JPH0235608A - 磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は磁気ヘッドに間するものであり、特に高密度記
録に用いられる磁気ヘッドおよびその製造方法に関する
。

従来の技術 フェライトやセンダストのようなバルク状の磁性体を用
いた磁気ヘッド、あるいはフェライトヘッドの作動ギャ
ップ近傍のみに高飽和磁束密度の金属磁性体を配したメ
タルインギャップタイプの磁気ヘッドすなわちＭＩＧヘ
ッドにおいては、作動ギャップとして接着ガラスあるい
は接着樹脂等が用いられる。この場合、ギャップ形成は
１対のヘッドコア半休をそれぞれのギャップ面において
、低融点ガラスや５ｉ０２などのギャップ材を介して突
き合わせ、接着することにより行なわれている。

発明が解決しようとする課題 しかし、ガラスや樹脂の接着作用によりギヤッブを突き
合わせる従来のギャップ形成方法では、突き合わせ時の
加圧条件のばらつきや接着剤などの流動性に起因するギ
ャップ接合部分のゆるみなどにより、侠ギャップ時のギ
ャップ長精度が得にくい。

たとえば、０．１０ミクロンの厚みを有するギャップ材
を用いた場合でも、得られる磁気ヘッドのギャップ長は
、０．１０ミクロンから０．１５ミクロンと、用いたギ
ャップ材の厚みよりも広くなり、またばらつきが生じる
。ざらに、０．１ミクロン以下の狭ギャップの磁気ヘッ
ドではギャップ材の厚みの制御なども容易ではなくなる
ために、狭ギャップの磁気ヘッドを歩留まりよく得るこ
とが困難になる。

本発明は従来技術の以上のような点を考慮して、十分な
記録特性を有し、ギャップ長精度が優れ、均一な狭ギャ
ップを歩留まりよく作製できる構造の磁気ヘッドと、そ
の製造方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段 本発明磁気ヘッドは、巻線穴を有するフェライトからな
るＣ型のヘッドコア半休と、前記ヘッドコア半休のギャ
ップ面上に直接スパッタリングや蒸着法で形成されたｆ
型の金属磁性体により主要なヘッド磁路が構成されてお
り、作動ギャップは前記ヘッドコア半体と前記金属磁性
体との間の接合層により構成されている磁気ヘッドであ
る。

作用 本発明は、ヘッドコア半休をなすフェライトブロックの
ギャップ面上に特定のギャップ材を介さずに、直接スパ
ッタリングや蒸着法で金属磁性体を形成するとフェライ
トと金属磁性体の接合部がリング型ヘッドにおける作動
ギャップと同様の効果を果たす。このような磁気ヘッド
を作製すると、ごく薄いギャップ材を用いて作製した狭
ギャップの磁気ヘッドと同等の記録再生特性かえられる
。

さらに、本発明の磁気ヘッドでは、■型のヘッドコアを
構成する金属磁性体として、高飽和磁束密度のセンダス
トあるいは非晶質磁性体を用いることができる。これを
ヘッド走行方向に対して作動ギャップの後端側に配する
ことで、合金テープのように高保磁力の＠気記録媒体を
用いる場合でも、記録において磁気ヘッド飽和の影響が
生じにくく、十分な記録特性かえられる。

実施例 以下に、本発明の実施例を図面を用いて説明する。

第１図は本発明の一実施例における磁気ヘッドの斜視図
を示し、第２図は作動ギャップ近傍の拡大図を示す。

第１図および第２図において、巻線穴４を有するＣ型の
ヘッドコア半休はフェライトｌからなり、磁路の一部を
構成している。また、ギャップ面を境にして、他方の■
型のコア半休は、前記フェライトコアからなるＣ型のヘ
ッドコア半休のギャップ面上に直接スパッタリングや蒸
着法などにより形成された金属磁性体２からなり、フエ
ライ）１と閉磁路を形成している。この金属磁性体２に
は、高飽和磁束密度のセンダストや非晶質合金などが利
用でき、その膜厚方向はギャップ面の法線方向と同一方
向をなしている。

ヘッドコア半休をなすフェライトｌのギャップ面上に、
センダストあるいは非晶質磁性体等の金属磁性体２をス
パッタリングや蒸着法により形成すると、強磁性酸化物
であるフェライトｌと金属磁性体２の被着面において、
金属磁性体２内には磁気的特性の劣化したごく薄い接合
層３が形成されると考えられる。この接合層３は、金属
磁性体９をスパッタリングによりフェライト１上に形成
する場合、フェライトｌと金属磁性体２の界面が低酸素
状態となり、高温にざらされたフェライトｌ内の酸素原
子が金属磁性体２内に拡散することにより生じると考え
られる。この接合Ｎ３はフエライ）１との付着強度が強
く、強固な接合を形成する。本発明では、このフエライ
）１と金属磁性体９の接合部に形成される接合層３を作
動ギャップとして用いている。

スパッタリング時のアルゴンガス圧や基板温度等の金属
磁性体２の形成条件をその堆積過程において変化させる
こと、あるいは作製後に熱処理を施すことにより、この
接合Ｎ３の厚みは自在に制御できる。このため、本実施
例の磁気ヘッドは狭ギヤツプ時の作動ギャップの形成が
容易であり、ギャップ長精度が優れ、かつ均一な狭ギャ
ップを歩留まりよく作製できる構造となっている。

