JP3000685B2 - 透光性イットリア焼結体及びその製造方法 - Google Patents
透光性イットリア焼結体及びその製造方法Info
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、優れた透光性と機械的
強度とを兼ね備え、特に厚さ3mm以上で使用する耐久性
光学窓等の用途に好適な透光性イットリア焼結体、及び
その製造方法に関する。
強度とを兼ね備え、特に厚さ3mm以上で使用する耐久性
光学窓等の用途に好適な透光性イットリア焼結体、及び
その製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】イットリア(Y2O3)は、2350℃以下におい
て結晶型が立方晶であるため結晶粒界での散乱が少な
く、高密度に焼結した場合非常に高い透光性を示すこと
が知られている。
て結晶型が立方晶であるため結晶粒界での散乱が少な
く、高密度に焼結した場合非常に高い透光性を示すこと
が知られている。
【０００３】通常、イットリア焼結体の透光性は可視光
領域の波長0.3μm付近から急激に高くなり、赤外光領域
の波長2〜6μm付近で最高となる。従つて、イットリア
焼結体は光学窓のような透光性材料として有望視され、
従来から各種の方法によつて製造が試みられている。
領域の波長0.3μm付近から急激に高くなり、赤外光領域
の波長2〜6μm付近で最高となる。従つて、イットリア
焼結体は光学窓のような透光性材料として有望視され、
従来から各種の方法によつて製造が試みられている。
【０００４】例えば、特開昭54−17911号公報に記載さ
れるように焼結助剤として酸化ランタン(La2O3)を添加
して低O2雰囲気中で焼結する方法や、特開昭54−17910
号公報に記載されるように焼結助剤としてアルミナ(Al2
O3)を添加して低O2雰囲気中で焼結する方法がある。し
かし、これらの焼結助剤を用いる焼結方法においては、
緻密化が容易で機械的強度が向上するものの、添加され
る焼結助剤が8〜12モル％と非常に多いため、焼結体中
に残留した焼結助剤が部分的に第２相として出現し易い
欠点があつた。その結果、この組織的不均一性により光
が散乱されて透過率が低くなるほか、直径50mm以上のよ
うな大型材について光学的に均一な材料を得ることが困
難であつた。更に、La2O3等を添加すると熱伝導率が7W
／m・K程度に低下するので、耐熱衝撃性も低下する欠点
があつた。
れるように焼結助剤として酸化ランタン(La2O3)を添加
して低O2雰囲気中で焼結する方法や、特開昭54−17910
号公報に記載されるように焼結助剤としてアルミナ(Al2
O3)を添加して低O2雰囲気中で焼結する方法がある。し
かし、これらの焼結助剤を用いる焼結方法においては、
緻密化が容易で機械的強度が向上するものの、添加され
る焼結助剤が8〜12モル％と非常に多いため、焼結体中
に残留した焼結助剤が部分的に第２相として出現し易い
欠点があつた。その結果、この組織的不均一性により光
が散乱されて透過率が低くなるほか、直径50mm以上のよ
うな大型材について光学的に均一な材料を得ることが困
難であつた。更に、La2O3等を添加すると熱伝導率が7W
／m・K程度に低下するので、耐熱衝撃性も低下する欠点
があつた。
【０００５】又、米国特許第3,878,280号には、Y2O3粉
末を真空中でホットプレスする方法が開示されている。
しかし、この方法ではグラファイト型の強度上の制約か
らホットプレス時に500Kg／cm2以上の高圧をかけること
が難しく、そのため充分な緻密化が進行せず、透過率が
低いという欠点があつた。
末を真空中でホットプレスする方法が開示されている。
しかし、この方法ではグラファイト型の強度上の制約か
らホットプレス時に500Kg／cm2以上の高圧をかけること
が難しく、そのため充分な緻密化が進行せず、透過率が
低いという欠点があつた。
【０００６】更に又、特開昭63−201061号公報に示され
るように、Y2O3粉末を1700〜1900℃で無加圧焼結して閉
気孔とした後、圧力25000〜30000psi及び温度1700〜190
0℃でＨＩＰ処理する方法も知られている。しかし、こ
の方法では焼結温度及びＨＩＰ温度が共に1700℃以上と
高温のため、Y2O3焼結体の平均結晶粒径が150μm程度と
粗大になり、従って曲げ強度も110MPa程度に留まり、充
分な耐熱衝撃性が得られない欠点があつた。
るように、Y2O3粉末を1700〜1900℃で無加圧焼結して閉
気孔とした後、圧力25000〜30000psi及び温度1700〜190
