JP3285620B2 - 透光性イットリウム−アルミニウム−ガーネット焼結体の製造方法 - Google Patents
透光性イットリウム−アルミニウム−ガーネット焼結体の製造方法Info
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- JP3285620B2 JP3285620B2 JP25769592A JP25769592A JP3285620B2 JP 3285620 B2 JP3285620 B2 JP 3285620B2 JP 25769592 A JP25769592 A JP 25769592A JP 25769592 A JP25769592 A JP 25769592A JP 3285620 B2 JP3285620 B2 JP 3285620B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、透光性に優れた透光性
イットリウム−アルミニウム−ガーネット（以下、ＹＡ
Ｇという）焼結体の製造方法に関するもので、特に、可
視光領域の直線透過率が７０％を達成することができる
透光性ＹＡＧ焼結体の製造方法に関するものである。
イットリウム−アルミニウム−ガーネット（以下、ＹＡ
Ｇという）焼結体の製造方法に関するもので、特に、可
視光領域の直線透過率が７０％を達成することができる
透光性ＹＡＧ焼結体の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来技術】従来、ＹＡＧ（Ｙ3 Ａｌ5 Ｏ12) は結晶型
が立方晶であるため、粒界散乱が起こりにくく透明体と
して良好であるため、各種の製法により透光性焼結体を
得る試みがなされている。
が立方晶であるため、粒界散乱が起こりにくく透明体と
して良好であるため、各種の製法により透光性焼結体を
得る試みがなされている。
【０００３】このようなＹＡＧは、単結晶により作成す
る方法、Ａｌ2 Ｏ3 粉末とＹ2 Ｏ3粉末をＨＩＰ処理や
ホットプレス焼成する方法、イットリウムイオンとアル
ミニウムイオンの尿素沈澱法等により製造されている
（例えば、特公昭５４−８３６９号公報）。
る方法、Ａｌ2 Ｏ3 粉末とＹ2 Ｏ3粉末をＨＩＰ処理や
ホットプレス焼成する方法、イットリウムイオンとアル
ミニウムイオンの尿素沈澱法等により製造されている
（例えば、特公昭５４−８３６９号公報）。
【０００４】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、単結
晶合成では高価であり、任意の形状に製作することが困
難であるという問題があった。また、ＨＩＰ処理による
場合には装置が大きくなり、生産性が良くないという問
題があった。さらに、ホットプレスにより製造する場合
には、成形型に用いるカーボンから焼結体に炭素が入
り、透明度が下がるという欠点があった。
晶合成では高価であり、任意の形状に製作することが困
難であるという問題があった。また、ＨＩＰ処理による
場合には装置が大きくなり、生産性が良くないという問
題があった。さらに、ホットプレスにより製造する場合
には、成形型に用いるカーボンから焼結体に炭素が入
り、透明度が下がるという欠点があった。
【０００５】また、尿素沈澱法では、アンモニア蒸気の
処理が必要であり、環境に悪影響を与える虞があった。
処理が必要であり、環境に悪影響を与える虞があった。
【０００６】
【問題点を解決するための手段】本発明者等は、このよ
うな問題点に対して充分に検討を行った結果、Ａｌ2 Ｏ
3 粉末とＹ2 Ｏ3 粉末を混合した後、仮焼し、粉砕した
ものを原料粉末として使用することで、従来のようなＨ
ＩＰ処理、ホットプレス、尿素沈澱法を用いなくても良
好な透光性焼結体を得ることができることを見出し、本
発明に至った。
うな問題点に対して充分に検討を行った結果、Ａｌ2 Ｏ
3 粉末とＹ2 Ｏ3 粉末を混合した後、仮焼し、粉砕した
ものを原料粉末として使用することで、従来のようなＨ
ＩＰ処理、ホットプレス、尿素沈澱法を用いなくても良
好な透光性焼結体を得ることができることを見出し、本
発明に至った。
【０００７】即ち、本発明の透光性ＹＡＧ焼結体の製造
