JPH06211573A - 透明なy2o3焼結体の製造方法 - Google Patents

透明なy2o3焼結体の製造方法

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JPH06211573A
JPH06211573A JP50A JP614493A JPH06211573A JP H06211573 A JPH06211573 A JP H06211573A JP 50 A JP50 A JP 50A JP 614493 A JP614493 A JP 614493A JP H06211573 A JPH06211573 A JP H06211573A
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JP
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sintered body
powder
sintered
pressure
transparent
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Akio Ikesue
明生 池末
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Kurosaki Refractories Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 放射性元素を含まず、かつ各種光学部品に適
合する良質な光学的特性を有する透明な多結晶Y2 3
焼結体を製造する手段を得る。 【構成】 純度が99.8重量%以上で、その一次粒子
の平均径が0.01〜1μmの範囲にあり、かつ500
kg/cm2 の圧力で静水圧成形しこれを1600℃で
3時間常圧焼結した際の焼結体の理論密度が94%以上
となるY2 3 粉末を、混練乾燥後、所定形状に成形
し、これを1800〜2300℃の温度範囲で3時間以
上、酸素、水素または10-4Torr以上の真空下で焼
結する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ナトリウムランプを始
めとする発光管、可視から赤外線領域でのオプティカル
ウインド、Ce,Euなどの発光元素を添加することに
よる多結晶シンチレータ、Nd,Eu,Ho,Er,T
mなどの発光元素を添加した多結晶固体レーザーなどに
利用される透明なY2 3 焼結体の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】Y2 3 焼結体はその結晶構造が立方晶
であり光学的異方性が無いため、理論的には高い直線透
過性を有する焼結体が得られ、上記したような各種用途
への利用が期待されている。
【0003】しかしながらY2 3 焼結体の材料となる
2 3 粉末は、その融点が極めて高く難焼結性物質で
あることから、良質の光学的特性を有する焼結体が得ら
れにくい。このため例えば、Am.Ceram.So
c.Bull.52(1973)473に開示されたよ
うに、焼結助剤としてY2 3 粉末中に放射性元素であ
るThO2 を10%程度添加し、更に水素気流中約23
00℃で100時間以上焼結することによって透明な焼
結体を得る製造方法が提案されている。この製造方法
は、基本的に放射性元素を含んでいることから民生用材
料としては不適なものである。
【0004】また、その他に、特開昭54−17910
号公報等に記載されたように、LiF,BeO及びAl
2 3 などを添加して焼結したものもみられるが、不純
物の弊害でY2 3 の純粋な特性を持つものは存在して
いない。
【0005】一方、単結晶育成技術においてもベルヌイ
法で本単結晶の育成が試みられているが、約2300℃
を境として六方晶から立方晶への相転移を生じるため
(容積変化が大きいため)良質の単結晶が育成できない
ばかりでなく、その大きさはせいぜい10mm以下の極
小さなものに限定される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決すべき課
題は、焼結性が良好なY2 3 粉末を出発原料とするこ
とによって、放射性元素やその他の不純物を添加せず、
かつ各種光学部品に適合する良質な光学的特性を有する
透明な多結晶Y2 3 焼結体を製造する手段を得ること