0℃でＨＩＰ処理する方法も知られている。しかし、こ
の方法では焼結温度及びＨＩＰ温度が共に1700℃以上と
高温のため、Y2O3焼結体の平均結晶粒径が150μm程度と
粗大になり、従って曲げ強度も110MPa程度に留まり、充
分な耐熱衝撃性が得られない欠点があつた。
【０００７】従つて、これら従来の方法で製造された透
光性Y2O3焼結体は、試料厚さ2.5mmで波長2〜6μmの赤外
光領域における直線透過率が最高80％程度であり、又直
線透過率の高いものほど曲げ強度が低くなつていた。こ
のため、厚さ3mm以上で使用される赤外透過窓等の材料
として用いるためには、直線透過率と曲げ強度を同時に
向上させる必要があつた。
光性Y2O3焼結体は、試料厚さ2.5mmで波長2〜6μmの赤外
光領域における直線透過率が最高80％程度であり、又直
線透過率の高いものほど曲げ強度が低くなつていた。こ
のため、厚さ3mm以上で使用される赤外透過窓等の材料
として用いるためには、直線透過率と曲げ強度を同時に
向上させる必要があつた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる従来の
事情に鑑み、高密度で透光性に優れ、光学的に均一であ
り、特に機械的強度に優れた透光性イットリア焼結体、
及びその製造方法を提供することを目的とする。
事情に鑑み、高密度で透光性に優れ、光学的に均一であ
り、特に機械的強度に優れた透光性イットリア焼結体、
及びその製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の透光性イットリア焼結体においては、酸化
物に換算して0.1〜5.0重量％のランタノイド元素を含有
する多結晶イツトリア焼結体からなり、試料厚さ3mmで
の直線透過率が波長2〜6μmの赤外光領域で78％以上で
あり、平均結晶粒径が20μm以下であつて、４点曲げ強
度が 170MPa以上であることを特徴とする。
め、本発明の透光性イットリア焼結体においては、酸化
物に換算して0.1〜5.0重量％のランタノイド元素を含有
する多結晶イツトリア焼結体からなり、試料厚さ3mmで
の直線透過率が波長2〜6μmの赤外光領域で78％以上で
あり、平均結晶粒径が20μm以下であつて、４点曲げ強
度が 170MPa以上であることを特徴とする。
【００１０】又、本発明の透光性イットリア焼結体の製
造方法は、純度99.9％以上及び比表面積（BET値）2m2／
g以上のイットリア粉末に、焼結助剤としてランタノイ
ド酸化物の粉末或は加熱によりランタノイド酸化物とな
る無機塩又はアルコキシドを当該ランタノイド酸化物に
換算して0.1〜5.0重量％添加し、その混合粉末を1300〜
1700℃の温度及び100Kg／cm2以上の圧力で真空中又は不
活性ガス中にてホットプレスして理論密度比95％以上に
緻密化し、次に1400〜1900℃の温度及び500Kg／cm2以上
の圧力にてＨＩＰ処理することを特徴とする。
造方法は、純度99.9％以上及び比表面積（BET値）2m2／
g以上のイットリア粉末に、焼結助剤としてランタノイ
ド酸化物の粉末或は加熱によりランタノイド酸化物とな
る無機塩又はアルコキシドを当該ランタノイド酸化物に
換算して0.1〜5.0重量％添加し、その混合粉末を1300〜
1700℃の温度及び100Kg／cm2以上の圧力で真空中又は不
活性ガス中にてホットプレスして理論密度比95％以上に
緻密化し、次に1400〜1900℃の温度及び500Kg／cm2以上
の圧力にてＨＩＰ処理することを特徴とする。
【００１１】
【作用】本発明では、焼結助剤として上記ランタノイド
酸化物等を所定量添加し、真空中又は不活性ガス中での
ホットプレス及びその後のＨＩＰ（熱間等方圧プレス）
によつて、高密度で直線透過率が高く、光学的に均一で
あつて、特に機械的強度が高いY2O3焼結体を得ることが
出来る。
酸化物等を所定量添加し、真空中又は不活性ガス中での
ホットプレス及びその後のＨＩＰ（熱間等方圧プレス）
によつて、高密度で直線透過率が高く、光学的に均一で
あつて、特に機械的強度が高いY2O3焼結体を得ることが
出来る。
【００１２】原料であるY2O3粉末は、不純物吸収による
透光性の低下を防ぐために99.9％以上の純度のものを使
用し、特にFe等の遷移金属元素の含有は好ましくない。
又、Y2O3粉末は一次粒子の粒径が約0.6μm以下、即ち表
面積がBET値で2m2／g以上であることが必要である。BET
値が2m2／g未満の場合には、焼結体の平均結晶粒径が20