方法は、純度がそれぞれ９９．９％以上のＡｌ2 Ｏ3 粉
末とＹ2 Ｏ3 粉末を混合した後、１０００〜１６００℃
で仮焼し、これを粉砕して原料粉末とし、この原料粉末
を所定形状に成形した後、還元性雰囲気中において、１
６００〜１９００℃の温度で焼成する方法である。
方法は、純度がそれぞれ９９．９％以上のＡｌ2 Ｏ3 粉
末とＹ2 Ｏ3 粉末を混合した後、１０００〜１６００℃
で仮焼し、これを粉砕して原料粉末とし、この原料粉末
を所定形状に成形した後、還元性雰囲気中において、１
６００〜１９００℃の温度で焼成する方法である。
【０００８】ここで、純度がそれぞれ９９．９％以上の
Ａｌ2 Ｏ3 粉末とＹ2 Ｏ3 粉末を使用するのは、純度が
９９．９％よりも低いと焼結体中に不純物が存在し、そ
の透光性が低下するからである。
Ａｌ2 Ｏ3 粉末とＹ2 Ｏ3 粉末を使用するのは、純度が
９９．９％よりも低いと焼結体中に不純物が存在し、そ
の透光性が低下するからである。
【０００９】また、Ａｌ2 Ｏ3 粉末とＹ2 Ｏ3 粉末の混
合粉体を１０００〜１６００℃で仮焼するのは、この仮
焼によりある程度（１０〜５０％程度）のＹＡＧ化を生
じさせ、ＹＡＧの異常粒成長を抑制し、活性化を保持す
るためである。よって、仮焼温度が１０００℃よりも低
いとＹＡＧ化が生じ難く、１６００℃よりも高いと活性
化が低下し、緻密な焼結体を作成することができず、或
いは、粉砕に長時間を要するようになるからである。そ
して、仮焼により、Ａｌ2 Ｏ3 粉末とＹ2 Ｏ３粉末の混
合粉末からＹＡＭへ、ＹＡＭからＹＡＧへ結晶が変化す
るが、仮焼することにより、ＹＡＭからＹＡＧへ変化す
る際の体積膨張を生じさせ、成形後の焼成では体積膨張
を生じさせずに焼結させ、これにより、焼結体中のボイ
ドや欠陥の発生を抑制し、均一な焼結体を作成するため
である。
合粉体を１０００〜１６００℃で仮焼するのは、この仮
焼によりある程度（１０〜５０％程度）のＹＡＧ化を生
じさせ、ＹＡＧの異常粒成長を抑制し、活性化を保持す
るためである。よって、仮焼温度が１０００℃よりも低
いとＹＡＧ化が生じ難く、１６００℃よりも高いと活性
化が低下し、緻密な焼結体を作成することができず、或
いは、粉砕に長時間を要するようになるからである。そ
して、仮焼により、Ａｌ2 Ｏ3 粉末とＹ2 Ｏ３粉末の混
合粉末からＹＡＭへ、ＹＡＭからＹＡＧへ結晶が変化す
るが、仮焼することにより、ＹＡＭからＹＡＧへ変化す
る際の体積膨張を生じさせ、成形後の焼成では体積膨張
を生じさせずに焼結させ、これにより、焼結体中のボイ
ドや欠陥の発生を抑制し、均一な焼結体を作成するため
である。
【００１０】また、１６００〜１９００℃の温度で焼成
するのは、１６００℃よりも低い温度で焼成すると、焼
結が不十分であり緻密化せず透光性が低下するからであ
り、１９００℃よりも高い温度で焼成すると、異常粒成
長が生じ、気孔を粒内に取り込んでしまい透光性が低下
するからである、また、ＹＡＧの蒸発が生じ均質な焼結
体を作成することができなくなるからである。
するのは、１６００℃よりも低い温度で焼成すると、焼
結が不十分であり緻密化せず透光性が低下するからであ
り、１９００℃よりも高い温度で焼成すると、異常粒成
長が生じ、気孔を粒内に取り込んでしまい透光性が低下
するからである、また、ＹＡＧの蒸発が生じ均質な焼結
体を作成することができなくなるからである。
【００１１】さらに、還元性雰囲気中で焼成するのは、
大気中に比べＨ２ やＮ2 は拡散が速いため、焼結体の
緻密化を容易に達成することができるからである。真空
焼成も同様な理由で良好である。
大気中に比べＨ２ やＮ2 は拡散が速いため、焼結体の
緻密化を容易に達成することができるからである。真空
焼成も同様な理由で良好である。
【００１２】本発明のＹＡＧ焼結体は、例えば、それぞ
れ純度が９９．９％以上、ＢＥＴ比表面積５ｍ2 ／ｇ以
上のＡｌ2 Ｏ3 粉末とＹ2 Ｏ3 粉末を、Ａｌ2 Ｏ3 ：Ｙ
2 Ｏ3 が０．４３：０．５７となるように調製し、混合
した後、１０００〜１６００℃で０．５時間以上、好ま
しくは２時間程度仮焼する。仮焼は、完全にＹＡＧ化す
る前の段階、即ち、ＹＡＭやＹＡＧが混在した状態まで
反応させる。Ａｌ2 Ｏ3 粉末，Ｙ2 Ｏ3 粉末の粒径は、
