JPH0218354A - 透光性スピネル焼結体及びその製造方法 - Google Patents
透光性スピネル焼結体及びその製造方法Info
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- JPH0218354A JPH0218354A JP63167616A JP16761688A JPH0218354A JP H0218354 A JPH0218354 A JP H0218354A JP 63167616 A JP63167616 A JP 63167616A JP 16761688 A JP16761688 A JP 16761688A JP H0218354 A JPH0218354 A JP H0218354A
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分骨〕
本発明は、透光性に優れた多結晶スピネル焼結体、特に
厚さ3fi以上で使用する赤外透過窓等の用途に好適な
透光性スピネル焼結体、及びその製造方法に関する。
厚さ3fi以上で使用する赤外透過窓等の用途に好適な
透光性スピネル焼結体、及びその製造方法に関する。
スピネル(MgAj O)はマグネシア(MgO)とア
ルミナ(Aj O)とからなる酸化物で、結晶型が立方
晶であるため結晶粒界での散乱が起り難く、高密度に焼
結した場合良好な透光性が得られることが知られている
。
ルミナ(Aj O)とからなる酸化物で、結晶型が立方
晶であるため結晶粒界での散乱が起り難く、高密度に焼
結した場合良好な透光性が得られることが知られている
。
通常、スピネル焼結体の透光性は可視領域の波長0.4
μm付近から急激に高くなり、赤外領域の波長3〜5μ
m付近で最高となる。従って、スピネル焼結体は光学窓
のような透光性材料として有望視され、従来から各種の
方法によって製造が試みられている。
μm付近から急激に高くなり、赤外領域の波長3〜5μ
m付近で最高となる。従って、スピネル焼結体は光学窓
のような透光性材料として有望視され、従来から各種の
方法によって製造が試みられている。
例えば、特開昭47−6028号公報に記載されている
ように、焼結助剤として弗化リチウム(LiF)を添加
して真空中でホットプレスする方法がある。
ように、焼結助剤として弗化リチウム(LiF)を添加
して真空中でホットプレスする方法がある。
焼結助剤としては、Li1Fの他に酸化カルシウム(Q
aO)も有効であることが知られている。又、特開昭
55−27837号公報にはMgOとAIOの組酸比を
等モルから僅かにA40 過剰とし、焼結助剤として
Li1Fを添加して常圧焼結する方法が、及び特開昭5
9−121158号公報にはアルコキシドを加水分解し
て得られたスピネル微粉末にLiIFを添加して水素中
で常圧焼結する方法が記載されているO 〔発明が解決しようとする課題〕 上記した従来の透光性スピネル焼結体の製造方法におい
ては、いずれも緻密化のためr、+iF等の焼結助剤を
添加するので第2相が出現しやすく、組織的不均一性に
より光が散乱され、直線透過率が低い欠点があった。
aO)も有効であることが知られている。又、特開昭
55−27837号公報にはMgOとAIOの組酸比を
等モルから僅かにA40 過剰とし、焼結助剤として
Li1Fを添加して常圧焼結する方法が、及び特開昭5
9−121158号公報にはアルコキシドを加水分解し
て得られたスピネル微粉末にLiIFを添加して水素中
で常圧焼結する方法が記載されているO 〔発明が解決しようとする課題〕 上記した従来の透光性スピネル焼結体の製造方法におい
ては、いずれも緻密化のためr、+iF等の焼結助剤を
添加するので第2相が出現しやすく、組織的不均一性に
より光が散乱され、直線透過率が低い欠点があった。
その他、前者の真空中のホットプレス法では、1300
〜1600 Cの高温と1000ψ以上の高圧力を必要
とするため、通常用いているグラファイト等の型材では
強度的に不足し、大型の焼結体を製造し難い欠点があっ
た。又、後者の常圧焼結法では粒成長のコントロールが
難しく空孔が残存しやすいため透光性のレベルが低く、
焼結助剤の添加以外にMgOとAlOの組成比を変えた
場合にも第2相が出現しやすく、直線透過率が更に低下
する欠点があった。
〜1600 Cの高温と1000ψ以上の高圧力を必要
とするため、通常用いているグラファイト等の型材では
強度的に不足し、大型の焼結体を製造し難い欠点があっ
た。又、後者の常圧焼結法では粒成長のコントロールが
難しく空孔が残存しやすいため透光性のレベルが低く、
焼結助剤の添加以外にMgOとAlOの組成比を変えた
場合にも第2相が出現しやすく、直線透過率が更に低下
する欠点があった。
この様に従来の方法で製造された透光性スピネル焼結体