にある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、純度が99.8重量%以上で、その一次粒
子の平均径が0.01〜1μmの範囲にあり、かつ50
0kg/cm2 の圧力で静水圧成形し、これを1600
℃で3時間常圧焼結した際の焼結体の理論密度が94%
(4.73g/cm3 )以上となるY2 3 粉末を、混
練乾燥後、所定形状に成形し、これを1800〜230
0℃の温度範囲で3時間以上、酸素、水素または10-4
Torr以下の真空下で焼結することを特徴とする。
【0008】本発明で成形圧力を500kg/cm2
限定したのは、Y2 3 粉末の焼結性を調べる為であ
る。この圧力条件で成型したものが焼結された時に密度
94%以上であるものは、それ以上の圧力条件で成型し
てもその値はクリアーできるので、まず低圧で成型して
粉末の焼結性の良否を判定する。
【0009】本発明の特徴は、上記したような焼結性の
良好なY2 3 粉末を出発原料とするところにあり、Y
2 3 粉末が上記範囲以外であれば、最終的に得られる
焼結体の光学的特性が著しく低下し、またこの特性は焼
結方法や焼結温度等を変えても良質な焼結体を得ること
は困難である。
【0010】また、仮に焼結技術で劣った粉末特性をカ
バーしようとすれば、温度−圧力−時間等をかなり厳し
い条件としなけばならないため、コストや生産性の面で
かなりの問題が残される。Y2 3 粉末の合成条件は、
シュウ酸塩や水酸化物の熱分解により得られたものなど
特に合成に限定されるものはなく、粉末の一次粒子径と
焼結性が上記範囲になっていれば良い。
【0011】また、常圧で焼結する場合、焼成温度が1
800℃未満では緻密化は進行するものの、充分な粒成
長が進まないため光の透過性が劣ることとなり、さらに
焼結雰囲気以外では、焼結体中に残存する気孔の量が増
すと同時に結晶粒内に残される気孔も増加するので光の
散乱の原因となる。
【0012】ここでY2 3 粉末に、焼結促進剤とし
て、La,Gd、また、発光元素として、Ce,Pr,
Nd,Pm,Sm,Eu,Tb,Dy,Ho,Er,T
m,Yb,Lu元素の酸化物を一種以上添加することが
できる。発光元素を含まない場合、発光管やオプティカ
ルウインド等の単純な光透過機能を必要とする用途があ
る。また、発光元素を含ませることによって、シンチレ
ータや固体レーザへの応用が考えられる。これら酸化物
は、多結晶を構成する各々の粒子内部の元素の均一性や
微構造組織を均一に保つため、粒子径として5μm以
下、好ましくはY23 粉末と同様の1μm以下に調整
したものを用いる。
【0013】Y2 3 の単独粉末または、Y2 3 と発
光元素等の2種以上の混合粉末にアルコール等の有機溶
媒または蒸留水を加え、ポットミル中で混合する。混合
の際にPVA(ボリビニルアルコール)やアクリル系バ
インダ等を添加することもできる。混合したスラリーを
常圧または減圧下で乾燥させ、またはその粉末をスプレ
ードライヤ等の装置を使って造粒する。得られた2次造
粒粉末等を一軸プレスまたは静水圧成形(CIP)によ
って所定の形状に成形する。続いて、バインダーを加え
た場合は、それを除去する目的で、例えば400〜10
00℃で仮焼(脱脂)後、1800〜2300℃の温度
範囲で3時間以上、酸素ガス、水素ガスまたは10-4
orr以下の高真空下で焼結することによって透明なY
2 3 を得ることが出来る。
【0014】また、純度が99.8重量%以上で、その
一次粒子の平均径が0.01〜1μのY2 3 粉末を一
旦理論密度の94%以上に焼結させた後、更に100k
g/cm2 以上のガス圧下、1600〜2200℃の温
度範囲でホットアイソスタティックプレス(HIP)処
理することによっても上記課題を解決することができ
る。
【0015】HIP処理条件は焼結体の予備焼結状態で
左右されるが、圧力条件は100kg/cm2 以上が必
要であり、100kg/cm2 未満では圧力効果が充分
でなく、透光性の良好なものが得られ難い。また、16
00℃以上の温度で1時間以上処理する。雰囲気はA
r,N2 などの不活性ガスまたはこれらのガスとO2
スの混合系のいずれか適切な条件を選定する。特に、1
000kg/cm2 以上、1700℃以上でHIP処理
することによってより良質の焼結体を得ることができ
る。
【0016】従来の製法による透光性Y2 3 焼結体は
