JPWO2002057921A1 - 電子回路装置 - Google Patents

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Abstract

高密度基板(2)上に、マイクロコンピュータ(3)とランダムアクセスメモリ(7)とを配置し、高速データ転送可能に両者を専用メモリバス(12)で結合すると共に、可変論理回路としてのFPGAに代表されるプログラマブルデバイス(8)を搭載し、また、前記マイクロコンピュータにはその動作プログラムを電気的に書き換え可能な不揮発性メモリ(16)を搭載する。前記高密度基板は実装用外部端子を底面に有し、システムオンチップされたマルチチップモジュールと同じようにマザーボードへの実装が可能である。前記プログラマブルデバイスに所望の論理機能を設定することにより、ハードウェアを主体として電子回路装置で実現すべき機能を模擬することができ、また、不揮発性メモリに動作プログラムを書き込むことにより、ソフトウェアを主体として実現すべき機能を模擬することができる。これにより、システム開発の早い段階におけるデバッグの容易化、プロトシステムの実現、そして、開発から試作、更に製品化への期間短縮に寄与することができる。

Description

技術分野
本発明は、マルチチップモジュール(MCM:Multi Chip Module)化された電子回路装置に関し、例えば、システムオンチップ(SOC:System On a Chip)化若しくはMCM化に至るシステム開発の早い段階においてデバッグやプロトシステムの実現に利用可能とされる電子回路装置に適用して有効な技術に関する。
背景技術
半導体集積回路(LSI)は高集積化及び高機能化により、設計が複雑化し、LSIのユーザがその応用システムの開発を企画してから、そのシステムのためのLSIが完成するには、例えば1年のような長期間を要するのが少なくない。開発期間が長いと、市場の状況に即応できない恐れが生ずる。開発期間を短縮するには、設計の早い段階で不具合を発見できることが大切である。
MCM技術は、LSIの複雑化を解消し、比較的短期間に所望する電子装置を得る上で考慮してよい技術である。MCMは、例えば、マイクロプロセッサやメモリなどのLSIをビルドアップ基板などの高密度実装基板に実装するいわゆるモジュール化によってして、SOC化されたLSIと同等の機能の電子回路装置を構成するものとされる。
所望のシステムを構成するための電子回路装置を比較的短期間に得ようとする場合や、設計を行うべきLSIの不具合を予め回避するには、FPGA(Field Programmable Gate Array)の利用が有効である。すなわち、FPGAによって早い時期で所要の論理機能を実現することができ、その論理機能についての不具合を洗い出すことができ、不具合が有ると明らかになったときのその不具合の解消を早く行うことができるからである。例えば、FPGAの多数の記憶セルに接続定義データを与えることによって圧縮或は通信プロトコルなどの所望の論理機能を実現してそれを動作させ、その動作結果に基づいて所望の論理機能に対するデバッグが可能になる。これにより、FPGAそれ自体によって所望の論理機能を得ることができる。また、最終的にLSIを構成しようとするときでも、FPGAの利用によってLSI設計の早い段階で論理機能のバグを発見して除去することが可能になり、LSI設計を短期間に行うことが可能となる。
CPUの動作プログラムは、フラッシュメモリなどの電気的に書き換え可能な不揮発性メモリを使用するなら、その不揮発性メモリ上でその内容の書き換えを行なうことができる。これにより、システムの微調整若しくは小規模な修正に対して即座に対応することが可能になる。そのようなマイクロコンピュータはFPMC(Field Programmable Micro Computer)とも称される。
本発明者は、MCM、FPGA、FPMCなどの技術を有機的に結合して、SOC化に至るシステム開発の早い段階においてデバッグやプロトシステムの実現に資することについて検討したが、そのような技術的思想は未だ提供されていない。
本発明者は、そのような技術の検討過程においても、以下の問題点を見出した。
第1に、MCMとFPGAを個別に用いると、両者を搭載する基板サイズが大きくなり、配線の長さが長くなり、所望の特性を得る事ができず、SOCの構成と同等の機能を実現できない場合の有ることが明らかにされた。
第2に、MCM上で高速データ転送を実現する場合には、MCMを実装するボード上に比べて配線の特性インピーダンス不整合による反射の影響が大きく、LSIの出力回路に対して出力インピーダンスを微調整した方が望ましい場合もあると予想される。
第3に、ビルドアップ基板のような高密度実装基板に面実装タイプの半導体数積回路をフェースダウンで実装するような場合を想定すると、実装基板における配線との接続不良の検証や実装した半導体集積回路に対するテストの容易化を実現することが望ましい。
第4に、データ処理の高速化にはマイクロコンピュータとメモリとの間のデータ転送を高速化することが必要である。なお、本発明がなされた後の調査によって特開平8−167703号公報の存在を知り得た。しかし、かかる公報記載の発明は、半導体素子構造の相異の観点で、例えばDRAM(ダイナミック型RAM)を、メモリセル構成部分と論理回路部分とに分け、それらを別々の半導体チップとして構成し、それら半導体チップ相互を搭載基板上において電気的に接続するものであり、後の説明からも更に詳しい内容が明らかとなる本発明と全く異なるものである。
本発明の目的は、SOC化等に至るシステム開発の早い段階においてデバッグを容易化することができ、また、プロトシステムの実現にも資することができる電子回路装置を提供することにある。
本発明の別の目的は、論理機能を可変にでき、しかもデータ処理に必要なデータの転送速度を高速化できる、電子回路装置を提供することにある。
本発明の更に別の目的は、高速データ転送を実現する場合に、配線の特性インピーダンス不整合による反射の抑制が容易な電子回路装置を提供することにある。
本発明のその他の目的は、ビルドアップ基板のような高密度実装基板に面実装タイプの半導体集積回路をフェースダウンで実装したときの実装配線との接続不良の検証や実装した半導体集積回路に対するテストを容易化することができる電子回路装置を提供することにある。
本発明の上記並びにその他の目的と新規な特徴は本明細書の以下の記述と添付図面から明らかにされるであろう。
発明の開示
《概要》
本発明に係る電子回路装置のうち代表的なものの概要を説明する。主に、ビルドアップ基板などの高密度基板上にマイクロコンピュータ(MCU)とDRAM等のランダムアクセスメモリ(RAM)とを配置し、高速データ転送可能に両者をメモリ専用バス結合する。高密度実装基板上には、また、マイクロコンピュータの所要の周辺機能などを予め模擬できるように可変論理回路としてのFPGAに代表されるプログラマブルデバイスが搭載され、前記マイクロコンピュータは必要に応じてその動作プログラムを電気的に書き換え可能な不揮発性メモリを内蔵するものとされる。前記高密度実装基板は例えばマザーボードに実装可能なドータボードとされ、実装用外部端子を底面に有し、システムオンチップされたMCMと同じようにマザーボードへの実装が可能である。
この電子回路装置により、MCM、FPGA、FPMCなどの技術を有機的に結合して、動作速度やノイズなどの点で障害を生ずること無く、SOC化等に至るシステム開発の早い段階においてデバッグを容易化することができ、また、プロトシステムの実現にも資することができる。更に、開発から試作、更に製品化への期間短縮に寄与する。或は、上記電子回路装置をSOCのLSIに代わる最終製品として位置付けると、少量多品種の場合には圧倒的な価格低減の優位性があり、性能、基板サイズの点でもSOCに匹敵する。
本発明に係る電子回路装置を数種類の態様に分けて更に詳述する。
《論理機能のプログラマブル化》
電子回路装置は、半導体デバイスとしてCPUを備えたマイクロコンピュータ、ランダムアクセスメモリ、及び多数の記憶セルに与えられる結線定義情報や論理定義情報のような論理構成定義データに応じて論理機能がプログラマブルに実現されるプログラマブルデバイスを有する。前記マイクロコンピュータ、ランダムアクセスメモリ、及びプログラマブルデバイスは夫々別々の半導体チップに形成され且つ前記半導体チップとは別の共通基板の一方の面に実装され、前記共通基板は他方の面にその他の回路基板への実装用外部端子を有する。前記実装用外部端子は前記プログラマブルデバイスに接続可能にされる。論理構成定義データに応じてプログラマブルデバイスに所望の論理機能を設定することにより、電子回路装置で実現すべき機能、特にハードウェアを主体として実現すべき機能を実現することができ、システム開発の早い段階におけるデバッグの容易化、プロトシステムの実現、に資することができる。
《動作プログラムのプログラマブル化》
前記マイクロコンピュータはCPUの動作プログラムを電気的に書き換え可能に保持することが可能な第1の不揮発性メモリを有してよい。これにより、実現すべき機能をソフトウェア主体で模擬することができ、この点でデバッグの容易化、プロトシステムの実現、に資することができる。
《プログラマブルデバイスのCPU周辺回路化》
前記共通基板は、前記マイクロコンピュータ及びプログラマブルデバイスを接続する共通バスを有してよい。これにより、CPU若しくはマイクロコンピュータは共通バスを介してプログラマブルデバイスをその周辺回路として容易に機能させることが可能になる。
《制御データなどのプログラマブル化》
共通基板は、前記共通バスに接続されて前記共通基板に実装された電気的に書き込み可能な第2の不揮発性メモリを更に有してよい。前記第2の不揮発性メモリにCPU若しくはマイクロコンピュータが参照する制御データテーブルなどをプログラマブルに設定して、システムデバッグを行なうことができる。
《メモリアクセスの高速化》
前記マイクロコンピュータは、MCM構成に好適なように、例えばメモリバッファを有するようにされる。前記メモリバッファと前記ランダムアクセスメモリは、共通基板に形成されたメモリ専用バスを介して接続される。特に制限されないが、前記メモリ専用バスは前記共通基板における前記実装用外部端子と非接続にされる。これによってメモリ専用バスが高速メモリアクセスを制限するような余分な負荷を持ってしまうことが回避される。メモリバッファとメモリ専用バスを採用することにより、バスの並列ビット数、バスの信号振幅、バス駆動方式などを、利用するランダムアクセスメモリに合わせて最適化することが容易であり、高速化の要請に的確に対応することが容易になる。