では、直線透過率が試料厚さ1詣で75〜80%程度が
最大であり、試料厚さ3詣以上で使用される赤外透過窓
の材料に用いるためには更に直線透過率の向上が必要で
あった。
では、直線透過率が試料厚さ1詣で75〜80%程度が
最大であり、試料厚さ3詣以上で使用される赤外透過窓
の材料に用いるためには更に直線透過率の向上が必要で
あった。
本発明はかかる従来の事情に鑑み、高純度且つ高密度で
透光性のレベルが高く、特に厚さ3詣以上の赤外透過窓
材として好適な直線透過率を有する透光性スピネル焼結
体、及びその製造方法を提供することを目的とする。
透光性のレベルが高く、特に厚さ3詣以上の赤外透過窓
材として好適な直線透過率を有する透光性スピネル焼結
体、及びその製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の透光性スピネル焼結
体の製造方法では、純度99.5%以上及び比表面積(
nET値)Ion/g以上のスピネル粉末を、温度12
00〜1700C及び圧力100〜500’+971で
の真空中におけるホットプレスにより理論密度比95%
以上に緻密化し、次に温度1400〜1800 ’C及
び圧力500ψ以上でHIP処理する。
体の製造方法では、純度99.5%以上及び比表面積(
nET値)Ion/g以上のスピネル粉末を、温度12
00〜1700C及び圧力100〜500’+971で
の真空中におけるホットプレスにより理論密度比95%
以上に緻密化し、次に温度1400〜1800 ’C及
び圧力500ψ以上でHIP処理する。
上記方法によって製造される本発明の透光性スピネル焼
結体は、純度99.5%以上の多結晶スピネル焼結体か
らなり、試料厚さ3tsでの直線透過率が、波長0.4
〜3μmの可視及び近赤外光で平均65%以上、及び波
長3〜5μmの赤外光で最高75%以上であって、従来
にない極めて優れた直線透過率を有するもので、この透
光性は赤外透過窓材料として好適である。
結体は、純度99.5%以上の多結晶スピネル焼結体か
らなり、試料厚さ3tsでの直線透過率が、波長0.4
〜3μmの可視及び近赤外光で平均65%以上、及び波
長3〜5μmの赤外光で最高75%以上であって、従来
にない極めて優れた直線透過率を有するもので、この透
光性は赤外透過窓材料として好適である。
上記の如く本発明においては、真空中でのホットプレス
及びその後のHIP(熱間等方圧フレス)により、Li
IF等の焼結助剤を添加せずに、高密度で直線透過率の
高いスピネル焼結体を得ることができる。
及びその後のHIP(熱間等方圧フレス)により、Li
IF等の焼結助剤を添加せずに、高密度で直線透過率の
高いスピネル焼結体を得ることができる。
原料であるスピネル粉末は不純物吸収による透光性の低
下を防ぐために99.5%以上の純度のものを使用し、
特にFe等の遷移金属元素の含有は好ましくない。又ス
ピネル粉末は一次粒子の粒径が約0.2μm以下、即ち
表面積がBEiT値でIon/g以上であることが緻密
な焼結体を得るために必要である。このように高純度で
且つ微細なスピネル粉末としては、アルコキシドの加水
分解によるもの等が好適である。
下を防ぐために99.5%以上の純度のものを使用し、
特にFe等の遷移金属元素の含有は好ましくない。又ス
ピネル粉末は一次粒子の粒径が約0.2μm以下、即ち
表面積がBEiT値でIon/g以上であることが緻密
な焼結体を得るために必要である。このように高純度で
且つ微細なスピネル粉末としては、アルコキシドの加水
分解によるもの等が好適である。
又、特にLiFやOaO等の焼結助剤を添加する必要が
ないので、従来のような第2相による透過率の低下がな
い。
ないので、従来のような第2相による透過率の低下がな
い。
ホットプレスは真空中で行ない、温度が1200〜17
00Cとする。1200 C未満の温度では理論密度比
95%以上の高密度な焼結体が得られ難く、1700
Cを超えると真空中ではMgOが蒸発し、冷却した際に
Ago(フランダム)相が第2相とし a て析出しやすく、透光性が低下してしまう。又、ホット
プレスの圧力がtoo#/m未満では理論密度比95%
以上の高密度な焼結体が得られ難く、500kgAIl
kを超えると強度的に通常のグラフアイト型の使用が難
しくなる。
00Cとする。1200 C未満の温度では理論密度比
95%以上の高密度な焼結体が得られ難く、1700
Cを超えると真空中ではMgOが蒸発し、冷却した際に
Ago(フランダム)相が第2相とし a て析出しやすく、透光性が低下してしまう。又、ホット
プレスの圧力がtoo#/m未満では理論密度比95%
以上の高密度な焼結体が得られ難く、500kgAIl
kを超えると強度的に通常のグラフアイト型の使用が難
しくなる。
