JPS6363104A - 磁気ヘツドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、高密度記録再生に適した磁気ヘッドに係り、
特に強磁性金属材料をコア材として用いろ磁気ヘッドお
よびその製造方法に関する。

〔従来の技術〕

磁気記録の高密度化に伴い、高保磁力記録媒体ととも釦
、狭いトラック幅でしかも高い飽和磁束密度を発生する
磁気ヘッドが必要とされろ。

従来、この種の磁気ヘッドとしては例えば特開昭５８−
１５５５１３号公報に記載のよう釦、非磁性あるいは磁
性の基板上釦金属磁性材料の層を形成した金属磁性材磁
気ヘッドが開発されている。

第４図は従来技術による金属磁性材を用いた磁気ヘッド
の一例を示すｌａ）斜視図、ｌｂ）上面図であって、１
，１′は基板、３，３′は金属磁性層、４はギャップ、
５は巻線用窓、６は非磁性材（ガラス。

セラミック、樹脂等）の充てん補強材である。

同図に示したものは、基板ｌ、１′として高透磁率のフ
エライｌ用いており、在来のフエライトヘラドと金属磁
性材の両者の長所を利用した複合塵ヘッドである。

なお、この種の磁気ヘッドは上記第４図に示した構造の
ものく限らず、以下第５図〜第７図に示した構造のもの
等、種々の形状のものが提案されている。

第５図は従来技術による金属ｍ性材を用いた磁気ヘッド
の他の例を示す概略斜視図であって、１゜１′は基板、
３．３′は金属磁性層、４はギャップ。

５は巻線用窓、６は充てん補強材である。

第６図は従来技術による金属磁性材を用いた磁気ヘッド
のさらに他の９′Ｉ］を示す概略斜視図であって、第５
図と同一符号は同一部材を示す。

第４図〜第５図に示した従来例の磁気ヘッドは、トラッ
ク１ｌｌｌｉ！狭くするためにギャップ４部分に絞り効
果を持たせた構造である。

第７図は従来技術による磁気ヘッドのさら忙まに他の例
を示す概略斜視図であって、前記従来例と同一符号は同
一部分を示す。なお、第７図釦示しり磁気ヘッドも、ギ
ャップ部となる基板部分を適宜加工して絞り効果を持た
せることカーできろことはもちろんである。

上記各従来例において用いる基板としては、ガラス、セ
ラミック等の非磁性材％Ｍ　ｎ　−Ｚ　ｎフェライト、
Ｎｉ−Ｚｎフェライト等の高透＠率材料で上に、また、
金属磁性材としてはｐ６−８ｉ合金、Ｆｅ−Ａｌ−８４
合金、Ｎｉ−Ｆｅ合金等の結晶質磁性合金、あるいは非
晶質磁性合金なとｔ挙げることができる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

以上のように、従来のこの種の磁気ヘッドは。

金属磁性層の材料成分とは異なる成分の材料からなる基
板上に、スパッタリング法、蒸着法などの薄膜形成技術
により前記金属磁性層ｌ堆積して形成するものであるた
め、薄層形成後の後工程におげろ機械加工、磁気ギャッ
プの接合のための熱処理等において、金属磁性層が基板
から剥離するという問題かあった。また、使用時尤おけ
る磁気記録媒体と磁気ヘッドとの長時間の摺動によって
、金属磁性層が基板から剥離して、耐久性、信頼性の低
下を招くという問題があった。

本発明は、上記従来技術の問題点を解決し、耐久性を向
上させ、信頼性疋優れた磁気ヘッドおよびその製造方法
を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的ン達成するｋめに、本発明は、基板と成る中間
層を形成することにより達成されろ。

〔作　用〕

金属磁性層が基板から剥離するのは１両者の接着力より
も大きな力が、機械加工中の熱履歴や基板と金属磁性層
の熱膨張率の差あるいは金属磁性層の内部応力などによ
って、両者の界面和加わる１こめである。本発明による
中間層は、上記の力を緩衝させて基板と金属磁性層の接
着力を高めるよう九作用する。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面Ｙ参照して説明する。