前記メモリバッファは、前記メモリ専用バスに接続する出力バッファを有する。上記出力バッファは、出力MOSトランジスタ及びこれに結合された出力インピーダンス制御用MOSトランジスタを備える。出力インピーダンス制御用MOSトランジスタは電圧発生回路を持つような制御回路から出力される制御電圧をゲート電極に受けてインピーダンス制御可能にされる。前記出力インピーダンス制御用MOSトランジスタは、例えば、実際には、並列接続された複数個のMOSトランジスタから構成され、オン状態にされるトランジスタの数に応じてそのオン抵抗が相違される。半導体集積回路における出力バッファの出力インピーダンスの変動や、共通基板での配線を含むメモリ専用バスの特性インピーダンスの変動にかかわらずにそれら相互のインピーダンスを整合させることが可能になるから、結果として信号反射のような不所望な信号成分の発生を抑えることができ、高速メモリアクセスが可能となる。
《高密度実装基板》
前記共通基板は、ガラス基板と、前記ガラス基板の一方の主面に形成された多層配線層とを有し、前記多層配線層の表面には多層配線層の所定の配線に導通する半導体デバイスの実装用接続端子が配置され、前記ガラス基板の他方の主面には前記多層配線層の所定の配線に前記ガラス基板の主面を貫通して導通する前記実装用外部端子が配置され、ビルドアップ基板などの高密度実装基板として実現される。この高密度実装基板に搭載されるマイクロコンピュータ、ランダムアクセスメモリ、及びプログラマブルデバイス等の各半導体デバイスは、例えば面実装可能なマイクロバンプのような外部端子が底面にアレイ状に配置されたようなベアチップとして、或いはCSP(チップサイズパッケージ)技術によってパッケージに封止されたチップとして用意され、高密度実装基板の実装用接続端子にフェースダウンで面実装される。
上記高密度実装基板は、半導体チップのほとんどを構成するシリコンと同程度に反りや寸法変動が小さいことや、安価であることが望ましい。それら要求を満たす好適なものとしてガラス基板をあげることができる。ガラス基板に対しては導体膜形成や絶縁膜形成のような成膜技術、及び、フォトリソグラフィ技術を使って微細な多層配線やスルーホールが形成される。このような半導体チップ形成と類似の成膜、加工技術によって、実装基板には半導体デバイスなどの電子部品を高密度に実装することができる。上記の高密度実装基板は、上記のように多層配線が形成された一方の面に夫々別々の半導体チップとして構成された複数個の半導体デバイスを実装するための共通のビルドアップ基板を成す。前記ビルドアップ基板の他方の面には当該ビルドアップ基板をその他の回路基板へ実装するための外部端子が設けられる。また、高密度実装基板でガラス以外にも低熱膨張のセラミック或いは耐熱性のある有機樹脂も用いることができる。
《JTAGによる検証機能》
ここでは、半導体デバイスそれ自体がJTAG(Joint Test Action Group IEEE標準149.1)によるバウンダリスキャン若しくはビルト・イン・テスト機能を有する場合に着目する。前記複数個の半導体デバイスの全部又は一部は、テスト制御端子の入力に応答して、所定の外部端子に接続さた複数個のスキャンラッチを、テストデータ入力端子とテストデータ出力端子との間で直列形態でシフトレジスタ動作させて、テスト用の外部入出力が可能にされ、これによってバウンダリスキャンやビルト・イン・テスト機能が実現される。半導体デバイスのこの機能を利用可能なように、前記ビルドアップ基板は、各半導体デバイスのテスト制御端子に並列的に接続される共通テスト制御端子と、共通テストデータ入力端子と、共通テストデータ出力端子と、選択制御回路とを備えるようにされる。前記選択制御回路は、半導体デバイスのテストデータ出力端子と他の半導体デバイスのテストデータ入力端子を接続して複数個の半導体デバイスを前記共通テストデータ入力端子から共通テストデータ出力端子に直列的に接続する直列接続状態と、半導体デバイス毎にそのテストデータ出力端子及びテストデータ入力端子を前記共通テストデータ入力端子及び共通テストデータ出力端子に個別的に接続する個別接続状態とを、モード信号に従って選択可能にする回路である。
ビルドアップ基板にフェースダウンで半導体デバイスを実装したとき、半導体デバイスとビルドアップ基板との端子接続状態は光学的観測では確認し難い。実装状態を検証するには、JTAG技術の利用が好都合である。すなわち、テスタからビルドアップ基板にモード信号のような制御信号を与え、その信号によって前記選択制御回路に前記直列接続状態を選択させ、各半導体デバイスの外部端子にテスタからビルドアップ基板を介してテストデータを与え、これを各半導体デバイスの外部端子からそれぞれに対応されるスキャンラッチにラッチさせ、それらをシフトレジスタ動作させ、前記共通テストデータ出力端子からテスタに帰還させ、テストデータとの一致/不一致を判定することにより、半導体デバイスとビルドアップ基板との電気的接続状態を確認することが可能になる。
電子回路装置のデバッグを行う場合にもまたJTAG技術が利用できれば好都合である。すなわち、エミュレータのような所要の外部制御装置によって電子回路装置を動作させ、前記選択制御回路に前記個別接続状態を選択させて、着目する半導体デバイスのスキャンラッチにサンプリングすべき情報をラッチさせ、ラッチされた情報を複数のスキャンラッチのシフトレジスタ動作にて前記共通テストデータ出力端子から外部制御装置に供給して、供給された情報を解析することが可能になる。
上記JTAGによる検証機能を備えた電子回路装置にも、前述のビルドアップ基板による高密度実装基板構造を採用可能である。前記複数個の半導体デバイスとして、CPUを備えたマイクロコンピュータ及びランダムアクセスメモリを搭載し、前記マイクロコンピュータを前記実装用外部端子に接続可能としてよい。このとき、前記マイクロコンピュータにはCPUの動作プログラムを電気的に書き換え可能に保持することが可能な第1の不揮発性メモリを内蔵させれば、電子回路装置で実現すべき機能をソフトウェア的な観点より模擬することが容易になる。また、前記マイクロコンピュータにメモリバッファを設け、前記メモリバッファと前記ランダムアクセスメモリをメモリ専用バスで接続することにより、前述と同様に、メモリアクセスの高速化を実現できる。このとき、前記メモリバッファの出力回路を前述と同様に出力インピーダンス可変可能に構成すれば、メモリ専用バスとのインピーダンス整合を採り易くなる。更に、半導体デバイスの一つとして前記プログラマブルデバイスを採用すれば、電子回路装置で実現すべき機能をハードウェア的な観点より模擬することが容易になる。
《プログラマブルデバイスの外付け》
本発明の更に別の態様による電子回路装置は、電子回路装置を実装するマザーボードに前記プログラマブルデバイスを外付けデバイスとして搭載する。但し、外付けとすることによる配線長の増大、システムの大型化という点で劣ることになるが、ドータボードのコストを低減させることができる。また、FPGAで実現すべき論理規模の大小に対して無駄無く適切に対応することができる。
詳しくは、マイクロコンピュータ及びランダムアクセスメモリが実装されたドータボードと、多数の記憶セルに与えられる論理構成定義データに応じて論理機能がプログラマブルに実現されるプログラマブルデバイス及び前記ドータボードが実装されるマザーボードとを有し、前記マイクロコンピュータ及びランダムアクセスメモリは夫々別々の半導体チップに形成されてドータボードの一方の面に実装され、前記ドータボードは他方の面にマザーボードへの実装用外部端子を有し、前記実装用外部端子はドータボード上で前記マイクロコンピュータに接続にされて成る。
この態様においても、前記マイクロコンピュータに動作プログラムを電気的に書き換え可能に保持する第1の不揮発性メモリを内蔵させ、また、マイクロコンピュータにメモリバッファを内蔵させて前記ランダムアクセスメモリをメモリ専用バスで接続するようにしてもよい。そして、前記メモリバッファには出力インピーダンス可変の出力回路を採用するとよい。
発明を実施するための最良の形態
第1図には本発明に係る電子回路装置の第1の実施例であるMCM1が例示される。特に制限されないが、MCM1は、表示及び描画並びに圧縮などのグラフィックス制御に向けたシステムへの適用を意図した例とされる。
同図に示されるMCM1は、高密度実装基板2の一方の主面に複数個の半導体デバイスとして、例えばマイクロコンピュータ(MCU)3、クロック発生ユニット(CGU)4、電源制御ユニット(PCU)5、スイッチユニット(SWU)6、ランダムアクセスメモリ(RAM)7、プログラマブルデバイス(FPGA)8、シリアルコミュニケーションユニット(SCU)9、デジタルアナログコンバータ(DAC)10、フラッシュメモリ(FLSH)11を有する。前記ダイナミックメモリ7はメモリ専用バス12でマイクロコンピュータ3に接続される。マイクロコンピュータ3、FPGA8及びフラッシュメモリ11は共通バスとしてのシステムバス13を共有する。
CGU4はシステムクロック信号SCKと表示系クロック信号DCKを入力し、周波数の分周又は逓倍等を行なって、代表的に例示される表示タイミングクロック信号20をFPGA8に、基準クロック信号21をMCU3及びFPGA8に供給する。
前記MCU3は、代表的に示されたCPU15、オンチップフラッシュメモリ(IFLSH)16、及びメモリバッファ(MBUF)17を有する。前記オンチップフラッシュメモリ16は電気的に書き換え可能な不揮発性メモリであり、CPU15の動作プログラムを格納する。CPU15は内部フラッシュメモリ16、RAM7、又は外部のフラッシュメモリ11から命令を所定の制御手順にしたがってフェッチし、これを解読して命令を実行する。メモリバッファ17はRAM7個有のインタフェース仕様を満足して前記メモリ専用バス12に結合される。