HIP処理においては、1400〜1800 Cの温度
及びsoow4以上の圧力で焼結体が等方的に加圧され
るので、塑性変形や拡散機構により空孔の除去が促進さ
れて更に高密度化が達成され、透光性が一層向上する。
及びsoow4以上の圧力で焼結体が等方的に加圧され
るので、塑性変形や拡散機構により空孔の除去が促進さ
れて更に高密度化が達成され、透光性が一層向上する。
HIPで用いる高圧ガスは、Ar等の不活性ガス、N
ガス又は0 ガス、或いはこれらの混合ガスが好ましく
、特に0 ガスを混合すればHIP処理時の焼結体から
の脱酸素による透光性の低下を防止できる利点がある。
ガス又は0 ガス、或いはこれらの混合ガスが好ましく
、特に0 ガスを混合すればHIP処理時の焼結体から
の脱酸素による透光性の低下を防止できる利点がある。
これらのガスは500勢憬以上(200([1/m以下
)の高圧でしかも等方的に働くため、従来のホットプレ
ス法(約1000ψで上下二方向加圧)よりも空孔の除
去による緻密化が均一に進行し、透光性に優れたスピネ
ル焼結体が得られる。
)の高圧でしかも等方的に働くため、従来のホットプレ
ス法(約1000ψで上下二方向加圧)よりも空孔の除
去による緻密化が均一に進行し、透光性に優れたスピネ
ル焼結体が得られる。
尚、ホットプレスで得られた焼結体の理論密度比が95
%未満の場合には、残留気孔の多くが所謂解放気孔とな
り、この気孔を通ってHIPで用いる高圧ガスが焼結体
内部に侵入してしまうため、HIPによる高密度化が充
分に進行しない結果となる0 〔実施例〕 実施例1 純度99.9%、比表面積14 m 2/g (B K
T値)の高純度スピネル粉末を、I X 10−’t
orrの真空中において内径5Qwのグラファイト型を
用いて1400Cの温度と300kgAlIhの圧力で
2時間ホットプレスし、理論密度比97%の白色の焼結
体を得た。
%未満の場合には、残留気孔の多くが所謂解放気孔とな
り、この気孔を通ってHIPで用いる高圧ガスが焼結体
内部に侵入してしまうため、HIPによる高密度化が充
分に進行しない結果となる0 〔実施例〕 実施例1 純度99.9%、比表面積14 m 2/g (B K
T値)の高純度スピネル粉末を、I X 10−’t
orrの真空中において内径5Qwのグラファイト型を
用いて1400Cの温度と300kgAlIhの圧力で
2時間ホットプレスし、理論密度比97%の白色の焼結
体を得た。
次に、この焼結体をHIP装置に入れ、Arガスを用い
て1600 Cの温度及び2000119Mの圧力で2
時間のHIP処理を行なった。得られたスピネル焼結体
は外観的に無色透明であった。
て1600 Cの温度及び2000119Mの圧力で2
時間のHIP処理を行なった。得られたスピネル焼結体
は外観的に無色透明であった。
このスピネル焼結体を厚さ3龍に鏡面研磨加工し、分光
光度計で直線透過率を測定したところ、波長3〜5μm
の赤外領域で最高85%、及び波長0.4〜3μmの領
域で平均75%の優れた透光性を示した。
光度計で直線透過率を測定したところ、波長3〜5μm
の赤外領域で最高85%、及び波長0.4〜3μmの領
域で平均75%の優れた透光性を示した。
実施例2
純度99.7%、比表面積11 m/g CnmT値)
の高純度スピネル粉末を、3 X 1O−storrの
真空中において内径50asのグラファイト型を用いて
1600Cの温度と200臀論の圧力で1時間ホットプ
レスし、理論密度比96%の白色の焼結体を得た。
の高純度スピネル粉末を、3 X 1O−storrの
真空中において内径50asのグラファイト型を用いて
1600Cの温度と200臀論の圧力で1時間ホットプ
レスし、理論密度比96%の白色の焼結体を得た。
更に、この焼結体をHIP装置に入れ、N ガスを用い
て1700 Cの温度及び1000’9/fFllの圧
力で3時間のHIP処理を行なった。得られたスピネル
焼結体は外観的に無色透明であった。
て1700 Cの温度及び1000’9/fFllの圧
力で3時間のHIP処理を行なった。得られたスピネル
焼結体は外観的に無色透明であった。
このスピネル焼結体を厚さ3鱈に鏡面研磨加工し、分光
光度計で直線透過率を測定したところ、波長3〜5μm
の赤外領域で最高83%、及び波長0.4〜3μmの領
域で平均73%の優れた透光性を示した。
光度計で直線透過率を測定したところ、波長3〜5μm
の赤外領域で最高83%、及び波長0.4〜3μmの領
域で平均73%の優れた透光性を示した。
実施例3
純度99.8%、比表面積20 m 2/g (B l
cT値)の高純度スピネル粉末を、8X10 tor
rの真空中において内径50闘のグラファイト型を用い
て1300Cの温度と40(19/mの圧力で3時間ホ
ットプレスし、理論密度比98%の白色の焼結体を得た
。
