない欠点があつた。
従つて、上記した従来の各方法で製造されたイツトリ
ア焼結体では、試料厚さ2.5mmにおける波長３〜６μｍ
での直線透過率が最高のもので80％程度であつて、直線
透過率の高いものほど曲げ強度が低く且つ残留歪の発生
も多くなるので、厚さ3mm以上で使用される赤外透過窓
等の材料として用いるためには、直線透過率と曲げ強度
を同時に向上させ、残留歪を低減させる必要があつた。
ア焼結体では、試料厚さ2.5mmにおける波長３〜６μｍ
での直線透過率が最高のもので80％程度であつて、直線
透過率の高いものほど曲げ強度が低く且つ残留歪の発生
も多くなるので、厚さ3mm以上で使用される赤外透過窓
等の材料として用いるためには、直線透過率と曲げ強度
を同時に向上させ、残留歪を低減させる必要があつた。
本発明はかかる従来の事情に鑑み、高純度且つ高強度
であつて同時に優れた透光性を有し、特に厚さ3mm以上
の赤外透過窓材等として好適な直線透過率を有し、大型
材であつても光学的に均一で割れや残留歪のない透光性
イツトリア焼結体、及びそを製造方法を提供することを
目的とする。
であつて同時に優れた透光性を有し、特に厚さ3mm以上
の赤外透過窓材等として好適な直線透過率を有し、大型
材であつても光学的に均一で割れや残留歪のない透光性
イツトリア焼結体、及びそを製造方法を提供することを
目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の透光性イツトリア
焼結体の製造方法においては、純度99.9％以上及び比表
面積（BET値）2m2/g以上10m2/g未満のイツトリア粉末
を、温度1300〜1700℃及び圧力100〜500kg/cm2での真空
中におけるホツトプレスにより理論密度比95％以上に緻
密化し、次に温度1400〜1900℃及び圧力500kg/cm2以上
にてHIP処理することを特徴とする。
焼結体の製造方法においては、純度99.9％以上及び比表
面積（BET値）2m2/g以上10m2/g未満のイツトリア粉末
を、温度1300〜1700℃及び圧力100〜500kg/cm2での真空
中におけるホツトプレスにより理論密度比95％以上に緻
密化し、次に温度1400〜1900℃及び圧力500kg/cm2以上
にてHIP処理することを特徴とする。
又、上記方法により製造される透光性イツトリア焼結
体は純度99.9％以上の多結晶イツトリア焼結体からな
り、試料厚さ3mmでの直線透過率が波長３〜６μｍの赤
外領域で80％以上であつて、平均結晶粒径が100μｍ以
下で、４点曲げ強度が120MPa以上であることを特徴とす
る。
体は純度99.9％以上の多結晶イツトリア焼結体からな
り、試料厚さ3mmでの直線透過率が波長３〜６μｍの赤
外領域で80％以上であつて、平均結晶粒径が100μｍ以
下で、４点曲げ強度が120MPa以上であることを特徴とす
る。
本発明方法では、真空中でのホツトプレス及びその後
のHIP（熱間等方圧プレス）により、焼結助剤を用いる
ことなく、直線透過率が空間的に均一で高く同時に曲げ
強度に優れたイツトリア焼結体を得ることが出来る。
のHIP（熱間等方圧プレス）により、焼結助剤を用いる
ことなく、直線透過率が空間的に均一で高く同時に曲げ
強度に優れたイツトリア焼結体を得ることが出来る。
焼結体の原料であるイツトリア粉末は、不純物吸収に
よる透光性の低下を防ぐために99.9％以上の純度のもの
を使用し、特にFe等の遷移金属元素の含有は好ましくな
い。
よる透光性の低下を防ぐために99.9％以上の純度のもの
を使用し、特にFe等の遷移金属元素の含有は好ましくな
い。
又、イツトリア粉末は一次粒子の粒径が約0.4〜0.2μ
ｍ以下、即ち表面積がBET値で2m2/g以上10m2/g未満であ
ることが必要である。BET値が10m2/g以上の粉末では粒
子同士のブリツジングによりホツトプレス中に割れが生
じやすく、又割れが生じなかつた場合でも過大な歪が残
留するため精密な光学部品としては不適当である。一
方、2m2/g未満の場合には、ホツトプレス中に密度が上
りにくくHIPによる緻密化が不充分となり、透過率が低
下する。即ち、イツトリア粉末の表面積がBET値で2m2/g
以上10m2/g未満であることが、透光性に優れ且つ残留歪
や割れが発生せず、結晶粒径が微細で緻密な焼結体を得
るために必要な条件の一つである。
ｍ以下、即ち表面積がBET値で2m2/g以上10m2/g未満であ