MCU3は、PCU5からのシステムリセット信号22がアサートされるとリセット動作を開始し、ネゲートされると、CGU4からの基準クロック信号21に同期して動作を開始する。MCU3は、特に制限されないが、周辺インタフェース端子24及びプログラム端子25を介して高密度実装基板2の外部とインタフェース可能にされ、実装基板2の外部からMCU1に内蔵の図示を省略する制御ユニットを介してオンチップフラッシュメモリ16を書き換え可能になっている。即ち、MCU3は、プログラム端子25からのプログラムモードの指示に応答してオンチップフラッシュメモリ16を周辺インタフェース端子24を介して外部から前記図示を省略する制御ユニットを介してアクセス可能にされ、この状態でMCM1の外部から書き換えが行なわれる。
PCU5は電源制御行なうと共にリセット動作を管理する。PCU5は、外部電源端子26から外部電源を入力し、例えばこれを降圧及び昇圧して、実装基板2上で使用する内部電源電圧V0,V1,V2を生成する。例えば、MCU3等には1.8V、3.3Vの内部電源電圧が供給され、SCU9及びDAC10には12Vの内部電源電圧が供給される。PCU5は、リセット管理機能として、FPGA8のプログラム完了信号27と外部電源電圧を監視し、外部電源電圧が安定化しているとき、プログラム完了信号27がアサートされるのを条件にリセット信号22をアサートし、一定時間経過後にそのリセット信号22をネゲートして、MCU3及びFPGA8の実動作を開始させる。
SWU6はデバッグに際して実装基板2上で着目すべき信号を選択してモニタ端子28に出力可能にする回路である。第1図では代表的にシステムバス13がSWU6に接続され、その接続配線がシステムバスの負荷を不所望に増大させないようバッファ6Aを介して接続される。SWU6がどの信号線をモニタするかは、モニタ動作の前にMCU3がシステムバス13を介してSWU6のコントロールレジスタ(図示せず)に選択制御情報をセットすることによって決定される。
RAM7はDRAM又はシンクロナスDRAMなどのダイナミックメモリ、或はSRAMなどのスタティックメモリである。メモリバッファ17はRAM7に適合するインタフェース仕様を有し、信号振幅の大きさ、アドレス、データ及びアクセス制御コマンドなどをやり取りするためのプロトコル等を満足できりるようになっている。アクセス制御コマンドは、例えば、SDRAMであれば、クロックイネーブル信号、メモリイネーブル信号、ロウアドレスストローブ信号、カラムアドレスストローブ信号、ライとイネーブル信号、アウトプットイネーブル信号として位置付けられる信号機能とされる。
FPGA8は、特に制限されないが、その内部にマトリクス状に配置された多数の信号パス、信号パスの接続経路を選択する多数の可変スイッチセル、及び多数の可変論理セルを有する。可変論理セルの論力機能、可変論理セルと信号パスとの接続形態は、データラッチ回路にラッチされる論理構成定義データ(論理機能定義データとも称する)によって決定され、前記可変スイッチセルによる信号パスの接続形態は、データラッチ回路にラッチされる論理構成定義データによって決定される。データラッチ回路はスタティックラッチ、或は不揮発性メモリセルによって構成され、全てのデータラッチ回路に論理構成定義データを初期設定することにより、FPGA8のハードウェア的な論理構成が決定され、その論理構成に従った動作を行なう。論理構成定義データを変更すれば、FPGA8の論理機能を変化させることができる。FPGA8はプログラムポート30から論理構成定義データを読込み、読み込み完了すると、プログラム完了信号27をPCU5に向けてアサートし、これによって、PCU5はシステムリセット信号22をアサートする。
第1図の実施例では、FPGA8には表示に関する論理機能を搭載させることを目的としており、実装基板2の外部とはPCI(Peripheral Component Interconnect)バス端子31による接続が採用され、その他に、SCU9を介してシリアル端子32に接続され、また、DAC10を介してアナログ端子33に接続される。シリアル端子32は例えば図示を省略する外部スイッチ及びキーボードなどの外部装置との通信に利用可能にされ、アナログ端子33は図示を省略するCRT,LCD等のディスプレイへの表示及び表示タイミング信号の出力に利用可能にされる。
前記SCU9は前記図示を省略するスイッチ、キーボードなどの入出力デバイスとの通信を行うためのもので、FPGA8を介してMCU3が制御する。
前記DAC10はFPGA8から表示クロックに同期して供給されるディスプレイへの表示データをアナログ信号に変換する。通常は、赤,緑、青(RGB)の輝度信号と、緑に重畳する水平垂直同期信号を出力する。
特に図示はしないが、前記実装基板2には、必要に応じてコンデンサや抵抗等の受動素子を配置することができる。
特に制限されないが、第1図の構成は、システムの開発デバック時の構成とされる。同図の構成は、デバック完了後の量産時には、フラッシュメモリ11をROMに変更し、FPGA8を所定機能のゲートアレイ又はASIC(Application Specific Integrated Circuit)などによるカスタムLSIに置きかえて構成すればよい。SWU6は取り外してよい。なお、第1図の構成は、必要ならば、デバック完了後、そのまま製品として使用されてもよく、またその後、上記のようにカスタムLSIへの置き換えが行われてもよい。第1図の構成をデバッグ完了後、そのまま製品として使用する場合には、FPGA8の論理構成定義データのためのリードオンリメモリ(ROM)ないしはフラッシュメモリのような不揮発性メモリが設けられる。かかるROMないしは不揮発性メモリは、MCM1を搭載するマザーボード46(第2図参照)上のような部分に設定され、システムの電源投入時のような起動時にFPGA8へ与えられる。FPGA8の論理構成定義データは、もし望なら、MCM1におけるフラッシュメモリ11に不揮発的に書き込まれ、そしてシステム起動時にFPGA8へ与えられるようにされても良い。
次に、前記MCM1を用いるシステムの開発デバッグ時において、前記内部フラッシュメモリ16に格納すべきプログラムと、FPGA8で実現すべき論理機能についてデバックを行う時の動作を説明する。
先ず、FPGA8は、前述のように電源投入後、FPGAプログラムポート30から論理構成定義データが読込まれて、その論理構成が確定すると、PCU5のリセット管理機能により、リセット信号22にてMCM1上でシステムリセットが行われる。リセット信号22がネゲートされてリセット解除が行なわれると、MCU3はプログラム端子25からプログラムモードの指示に応答して、周辺インタフェース端子24からロードされるデバッグ対象とされるターゲットプログラムをオンチップフラッシュッメモリ16に書き込み可能にする。また、MCU3は、リセット解除後に、CPU15にオンチップフラッシュメモリ16の書き換え制御プログラムを実行させることにより、必要に応じて、オンチップフラッシュメモリ16の動作プログラムを書きかえることが可能である。前記書き換え制御プログラムは予めフラッシュメモリ11にストアしておき、割込などを用いてそれをCPU15に実行させればよい。
CPU15によるターゲットプログラムの実行時にバス情報やその他の内部情報を外部でサンプリング可能にするには、CPU15がターゲットプログラムを実行する前に、デバッグ制御プログラムを実行して、SWU6のコントロールレジスタにサンプリング情報の指定データを初期設定させる。これにより、CPU15がターゲットプログラムを実行しているとき、指定されたサンプリング情報がSWU6からモニタ端子28に出力され、この出力をロジックアナライザで受けてその波形を観測可能にすることができる。
第2図には第1図のMCM1の断面構造が概略的に例示される。高密度実装基板2は、ガラス基板40と、前記ガラス基板の一方の主面に形成された多層配線層41とを有し、所謂ビルドアップ基板若しくは複合配線基板としての構成を備える。多層配線層41は相互に絶縁層42で隔離された配線12,13等がX,Y方向に配置されて構成される。MCU3等の半導体デバイスは、面実装可能なように、その回路形成面側に回路のための外部端子としての複数のバンプ電極43を備えている。該半導体デバイスは、バンプ電極を持つ通常のベアチップと同様に製造されていても良いし、ウエーハプロセスパッケージと称されるような半導体ウエーハレベルで回路素子、配線、パッシベーション膜、バンプ電極が形成され、その後、ダイシング等の半導体ウエーハ分割技術によって各半導体デバイスを得るような方法によって製造されていても良い。
前記多層配線層41の表面には多層配線層の所望の配線層に電気的結合する実装用接続端子としてのバンプ電極44が設けられている。半導体デバイスは、フェースダウンボンディング技術によって高密度実装基板2に搭載される。すなわち、半導体デバイスのバンプ電極43と、高密度実装基板2のバンプ電極44が接合される。前記ガラス基板40の他方の主面には前記多層配線層41の所定の配線に、前記ガラス基板40を貫通して電気的に結合する実装用外部端子としてのバンプ電極45が設けられている。高密度配線基板2は、必要に応じて、第3図のように各種配線47を持つマザーボード46に搭載される。すなわち、高密度配線基板2のバンプ電極45は、マザーボード46のランドパターン48に機械的電気的に結合される。
高密度実装基板2におけるバンプ電極44は、そのサイズ及びその複数個の相互の間隔ないしはピッチが半導体デバイスにおけるバンプ電極43と対応する微小なサイズ、間隔ないしはピッチを持つようにされる。これに対して、バンプ電極45は、比較的大きいサイズ、及び相互間隔を持つようにされる。そこで、本件明細書では、高密度配線基板2の半導体デバイスに対応されるべきバンプ電極44を、その微小さに対応する観点から、あるいはバンプ電極45との呼称上の明確化の観点から、マイクロバンプとも称することとする。
第3図にはMCM1の断面構造のうち多層配線層41の詳細構造を例示する。多層配線層41は、例えば4層の配線50〜53を有し、それらは絶縁層54A〜54Dにて分離され、回路を構成するための上下配線相互間の接続は、絶縁層54A〜54Dに形成したスルーホール55を介して行なわれる。