ＹＡＧの異常粒成長を防止するためそれぞれ２μｍ以下
であることが好ましい。
れ純度が９９．９％以上、ＢＥＴ比表面積５ｍ2 ／ｇ以
上のＡｌ2 Ｏ3 粉末とＹ2 Ｏ3 粉末を、Ａｌ2 Ｏ3 ：Ｙ
2 Ｏ3 が０．４３：０．５７となるように調製し、混合
した後、１０００〜１６００℃で０．５時間以上、好ま
しくは２時間程度仮焼する。仮焼は、完全にＹＡＧ化す
る前の段階、即ち、ＹＡＭやＹＡＧが混在した状態まで
反応させる。Ａｌ2 Ｏ3 粉末，Ｙ2 Ｏ3 粉末の粒径は、
ＹＡＧの異常粒成長を防止するためそれぞれ２μｍ以下
であることが好ましい。
【００１３】そして、これを粉砕して原料粉末とし、こ
の原料粉末に所定の溶媒を添加し、これをポットミル，
回転ミル等で混合粉砕する。仮焼粉末の粒子は２μｍ以
下、好ましくは１μｍ以下であることが望ましい。この
後、これを乾燥した後、８０メッシュパスで整粒する。
これを所望の成形手段、例えば、金型プレス，冷間静水
圧プレス，押出し成形等により任意の形状に成形する。
例えば、金型プレスによる場合には、２．５ｔｏｎ／ｃ
ｍ3 以上で行い、生成形体の密度をできるだけ上げる。
成形体の生密度は、焼結体中のボイドを最小限に抑制す
るため２．１ｇ／ｃｍ3 以上となることが好ましい。
の原料粉末に所定の溶媒を添加し、これをポットミル，
回転ミル等で混合粉砕する。仮焼粉末の粒子は２μｍ以
下、好ましくは１μｍ以下であることが望ましい。この
後、これを乾燥した後、８０メッシュパスで整粒する。
これを所望の成形手段、例えば、金型プレス，冷間静水
圧プレス，押出し成形等により任意の形状に成形する。
例えば、金型プレスによる場合には、２．５ｔｏｎ／ｃ
ｍ3 以上で行い、生成形体の密度をできるだけ上げる。
成形体の生密度は、焼結体中のボイドを最小限に抑制す
るため２．１ｇ／ｃｍ3 以上となることが好ましい。
【００１４】そして、焼成を真空度が１×１０-2torr以
上である真空雰囲気において、１６００〜１９００℃で
２〜１０時間行う。真空度は１×１０-3torr以上が好ま
しい。昇温速度は、ある一定温度、例えば１６５０℃ま
では１時間当たり５０〜３００℃が好ましく、特に１時
間当たり２００〜３００℃が好ましい。この後、粒径を
均一化するため２〜２０時間保持する。そして、最高温
度までは１時間当たり１００℃以下、好ましくは１時間
当たり２０℃で昇温し、最高温度で２〜２０時間保持す
る。このようにしてＹＡＧ焼結体を得る。
上である真空雰囲気において、１６００〜１９００℃で
２〜１０時間行う。真空度は１×１０-3torr以上が好ま
しい。昇温速度は、ある一定温度、例えば１６５０℃ま
では１時間当たり５０〜３００℃が好ましく、特に１時
間当たり２００〜３００℃が好ましい。この後、粒径を
均一化するため２〜２０時間保持する。そして、最高温
度までは１時間当たり１００℃以下、好ましくは１時間
当たり２０℃で昇温し、最高温度で２〜２０時間保持す
る。このようにしてＹＡＧ焼結体を得る。
【００１５】尚、真空雰囲気で焼成する代わりに、水素
雰囲気或いは窒素雰囲気等の還元性雰囲気で焼成しても
良い。
雰囲気或いは窒素雰囲気等の還元性雰囲気で焼成しても
良い。
【００１６】
【作用】Ａｌ2 Ｏ3 粉末とＹ2 Ｏ3 粉末の混合粉末をそ
のまま１６００℃以上の温度で焼成すると、混合粉末か
らＹＡＭが生成し、ＹＡＭからＹＡＧへ結晶が変化し、
ＹＡＭからＹＡＧへ変化する際に体積膨張が生じ、これ
により焼結体中にボイドや欠陥を生じ、均一な焼結体を
作成することが困難となるが、本発明の透光性ＹＡＧ焼
結体の製造方法では、Ａｌ2 Ｏ3 粉末とＹ2 Ｏ3 粉末の
混合粉末を１０００〜１６００℃で仮焼し、この後１６
００〜１９００℃で焼成したので、１０００〜１６００
℃の仮焼によりＹＡＭからＹＡＧへ変化する際の体積膨
張を生じさせることができるため、成形後の焼成では体
積膨張が生じることがなく、これにより、焼結体中のボ
イドや欠陥の発生を抑制し、均一な焼結体を作成するこ
とが可能となる。これにより、可視光領域の直線透過率
を７０％以上とすることができる。
のまま１６００℃以上の温度で焼成すると、混合粉末か
らＹＡＭが生成し、ＹＡＭからＹＡＧへ結晶が変化し、
ＹＡＭからＹＡＧへ変化する際に体積膨張が生じ、これ