cT値)の高純度スピネル粉末を、8X10 tor
rの真空中において内径50闘のグラファイト型を用い
て1300Cの温度と40(19/mの圧力で3時間ホ
ットプレスし、理論密度比98%の白色の焼結体を得た
。
更に、この焼結体をHIP装置に入れ、Ar−5%02
混合カスヲ用イテ1500C)温度及ヒ1500Tvc
m2の圧力にて2.5時間のHIP処理を行なった。得
られたスピネル焼結体は外観的に無色透明であった。
混合カスヲ用イテ1500C)温度及ヒ1500Tvc
m2の圧力にて2.5時間のHIP処理を行なった。得
られたスピネル焼結体は外観的に無色透明であった。
このスピネル焼結体を厚さ3 msに鏡面研磨加工し、
分光光度計で直線透過率を測定したところ、波長3〜5
μmの赤外領域で最高82%、及び波長0.4〜3μm
の領域で平均75%の優れた透光性を示した。
分光光度計で直線透過率を測定したところ、波長3〜5
μmの赤外領域で最高82%、及び波長0.4〜3μm
の領域で平均75%の優れた透光性を示した。
(発明の効果〕
本発明によれば、焼結助剤を用いずに、高密度であって
可視及び赤外領域で非常に優れた直線透過率を有する透
光性スピネル焼結体を得ることができる。この透光性ス
ピネル焼結体は3m以上の厚さで使用される赤外透過窓
の素材として特に有用である。
可視及び赤外領域で非常に優れた直線透過率を有する透
光性スピネル焼結体を得ることができる。この透光性ス
ピネル焼結体は3m以上の厚さで使用される赤外透過窓
の素材として特に有用である。
出願人 住友電気工業株式会社
゛毎1胆°″
Claims (3)
- (1)純度99.5%以上及び比表面積(BET値)1
0m^2/g以上のスピネル粉末を、温度1200〜1
700℃及び圧力100〜500kg/cm^2での真
空中におけるホットプレスにより理論密度比95%以上
に緻密化し、次に温度1400〜1800℃及び圧力5
00kg/cm^2以上でHIP処理することを特徴と
する透光性スピネル焼結体の製造方法。 - (2)HIP処理は不活性ガス、窒素ガス又は酸素ガス
、若しくはこれらの混合ガスを用いることを特徴とする
、請求項(1)記載の透光性スピネル焼結体の製造方法
。 - (3)純度99.5%以上の多結晶スピネル焼結体から
なり、試料厚さ3mmでの直線透過率が、波長0.4〜
3μmの可視及び近赤外光で平均65%以上、波長3〜
5μmの赤外光で最高75%以上であることを特徴とす
る赤外透過窓用の透光性スピネル焼結体。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63167616A JPH0672045B2 (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | 透光性スピネル焼結体及びその製造方法 |
DE68916282T DE68916282T2 (de) | 1988-03-09 | 1989-03-07 | Verfahren zur Herstellung eines lichtdurchlässigen Körpers aus gesintertem Spinell. |
EP89302254A EP0332393B1 (en) | 1988-03-09 | 1989-03-07 | Method of producing a light-transmitting spinel sintered body |
US07/579,085 US5152940A (en) | 1988-03-09 | 1990-09-07 | Method of producing a light-transmitting spinel sintered body |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63167616A JPH0672045B2 (ja) | 1988-07-05 | 1988-07-05 | 透光性スピネル焼結体及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0218354A true JPH0218354A (ja) | 1990-01-22 |
JPH0672045B2 JPH0672045B2 (ja) | 1994-09-14 |
Family
ID=15853088