前記ガラス基板40は例えばTFT液晶用基板などに使用される無アルカリガラス或は半導体センサの透明部分に利用されるホウケイ酸ガラス等によって構成され、厚さはたとえば0.5mm程度である。前記配線50〜53はアルミ(Al)合金、銅(Cu)、タングステン(W)などの金属配線材料によって構成される。絶縁層54A〜54Dは例えば酸化シリコン又はポリイミド膜などによって構成される。最下層の配線50の線幅及び間隔は例えば10μm〜30μm程度であるのに対し、最上層の配線53の線幅及び間隔は夫々1μm〜10μm程度である。前記マイクロバンプ43,44は例えば直径5μm〜100μm程度の金(Au)バンプ又は錫(Sn)バンプから成る。一方、前記バンプ電極45はマイクロバンプ43,44よりも融点の低い半田などによって構成され、例えば数百μm程度の直径を有する。
前記配線50〜53、スルーホール55、マイクロバンプ44などはフォトリソグラフィ技術を用いることにより高い寸法精度で製造することができる。配線50は接着層を介してガラス基板40にスパッタリング法で堆積し、その後でフォトレジスト膜などを用いてパターンニングして形成すればよい。上部配線51〜53もスパッタリングとパターンニングによって形成することができる。絶縁膜54A〜54DはCVD法(Chemical Vapor Deposition Method)による酸化シリコン膜の形成や、塗布法によるポリイミド膜の形成などの成膜技術によって形成すればよい。マイクロバンプ44は例えば蒸着法で形成することができる。バンプ電極45は、ガラス基板40に貫通孔を形成し、その奥部にバリアメタルを設け、その上から半田ボール供給法又はスクリーン印刷法にて半田を供給し、この半田をリフローすることによって形成することが可能である。
上の説明からも明らかなように、実施例のMCMのための高密度実装基板2は、その一方の主面に、半導体デバイスの外部接続端子(バンプ電極ないしはマイクロバンプ43)と対応される比較的微細なサイズの接続端子(バンプ電極ないしはマイクロバンプ44)とそれにつながる多層配線とを持ち、その他方の主面に比較的大きいサイズの外部接続電極(バンプ電極45)を持つものとして理解できる。
第4図にはFPGA8の詳細な一例が示される。同図に従えば、FPGA8は、マトリクス配置された多数の可変論理ユニット60、可変接続ユニット61、可変外部入出力回路62A〜62D、行方向に延在された複数の信号配線63、列方向に延在された複数の信号配線64、及びプログラム制御回路65などが、単結晶シリコンのような1個の半導体基板に配置されて成る。
前記可変論理ユニット60、可変接続ユニット61及び可変外部入出力回路62A〜62Dは、夫々可変スイッチセル、可変論理セル、及びデータラッチ回路を有する。可変論理セルの論理機能、可変スイッチセルによる可変論理セルと信号パスとの接続形態は、データラッチ回路にラッチされる論理構成定義データによって決定される。各データラッチ回路に対する論理構成定義データの供給はプログラム制御回路65が制御する。
第5図にはMCU3におけるメモリバッファ17の詳細な一例が示される。メモリバッファ17は、MCU3の内部バス70に含まれるアドレスADR,データDAT、コントロールCNTの3種類の信号線に接続され、メモリインタフェース71でRAM7のアドレスを判定し、それが真であればメモリIO部72を介して、RAM7にアドレス、データ、コントロールの信号を出力する。
一方、システムバスバッファ73も同様に前記内部バス70からのアドレスADR、データDAT、コントロールCNTの3種類の信号線に接続され、システムインタフェース74でシステムバス70上のアドレスを判定し、それが真であればシステムバスIO部75を介して、実装基板2の外部にアドレス、データ、コントロールの信号を出力する。
ここで、第5図の実装基板2上の小さな黒丸は実装基板2上のマイクロバンプ44を示し、白丸は搭載する半導体デバイスのマイクロバンプ43を示している。
実装基板2の外部と接続する半田バンプ45は、摩擦静電気による異常高電圧のような、電気的には劣悪な環境にさらされてしまう可能性を考慮に入れておいた方が望ましい。すなわち、静電気に対する対策を行う必要がある。そのため、例えばシステムバスバッファ73に例示されるIO部75には2個のダイオード76A、抵抗76B、MOSトランジスタ76Cから構成されるESD(ElectoroStaticDischage)回路76が設けられる。
一方、メモリバス12のように、実装基板2上の配線で閉じており、外部からの影響が少ないバスの場合には、メモリIO部72の入力バッファには、抵抗及びMOSトランジスタが無く、小型のダイオード77Aで構成される小さいESD回路77とすることができる。
このように、メモリバス12に関してはESD回路77を非常に小型に出来るため、入力容量が小さくなり、そのため消費電力が小さくなる効果がある。また、チップ面積を小さくする効果がある。更に、信号の伝搬が高速になる効果を得る。
上述のように、ESD回路77が小さくなり、入力容量が小さく、実装基板2上の配線のみで、配線抵抗、配線容量が小さくなると、逆に信号反射の影響が大きく見えてくる。そのため、メモリIO部72に例示されるようにインピーダンス制御を行える出力バッファ78を採用する。RAM7に出力する信号は、メモリインタフェース71から出力される信号outp,outnを用いて、論理値“1”,“0”、ハイインピーダンスが制御される。即ち、電源電圧Vddにソースが接続されたMOSトランジスタ78Pのゲートに信号outpが供給され、接地電圧Vssにソース接続されたMOSトランジスタ78Nのゲートに信号outnが供給される。
前記MOSトランジスタ78P,78Nのインピーダンスが実装基板2のインピーダンスに整合していれば、送信側終端として反射を減らす事が可能である。実際には、LSIの製造プロセスのばらつき、使用する実装基板2の種類によって、インピーダンスを完全に合わせる事は難しい。そこで、通常の出力バッファのMOSトランジスタ78P,78Nと直列にインピーダンス制御用のMOSトランジスタ79P,79Nを挿入した。このMOSトランジスタ79P,79Nにインピーダンス制御用電圧発生部80の出力する電圧信号を与えることよって該挿入したインピーダンス制御用のMOSトランジスタ79P,79Nの抵抗値が可変となり、該電圧信号を最適値にすることで、反射を減らすことが可能となる。この制御電圧信号は、図示を省略する実装基板上の回路から供給してもよい。また、MCU3内部で、反射の電圧を測定し、測定結果を上記制御電圧信号にフィードバックさせる回路を採用してもよい。また、前記制御電圧は実装基板2の外部から供給するようにしてもよい。
尚、前記夫々のインピーダンス制御用MOSトランジスタ79P,79Nは、例えば、実際には、並列接続された複数個のMOSトランジスタから構成され、オン状態にされるトランジスタの数に応じてインピーダンス制御用MOSトランジスタのオン抵抗を相違させるよにしてもよい。この場合、インピーダンス制御電圧発生部80は並列接続された複数個のMOSトランジスタの夫々に対するゲート制御信号を生成し、必要なオン抵抗に従って前記複数ビットのゲート制御信号のハイレベル及ぶローレベルを制御する。
上記メモリIO部72の構成はRAM7の入力バッファ及び出力バッファにも適用可能であり、両方に適用する事で、更に信号伝搬の高速化の効果が増大する。また、ESD部77が小さくできることで、同じ面積のチップ上に入力バッファ及び出力バッファの数を増やすことが可能となるため、データの並列入出力ビット数を増やすことが容易になり、高速化を企図してメモリ専用バス12を採用することと相俟って、さらに高速なデータ転送性能若しくは高速なデータアクセス性能を実現する事ができるようになる。
上記MCM1によれば以下の作用効果を得ることができる。
〔1〕システム開発に上記MCM1を利用すれば、論理構成定義データに応じてFPGA8に所望の論理機能を設定することができ、MCM1で実現すべき機能、特にハードウェアを主体として実現すべき機能を模擬することができ、これにより、システム開発の早い段階におけるデバッグの容易化、プロトシステムの実現、に資することができる。
〔2〕MCU3が動作プログラム格納用にフラッシュメモリ16を内蔵することにより、特にソフトウェアを主体として実現すべき機能を模擬することができ、この点でもデバッグの容易化、プロトシステムの実現、に資することができる。
〔3〕前記MCU3及びFPGA8がシステムバス13を共有するから、CPU15若しくはマイクロコンピュータ3はシステムバス13を介してFPGA8をその周辺回路として容易に機能させることが可能になる。
〔4〕MCU3のオンチップフラッシュメモリ16とは別のフラッシュッメモリ11をシステムバス13に接続して設けることにより、当該フラッシュメモリ11にCPU15若しくはMCU3が参照する制御データテーブルやデバッグ制御プログラム等をプログラマブルに設定して、システムデバッグを行なうことができる。
〔5〕前記MCU3にはメモリバッファ17を設け、前記メモリバッファ17と前記RAM7をメモリ専用バス12で接続し、前記メモリ専用バス12をシステムバス13や実装基板2の外部接続端子とは非接続とする構成を採用することにより、バスの並列ビット数、バスの信号振幅、バス駆動方式などを、利用するRAM7のインタフェース仕様に合わせて最適化することが容易であり、CPU15によるメモリアクセスの高速化の要請に的確に答えることが容易になる。
〔6〕前記メモリバッファ17の出力バッファ78に、出力MOSトランジスタに直列接続された出力インピーダンス制御用MOSトランジスタ79P,79Nを採用し、出力インピーダンス制御用MOSトランジスタ79P,79Nのインピーダンスを制御可能にするから、出力インピーダンス制御用MOSトランジスタ79P,79Nのオン抵抗を制御することにより、伝送線としてのメモリ専用バス12とのインピーダンスマッチングが容易になる。
〔7〕シリコンと同程度に反りや寸法変動が小さく、しかもシリコンよりも安価なガラスを基板材料に用いることにより、フォトリソグラフィ技術を使って基板上に微細な配線やスルーホールを形成でき、半導体デバイスなどの電子部品を高密度に実装することができる。
〔8〕以上より、開発途上若しくは開発初期のシステムに対するデバックを実際に使用する動作周波数とほぼ同じ速度で行うことが可能となる。開発後の量産時にも、前述の如き高密度実装基板上の半導体デバイスを大幅に変更することなく対応することができ、また、MCM1による上記電子回路装置をSOCのLSIに代わる最終製品として位置付けると、少量多品種の場合には圧倒的な減価低減の優位性があり、性能、基板サイズの点でもSOCに匹敵するという効果がある。