により焼結体中にボイドや欠陥を生じ、均一な焼結体を
作成することが困難となるが、本発明の透光性ＹＡＧ焼
結体の製造方法では、Ａｌ2 Ｏ3 粉末とＹ2 Ｏ3 粉末の
混合粉末を１０００〜１６００℃で仮焼し、この後１６
００〜１９００℃で焼成したので、１０００〜１６００
℃の仮焼によりＹＡＭからＹＡＧへ変化する際の体積膨
張を生じさせることができるため、成形後の焼成では体
積膨張が生じることがなく、これにより、焼結体中のボ
イドや欠陥の発生を抑制し、均一な焼結体を作成するこ
とが可能となる。これにより、可視光領域の直線透過率
を７０％以上とすることができる。
【００１７】また、本発明によれば、従来のように、単
結晶合成，ＨＩＰ処理，ホットプレス，イットリウムイ
オンとアルミニウムイオンの尿素沈澱法等を用いず、一
般的な常圧焼成により製造するため、安価にかつ容易に
透光性ＹＡＧ焼結体を得ることができる。さらに、多結
晶ＹＡＧ焼結体を使用して透明体を製造するため、低価
格となり、強度が安定し、任意の形状を容易に製造で
き、研磨等の加工を容易に行うことができる。
結晶合成，ＨＩＰ処理，ホットプレス，イットリウムイ
オンとアルミニウムイオンの尿素沈澱法等を用いず、一
般的な常圧焼成により製造するため、安価にかつ容易に
透光性ＹＡＧ焼結体を得ることができる。さらに、多結
晶ＹＡＧ焼結体を使用して透明体を製造するため、低価
格となり、強度が安定し、任意の形状を容易に製造で
き、研磨等の加工を容易に行うことができる。
【００１８】
【実施例】先ず、出発原料として、それぞれ純度が９
９．９％、ＢＥＴ比表面積５ｍ2 ／ｇ、平均結晶粒径が
０．７μｍであるＡｌ2 Ｏ3 粉末１２９ｇとＹ2 Ｏ3 粉
末１７１ｇを容易し、これと、高純度アルミナボール６
００ｇとバインダーとしてのイソプロピルアルコール
（ＩＰＡ）３００ｇをポリポットに投入し、回転ミルで
２４時間混合粉砕した。混合したものを３２５メッシュ
に通し乾燥させた後、８０メッシュを通し、均一な粉末
を得た。
９．９％、ＢＥＴ比表面積５ｍ2 ／ｇ、平均結晶粒径が
０．７μｍであるＡｌ2 Ｏ3 粉末１２９ｇとＹ2 Ｏ3 粉
末１７１ｇを容易し、これと、高純度アルミナボール６
００ｇとバインダーとしてのイソプロピルアルコール
（ＩＰＡ）３００ｇをポリポットに投入し、回転ミルで
２４時間混合粉砕した。混合したものを３２５メッシュ
に通し乾燥させた後、８０メッシュを通し、均一な粉末
を得た。
【００１９】この粉末を表１に示す温度で電気炉により
表１に示す温度で仮焼した後、再度、高純度アルミナボ
ール６００ｇと溶媒としてのイソプロピルアルコール
（ＩＰＡ）３００ｇをポリポットに投入し、回転ミルで
２４時間混合粉砕した。粉砕した粉末を３２５メッシュ
に通し乾燥させた後、８０メッシュを通し、均一な粉末
を得た。この粉末を金型プレスおよび冷間静水圧プレス
を用い２．５ｇ／ｃｍ3以上の生密度の成形体を作成し
た。この成形体を表１に示す焼成温度、焼成時間、昇温
速度、焼成雰囲気で１６００〜１９００℃の温度で２〜
２０時間焼成した。得られた焼結体をＸ線回折装置によ
り測定したところ、ＹＡＧの生成を確認した。
表１に示す温度で仮焼した後、再度、高純度アルミナボ
ール６００ｇと溶媒としてのイソプロピルアルコール
（ＩＰＡ）３００ｇをポリポットに投入し、回転ミルで
２４時間混合粉砕した。粉砕した粉末を３２５メッシュ
に通し乾燥させた後、８０メッシュを通し、均一な粉末
を得た。この粉末を金型プレスおよび冷間静水圧プレス
を用い２．５ｇ／ｃｍ3以上の生密度の成形体を作成し
た。この成形体を表１に示す焼成温度、焼成時間、昇温
速度、焼成雰囲気で１６００〜１９００℃の温度で２〜
２０時間焼成した。得られた焼結体をＸ線回折装置によ
り測定したところ、ＹＡＧの生成を確認した。
【００２０】そして、得られた焼結体を厚さ１ｍｍに研
磨した後、１μｍのダイヤモンドペーストで鏡面仕上げ
を行った。この焼結体の波長６００ｎｍの可視光の直線
透過率を、赤外分光計により測定した。尚、可視光領域
とは、波長が３００〜８００ｎｍである。この実験結果
を表１に示す。
磨した後、１μｍのダイヤモンドペーストで鏡面仕上げ
を行った。この焼結体の波長６００ｎｍの可視光の直線