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63167616A Expired - Lifetime JPH0672045B2 (ja) | 1988-03-09 | 1988-07-05 | 透光性スピネル焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0672045B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5977617A (en) * | 1996-05-10 | 1999-11-02 | Nec Corporation | Semiconductor device having multilayer film carrier |
JP2004284829A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | National Institute For Materials Science | 透光性ケイ酸マグネシウム焼結体及びその製造方法 |
WO2008108276A1 (ja) | 2007-03-02 | 2008-09-12 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | スピネル焼結体、その製造方法、透明基板と液晶プロジェクター |
WO2009069552A1 (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-04 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | 透明多結晶スピネル基板とその製造方法および前記基板を用いた光学製品 |
EP2112127A1 (en) * | 2007-01-23 | 2009-10-28 | World Lab. Co., Ltd. | Transparent spinal ceramics, method for production thereof, and optical material using the transparent spinal ceramics |
JP2009280455A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 透明多結晶スピネル基板とその製造方法、および電気光学装置 |
WO2010114035A1 (ja) * | 2009-04-02 | 2010-10-07 | 住友電気工業株式会社 | スピネル製光透過用窓材及びその製造方法 |
WO2012005217A1 (ja) * | 2010-07-07 | 2012-01-12 | 住友電気工業株式会社 | 基板、基板の製造方法、ndフィルタおよび光特性測定装置 |
JP2016500362A (ja) * | 2012-12-19 | 2016-01-12 | セラムテック−イーテック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングCeramTec−Etec GmbH | セラミック材料 |
US9624136B2 (en) | 2014-07-01 | 2017-04-18 | Corning Incorporated | Transparent spinel article and tape cast methods for making |
WO2019187324A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | Jx金属株式会社 | MgAl2O4焼結体及び該焼結体を用いたスパッタリングターゲット、並びにMgAl2O4焼結体の製造方法 |
-
1988
- 1988-07-05 JP JP63167616A patent/JPH0672045B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5977617A (en) * | 1996-05-10 | 1999-11-02 | Nec Corporation | Semiconductor device having multilayer film carrier |
JP2004284829A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | National Institute For Materials Science | 透光性ケイ酸マグネシウム焼結体及びその製造方法 |
EP2112127A1 (en) * | 2007-01-23 | 2009-10-28 | World Lab. Co., Ltd. | Transparent spinal ceramics, method for production thereof, and optical material using the transparent spinal ceramics |