第6図には本発明に係る電子回路装置の第2の実施例であるMCM1Aが例示される。同図に示されるMCM1Aは、第1図のMCM1に対し、オンチップフラッシュメモリ16を搭載しないMCU3Aを採用した点で相違する。一般に、フラッシュメモリに高速な動作を期待する場合と、機密性の高い情報をLSIチップ外部に出さないように保存しておく場合にフラッシュメモリをMCUの内部に搭載する。上記必要性がない場合にはフラッシュメモリを搭載しないMCU3Aを使用すれば充分である。
その他に、SWU6とPCU5が省略され、動作電源V0,V1,V2は外部から直接供給される。プログラム完了信号27は実装基板2Aの外部に出力され、システムリセット信号22は実装基板2Aの外部から供給される。その他の点については第1図と同様であり、その詳細な説明は省略する。
第7図には本発明に係る電子回路装置の第3の実施例であるMCM1Bが例示される。同図に示されるMCM1Bは、第1図のMCM1に対し、フラッシュメモリ11を実装基板2Bの外部に配置した点で相違する。フラッシュメモリ11及びMCM1Bはマザーボード46に搭載される。一般に、フラッシュメモリはメモリバスに比べてアクセス速度が非常に遅いから、用途によっては無理に実装基板2Bに搭載する必要はない。また、フラッシュメモリ11の記憶容量が用途に応じて大幅に変動すことが予め予想される場合には、システムの柔軟性という点で実装基板2の外部に配置する方が得策である。
その他に、SWU6とPCU5が省略され、動作電源V0,V1,V2は外部から直接供給される。プログラム完了信号27は実装基板2Bの外部に出力され、システムリセット信号22は実装基板2Bの外部から供給される。その他の点については第1図と同様であり、その詳細な説明は省略する。
第8図には本発明に係る電子回路装置の第4の実施例であるMCM1Cが例示される。同図に示されるMCM1Cは、第7図のMCM1Bに対し、SCU9及びDAC10も実装基板2Cの外部に配置した点で相違する。要するに、実装基板2Cには、MCU3A、RAM7、CGU4、FPGA8のみが搭載されてMCM1Cが構成される。フラッシュメモリ11、SCU9、DAC10及びMCM1Bはマザーボード46に搭載される。実装基板を用いた論理変更可能なプラットフォームを考えた場合には共通性の高い半導体デバイスのみを実装基板2C搭載することが、様々なシステムへの適用を考慮した場合には得策である。したがって、FPGA8は第8図の如く、実装基板2Cの外部でSCU,DACに接続する利用形態に限定されることはない。
第9図には本発明に係る電子回路装置の第5の実施例を示す。同図の電子回路装置に用いられるMCM1Dは、第8図のMCM1Cに対し、FPGA8も実装基板2Cの外部に配置し、これに応じてCGU4Dはシステムクロック信号SCKに基づいて内部クロック信号21intと外部クロック信号21extを生成し、内部クロック信号21intをMCU3に、外部クロック信号21extをFPGA8に供給可能に構成される。MCU3とFPGA8には別々にリセット信号22A,22Bが供給される。前記フラッシュメモリ11、FPGA8、SCU9、DAC10及びMCM1Bはマザーボード46に搭載される。第8図はFPGAを用いた論理変更可能なMCMの最小構成を示しているのに対し、第9図はMCU内蔵フラッシュメモリ16を用いた論理変更可能なMCMの最小構成を示している。
このようにFPGA8を実装基板2Dに搭載しない構成は、FPGAに搭載する論理回路の分量が未定であるか、大きく変動することが予め予想される場合に効果がある。すなわち,FPGA8に搭載する論理回路の基部が大きい場合、実装基板に大きなFPGA8を搭載する必要がありコストが増大する。FPGA8を実装基板2Dから分離することでMCMのコストを抑えることが可能となる。
第10図には本発明に係る電子回路装置の第6の実施例であるMCM1Eが例示される。同図に示されるMCM1Eは、第8図のMCM1Cに対し、JTAGコントロールユニット(JTAGU)18を搭載し、実装基板2Eに搭載されたMCU3E、CGU4E、及びFPGA8Eの夫々がJTAGによるバウンダリスキャン若しくはビルトインテスト機能を有している点で相違される。
一般に、実装基板にフェースダウンで半導体デバイスを面実装するとき、半導体デバイスの各外部端子が正しく実装基板のマイクロバンプに接続されているかを検査するには、直接テスタを半導体デバイスの外部端子に接触することができない。そこで、X線により接続状態を検査したり、実動作試験の動作確認で検査したり、半導体デバイスに搭載されるJTAGによる接続検査が考慮されることになる。一方、MCUのような半導体デバイスでは、JTAGのポートを使用して、デバイス内部の状態を入力したり、出力したりするデバッグ機能がを有するものがある。第10図はそのようなバウンダリスキャン及びビルトインテスト機能を利用するものである。
ここで先ず、MCU3E、CGU4E、及びFPGA8Eの夫々が有するJTAGの構成を第11図に基づいて説明する。特に制限されないが、複数個のスキャンラッチとしてバウンダリスキャンセル90が信号系の各外部端子91に付加されている。92はバッファである。バウンダリスキャンセル90はマスタ・スレーブの構成を有する。各バウンダリスキャンセル90はマスタ段が直列的に順次接続され、シフトレジスタとして機能されるバウンダリスキャンレジスタを構成する。バウンダリスキャンレジスタの入力はテストデータ入力端子tdiに接続され、バウンダリスキャンレジスタの出力端子はテストデータ出力tdoに接続される。バウンダリスキャンセル90のマスタ段はシフト動作を行なうと共に、外部端子又は内部回路からのデータの取り込みを行なう。スレーブ段は、外部端子又は内部回路にデータを送る。マスタ段及びスレーブ段の動作はバウンダリスキャン制御回路93によって制御される。バウンダリスキャン動作モードが設定されていない場合には、外部端子と内部回路との間はスルーとされ、バウンダリスキャンセルは機能されない。第11図において内部回路の一例としてポートレジスタ94が代表的に示されている。
端子tdi,tdoはバウンダリスキャンで用いるレジスタの外部とのインタフェース端子、端子tckはテスト動作の同期クロック端子、tmsはtckに同期した状態遷移のためのコントロール信号である。
前記バウンダリスキャン制御回路93は端子tck,tmsからの入力信号を受け、tckに同期してtmsが“0”か“1”かによって制御状態を遷移させるステートマシンとされる。これによって形成されるステータスが内部でデコードされ、デコード結果にしたがってスキャンラッチ90の動作等が制御される。テストモードの種類を決定するためのインストラクションは端子tdiからバウンダリスキャン制御回路93にロードされる。バウンダリスキャン制御回路93はインストラクションをデコードすることによってテストモードが決定される。決定されたテストモードに従ったテスト動作はステートマシンの前記ステータスによって遷移されることになる。
第12図には上記半導体デバイスのバウンダリスキャン機能に呼応して設けられたJTAGU18と半導体デバイスとの接続関係を中心としたMCM1Eのブロック図が例示される。前記JTAGU18は、前記MCU3E,CGU4E,FPGA8Eのテスト制御端子(tms,tck)に並列的に接続される共通テスト制御端子TMS,TCKと、共通テストデータ入力端子TDIと、共通テストデータ出力端子TDOと、JTAGコントローラ(JTAGC)95と、セレクタ96〜98を備える。データ端子TDIはMCU3Eのバウンダリスキャンレジスタのデータ入力端子tdi、セレクタ97,98の一方にデータ入力端子に接続される。MCU3Eのバウンダリスキャンレジスタのデータ出力端子tdoはセレクタ97の他方のデータ入力端子、セレクタ96の第1のデータ入力端子に接続される。CGU4Eのバウンダリスキャンレジスタのデータ出力端子tdoはセレクタ98の他方のデータ入力端子、セレクタ96の第2のデータ入力端子に接続される。FPGA8Eのバウンダリスキャンレジスタのデータ出力端子tdoはセレクタ96の第3のデータ入力端子に接続される。セレクタ96の出力端子はデータ出力端子TDOに接続される。JTAGC95はモード端子TMODEからシリアルに供給されるモードデータにしたがってセレクタ96〜98の選択状態を決定する。モードデータによってセレクタ96〜98が採り得る選択状態は、半導体デバイス3E,4E,8Eのバウンダリスキャンレジスタを前記共通テストデータ入力端子TDIから共通テストデータ出力端子TDOに直列的に接続する直列接続状態、半導体デバイス3Eのバウンダリスキャンレジスタを前記共通テストデータ入力端子TDIから共通テストデータ出力端子TDOに接続する第1個別接続状態、半導体デバイス4Eのバウンダリスキャンレジスタを前記共通テストデータ入力端子TDIから共通テストデータ出力端子TDOに接続する第2個別接続状態、半導体デバイス8Eのバウンダリスキャンレジスタを前記共通テストデータ入力端子TDIから共通テストデータ出力端子TDOに接続する第3個別接続状態とされる。
実装基板2Eにフェースダウンで半導体デバイス3E,4E,8Eを実装したとき、半導体デバイス3E,34E,8Eと実装基板2Eとの端子接続状態は目視では確認し難い。実装状態を検証するには、テスタに実装基板2Eを装着し、モード信号TMODEにてJTAGC95に前記直列接続状態を選択させ、各半導体デバイス3E,4E,8Eの外部端子にテスタから実装基板2Eを介してテストデータを与え、これを各半導体デバイス3E,4E,8Eの外部端子からそれぞれに対応されるスキャンラッチにラッチさせ、それらをシフトレジスタ動作させ、前記共通テストデータ出力端子TDOからテスタに帰還させ、テストデータとの一致/不一致を判定することにより、半導体デバイス3E,4E,8Eと実装基板2Eとの電気的接続状態を確認することが可能になる。
デバッグを行う場合には、前記テスタを介してMCM1Eを動作させ、デバッグ対象がMCU3Eの場合には前記JTAUC95に前記第1個別接続状態を選択させて、MCU3Eのスキャンラッチにサンプリングすべき情報をラッチさせ、ラッチされた情報を複数のスキャンラッチのシフトレジスタ動作にて前記共通テストデータ出力端子TDOからテスタに供給して、供給された情報を解析することが可能になる。デバッグ対象がCGU4Eの場合には前記JTAUC95に前記第2個別接続状態を選択させ、デバッグ対象がFPGA8Eの場合には前記JTAUC95に前記第3個別接続状態を選択させて、同様にデバッグ動作を行なえばよい。