μmを越えて機械的強度が低下するうえ、ホットプレス
中に密度が上り難くＨＩＰによる緻密化が不充分となつ
て透過率が低下する。
透光性の低下を防ぐために99.9％以上の純度のものを使
用し、特にFe等の遷移金属元素の含有は好ましくない。
又、Y2O3粉末は一次粒子の粒径が約0.6μm以下、即ち表
面積がBET値で2m2／g以上であることが必要である。BET
値が2m2／g未満の場合には、焼結体の平均結晶粒径が20
μmを越えて機械的強度が低下するうえ、ホットプレス
中に密度が上り難くＨＩＰによる緻密化が不充分となつ
て透過率が低下する。
【００１３】焼結助剤として添加するランタノイド酸化
物においても、不純物吸収による透光性の低下を防ぐた
めに99.9％以上の純度のものが好ましく、又第２相の出
現による透光性の低下を防ぐために焼結助剤の分散性を
良くすることが肝要である。分散性を高めるためには、
分散剤としてBET値が2m2／g以上のランタノイド酸化物
の微粉末を用いるか、ランタノイド酸化物の粉末とマト
リックスとなるY2O3粉末を仮焼して予備焼結反応させた
粉末を使用するか、或は最も好ましい方法として水やア
ルコールに可溶で、非常に分散性が良く、加熱により容
易にランタノイド酸化物に変わる無機塩又はアルコキシ
ドを使用する。尚、ランタノイド元素としては、Yに対
し共有結合半径が同等以上であるLa、Ce、Pr、Nd、Sm、
Eu又はGdが好ましい。
物においても、不純物吸収による透光性の低下を防ぐた
めに99.9％以上の純度のものが好ましく、又第２相の出
現による透光性の低下を防ぐために焼結助剤の分散性を
良くすることが肝要である。分散性を高めるためには、
分散剤としてBET値が2m2／g以上のランタノイド酸化物
の微粉末を用いるか、ランタノイド酸化物の粉末とマト
リックスとなるY2O3粉末を仮焼して予備焼結反応させた
粉末を使用するか、或は最も好ましい方法として水やア
ルコールに可溶で、非常に分散性が良く、加熱により容
易にランタノイド酸化物に変わる無機塩又はアルコキシ
ドを使用する。尚、ランタノイド元素としては、Yに対
し共有結合半径が同等以上であるLa、Ce、Pr、Nd、Sm、
Eu又はGdが好ましい。
【００１４】焼結助剤の添加量は0.1〜5.0重量％が好ま
しい。添加量が0.1重量％未満では焼結体の緻密化が充
分進行せず、又5.0重量％を越えるとランタノイド酸化
物が第２相として結晶粒界に残留しやすくなり、光学的
に均一な焼結体を得ることが難くなり、強いては透過率
の低下を招くからである。
しい。添加量が0.1重量％未満では焼結体の緻密化が充
分進行せず、又5.0重量％を越えるとランタノイド酸化
物が第２相として結晶粒界に残留しやすくなり、光学的
に均一な焼結体を得ることが難くなり、強いては透過率
の低下を招くからである。
【００１５】上記のごとく焼結助剤を添加したY2O3粉末
は次にホットプレスされるが、その前に成形しても良
い。成形は圧力1.0ton／cm2以上でのＣＩＰ成形が好ま
しい。ＣＩＰ成形では通常の金型プレスのようにバイン
ダーを添加する必要がなく、透光性に悪影響を与えるカ
ーボン等が残留する恐れが少ないからである。
は次にホットプレスされるが、その前に成形しても良
い。成形は圧力1.0ton／cm2以上でのＣＩＰ成形が好ま
しい。ＣＩＰ成形では通常の金型プレスのようにバイン
ダーを添加する必要がなく、透光性に悪影響を与えるカ
ーボン等が残留する恐れが少ないからである。
【００１６】ホットプレス時において焼結温度を1300〜
1700℃とするのは、1300℃未満では理論密度比95％以上
の高密度な焼結体を得ることが難しく、逆に1700℃を超
えると真空中ではY2O3中の酸素イオンが表面から抜けて
組成比にずれを起し、光学的に均一な焼結体を得ること
が難しくなるからである。又、ホットプレスの圧力が10
0Kg／cm2未満ではやはり理論密度比95％以上の高密度な
焼結体を得ることが難しい。尚、ホットプレス圧力の上
限はプレス型の材料によつて決まり、通常のグラファイ
ト型では500Kg／cm2程度である。ホットプレスで得られ
る焼結体の理論密度比は95％以上とすることが必要で、
95％未満の場合には残留気孔の多くがいわゆる解放気孔
となり、後のＨＩＰ処理で高圧ガスがこの気孔を通つて
内部に侵入し、ＨＩＰ処理での高密度化が充分に進行し
ない結果となる。
1700℃とするのは、1300℃未満では理論密度比95％以上
の高密度な焼結体を得ることが難しく、逆に1700℃を超
えると真空中ではY2O3中の酸素イオンが表面から抜けて