ることが必要である。BET値が10m2/g以上の粉末では粒
子同士のブリツジングによりホツトプレス中に割れが生
じやすく、又割れが生じなかつた場合でも過大な歪が残
留するため精密な光学部品としては不適当である。一
方、2m2/g未満の場合には、ホツトプレス中に密度が上
りにくくHIPによる緻密化が不充分となり、透過率が低
下する。即ち、イツトリア粉末の表面積がBET値で2m2/g
以上10m2/g未満であることが、透光性に優れ且つ残留歪
や割れが発生せず、結晶粒径が微細で緻密な焼結体を得
るために必要な条件の一つである。
更に、La2O3等の焼結助剤を添加しないので、従来の
ような第２相による透過率の低下や空間的の不均一、熱
伝導率の低下が発生しない。
ような第２相による透過率の低下や空間的の不均一、熱
伝導率の低下が発生しない。
本発明方法のホツトプレス工程において、温度を1300
〜1700℃とするのは、1300℃未満では理論密度比95％以
上の高密度な焼結体を得ることが難しく、1700℃を超え
ると真空中ではY2O3中の酸素イオンが表面から抜けて組
成比にずれを起し、光学的に均一な焼結体を得ることが
難しくなるからである。又、圧力が100kg/cm2未満では
やはり理論密度比95％以上の高密度な焼結体を得ること
が難しく、500kg/cm2を超えると強度的にグラフアイト
型の使用が難しくなる。尚、ホツトプレスで得られる焼
結体の理論密度比が95％未満の場合には、残留気孔の多
くがいわゆる解放気孔となり、後のHIP処理で高圧ガス
がこの気孔を通つて内部に進入し、HIP処理でほ高密度
化が充分に進行しない結果となるからである。
〜1700℃とするのは、1300℃未満では理論密度比95％以
上の高密度な焼結体を得ることが難しく、1700℃を超え
ると真空中ではY2O3中の酸素イオンが表面から抜けて組
成比にずれを起し、光学的に均一な焼結体を得ることが
難しくなるからである。又、圧力が100kg/cm2未満では
やはり理論密度比95％以上の高密度な焼結体を得ること
が難しく、500kg/cm2を超えると強度的にグラフアイト
型の使用が難しくなる。尚、ホツトプレスで得られる焼
結体の理論密度比が95％未満の場合には、残留気孔の多
くがいわゆる解放気孔となり、後のHIP処理で高圧ガス
がこの気孔を通つて内部に進入し、HIP処理でほ高密度
化が充分に進行しない結果となるからである。
又、HIP工程において、温度を1400〜1900℃（好まし
くは1400〜1700℃）とするのは、1400℃未満では気孔の
除去作用が不充分となり満足すべき透光性が得られず、
1900℃を超えると粒成長が著しく粗大となるため、充分
な曲げ強度が得られないからである。HIP圧力が500kg/c
m2未満でも気孔の除去が不充分となり満足すべき透光性
が得られないが、圧力の上限はHIP装置の能力的な制限
から通常2000kg/cm2程度となる。HIP処理で用いるガス
は、Ar等の不活性ガス、窒素ガス又は酸素ガス、若しく
はこれらの混合ガスが好ましく、特に酸素ガスを混合す
ることによつて、焼結体からの脱酸素による透光性の低
下を防止出来る利点がある。
くは1400〜1700℃）とするのは、1400℃未満では気孔の
除去作用が不充分となり満足すべき透光性が得られず、
1900℃を超えると粒成長が著しく粗大となるため、充分
な曲げ強度が得られないからである。HIP圧力が500kg/c
m2未満でも気孔の除去が不充分となり満足すべき透光性
が得られないが、圧力の上限はHIP装置の能力的な制限
から通常2000kg/cm2程度となる。HIP処理で用いるガス
は、Ar等の不活性ガス、窒素ガス又は酸素ガス、若しく
はこれらの混合ガスが好ましく、特に酸素ガスを混合す
ることによつて、焼結体からの脱酸素による透光性の低
下を防止出来る利点がある。
上記の如く本発明方法では、ホツトプレス温度が1300
〜1700℃及びHIP温度が1400〜1900℃と従来方法に比べ
て明らかに低温でのプロセスが可能となるので、結晶粒
成長が抑制され微細で高強度の焼結体が得られる。即
ち、得られるイツトリア焼結体の平均結晶粒径は従来よ
り微細な２〜100μｍの範囲となり、４点曲げ強度も120
MPa以上であつて最高で180MPaと高く、赤外透過窓材と
して重要な特性である耐熱衝撃性が従来よりも著しく改
善向上される。
〜1700℃及びHIP温度が1400〜1900℃と従来方法に比べ