このように、JTAGU18を実装基板2Eに搭載することで、実装基板2E上の各半導体デバイス間のバウンダリスキャンによる接続チェックが行える。また、半導体デバイスがJTAGポートを用いて実現しているデバック機能をTMODEによる選択状態を切り替えることによって使用することが可能となる。
第13図には本発明に係る電子回路装置の第7の実施例であるMCM1Fが例示される。同図に示されるMCM1Fは、第1図のMCM1に対し、メモリ専用バス12を設けず、システムバス13にRAM7を共通接続した点が相違され、その他の点は同じである。MCU3Fは当然メモリバッファ17を備えることを要しない。MCU3FによるRAMの高速アクセスは制限されるが、左程の高速動作を行なわなくても済む用途ではデータ処理上支障なく、その代わりにMCM1Fのコストを低減できる。
図示は省略するが、MCMにメモリ専用バス12を採用しないMCMにおいても、第6図のようにフラッシュメモリ16をオンチップしないMCUを採用し、第7図のようにフラッシュメモリ11を実装基板の外に配置し、第8図のようにフラッシュメモリ11と共にSCU9及びDAC10実装基板に外に配置し、第9図のようにFPGA8も実装基板の外に配置し、また、第10図のようにJTAGU18を実装基板に搭載した構成を採用することが可能である。
第14図には第1図のMCM1を自動車のナビゲーションシステムのデバック装置に適用した構成が例示される。MCM1は第1図で説明した構成を備える。MCM1はマザーボード46に実装されている。
sckはシステムクロックSCKを生成する水晶発振器、dckは表示クロックDCKを生成する水晶発振器を示しており、それぞれMCM1にクロックを供給する。電源回路100からコネクタC1を介してMCM1に電源が供給される。操作スイッチ101からの信号は、コネクタC9を介してMCM1のシリアル通信ポート9に接続される。
自動車の速度を示す車速信号はコネクタC8を介して周辺I/O半導体デバイス102に接続する。MCM1上のMCU3はFPGA8のPCIバスポート31を介して、周辺I/O半導体デバイス102をアクセスすることが可能で、前記車速信号の状態を読み出すことができる。
GPSアンテナ103は、GPS(Global Positioning System)の電波を受信し、複数の衛星からのメッセージをデジタル信号に変換するもので、コネクタC7を介して周辺I/O半導体デバイス102に接続する。該メッセージはMCM1上のMCU3がFPGA8のPCIバスポート31を介して、周辺I/O半導体デバイス102をアクセスすることで読み出すことができる。
DVD−ROMドライブ104は地図データを格納するもので、コネクタC6を介して周辺I/O半導体デバイス102に接続する。該地図データはMCM1上のMCU3がFPGA8のPCIバスポート31を介して、周辺I/O半導体デバイス102をアクセスすることで読み出すことができる。
ディスプレイ105はコネクタC3を介してMCM1のRGBアナログ信号ポート33に接続する。ディスプレイ105は赤、緑、青の色情報と、緑に重畳された水平、垂直同期信号にしたがって画面上に画像を表示する。
PCデバッガ106はMCM1上のFPGA8の論理機能定義データと、フラッシュメモリ11,16に対するプログラム書き込み、そしてデバッグのための支援制御を行なう回路であり、コネクタC4を介してFPGAプログラムポート30と、コネクタC5を介してMCUの内蔵周辺I/Oポート24に接続される。PCデバッガ106にはFPGA8に搭載する論理回路の定義データを有しており、PCデバッガ106に対するオペレータの指示によりFPGA8に該論理回路定義データをコネクタC4を介して書き込む。また、PCデバッガ106は、フラッシュメモリ11、16に搭載するプログラム情報を有しており、PCデバッガ106に対するオペレータの指示によりコネクタC5を介して、フラッシュメモリ11,16に対するに書き込みの要求を出力する。MCU3は、MCU内蔵周辺I/Fポート24から前記書き込みの要求を受けると、該要求に付随して与えられる書き込みデータをシステムバス13を介してフラッシュメモリ11に書き込む。或はオンチップフラッシュメモリ16にプログラムを書き込む。
ロジックアナライザ107はコネクタC2を介してMCM1の内部信号プローブポート28に接続される。内部信号プローブポート28には、MCM1の選択された内部信号が出力されており、ロジックアナライザ107は、該内部信号を常時取り込む。ロジックアナライザ107は、オペレータの指示により該ロジックアナライザ107のディスプレイに取りこまれた信号を表示する。
上述のように、MCM1には電気的に書き換え可能なフラッシュッメモリ11,16と論理機能可変のFPGA8を搭載したことにより、システムが小型になり、またそのため,動作周波数が高くなり、実際の製品と同じ状態で、ナビゲーションシステムのデバック、検証を行うことが可能になる。
第15図にはMCM1を用いた自動車のナビゲーションシステムの外観が例示される。
本体110にはマザーボード46上に構成された第14図と同等に機能を備えたナビゲーションシステム基板とDVD−ROMドライブ104が格納され、操作スイッチ101とディスプレイ105が一体になったパネル部111は該本体110とケーブル112で接続され、GPSアンテナ103は前記本体110とケーブル113で接続され、電源回路100は自動車のバッテリーから前記本体にケーブル114で接続され、エンジン制御部からの車速信号は前記本体110にケーブル115で接続される。
実製品では第14図に示されるコネクタC2、コネクタC4,コネクタC5は使用しない。製品に適用する場合は、フラッシュメモリ11、16に予めプログラム情報を格納する。また、FPGA8は不揮発性のFPGAを用いるが、CBIC(Cell Base IC)にした半導体デバイスに置き換えるか、フラッシュメモリ11からFPGA8の論理機能定義データを書き込むようにするか、或はMCU3がDVD−ROMドライブ104からFPGA8に書き込む論理機能定義データを読み出してFPGA8に書込む構成にすればよい。フラッシュメモリ11から、FPGA8に論理機能定義データ回路を書き込むには、FPGA8の動作モードをシステムバス13から設定することで可能になる。また、DVD−ROMドライブ104からFPGA8に論理機能定義データを書き込む場合、FPGA8を介してDVD−ROMドライブ104をアクセスするため、直接書き込みを行うことはできないから、一旦フラッシュメモリ11にDVD−ROMドライブ104から論理機能定義データを格納してから、FPGA8に書き込みを行なえばよい。
このように、DVD−ROMドライブ104にフラッシュメモリ11に書き込むプログラム情報、あるいはFPGA8の論理機能定義データ、或はその両方を格納する事で、製品になった後でもハードウェアを含む仕様の変更や機能追加を行う事が可能になる。
第16図には前記MCU3の一例が示される。MCU3は、内部バス120、CPU15、オンチップフラッシュメモリ(IFLSH)16、メモリバッファ17、システムバスバッファ73、フラッシュ制御ユニット(FLSCNT)121、及びMCU内蔵周辺回路122から成る。
前記CPU15は、内部バス120にメモリのアドレスを出力し、読込んだメモリ上のプログラムの命令に従って動作する。前記メモリバッファ17は、該内部バス120に出力されたアドレスがメモリバス上のアドレスの場合、メモリバス上のメモリに対して読み出し、書き込みを行う。システムバスバッファ73は、前記内部バスに出力されたアドレスがシステムバス上のアドレスの場合、システムバス上のデバイスに対して読み出し、書き込みを行う。前記フラッシュ制御ユニット(FLSCNT)121は、前記内部バスに出力されたアドレスがオンチップフラッシュメモリ16のアドレスの場合、フラッシュッメモリ16に対して読み出し、書き込みを行い、また、外部からのフラッシュメモリ制御信号がフラッシュメモリ16に対して書き込み、読み出しを指示する場合、内部バス120を介してフラッシュメモリ16に対して書き込み、読み出しを行う。前記MCU内蔵周辺回路122は、外部からのMCU周辺インタフェース24からの指示により、内部バスにアドレスとデータと読み出し、書き込みの指示を与える。
通常、CPU15は電源が供給されリセットが投入されるとフラッシュメモリ16又はメモリバス上のメモリ或はシステムバス上の決まったアドレスからプログラムを読み出し動作を開始する。
オンチップフラッシュメモリ16に対してプログラムを格納する場合は、プログラム端子15からのフラッシュ制御により、MCU3電源が供給されリセットが投入されたときCPU15が動作せずにオンチップフラッシュメモリ16に対して書き込み・読み出を可能にすることができる。
リセットを介してCPU15が動作を開始した後、フラッシュメモリ16に対して書き込みを行う場合には、CPU15から又はMCU3内蔵周辺のユニット122からフラッシュメモリ16のアドレスを出力することで書き込みを行うことが可能である。
専用メモリバス12への接続が不要なMCUはメモリバッファ17を省略すればよい。フラッシュメモリ16をオンチップしない場合にはFLSHCNT121は不要である。
第17図にはFPGAを内蔵するMCU3Gを例示する。同図のMCU3Gは、第16図に対し、前記IFLSH16とFLSHCNT121の代わりに、FPGA130とFPGACNT131を搭載して構成される点が相違される。CPU15は内部バス120にメモリのアドレスを出力し、読み込んだメモリ上のプログラムの命令に従って動作する。FPGA制御ユニット(FPGACNT)131は、前記内部バス120に出力されたアドレスがFPGA130のアドレスの場合、FPGA130に対して読み出し、書き込みを行い、また、外部からプログラム端子25を介するFPGA制御がFPGA130に対して書き込み、読み出しを指示する場合、内部バス120を介してFPGA130に対して書き込み、読み出しを行う。
FPGA130に対して論理機能定義データを格納する場合は、制御端子25からの設定により、電源が供給されてリセットされるときCPU15が動作せずにFPGA130に対して書き込みを行う事が出来るようになっている。書き込みが完了した時点で、リセットが解除され、FPGA130を含むシステム全体が動作を開始する。