第１図は本発明による磁気ヘッドの一実施例な示す［ａ
）概略斜視図、（ｂ）上面図（摺動面）であって。

１．１′は基板、２，２′は中間層、３．３’は金属磁
性層、４はギャップ、５は巻線用窓、６は充てん補強材
であり、２つのコア半体人、Ｂから磁気ヘッドが構成さ
れる。

同図において、基板１．１′はＭｎ−Ｚｎ７エライト、
中間層２．２′は高分子化合物例えばポリイミドとコバ
ルトを含む磁性金属材例えばＣｏ−Ｎ　ｂ　−Ｚ　ｒの
混在層、金属磁性層３は例えばＣＯを主成分とする非晶
質合金層である。

ギャップ４は、後述するよう（、コア半体人とコア半体
Ｂを接合する際に５例えば５ｉｎ２．ガラス等のスパッ
タリング膜から成るギャップ形成膜により形成され、ま
た巻線用窓５　ｔ’！、コア半体Ａ。

Ｂの接合前に加工形成されるものである。

以上のようく構成された磁気ヘッドは、基板１゜１′と
金属磁性層３．３′とが中間層２．２′によって強固く
接着されろ。中間層２．２′は前記した成分’ｋ　ｆｌ
Ｊ　、！−ばスパッタリング法によつ℃α１〜３．０μ
ｍの厚さに形成され、それを形成する際に、磁性金属材
を２０〜８０％（高分子化合物は８０〜２゜チ）含むよ
うにすれば上に、また、その高分子化合物濃度か基板側
で高く、そのｆｆｌ性金属材の濃度が金属磁性層側で高
くなるよ５にすればさらく基板と金属磁性層との接着強
度を上げろことができる。

なお、中間層の高分子化合物としては前記したポリイミ
ドの他、ポリエチレン、ポリスチレン。

ポリプロピレン、テフロン等を挙げろことができろ。ま
た母性金属材としては、Ｃｏを８４−１Ｎｂを１２−５
チ、Ｚｒをλ５チ含むコバルト合金を代表例とするが、
本発明はこれ九限るものではない。

この他Ｋ、適用可能な材料としては、Ｆｅ。

Ｃｏ、Ｎｊのうちの少なくとも１つｔ主成分とする強磁
性金属材料を挙げろことができる。

第２図は木兄ＢＡＫよろ磁気ヘッドの他の実施例を示す
概略斜視因であって、上記実施例と同一符号は同一部材
を示す。同図示した磁気ヘッドは前記第７図忙示した従
来例の型の磁気ヘッドに本発明を適用したものである。

次忙、本発明の磁気ヘッドの製造方法を説明する。

第３図イ）〜（す）は本発明の磁気ヘッドの製造方法の
一実施ｆＦ［ｌ示す製造工程図であって、第１図に示し
た本発明の第１の実施例の磁気ヘッドの製造工程Ｖｔｔ
明するものである。

同図において、先ずＭ　ｎ　−Ｚ　ｎフェライト。

Ｎｉ−Ｚｎフェライト等の基板１を用意し、そのギャッ
プ突き合わせ面となる面７にトｊツタ幅より狭い突起を
残して隣接する２本の溝８．８”Ｙ組とする複数組の溝
を千行く設ける（イ）、溝８，８′はＶ字もしくはＵ字
状に高速ダイサ等を用いて加工する。工程（イ）で形成
した溝を有する基板面上に、ポリイミドとコバルト合金
（例えば、　Ｃｏ　：　８４ｑｂｌＮｂ：ＩＺ５％Ｉ　
　Ｚｒ：ａ、ｓ％；いずれも原子パーセント）との混在
層を厚さ０．１〜３．０μｍ（同時スパッタリングして
中間層２を形成する（口）。

中間層２はポリイミド中にコバルト合金がおおよそ２０
チ〜８０％含むようスパッタリング条件を調整する。中
間層２ｙ！−形成した後、その上に例えばコバルトＺ主
成分とする金属磁性体の非晶質合金の層３（金属磁性層
）χ形成するピ→。

次に、上記金属磁性層３を覆ってガラス、セラミック系
無機接着材あるいは硬質の樹脂から成る充てん補強材６
を被着しくニ）、充てん補強材６と金属磁性層３”ｉ研
摩して所要のトラック幅ｔとなるまで金属磁性層３を露
呈させ、これをコア半体囚とする。