て明らかに低温でのプロセスが可能となるので、結晶粒
成長が抑制され微細で高強度の焼結体が得られる。即
ち、得られるイツトリア焼結体の平均結晶粒径は従来よ
り微細な２〜100μｍの範囲となり、４点曲げ強度も120
MPa以上であつて最高で180MPaと高く、赤外透過窓材と
して重要な特性である耐熱衝撃性が従来よりも著しく改
善向上される。
実施例１ 純度99.9％、比表面積4.6m2/g（BET値）の高純度Y2O3
粉末を、内径120mmのグラフアイト型を用いて３×10-3t
orrの真空中において温度1450℃及び圧力300kg/cm2で３
時間ホツトプレスして、理論密度比98％白色の焼結体を
得た。次にこの焼結体をHIP装置に入れ、Arガスを用い
て温度1620℃及び圧力2000kg/cm2で２時間のHIP処理を
行なつた。得られたY2O3焼結体は外観的に無色透明であ
つた。
粉末を、内径120mmのグラフアイト型を用いて３×10-3t
orrの真空中において温度1450℃及び圧力300kg/cm2で３
時間ホツトプレスして、理論密度比98％白色の焼結体を
得た。次にこの焼結体をHIP装置に入れ、Arガスを用い
て温度1620℃及び圧力2000kg/cm2で２時間のHIP処理を
行なつた。得られたY2O3焼結体は外観的に無色透明であ
つた。
得られたY2O3焼結体を厚さ3mmに鏡面研磨加工し、分
光光度計で直線透過率を測定したところ、波長３〜６μ
ｍの赤外領域で82％以上の透光性を示した。又、光弾性
装置で歪を測定したところ、残留歪による干渉縞は観測
されなかつた。この焼結体の平均結晶粒径は25μｍで、
JIS R 1601に基づく４点曲げ強度は156MPaであつた。
光光度計で直線透過率を測定したところ、波長３〜６μ
ｍの赤外領域で82％以上の透光性を示した。又、光弾性
装置で歪を測定したところ、残留歪による干渉縞は観測
されなかつた。この焼結体の平均結晶粒径は25μｍで、
JIS R 1601に基づく４点曲げ強度は156MPaであつた。
実施例２ 純度99.9％、比表面積3.5m2/g（BET値）の高純度Y2O3
粉末を、内径120mmのグラフアイト型を用いて３×10-3t
orrの真空中において温度1650℃及び圧力150kg/cm2で３
時間ホツトプレスして、理論密度比97％の白色の焼結体
を得た。次にこの焼結体をHIP装置に入れ、Arガスを用
いて温度1750℃及び圧力2000kg/cm2で１時間のHIP処理
を行なつた。得られたY2O3焼結体は外観的に無色透明で
あつた。
粉末を、内径120mmのグラフアイト型を用いて３×10-3t
orrの真空中において温度1650℃及び圧力150kg/cm2で３
時間ホツトプレスして、理論密度比97％の白色の焼結体
を得た。次にこの焼結体をHIP装置に入れ、Arガスを用
いて温度1750℃及び圧力2000kg/cm2で１時間のHIP処理
を行なつた。得られたY2O3焼結体は外観的に無色透明で
あつた。
得られたY2O3焼結体を厚さ3mmに鏡面研磨加工し、分
光光度計で直線透過率を測定したところ、波長３〜６μ
ｍの赤外領域で81％以上の透光性を示した。又、光弾性
装置で歪を測定したところ、残留歪による干渉縞は観測
されなかつた。この焼結体の平均結晶粒径は90μｍで、
JIS R 1601に基づく４点曲げ強度は124MPaであつた。
光光度計で直線透過率を測定したところ、波長３〜６μ
ｍの赤外領域で81％以上の透光性を示した。又、光弾性
装置で歪を測定したところ、残留歪による干渉縞は観測
されなかつた。この焼結体の平均結晶粒径は90μｍで、
JIS R 1601に基づく４点曲げ強度は124MPaであつた。
実施例３ 純度99.9％、比表面積8.5m2/g（BET値）の高純度Y2O3
粉末を、内径120mmのグラフアイト型を用いて３×10-3t
orrの真空中において温度1320℃及び圧力450kg/cm2で５
時間ホツトプレスして、理論密度比98％の白色の焼結体
を得た。次にこの焼結体をHIP装置に入れ、Arガスを用
いて温度1600℃及び圧力2000kg/cm2で２時間のHIP処理
を行なつた。得られたY2O3焼結体は外観的に無色透明で
あつた。
粉末を、内径120mmのグラフアイト型を用いて３×10-3t
orrの真空中において温度1320℃及び圧力450kg/cm2で５
時間ホツトプレスして、理論密度比98％の白色の焼結体
を得た。次にこの焼結体をHIP装置に入れ、Arガスを用