透過率を、赤外分光計により測定した。尚、可視光領域
とは、波長が３００〜８００ｎｍである。この実験結果
を表１に示す。
【００２１】
【表１】
【００２２】この実験結果より、本発明のＹＡＧ焼結体
は可視光領域の直線透過率が７０％以上と優れた透光性
を有することが判る。尚、試料Ｎo.１，１５は仮焼する
ことなく、Ａｌ2 Ｏ3 粉末とＹ2 Ｏ3 粉末を焼成した例
である。また、表１中の昇温速度は、試料Ｎo.４を除
き、１６５０℃までの昇温速度である。また、本発明者
等は仮焼を１６５０℃で行う実験を行ったが、この場合
には仮焼後回転ミルで粉砕できなかった。さらに、焼成
を１９５０℃で行う実験を行ったが、試料は溶解して冷
却中に割れを生じた。
は可視光領域の直線透過率が７０％以上と優れた透光性
を有することが判る。尚、試料Ｎo.１，１５は仮焼する
ことなく、Ａｌ2 Ｏ3 粉末とＹ2 Ｏ3 粉末を焼成した例
である。また、表１中の昇温速度は、試料Ｎo.４を除
き、１６５０℃までの昇温速度である。また、本発明者
等は仮焼を１６５０℃で行う実験を行ったが、この場合
には仮焼後回転ミルで粉砕できなかった。さらに、焼成
を１９５０℃で行う実験を行ったが、試料は溶解して冷
却中に割れを生じた。
【００２３】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の透光性ＹＡ
Ｇ焼結体の製造方法では、Ａｌ2 Ｏ3粉末とＹ2 Ｏ3 粉
末を混合した後１０００〜１６００℃で仮焼し、この後
還元性雰囲気中において１６００〜１９００℃の温度で
焼成したので、１０００〜１６００℃の仮焼によりＹＡ
ＭからＹＡＧへ変化する際の体積膨張を生じさせること
ができ、成形後の焼成では体積膨張が生じることがな
く、これにより、焼結体中のボイドや欠陥の発生を抑制
し、均一な焼結体を作成することができる。これによ
り、可視光領域の直線透過率を７０％以上とすることが
でき、時計用窓材，ランプ管，装飾品等に最適な材料を
提供することができる。
Ｇ焼結体の製造方法では、Ａｌ2 Ｏ3粉末とＹ2 Ｏ3 粉
末を混合した後１０００〜１６００℃で仮焼し、この後
還元性雰囲気中において１６００〜１９００℃の温度で
焼成したので、１０００〜１６００℃の仮焼によりＹＡ
ＭからＹＡＧへ変化する際の体積膨張を生じさせること
ができ、成形後の焼成では体積膨張が生じることがな
く、これにより、焼結体中のボイドや欠陥の発生を抑制
し、均一な焼結体を作成することができる。これによ
り、可視光領域の直線透過率を７０％以上とすることが
でき、時計用窓材，ランプ管，装飾品等に最適な材料を
提供することができる。
Claims (1)
- 【請求項１】純度がそれぞれ９９．９％以上のＡｌ2Ｏ3
粉末とＹ2Ｏ3粉末を混合した後、１０００〜１６００℃
で仮焼して１０〜５０％のＹＡＧ化を生じさせ、これを
粉砕して原料粉末とし、この原料粉末を所定形状に成形
した後、真空雰囲気または還元性雰囲気中において、１
時間当たり２００〜３００℃で昇温し、一定温度で２〜
２０時間保持した後、１時間当たり１００℃以下で１６
００〜１９００℃の最高温度まで昇温し、最高温度で２
〜２０時間保持して焼成することを特徴とする透光性イ
ットリウム−アルミニウム−ガーネット焼結体の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25769592A JP3285620B2 (ja) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | 透光性イットリウム−アルミニウム−ガーネット焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25769592A JP3285620B2 (ja) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | 透光性イットリウム−アルミニウム−ガーネット焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06107456A JPH06107456A (ja) | 1994-04-19 |