組成比にずれを起し、光学的に均一な焼結体を得ること
が難しくなるからである。又、ホットプレスの圧力が10
0Kg／cm2未満ではやはり理論密度比95％以上の高密度な
焼結体を得ることが難しい。尚、ホットプレス圧力の上
限はプレス型の材料によつて決まり、通常のグラファイ
ト型では500Kg／cm2程度である。ホットプレスで得られ
る焼結体の理論密度比は95％以上とすることが必要で、
95％未満の場合には残留気孔の多くがいわゆる解放気孔
となり、後のＨＩＰ処理で高圧ガスがこの気孔を通つて
内部に侵入し、ＨＩＰ処理での高密度化が充分に進行し
ない結果となる。
【００１７】次のＨＩＰ処理において、温度を1400〜19
00℃（好ましくは1500〜1700℃）とするのは、1400℃未
満では気孔の除去作用が不充分となり満足すべき透光性
が得られず、1900℃を超えると粒成長が著しく粗大とな
るため、充分な機械的強度が得られないからである。
又、ＨＩＰ圧力が500Kg／cm2未満でも気孔の除去が不充
分となり満足すべき透光性が得られない。尚、圧力の上
限はＨＩＰ装置の能力的な制限から通常は2000Kg／cm2
程度である。ＨＩＰ処理で用いるガスは、Ar等の不活性
ガス、酸素ガス、若しくはこれらの混合ガスが好まし
く、特に酸素ガスを混合することによつて焼結体からの
脱酸素による透光性の低下を防止できる利点がある。
00℃（好ましくは1500〜1700℃）とするのは、1400℃未
満では気孔の除去作用が不充分となり満足すべき透光性
が得られず、1900℃を超えると粒成長が著しく粗大とな
るため、充分な機械的強度が得られないからである。
又、ＨＩＰ圧力が500Kg／cm2未満でも気孔の除去が不充
分となり満足すべき透光性が得られない。尚、圧力の上
限はＨＩＰ装置の能力的な制限から通常は2000Kg／cm2
程度である。ＨＩＰ処理で用いるガスは、Ar等の不活性
ガス、酸素ガス、若しくはこれらの混合ガスが好まし
く、特に酸素ガスを混合することによつて焼結体からの
脱酸素による透光性の低下を防止できる利点がある。
【００１８】上記のごとく本発明では、ホットプレス温
度が1300〜1700℃及びＨＩＰ温度が1400〜1900℃と従来
方法に比べて明らかに低温でのプロセスが可能となるの
で、結晶粒成長が抑制され高強度な焼結体が得られる。
又、ランタノイド酸化物を焼結助剤として用いることに
より、助剤無添加の場合に生じる局所的な異常粒成長が
抑制される結果、更に機械的強度の向上が得られた。即
ち、得られるY2O3焼結体は、平均結晶粒径が従来より微
細な20μm以下（通常2〜20μm）となるため、４点曲げ
強度も170MPa以上であり、平均結晶粒径2μmのもので約
210MPaと従来にない高強度を達成できる。
度が1300〜1700℃及びＨＩＰ温度が1400〜1900℃と従来
方法に比べて明らかに低温でのプロセスが可能となるの
で、結晶粒成長が抑制され高強度な焼結体が得られる。
又、ランタノイド酸化物を焼結助剤として用いることに
より、助剤無添加の場合に生じる局所的な異常粒成長が
抑制される結果、更に機械的強度の向上が得られた。即
ち、得られるY2O3焼結体は、平均結晶粒径が従来より微
細な20μm以下（通常2〜20μm）となるため、４点曲げ
強度も170MPa以上であり、平均結晶粒径2μmのもので約
210MPaと従来にない高強度を達成できる。
【００１９】加えて、焼結助剤を添加した場合における
耐熱衝撃性の低下の問題も、添加量が従来より遥かに少
ない0.1〜5.0重量％の範囲に抑えてあるので、耐熱性赤
外光学材料として使用する範囲においては何ら問題がな
い。
耐熱衝撃性の低下の問題も、添加量が従来より遥かに少
ない0.1〜5.0重量％の範囲に抑えてあるので、耐熱性赤
外光学材料として使用する範囲においては何ら問題がな
い。
【００２０】
【実施例１】純度99.9％、比表面積3.5m2／g（BET値）
の高純度Y2O3粉末にLa2O3粉末を0.5重量％添加し、エタ
ノール中でイットリアボールミルを用いてボールミル混
合した。得られた混合粉末を内径110mmのグラファイト
型を用いて5×10-4torrの真空中において温度1400℃及
び圧力300Kg／cm2で3時間ホットプレスして、理論密度
比98.0％の白色の焼結体を得た。次にこの焼結体をＨＩ
Ｐ装置に入れ、Arガスを用いて温度1600℃及び圧力2000
Kg／cm2で2時間のＨＩＰ処理を行なつた。得られたY2O3
焼結体は外観的に無色透明であつた。
の高純度Y2O3粉末にLa2O3粉末を0.5重量％添加し、エタ