CPU15が動作を開始した後、FPGA130に対して書き込みを行う場合には、CPU15から又はMCU内蔵周辺のユニット122からFPGA130のアドレスを出力することで書き込みを行うことができる。FPGA130に対する書き込みを完了後、CPU15からの指示に応答してFPGA130にアクティブ信号(図になし)をFPGACNT131から与える事で、FPGA130は動作を開始することができる。
第17図の構成によれば、FPGA130に所要の論理機能をプログラマブルに設定して動作させることができるから、実装基板上にFPGA8を搭載した場合より、大幅に動作の高速化を図ることが可能になる。また、FPGA130に搭載される論理機能定義情報は任意に書き換えが可能なため、第17図のようにFPGA130をオンチップする方が秘匿性が高く、セキュリティ上望ましい。
第18図にはFPGAとフラッシュメモリを内蔵するMCU3Hを例示する。MCU3HにFPGA130とフラッシュメモリ16の双方をオンチップさせることも可能である。特に双方をオンチップすれば、オンチップフラッシュメモリ16上にオンチップFPGA130の論理機能定義情報を格納することができ、電源投入時に自動的にオンチップフラッシュメモリ16からオンチップFPGA130にその論理機能定義情報を書き込むことで、見かけ上オンチップFPGA130の初期化を外部に見せないようにする事ができるという効果を得る。オンチップフラッシュメモリ16と、オンチップFPGA130を使ってデバッグを行ない、量産時にはオンチップフラッシュッメモリ16をマスクROMに、オンチップFPGA130を論理ゲート回路で構成したマイクロコントローラMCUを採用しても、実装基板それ自体の変更は全く不用になる。第1図のようにFPGAをオンチップしない場合には、量産時にFPGA8をASICに代えたとき、外部端子の電気的及び物理的構成にコンパチビリティーが無ければ、僅かであっても実装基板の修正が必要になる。
第19図には特定の電子回路装置の開発計画から試作機(プロトシステム)を得るまでの概略的なフローチャートが示される。先ず、所望のシステムが企画され、その仕様が決る(S1)。これに基づいて、少なくともブロックダイアグラムによる機能ブロック図が得られる段階まで企画内容が明らかにされる(S2)。機能ブロックに対しては、RTLなどの論理記述言語でその周辺機能等のハードウェアを特定し、また、C言語などの高級言語でその機能を実現するためのCPUの動作ログラムを作成する(S3)。電子回路装置の開発には例えば第1図で説明したMCM1を用いたプロトシステムでデバッグを行なう(S6)。MCM1のFPGAには論理記述データに従って論理機能を設定する(S4)。MCUのオンチップフラッシュメモリにはプログラム記述に従って作成されたプログラムを書き込む(S5)。FPGAによりデバッグ若しくは開発対象とする周辺機能が暫定的に実現され、オンチップフラッシュメモリによりソフトウェアで実現すべき機能が暫定的に特定される。このようにプログラムされたMCM1を用いたプロトシステムを実際に動作させてシステムデバッグ及びソフトウェアデバッグを行なう。デバッグ結果はオンチップフラッシュメモリやFPGAにフィードバッグし、デバッグを繰返しながらソフトウェア及びハードウェア的なバグをフィックスしていく。プロトシステムが完成した後、少量製品システムに対してはMCM1を用いて構成するのがよい。製品システムを提供してしばらくの間、MCM1をそのまま利用すれば、万一後から不具合が明らかになっても、即座に製品システムに対処することが可能である。製品システムの量産数量の伸びに応じて、或はシステムの安定度を待って、FPGAをASIC等で専用半導体デバイスとし、オンチップフラッシュメモリをマスクROMにすることも可能である。
尚、MCM1には、アナログ回路の他に、可能ならば、センサ、アクチェータ、又は電源回路なども実装してよい。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づいて具体的に説明したが本発明はそれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。例えばFPGAの回路構成は第4図に限定されない。不揮発性メモリはフラッシュメモリに限定されず、強誘電体メモリであってもよい。その他、実装基板に搭載する半導体デバイスの種類及び回路構成は上記実施例に限定されず、適宜変更可能である。
第1図、第2図のような実施例では、高密度実装基板2が、複数の面実装構成の半導体デバイスを搭載可能なように構成されている。けれども、高密度実装基板2は、必要ならば、面実装構成の半導体デバイスと、コネクタワイヤにより電気結合を行ういわゆるワイヤボンディング構成の半導体デバイスとのいずれも搭載可能なように変更されて良い。すなわち、この場合には、高密度実装基板の主面には、面実装構成の半導体デバイスのための前述のようなバンプ電極と、ワイヤボンディング構成の半導体デバイスを成す半導体チップを接着固定するための接合領域と、半導体チップのボンディングパッドと対応されパッド電極とが設けられる。これにより、面実装構成の半導体デバイスのみでなく、所望のワイヤボンディング構成の半導体デバイスも利用可能なようになる。
システムのほとんどを1つの半導体デバイスとして1つのLSI(以下ワンチップLSIとも称する)として構成する場合は、その設計、デバッグ等の検証を含む広い意味での設計に許容し得ない開発期間を要してしまう可能性を含むが、配線長、配線容量等も最少化可能であると言うLSI技術の特徴の享受の下で、より高速な電子回路装置の実現の可能性を持つ。これに対して、MCM構成の電子回路装置は、前述の通り、短い期間内での設計を可能とするという注目すべき特徴を持ち、また通常のプリント配線基板上に各種半導体デバイスを実装するときのような全体構成が比較的大型になってしまう場合に比較して、電子回路装置をはるかにコンパクトにできる特徴も合わせ持つ。MCM構成の電子回路装置は、そのようなコンパクト化可能な特徴に応じて、動作速度の高速化も可能である特徴を持つ。けれども、MCM構成の電子回路装置は、ワンチップLSIを使用する場合よりも、若干そのサイズが大型化してしまう可能性を含む。
前述の第1図、第5図、第6図の実施例のように、メモリバッファ7を持つマイクロコンピュータ3を構成する半導体チップを使用する構成は、ワンチップLSIによって達成できる動作速度特性と対応できるような特性の電子回路装置を考慮する上で、充分に注目して良いものである。
メモリバッファ7は、高速信号伝送の上では、前述の各実施例のような構成に代えて、もしくは前述の実施例の構成に加えて、信号振幅を減少せしめることによる信号の高速化をもたらすように信号レベル変換機能を持つようにされても良く、更には差動信号ないしは相補信号伝送技術のような高速対応可能な信号形成構成にされても良い。
FPGAを成す半導体デバイスに換えて、必要ならば、特定用途に向けられた専用論理回路と、FPGAとを持つ半導体デバイスを設定することも可能である。すなわちMCU3とFPGA8が1チップになっている半導体デバイスなどを設定することが可能である。ある種の特定用途の電子回路装置では、その特定用途の範囲内において、バーション変更などに対応してその都度変更が必要となる論理機能部分と、その特定用途に対応して固定的にされた論理機能部分とに分けることが可能である。そのような特定用途としては、画像データ処理用途、音声信号処理用途、エンジン制御を含むような自動車制御用途などの種々用途を例示することができる。そのような特定用途に対しては、上記のような専用論理回路とFPGAとを持つ半導体デバイスは好適となる。すなわち、FPGAとして構成される論理機能部分の規模を小さくできることにより開発期間をより短くできる可能性を持つからである。また、論理構成定義データのための保持回路等を持たざるを得ないことによって実現可能な論理規模対回路素子数が大きいというFPGAの憂慮されがちな特徴にかかわらず、その種の可変スイッチセル、可変論理セル、保持回路を要さないでも必要とする論理機能を得ることができ回路素子数も少ないと言う専用論理回路の見るべき特徴によって、半導体デバイスのサイズを小さいものにすることができるからである。小さいサイズは、明らかに、充分な電気的性能を得ることを可能とし、また低価格化を可能とする。
産業上の利用可能性
本発明は、システムオンチップ化若しくはMCM化に至るシステム開発の早い段階においてデバッグやプロトシステムの実現に利用可能とされる電子回路装置、更には製品システムとして利用可能な電子回路装置等、MCM化され或はMCMを用いる電子回路装置に広く適用することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る電子回路装置の第1の実施例であるMCMのブロック図である。
第2図には第1図のMCMの断面構造を概略的に例示する縦断面図である。
第3図はMCMの断面構造のうち多層配線層の詳細構造を例示する縦断面図である。
第4図はFPGAの詳細な一例を示すブロック図である。
第5図はMCUにおけるメモリバッファの詳細な一例を示す回路図である。
第6図は本発明に係る電子回路装置の第2の実施例であるMCMを例示するブロック図である。
第7図は本発明に係る電子回路装置の第3の実施例であるMCMを例示するブロック図である。
第8図は本発明に係る電子回路装置の第4の実施例であるMCMを例示するブロック図である。
第9図は本発明に係る電子回路装置の第5の実施例を示すブロック図である。
第10図は本発明に係る電子回路装置の第6の実施例であるMCMを例示するブロック図である。
第11図は半導体デバイスが有するJTAGの構成を概略的に例示するブロック図である。
第12図は半導体デバイスのバウンダリスキャン機能に呼応して設けられたJTAGユニットと半導体デバイスとの接続関係を中心として例示したMCMのブロック図である。
第13図は本発明に係る電子回路装置の第7の実施例であるMCMを例示するブロック図である。
第14図は第1図のMCMを自動車のナビゲーションシステムのデバック装置に適用した構成を例示するブロック図である。
第15図はMCMを用いた自動車のナビゲーションシステムの概略的な外観図である。
第16図はオンチップフラッシュメモリを有するMCUを例示するブロック図である。