そのほとんどが近赤外及び赤外の長波領域のみで良好な
透光性を示し、可視領域では直線透過率が極めて劣るた
め特性的に単結晶と各段の差異があり応用範囲が限定さ
れる欠点がある。本発明の製法によって得られるY2
3 焼結体は、試料の透明度が極めて高く、0.4μm以
上の波長領域でも(発光元素が入った場合、透過率のバ
ックグラウンドレベルで)試料厚さが1mmのものにつ
いて直線透過率が70%以上となり、単結晶Y2 3
極めて類似した光学特性を有するものが得られる。
【0017】なお、試料の透明度に関してはオプティカ
ルウインドやシンチレータを目的とした場合でも可視領
域において厚さ1mm程度で70%以上である事が望ま
しく、固体レーザーの場合はレーザー光の増幅のため透
過率80%(単結晶と同程度)付近を維持しなければな
らないず、この目的に応じて焼成温度,焼成時間及びH
IP処理条件を決定することが必要である。
【0018】
【作用】本発明においては、出発原料として焼結性が良
好なY2 3 粉末を用いており、これによって焼結体の
微構造が光学材料として満足できるものとなるため、可
視から赤外領域に渡って良好な透明性が得られる。
【0019】また、一旦Y2 3 粉末を理論密度の94
%以上に焼結させた後、更にホットアイソスタティック
プレス(HIP)処理することによって、焼結体の緻密
性や微構造が改善されるため、より良好な透明性が得ら
れる。
【0020】
【実施例】表1に本発明の実施例を示す。
【0021】
【表1】 2 3 粉末はいずれもシュウ酸イットリウムの熱分解
により得られた純度99,95重量%のもので、いずれ
も1600℃で3hr(大気中)焼結した場合の相対密
度は95%以上の焼結性を有する。
【0022】まず、原料粉末のY2 3 のみ、またはこ
の粉末にNd2 3 ,Eu2 3 ,CeO2 及びHo2
3 粉末を所定料秤量(合量100g)し、エチルアル
コール300ml、更に樹脂ボール300gを入れ2時
間プラスチックミル中で混合した。混合した粉末を50
0mmHgの減圧下で乾燥し、乾燥した粉末を乳鉢で軽
く再混合した。
【0023】この粉末を直径30mm、厚さ10mmの
タブレットに成形後、1000kg/cm2 の圧力でC
IP成形した。この圧粉体を電気炉(真空炉または管状
炉)に入れ、100℃/hrで昇温し、所定温度で焼成
後、100℃/hrで冷却した。
【0024】また、HIP処理する試料は同じ昇温及び
冷却速度で昇降温し、所定温度で相対密度の94%以上
になるように焼結した。この予備焼結体をHIP装置に
装入し、200℃/hrで昇温した。圧力媒体はArガ
スを用い、圧力は常温付近から徐々に加圧し1000℃
付近から目的とする圧力に到達させ、所定温度で所定時
間処理し、同じく200℃/hrで降温した。
【0025】得られた焼結体を直径16mm、厚さ1m
mに加工した。試料の両面は0.5μmのダイヤモンド
ペーストにより鏡面仕上げした。
【0026】表1中の実施例1〜4は焼成条件を変えた
もの、実施例5,6はY2 3 の一次粒子径を変えたも
の、実施例7は添加元素の粒子径を変えたもの、実施例
8〜10はNd以外の添加元素を加えたもの、実施例1
1〜15はHIP処理した系でY2 3 の粒度やHIP
処理条件を変えたもの、実施例16,17は添加元素を
いれない系で真空焼結及びHIP処理を行ったものであ
る。
【0027】表中の直線透過率は、測定波長0.4〜
1.0μmの範囲において、発光元素(添加元素)の吸
収を除くバックグラウンドレベルでその平均透過率を示
している。これ以上の波長領域、即ち赤外領域では基本
的に可視の波長領域以上に透過率が高いのでここではこ
の部分の平均値を示す。
【0028】表1から分かるようにいずれの場合も可視
領域で70%以上の透過率があり、条件によっては単結
晶に匹敵する80%近い極めて優れた光透過機能がある
ものが得られた。
【0029】図1はY2 3 にNdを添加した実施例2
に示す焼結体の吸収スペクトルを示し、発光元素による
吸収を除けば0.4μm以上の波長域でも直線透過率が
70%以上となっていることがわかる。また図2は発光
スペクトル(820nmレーザダイオード励起)を示す
グラフで、(a)は本実施例品、(b)は従来品をそれ
ぞれ示す。同図に示すように、発光元素による吸収スペ
クトルや発光スペクトルが鋭く(または強く)、従来の
合成例では見られない特異な機能を有することが予測で
きる。
【0030】[比較例]