ノール中でイットリアボールミルを用いてボールミル混
合した。得られた混合粉末を内径110mmのグラファイト
型を用いて5×10-4torrの真空中において温度1400℃及
び圧力300Kg／cm2で3時間ホットプレスして、理論密度
比98.0％の白色の焼結体を得た。次にこの焼結体をＨＩ
Ｐ装置に入れ、Arガスを用いて温度1600℃及び圧力2000
Kg／cm2で2時間のＨＩＰ処理を行なつた。得られたY2O3
焼結体は外観的に無色透明であつた。
【００２１】得られたY2O3焼結体を厚さ3mmに鏡面研磨
加工し、分光光度計で直線透過率を測定したところ、波
長2〜6μmの赤外光領域で82％以上の透光性を示した。
この焼結体の平均結晶粒径は5μmであり、JIS R1601に
基づき４点曲げ強度を測定したところ200MPaと優れた値
を示した。
加工し、分光光度計で直線透過率を測定したところ、波
長2〜6μmの赤外光領域で82％以上の透光性を示した。
この焼結体の平均結晶粒径は5μmであり、JIS R1601に
基づき４点曲げ強度を測定したところ200MPaと優れた値
を示した。
【００２２】
【実施例２】実施例１と同じ高純度Y2O3粉末に、硝酸ラ
ンタンLa(NO3)3をLa2O3に換算して0.5重量％添加し、エ
タノール中で超音波混合した後、得られた粉末を大気中
にて600℃で仮焼した。その後、この粉末を実施例１と
同様にホットプレス並びにＨＩＰ処理し、外観的に無色
透明なY2O3焼結体を得た。
ンタンLa(NO3)3をLa2O3に換算して0.5重量％添加し、エ
タノール中で超音波混合した後、得られた粉末を大気中
にて600℃で仮焼した。その後、この粉末を実施例１と
同様にホットプレス並びにＨＩＰ処理し、外観的に無色
透明なY2O3焼結体を得た。
【００２３】得られたY2O3焼結体を厚さ3mmに鏡面研磨
加工し、分光光度計で測定した直線透過率は波長2〜6μ
mの赤外光領域で82％以上であつた。この焼結体の平均
結晶粒径は2μmで、JIS R1601に基く４点曲げ強度は210
MPaであつた。
加工し、分光光度計で測定した直線透過率は波長2〜6μ
mの赤外光領域で82％以上であつた。この焼結体の平均
結晶粒径は2μmで、JIS R1601に基く４点曲げ強度は210
MPaであつた。
【００２４】
【実施例３】下記表１に示す焼結助剤を用い、ＨＩＰ処
理の温度と時間を変化させた以外は実施例１と同様にし
てY2O3焼結体を製造した。得られた各Y2O3焼結体につい
て実施例１と同様に測定した直線透過率及び４点曲げ強
度を表１に併せて示した。
理の温度と時間を変化させた以外は実施例１と同様にし
てY2O3焼結体を製造した。得られた各Y2O3焼結体につい
て実施例１と同様に測定した直線透過率及び４点曲げ強
度を表１に併せて示した。
【００２５】
【表１】
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、高密度であり赤外光領
域において非常に優れた直線透過率を有し、光学的に均
一で、且つ結晶粒成長を最小限に抑えることが出来るの
で特に機械的強度に優れた透光性イットリア焼結体を提
供出来る。この透光性イットリア焼結体は耐久性光学窓
材として、特に悪条件下で使用される厚さ3mm以上の赤
外透過窓材として有用である。
域において非常に優れた直線透過率を有し、光学的に均
一で、且つ結晶粒成長を最小限に抑えることが出来るの
で特に機械的強度に優れた透光性イットリア焼結体を提
供出来る。この透光性イットリア焼結体は耐久性光学窓
材として、特に悪条件下で使用される厚さ3mm以上の赤
外透過窓材として有用である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C04B 35/50 ＣＡ（ＳＴＮ) ＲＥＧＩＳＴＲＹ（ＳＴＮ)
Claims (3)
- 【請求項１】 酸化物に換算して0.1〜5.0重量％のラン
タノイド元素を含有する多結晶イットリア焼結体からな
り、試料厚さ3mmでの直線透過率が波長2〜6μmの赤外光
領域で78％以上であり、平均結晶粒径が20μm以下であ
つて、４点曲げ強度が170MPa以上であることを特徴とす
る透光性イットリア焼結体。 - 【請求項２】 純度99.9％以上及び比表面積（BET値）2
m2／g以上のイットリア粉末に、焼結助剤としてランタ
ノイド酸化物の粉末或は加熱によりランタノイド酸化物
となる無機塩又はアルコキシドを当該ランタノイド酸化
物に換算して0.1〜5.0重量％添加し、その混合粉末を13
00〜1700℃の温度及び100Kg／cm2以上の圧力で真空中又