EP2112127A4 (en) * | 2007-01-23 | 2011-03-09 | World Lab Co Ltd | TRANSPARENT SPINELL CERAMICS, MANUFACTURING METHOD AND OPTICAL MATERIAL USING THE TRANSPARENT SPINELL CERAMICS |
WO2008108276A1 (ja) | 2007-03-02 | 2008-09-12 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | スピネル焼結体、その製造方法、透明基板と液晶プロジェクター |
CN101883745A (zh) * | 2007-11-26 | 2010-11-10 | 住友电气工业株式会社 | 透明多晶尖晶石衬底、制造所述衬底的方法以及使用所述衬底的光学制品 |
WO2009069552A1 (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-04 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | 透明多結晶スピネル基板とその製造方法および前記基板を用いた光学製品 |
JP2009126749A (ja) * | 2007-11-26 | 2009-06-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 透明多結晶スピネル基板とその製造方法および前記基板を用いた光学製品 |
JP2009280455A (ja) * | 2008-05-23 | 2009-12-03 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 透明多結晶スピネル基板とその製造方法、および電気光学装置 |
JP2010241621A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-10-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | スピネル製光透過用窓材及びその製造方法 |
WO2010114035A1 (ja) * | 2009-04-02 | 2010-10-07 | 住友電気工業株式会社 | スピネル製光透過用窓材及びその製造方法 |
US8673796B2 (en) | 2009-04-02 | 2014-03-18 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Spinel light-transmitting window material and method for producing the same |
WO2012005217A1 (ja) * | 2010-07-07 | 2012-01-12 | 住友電気工業株式会社 | 基板、基板の製造方法、ndフィルタおよび光特性測定装置 |
JP2016500362A (ja) * | 2012-12-19 | 2016-01-12 | セラムテック−イーテック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングCeramTec−Etec GmbH | セラミック材料 |
US9624136B2 (en) | 2014-07-01 | 2017-04-18 | Corning Incorporated | Transparent spinel article and tape cast methods for making |
WO2019187324A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | Jx金属株式会社 | MgAl2O4焼結体及び該焼結体を用いたスパッタリングターゲット、並びにMgAl2O4焼結体の製造方法 |
KR20190114975A (ko) | 2018-03-30 | 2019-10-10 | 제이엑스금속주식회사 | MgAl2O4 소결체 및 해당 소결체를 사용한 스퍼터링 타깃, 그리고 MgAl2O4 소결체의 제조 방법 |
JPWO2019187324A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2020-04-30 | Jx金属株式会社 | MgAl2O4焼結体及び該焼結体を用いたスパッタリングターゲット、並びにMgAl2O4焼結体の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0672045B2 (ja) | 1994-09-14 |
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