いて温度1600℃及び圧力2000kg/cm2で２時間のHIP処理
を行なつた。得られたY2O3焼結体は外観的に無色透明で
あつた。
得られたY2O3焼結体を厚さ3mmに鏡面研磨加工し、分
光光度計で直線透過率を測定したところ、波長３〜６μ
ｍの赤外領域で80％以上の透光性を示した。又、光弾性
装置で歪を測定したところ、残留歪による干渉縞は観測
されなかつた。この焼結体の平均結晶粒径は２μｍで、
JIS R 1601に基づく４点曲げ強度は172MPaであつた。
光光度計で直線透過率を測定したところ、波長３〜６μ
ｍの赤外領域で80％以上の透光性を示した。又、光弾性
装置で歪を測定したところ、残留歪による干渉縞は観測
されなかつた。この焼結体の平均結晶粒径は２μｍで、
JIS R 1601に基づく４点曲げ強度は172MPaであつた。
実施例４ 実施例１と同様にして理論密度比98％の白色の焼結体
を得た。この焼結体をHIP装置に入れ、N2ガスを用いて
温度1600℃及び圧力2000kg/cm2で２時間のHIP処理を行
なつた、得られたY2O3焼結体は外観的に無色透明であつ
た。
を得た。この焼結体をHIP装置に入れ、N2ガスを用いて
温度1600℃及び圧力2000kg/cm2で２時間のHIP処理を行
なつた、得られたY2O3焼結体は外観的に無色透明であつ
た。
得られたY2O3焼結体について実施例１と同様の測定を
行なつた結果、試料厚さ3mmの波長３〜６μｍでの直線
透過率は81％以上であり、残留歪による干渉縞は観測さ
れず、また焼結体の平均結晶粒径は20μｍであつてJIS
R 1601に基づく４点曲げ強度は160MPaであつた。
行なつた結果、試料厚さ3mmの波長３〜６μｍでの直線
透過率は81％以上であり、残留歪による干渉縞は観測さ
れず、また焼結体の平均結晶粒径は20μｍであつてJIS
R 1601に基づく４点曲げ強度は160MPaであつた。
実施例５ 実施例３と同様にして理論密度比98％の白色の焼結体
を得た。この焼結体をHIP装置に入れ、Ar−４％O2ガス
を用いて温度1500℃及び圧力2000kg/cm2で４時間のHIP
処理を行なつた。得られたY2O3焼結体は外観的に無色透
明であつた。
を得た。この焼結体をHIP装置に入れ、Ar−４％O2ガス
を用いて温度1500℃及び圧力2000kg/cm2で４時間のHIP
処理を行なつた。得られたY2O3焼結体は外観的に無色透
明であつた。
得られたY2O3焼結体について実施例１と同様の測定を
行なつた結果、試料厚さ3mmの波長３〜６μｍでの直線
透過率は80％以上であり、残留歪による干渉縞は観測さ
れず、また焼結体の平均結晶粒径は15μｍであつてJIS
R 1601に基づく４点曲げ強度は162MPaであつた。
行なつた結果、試料厚さ3mmの波長３〜６μｍでの直線
透過率は80％以上であり、残留歪による干渉縞は観測さ
れず、また焼結体の平均結晶粒径は15μｍであつてJIS
R 1601に基づく４点曲げ強度は162MPaであつた。
比較例 純度99.9％比表面積19.6m2/g（BET値）の高純度Y2O3
粉末を、内径120mmのグラフアイト型を用いて３×10-3t
orrの真空中において温度1350℃及び圧力250kg/cm2で３
時間ホツトプレスし、理論密度比98％の白色の焼結体を
得たが一部に割れが生じていた。この焼結体をHIP装置
に入れ、Arガスを用いて温度1650℃及び圧力2000kg/cm2
で２時間のHIP処理を行なつた。得られたY2O3焼結体は
外観的に無色透明であつた。
粉末を、内径120mmのグラフアイト型を用いて３×10-3t
orrの真空中において温度1350℃及び圧力250kg/cm2で３
時間ホツトプレスし、理論密度比98％の白色の焼結体を
得たが一部に割れが生じていた。この焼結体をHIP装置
に入れ、Arガスを用いて温度1650℃及び圧力2000kg/cm2
で２時間のHIP処理を行なつた。得られたY2O3焼結体は
外観的に無色透明であつた。
得られたY2O3焼結体について実施例１と同様の測定を
行なつた結果、試料厚さ3mmの波長３〜６μｍでの直線
透過率は81％以上であつたが、残留歪による干渉縞が観
測された。また焼結体の平均結晶粒径は20μｍであつて
JIS R 1601に基づく４点曲げ強度は160MPaであつた。
行なつた結果、試料厚さ3mmの波長３〜６μｍでの直線
透過率は81％以上であつたが、残留歪による干渉縞が観