さらに、本実施例の磁気ヘッドでは、■型のヘッドコア
を構成する金属磁性体として、高飽和磁束密度のセンダ
ストあるいは非晶質磁性体を用いているため、高保磁力
の磁気記録媒体に対しても十分な記録特性がえられる。

本実施例に示す磁気ヘッドは、以下のようにして作製さ
れる。

第１の工程として、第３図に示すように、まず、バルク
状のフェライトブロック５を用意し、第４図に示すよう
に、このフェライトブロックのギャップ面に巻線溝６を
切削する。

次に、第２の工程として、第５図に示すように、このフ
ェライトブロック５の巻線溝６に充填物７を形成し、そ
の後ギャップ面８を研磨する。この充填物７の形成は、
融点が１５０〜３００度程度の熱可塑性樹脂もしくは低
融点無機接着剤などを巻線溝６に溶融させ、冷却して凝
固せしめることによって行なわれる。

次に第３の工程として、第６図に示すように、第５図の
フェライトブロック５のギャップ面８上に金属磁性体９
を直接、スパッタリングや蒸着法によって付着させる。

従って、金属磁性体９の膜厚方向はギャップ面８の法線
方向と同一方向になる。

フェライトブロック５上に直接被着した金属磁性体９は
、金属磁性体９とフェライトブロック５との境界面に磁
気的特性の非常に劣化したごく薄い接合層３が生じてい
ると考えられる。本発明の磁気ヘッドは、この接合層３
を作動ギャップとして用いる。

作動ギャップの厚みはこの接合層３の厚みに相当するが
、金属磁性体９作成時の形成条件たとえばスパッタ時の
アルゴンガス圧や基板温度等の作成条件を金属磁性体９
の形成初期と形成後期で変化させること、あるいは金属
磁性体２の形成後に熱処理を施すこと等によって、フェ
ライトブロック５と金属磁性体９の被着面の接合Ｎ３の
厚みを変化させることができる。

次に、第７図に示すように第６図のヘッドブロックにお
いて、金属磁性体９上に非磁性の補強材１０をスパッタ
リング、蒸着法あるいは接着などで形成する。

この後、第４の工程として、巻線溝６にある樹脂あるい
は無機接着剤などの充填物７を、加熱や化学的な反応で
除去する。しかる後、ヘッドブロックを切断して複数の
へラドチップを作製し、各ヘッドチップの前面を研磨テ
ープなどによるラッピングを行なって、第１図および第
２図に示す磁気ヘッドを複数個得ることができる。

以上のような製造方法で作製された本実施例の磁気ヘッ
ドは狭ギヤツプ時の作動ギャップの形成が容易であり、
ギャップ長精度が優れ、かつ均一な狭ギャップを歩留ま
りよく作製できる構造となっている。また、センダスト
や非晶質合金等の高飽和磁束密度の金属磁性体を用いて
いるため、合金テープのような保磁力の高い磁気記録媒
体に対しても十分な記録ができる。

発明の効果 本発明の磁気ヘッドは、狭ギヤツプ時の作動ギャップの
形成が容易であり、ギャップ長精度が優れ、かつ均一な
狭ギャップを歩留まりよく作製できる構造となっている
。ざらに、本発明の製造方法によれば上記の磁気ヘッド
を容易に歩留まりよく作製することができる。また、飽
和磁束密度の高い金属磁性体をＩ型のヘッドコアに用い
ることにより、高保磁力の磁気記録媒体に対して十分な
記録ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における磁気ヘッドの斜視図
、第２図は第１図の磁気ヘッドのギャップ面近傍の拡大
図、第３図、第４図、第５図、第６図、第７図は本発明
における磁気ヘッドの製造方法の工程を示す斜視図であ
る。 ｌ・・・フェライト、２・・・金属磁性体、３・・・接
合層、４・・・巻線穴、５・・・フェライトブロック、
６・・・巻線溝、 ７・・・充填物、 ８・・・ギャップ面、 ９・・・金属 磁性体、 ０・・・補強材。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）巻線穴を有するフェライトからなるＣ型のヘッド
   コア半体と、前記ヘッドコア半体のギャップ面上に直接
   スパッタリングや蒸着法で形成されたＩ型の金属磁性体
   により主要なヘッド磁路が構成されており、作動ギャッ
   プは前記ヘッドコア半体と前記金属磁性体との間の接合
   層により構成されていることを特徴とする磁気ヘッド。
2. （２）フェライトからなるヘッドブロックのギャップ面
   上に巻線溝を設ける第１の工程と、前記巻線溝中に樹脂
   もしくは低融点の無機接着剤などの材料を充填した後、
   ギャップ面を研磨する第２の工程と、前記ギャップ面の
   上にスパッタリングや蒸着法で直接、金属磁性体を形成
   する第３の工程と、前記ヘッドブロックの巻線溝中にあ
   る前記樹脂もしくは前記無機接着剤等の材料を除去し、
   切断によってヘッドチップを得る第４の工程とを備えた
   ことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。