は不活性ガス中にてホットプレスして理論密度比95％以
上に緻密化し、次に1400〜1900℃の温度及び500Kg／cm2
以上の圧力にてＨＩＰ処理することを特徴とする透光性
イットリア焼結体の製造方法。 - 【請求項３】 上記ＨＩＰ処理は不活性ガス又は酸素ガ
ス、若しくはこれらの混合ガスを用いることを特徴とす
る、請求項１記載の透光性イットリア焼結体の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2416262A JP3000685B2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 透光性イットリア焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2416262A JP3000685B2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 透光性イットリア焼結体及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04238864A JPH04238864A (ja) | 1992-08-26 |
| JP3000685B2 true JP3000685B2 (ja) | 2000-01-17 |
Family
ID=18524493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2416262A Expired - Fee Related JP3000685B2 (ja) | 1990-12-28 | 1990-12-28 | 透光性イットリア焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3000685B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4548887B2 (ja) * | 1999-12-27 | 2010-09-22 | 京セラ株式会社 | 耐食性セラミック部材およびその製造方法 |
| WO2003004437A1 (en) * | 2001-07-05 | 2003-01-16 | Konoshima Chemical Co., Ltd. | Translucent rare earth oxide sintered article and method for production thereof |
| WO2007010831A1 (ja) | 2005-07-15 | 2007-01-25 | Toto Ltd. | イットリア焼結体ならびに耐食性部材、その製造方法 |
| EP2123615A4 (en) | 2007-01-17 | 2012-05-09 | Toto Ltd | CERAMIC ELEMENT AND CORROSION-RESISTANT ELEMENT |
| JP5117892B2 (ja) * | 2008-03-13 | 2013-01-16 | 日本碍子株式会社 | 酸化イットリウム材料及び半導体製造装置用部材 |
| JP5466831B2 (ja) * | 2008-04-28 | 2014-04-09 | 株式会社フェローテックセラミックス | イットリア焼結体およびプラズマプロセス装置用部材 |
| JP5190809B2 (ja) * | 2008-08-28 | 2013-04-24 | Ｔｏｔｏ株式会社 | 耐蝕性部材およびその製造方法 |
| JP5983525B2 (ja) * | 2013-05-08 | 2016-08-31 | 信越化学工業株式会社 | 透光性金属酸化物焼結体の製造方法 |
| US20180237309A1 (en) * | 2015-08-25 | 2018-08-23 | Korea Institute Of Machinery & Materials | Method for preparing transparent yttria through hot-press sintering |
-
1990
- 1990-12-28 JP JP2416262A patent/JP3000685B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04238864A (ja) | 1992-08-26 |
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