測された。また焼結体の平均結晶粒径は20μｍであつて
JIS R 1601に基づく４点曲げ強度は160MPaであつた。
本発明によれば、焼結助剤を用いることなく、微細な
結晶粒径を有し高強度であつて、同時に波長３〜６μｍ
の赤外領域での直線透過率に優れ、直径50mm以上で厚さ
3mm以上の大型材であつても光学的に均一で等れや歪の
ない透光性イツトリア焼結体を得ることが出来る。
結晶粒径を有し高強度であつて、同時に波長３〜６μｍ
の赤外領域での直線透過率に優れ、直径50mm以上で厚さ
3mm以上の大型材であつても光学的に均一で等れや歪の
ない透光性イツトリア焼結体を得ることが出来る。
この透光性イツトリア焼結体は厚さ3mm以上で使用さ
れる赤外透過窓材として特に有用である。
れる赤外透過窓材として特に有用である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C01F 17/00 C04B 35/42 - 35/50 ＣＡ（ＳＴＮ) ＲＥＧＩＳＴＲＹ（ＳＴＮ)
Claims (3)
- 【請求項１】純度99.9％以上及び比表面積（BET値）2m2
/g以上10m2/g未満のイツトリア粉末を、温度1300〜1700
℃及び圧力100〜500kg/cm2での真空中におけるホツトプ
レスにより理論密度比95％以上に緻密化し、次に温度14
00〜1900℃及び圧力500kg/cm2以上にてHIP処理すること
を特徴とする透光性イツトリア焼結体の製造方法。 - 【請求項２】HIP処理は不活性ガス、窒素ガス又は酸素
ガス、若しくはこれらの混合ガスを用いることを特徴と
する、請求項（１）記載の透光性イツトリア焼結体の製
造方法。 - 【請求項３】純度99.9％以上の多結晶イツトリア焼結体
からなり、試料厚さ3mmでの直線透過率が波長３〜６μ
ｍの赤外領域で80％以上であり、平均結晶粒径が100μ
ｍ以下で、４点曲げ強度が120MPa以上であることを特徴
とする透光性イツトリア焼結体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2186892A JP2952978B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 透光性イツトリア焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2186892A JP2952978B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 透光性イツトリア焼結体及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0474764A JPH0474764A (ja) | 1992-03-10 |
| JP2952978B2 true JP2952978B2 (ja) | 1999-09-27 |
Family
ID=16196514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2186892A Expired - Fee Related JP2952978B2 (ja) | 1990-07-13 | 1990-07-13 | 透光性イツトリア焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2952978B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100885199B1 (ko) * | 2001-07-05 | 2009-02-24 | 고노시마 가가쿠고교 가부시키가이샤 | 투과성 희토류 산화물 소결체 및 그 제조 방법 |
| WO2007010831A1 (ja) | 2005-07-15 | 2007-01-25 | Toto Ltd. | イットリア焼結体ならびに耐食性部材、その製造方法 |
-
1990
- 1990-07-13 JP JP2186892A patent/JP2952978B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0474764A (ja) | 1992-03-10 |
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