| JP3285620B2 true JP3285620B2 (ja) | 2002-05-27 |
Family
ID=17309833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25769592A Expired - Fee Related JP3285620B2 (ja) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | 透光性イットリウム−アルミニウム−ガーネット焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3285620B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH688297B5 (fr) * | 1994-12-16 | 1998-01-30 | Rado Montres Sa | Elément de fermeture transparent et inrayable d'une boîte de montre et boîte de montre munie d'un tel élément. |
| JP2001322867A (ja) | 2000-05-09 | 2001-11-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 透光性焼結体と、これを用いた発光管及び放電灯 |
| JP4605729B2 (ja) * | 2001-01-19 | 2011-01-05 | 信越石英株式会社 | 透光性セラミックス体及びその製造方法 |
| JP4683783B2 (ja) * | 2001-08-02 | 2011-05-18 | コバレントマテリアル株式会社 | 半導体製造装置用耐プラズマ部材の製造方法 |
| US7371704B2 (en) | 2002-12-25 | 2008-05-13 | Ngk Insulators, Ltd. | Sintered bodies of yttrium-aluminum garnet, a method of producing the same and sintering aid therefor |
| KR20070085869A (ko) | 2004-12-09 | 2007-08-27 | 칼 짜이스 에스엠테 아게 | 마이크로리소그래피 투사 노광 장치용 투과 광학 요소 및대물체 |
| EP2280295A1 (de) * | 2005-03-08 | 2011-02-02 | Schott Ag | Verfahren zur Herstellung von optischen Elementen für die Mikrolithographie, damit erhältliche Linsensysteme und deren Verwendung |
| JP2006282447A (ja) | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | 透光性材料およびその製造方法 |
| US7591557B2 (en) * | 2005-05-10 | 2009-09-22 | Wtp Optics, Inc. | Solid state method and apparatus for making lenses and lens components |
| JP2007112951A (ja) * | 2005-10-24 | 2007-05-10 | Fujifilm Corp | 無機化合物及びこれを含む組成物と成形体、発光装置、固体レーザ装置 |
| CN101489951A (zh) | 2006-06-21 | 2009-07-22 | 株式会社村田制作所 | 透光性陶瓷及光学部件以及光学装置 |
| JP2010514173A (ja) | 2006-12-21 | 2010-04-30 | カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー | 透過性光学素子 |
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