第17図はFPGAを内蔵するMCUを例示するブロック図である。
第18図はFPGAとフラッシュメモリを内蔵するMCUを例示するブロック図である。
第19図は特定の電子回路装置の開発計画からプロトシステムを得るまでの概略的な開発手順を示すフローチャートである。

Claims (23)

  1. 半導体デバイスとしてCPUを備えたマイクロコンピュータ、ランダムアクセスメモリ、及び多数の記憶セルにおける論理構成定義データに応じて論理機能がプログラマブルに実現されるプログラマブルデバイスを有し、
    前記マイクロコンピュータ、ランダムアクセスメモリ、及びプログラマブルデバイスは複数の半導体チップに形成され且つ前記半導体チップとは別の共通基板の一方の面に実装され、
    前記共通基板は他方の面にその他の回路基板への実装用外部端子を有し、
    前記実装用外部端子は前記プログラマブルデバイスに接続可能にされて成るものであることを特徴とする電子回路装置。
  2. 前記マイクロコンピュータはCPUの動作プログラムを電気的に書き換え可能に保持することが可能な第1の不揮発性メモリを有して成るものであることを特徴とする請求の範囲第1項記載の電子回路装置。
  3. 前記共通基板は、前記マイクロコンピュータ及びプログラマブルデバイスを接続する共通バスを有して成るものであることを特徴とする請求の範囲第1項記載の電子回路装置。
  4. 前記共通バスに接続されて前記共通基板に実装された電気的に書き込み可能な第2の不揮発性メモリを更に有して成るものであることを特徴とする請求の範囲第1項記載の電子回路装置。
  5. 前記マイクロコンピュータはメモリバッファを有し、前記メモリバッファと前記ランダムアクセスメモリがメモリ専用バスで接続され、前記メモリ専用バスは前記共通基板に形成され前記実装用外部端子と非接続にされて成るものであることを特徴とする請求の範囲第1項記載の電子回路装置。
  6. 前記メモリバッファは、前記メモリ専用バスに接続する出力バッファを有し、出力バッファは出力MOSトランジスタ及びこれに結合された出力インピーダンス制御用MOSトランジスタを備え、該出力インピーダンス制御用MOSトランジスタは制御回路から出力される制御電圧によってインピーダンス制御可能にされて成るものであることを特徴とする請求の範囲第5項記載の電子回路装置。
  7. 前記共通基板は、ガラス基板と、前記ガラス基板の一方の主面に形成された多層配線層とを有し、前記多層配線層の表面には多層配線層の所定の配線に導通する半導体デバイスの実装用接続端子が配置され、前記ガラス基板の他方の主面には前記多層配線層の所定の配線に前記ガラス基板の主面を貫通して導通する前記実装用外部端子が配置されて成るものであることを特徴とする請求の範囲第1項記載の電子回路装置。
  8. 夫々別々の半導体チップに形成された複数個の半導体デバイスがそれらに共通のビルドアップ基板の一方の面に実装され、前記ビルドアップ基板の他方の面にはその他の回路基板への実装用外部端子が設けられた電子回路装置であって、
    前記半導体デバイスは、テスト制御端子の入力に応答して、所定の外部端子に対応される複数個のスキャンラッチを、テストデータ入力端子とテストデータ出力端子との間で直列形態でシフトレジスタ動作させて、テスト用の外部入出力が可能にされ、
    前記ビルドアップ基板は、各半導体デバイスのテスト制御端子に並列的に接続される共通テスト制御端子と、共通テストデータ入力端子と、共通テストデータ出力端子と、選択制御回路とを更に有し、
    前記選択制御回路は、半導体デバイスのテストデータ出力端子と他の半導体デバイスのテストデータ入力端子を接続して複数個の半導体デバイスを前記共通テストデータ入力端子から共通テストデータ出力端子に直列的に接続する直列接続状態と、半導体デバイス毎にそのテストデータ出力端子及びテストデータ入力端子を前記共通テストデータ入力端子及び共通テストデータ出力端子に個別的に接続する個別接続状態とを、モード信号に従って選択可能にする回路であることを特徴とする電子回路装置。
  9. 前記ビルドアップ基板は、基板と、前記基板の一方の主面に形成された多層配線層とを有し、前記多層配線層の表面には多層配線層の所定の配線に導通する半導体チップの実装用接続端子が配置され、前記基板の他方の主面には前記多層配線層の所定の配線に前記基板の主面を貫通して導通する前記実装用外部端子が配置されて成るものであることを特徴とする請求の範囲第8項記載の電子回路装置。
  10. 前記複数個の半導体デバイスとして、CPUを備えたマイクロコンピュータ及びランダムアクセスメモリを含み、
    前記実装用外部端子は前記マイクロコンピュータに接続可能にされて成るものであることを特徴とする請求の範囲第9項記載の電子回路装置。
  11. 前記マイクロコンピュータはCPUの動作プログラムを電気的に書き換え可能に保持することが可能な第1の不揮発性メモリを有して成るものであることを特徴とする請求の範囲第10項記載のデータ処理システム。
  12. 前記マイクロコンピュータはメモリバッファを有し、前記メモリバッファと前記ランダムアクセスメモリがメモリ専用バスで接続され、前記メモリ専用バスは前記ビルドアップ基板に形成され前記実装用外部端子と非接続にされて成るものであることを特徴とする請求の範囲第10項記載の電子回路装置。
  13. 前記メモリバッファは、前記メモリ専用バスに接続する出力バッファを有し、出力バッファは出力MOSトランジスタ及びこれに直列接続された出力インピーダンス制御用MOSトランジスタを出力端子に直列接続されて備え、出力インピーダンス制御用MOSトランジスタは電圧発生回路から出力される制御電圧をゲート電極に受けてインピーダンス制御可能にされて成るものであることを特徴とする請求の範囲第12項記載のデータ処理システム。
  14. 前記ビルドアップ基板の一面には、前記半導体デバイスの一つとして更に、多数の記憶セルにロードされる論理構成定義データに応じて論理機能がプログラマブルに実現されるプログラマブルデバイスを有し、前記プログラマブルデバイスは前記実装用外部端子に接続されて成るものであることを特徴とする請求の範囲第10項記載の電子回路装置。
  15. 前記ビルドアップ基板をドーターボードとするマザーボードを有し、前記マザーボードには、記憶セルにロードされる論理構成定義データに応じて論理機能がプログラマブルに実現される半導体集積回路化されたプログラマブルデバイスを有し、前記プログラマブルデバイスはマザーボード上の配線を介して前記実装用外部端子に接続されて成るものであることを特徴とする請求の範囲第10項記載の電子回路装置。
  16. マイクロコンピュータ及びランダムアクセスメモリが実装されたドータボードと、多数の記憶セルにロードされる接続定義データに応じて論理機能がプログラマブルに実現されるプログラマブルデバイス及び前記ドータボードが実装されるマザーボードとを有し
    前記マイクロコンピュータ及びランダムアクセスメモリは夫々別々の半導体チップに形成されてドータボードの一方の面に実装され、
    前記ドータボードは他方の面にマザーボードへの実装用外部端子を有し、
    前記実装用外部端子はドータボード上で前記マイクロコンピュータに接続にされて成るものであることを特徴とする電子回路装置。
  17. 前記マイクロコンピュータはその動作プログラムを電気的に書き換え可能に保持することが可能な第1の不揮発性メモリを有して成るものであることを特徴とする請求の範囲第16項記載の電子回路装置。
  18. 前記マイクロコンピュータはメモリバッファを有し、前記メモリバッファと前記ランダムアクセスメモリがメモリ専用バスで接続され、前記メモリ専用バスは前記ドータボードに形成され前記実装用外部端子と非接続にされて成るものであることを特徴とする請求の範囲第16項記載の電子回路装置。
  19. 前記メモリバッファは、前記メモリ専用バスに接続する出力バッファを有し、出力バッファは出力MOSトランジスタ及びこれに直列接続された出力インピーダンス制御用MOSトランジスタを出力端子に直列接続されて備え、出力インピーダンス制御用MOSトランジスタは電圧発生回路から出力される制御電圧をゲート電極に受けてインピーダンス制御可能にされて成るものであることを特徴とする請求の範囲第18項記載の電子回路装置。
  20. 半導体デバイスとしてCPUを備えたマイクロコンピュータ及びランダムアクセスメモリを有し、
    前記マイクロコンピュータ及びランダムアクセスメモリは夫々別々の半導体チップに形成され且つ前記半導体チップとは別の共通基板の一方の面に実装され、
    前記共通基板は他方の面にその他の回路基板への実装用外部端子を有し、
    前記実装用外部端子は前記マイクロコンピュータに接続可能にされ、
    前記マイクロコンピュータはメモリバッファを有し、前記メモリバッファと前記ランダムアクセスメモリがメモリ専用バスで接続され、前記メモリ専用バスは前記共通基板に形成され前記実装用外部端子と非接続にされて成るものであることを特徴とする電子回路装置。
  21. 前記メモリバッファは、前記メモリ専用バスに接続する出力バッファを有し、出力バッファは出力MOSトランジスタ及びこれに直列接続された出力インピーダンス制御用MOSトランジスタを出力端子に直列接続されて備え、出力インピーダンス制御用MOSトランジスタは電圧発生回路から出力される制御電圧をゲート電極に受けてインピーダンス制御可能にされて成るものであることを特徴とする請求の範囲第20項記載の電子回路装置。
  22. 前記共通基板は、ガラス基板と、前記ガラス基板の一方の主面に形成された多層配線層とを有し、前記多層配線層の表面には多層配線層の所定の配線に導通する半導体デバイスの実装用接続端子が配置され、前記ガラス基板の他方の主面には前記多層配線層の所定の配線に前記ガラス基板の主面を貫通して導通する前記実装用外部端子が配置されて成るものであることを特徴とする請求の範囲第21項記載の電子回路装置。
  23. 前記マイクロコンピュータはCPUの動作プログラムを電気的に書き換え可能に保持することが可能な第1の不揮発性メモリを有して成るものであることを特徴とする請求の範囲第20項記載の電子回路装置。
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