【表2】 表2に示す比較例1〜9は同じく純度99.95重量%
の原料粉末を用い、実施例と同じ条件で圧粉体を作成し
た。比較例1は、Y2 3 の一次粒子径が規定の範囲に
あるが焼結性が不足したものを使用したもの、比較例
2,3は、焼結温度が特許請求の範囲外にあるもの、比
較例4は、Y2 3 の一次粒子径が特許請求の範囲外の
もの、比較例5は添加元素の粒子径が大きく特許請求の
範囲外のもの、比較例6は、粉末特性は満たしているも
ののHIP圧力が低いもの、比較例7,8は予備焼結で
焼成温度が低く充分な密度条件でHIP処理されていな
いもの、原料粉末の粒径が大きくHIPの処理効果の無
いものである。比較例9は透明化の条件は満たしている
ものの、HIP処理条件が高すぎ相転移域まで昇温した
ものである。
【0031】比較例に示す製造方法によるY2 3 焼結
体は、実施例と比較して、直線透過率が極端に劣ってい
ることが分かる。
【0032】
【発明の効果】本発明によって以下の効果を奏する事が
出来る。
【0033】(1)焼結助剤として放射性元素であるT
hO2 を含まない系で、またはLiFやBeO等を含ま
ない純粋なY2 3 粉末のみで透明なY2 3 焼結体を
得ることが可能である。
【0034】(2)各種元素を添加して得られたY2
3 焼結体は、シンチレーターや固体レーザー等の光機能
材料としても好適に使用できる。
【0035】(3)本発明によるY2 3 焼結体は、T
hO2 やLiF等の焼結助剤を添加したものと比較し
て、その光機能特性が各段に向上する。特に、可視領域
でも透過特性に優れたY2 3 焼結体が得られる。
【0036】(4)発光元素を添加した系では発光元素
による吸収スペクトルや発光スペクトルが鋭く(または
強く)従来の合成例では見られない特異な機能を有する
ことが予測できる。
【0037】(5)本発明の製造方法によって、単結晶
育成技術では困難な大型品が出来る他、製造コストの大
幅低下、複雑形状の作成が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施例品の吸収スペクトルを示すグラフであ
る。
【図2】 (a)は実施例品の発光スペクトル、(b)
は従来品の発光スぺクトルを示すグラフである。
【手続補正書】
【提出日】平成5年2月24日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0017
【補正方法】変更
【補正内容】
【0017】なお、試料の透明度に関してはオプティカ
ルウインドやシンチレータを目的とした場合でも可視領
域において厚さ1mm程度で70%以上である事が望ま
しく、固体レーザーの場合はレーザー光の増幅のため透
過率80%(単結晶と同程度)付近を維持しなければ
らず、この目的に応じて焼成温度,焼成時間及びHIP
処理条件を決定することが必要である。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 純度が99.8重量%以上で、その一次
    粒子の平均径が0.01〜1μmの範囲にあり、かつ5
    00kg/cm2 の圧力で静水圧成形しこれを1600
    ℃で3時間常圧焼結した際の焼結体の理論密度が94%
    以上となるY2 3 粉末を、混練乾燥後、所定形状に成
    形し、これを1800〜2300℃の温度範囲で3時間
    以上、酸素、水素または10-4Torr以下の真空下で
    焼結することを特徴とする透明なY2 3 焼結体の製造
    方法。
  2. 【請求項2】 前記Y2 3 粉末に、5μm以下のL
    a,Ce,Pr,Nd,Pm,Sm,Eu,Gd,T
    b,Dy,Ho,Er,Tm,Yb,Lu元素の酸化物
    を一種以上添加することを特徴とする請求項1記載の透
    明なY2 3 焼結体の製造方法。
  3. 【請求項3】 純度が99.8重量%以上で、その一次
    粒子の平均径が0.01〜1μmのY2 3 粉末を一旦
    理論密度の94%以上に焼結させた後、更にこの焼結体
    を100kg/cm2 以上のガス圧下、1600〜22
    00℃の温度範囲でホットアイソスタティックプレス処
    理することを特徴とする透明なY2 3 焼結体の製造方
    法。
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