一方、上記（イ）〜（ホ）の工程で製作した（ホ）と同
様のコア半体ＩＢＩに巻線用窓５となる溝５′を加工し
、ギャップ形成面に８１０２．ガラス等の非磁性材を所
要の厚さにスパッタリングしてギャップ形成膜とする（
へ）。

工程（ホ）と工程（へ）で得た一対のコア半体Ａ、Ｂの
ギャップ突き合わせ面７ビ互いに突き合わせて（ト）、
接合一体化する。この場合、接合は溝に充てんされてい
る非磁性材６がガラスならば互いのガラスによって行わ
れ、樹脂を用いた場合には別途巻線用窓の一部、および
後部接合部に切り欠き？１！を設けて樹脂によって行な
われる。次ｌて、工程−に示すよう九、記録媒体摺動面
からみてトラック４ｔを中心にして点線で示す所望のコ
ア幅Ｔになるように切断して複数個の磁気ヘッドを得る
団。場合忙よっては、ギャップ４をアジマス角だけ傾げ
て切断してもよい。開に示すように記録媒体摺動面は、
基板１．１′に中間層２，２′で強固く接着された金属
磁性層３．３′により形成されたギャップ４１有し、金
属磁性層３．３′間には非磁性の充てん補強材６が充て
んされた構造となっており、この型の磁気ヘッドは第１
図に示したものである。

なお、第２図圧水した型の磁気ヘッドも若干の工程変更
で製造できろ。

そして、第５図、第６図に示した従来例の磁気ヘッドも
同様である。要は、基板に金属磁性層を形成する前に中
間層を形成することが本発明の要点である。

以上の製造方法は一例であって、本発明はこれく限らず
既知の技術手段をもって多様の製造方法ｌ構成できるも
のである。

〔発明の効果〕

以上説明したようく、本発明によれば、基板と金属磁性
層との界面圧設けた高分子化合物と磁性金属材を含む中
間層が、製造工程における熱履歴やストレスを緩和させ
、金属母性層の剥離を防止し、歩留りを格段和向上でき
ると共に、耐久性の高い高信頼性の磁気ヘッドを提供す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は木兄明尤よる磁気ヘッドの一実施例を示すｔａ
）概略斜視図、（ｂ）上面図（摺動面）、第２図は本発
明による磁気ヘッドの他の実施例〉示す概略斜視図、第
３図１−（）〜凹は本発明の磁気ヘッドの製造方法の一
実施例を示す製造工程図、第４図（ａ）。 ｌｂｌは従来技術による磁気ヘッドの一例を示す概略斜
視図、上面図、第５図、第６図および第７図は従来技術
による磁気ヘッドの他の例を示す概略斜視図である。 １．１′・・・・・・基板、２，２′・・・・・・中間
層、３．３′・・・・・・金属磁性層、４・・・・・・
ギャップ、５・・・・・・巻線用窓、６・・・・・・非
磁性光てん補強材、Ａ、Ｂ・・・・・・コア半体。 第１口 ５・・・・ｊ！：緯ｐＡ泡 ６　・・・・　九てにイＮ弥才才 Ａ、Ｂ・・・コア半体 第２図 第３図 ／ｌ−ノ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　ｔラーノバ５′ン ｔワノ 第４図 ｔσノ （ｂ） 第５図 第６図 第７図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板上に金属磁性層を形成したコアを具備した磁
   気ヘッドにおいて、前記基板と前記金属磁性層との間に
   磁性金属材の成分と高分子化合物の成分との混在層を設
   け、前記基板と前記金属磁性層の剥離を防止するよう構
   成したことを特徴とする磁気ヘッド。
2. （２）基板上に中間層を介在させて金属磁性層を形成し
   て成る磁気ヘッドの製造方法において、前記基板上に磁
   性金属材と高分子化合物とを同時にスパッタリングして
   前記中間層を形成する工程と、前記中間層の上に金属磁
   性層を形成する工程と、前記工程により製作した一対の
   コア半体を、その金属磁性層を互いに突き合わせて接合
   することによつてギャップを形成する工程と、を有する
   ことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。