JPH0258712A - 磁気ヘッドおよびこの磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は磁気ヘッドおよびこの磁気へ・ラドの製造方
法に関する。

（従来の技術） 磁気記録再生分野においては、高密度記録化の要求が高
まり、磁気記録媒体の高抗磁力化、それに伴なう磁気ヘ
ッドの高飽和磁束密度化が進められている。

このような磁気ヘッドとして金属磁性体をメインコアと
するヘッド（メタルヘッド、メタルインギャップヘッド
）が開発されている。

このような磁気ヘッドとしては次のようなものがある。

第４図は上述した従来の磁気へ・ラドを示す図である。

同図において、ｌａ、ｌｂはフェライトにより形成され
た一対のサブコアを示している。サブコアｌａ、ｌｂの
対向する面には、それぞれ金属磁性体膜によりメインコ
ア２　ａ　ｓ　２　ｂが形成されており、その両側には
、それぞれ規制溝３．３・・・が形成されている。メイ
ンコア２ａ、２ｂおよび規制溝３．３を含む面には、磁
気的ギャップを形成する酸化物膜４がそれぞれ形成され
ている。規制溝３．３には、サブコアｌａ、ｌｂを接合
するガラス部５がそれぞれ形成され、サブコア１ａ１１
ｂが一体に固定されている。また、６は、ガラス部５．
５およびサブコア１ａを貫通する巻線孔であり、この巻
線孔６にはコイル７が巻装されている。

次に、上述した磁気ヘッドの製造方法を第５図（ａ）〜
（ｆ）を用いて説明する。なお、第５図（ａ）〜（ｅ）
は一対の磁性体ブロックのうち一方の磁性体ブロックを
図示しである。

まず、フェライトなどのサブコアとなる一対の磁性体ブ
ロック１１．１１にそれぞれ凹溝１２を形成する（第５
図（ａ））。次に、一対の磁性体ブロック１１．１１の
各凹溝１２を含む対向面に、センダストなどのメインコ
アとなる金属磁性体膜１３を形成する（第５図（ｂ））
。この後、形成すべきメインコアの幅となるように、金
属磁性体膜１３の対向面を残して上述した凹溝１２に沿
ってそれぞれ規制溝１４．１４・・・を形成する（第５
図（Ｃ））。次に、一方の磁性体ブロック１１に、その
凹溝１２に直交させて巻線溝１５およびガラス配置溝１
６を形成する（第５図（ｄ））。この後、一対の磁性体
ブロック１１．１１の各規制溝１４を含む対向面に磁気
的ギャップを形成する酸化物膜１７を形成する（第５図
（ｅ））。そして、一対の磁性体ブロック１１．１１を
酸化物膜１７．１７が接触するよう当接させ、規制溝１
４およびガラス配置溝１６にガラスを配置して溶融させ
一対の磁性体ブロック１１．１１を一体に接合する。

この後、巻線孔１８を形成するとともに、第５図（ｆ）
の破線で示すように、各規制溝１４に沿う所定のピッチ
で切断し、テープ接触面となるよう研磨加工を施すこと
により第４図に示した磁気へラドが得られる。

しかしながら、上述した従来の磁気ヘッドおよび磁気ヘ
ッドの製造方法では、サブコアとなる一対の磁性体ブロ
ック１１．１１をガラス接着した際に、第５図（ｆ）に
示したように、酸化物膜１７および金属磁性体膜１３に
はがれＡが生じたり、第６図に示すように、ガラス接着
の温度条件により酸化物膜１７が侵蝕され、これにより
、メインコアを形成する金属磁性体膜１３にガラスが浸
蝕してしまうという問題があった。これにより、磁気記
録媒体のトラック幅に対応させるメインコアの所定の幅
を得ることが困難であるという課題があった。

（発明が解決しようとする課題） 上述したように従来の磁気ヘッドおよび磁気ヘッドの製
造方法では、メインコアの幅が不安定であり、良好な特
性の磁気ヘッドを得ることが難しいという課題があった
。

この発明は上述した従来の課題を解決するためのもので
、所定のメインコアの幅を安定に得ることができ、製造
効率を向上させることのできる磁気ヘッドおよびこの磁
気ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） この発明の磁気ヘッドは、磁性体により形成されそれぞ
れ対向する面の両側に規制溝が形成された一対のサブコ
アと、これらのサブコアの前記対向面にそれぞれ金属磁
性体膜により形成された一対のメインコアと、前記サブ
コアの各規制溝および前記メインコアの対向面を除く側
面に形成された保護膜と、前記メインコアの対向面の間
に形成された磁気的ギャップ部と、前記一対のサブコア
を一体に接合する接合部材とを備えたものである。

またこの発明の磁気ヘッドの製造方法は、一対の磁性体
ブロックの対向する面にそれぞれ所定のピッチで複数の
凹溝を形成する工程と、前記各磁性体ブロックの凹溝を
含む前記対向面に金属磁性体膜を形成する工程と、前記
対向面に形成すべき金属磁性体膜の幅を規制するよう前
記金属磁性体膜が形成された前記凹溝に対応させて規制
溝を形成する工程と、前記一方の磁性体ブロックの前記
規制溝が形成された面に前記規制溝に直交する少なくと
も２条の溝を形成する工程と、これら各磁性体ブロック
の前記規制溝および金属磁性体膜を含む面に保護膜を形
成する工程と、これら各磁性体ブロックの前記規制溝お
よび金属磁性体膜の側面を除く前記対向面の保護膜を除
去する工程と、これら各磁性体ブロックの前記規制溝お
よび金属磁性体膜を含む面に非磁性体膜を形成する工程
と、これらの一対の磁性体ブロックの対向面を前記規制
溝が対応するよう接触させ前記一方の磁性体ブロックの
２条の溝に溶融接合部祠を挿入し一方の溝に空洞が形成
されるように前記溶融接合部祠を溶融させて前記一対の
磁性体ブロックを接合する工程と、この接合されたブロ
ックを前記規制溝に沿って所定のピッチで切断する工程
と、このブロックの前記非磁性体膜および金属磁性体膜
の露出する面を所定の形状に研磨する工程とを具備して
いる。

（作　用） この発明では、一対の対向するサブコアとなる磁性体ブ
ロックの規制溝および金属磁性体膜の側面に保護膜が形
成されるので、所定のメインコアの幅を安定に得ること
ができ、製造効率を向上させることができる。

（実施例） 以下、この発明の実施例を図面を用いて説明する。

第１図はこの発明の一実施例の磁気ヘッドを示す斜視図
である。

同図において、２１．２２は、たとえばフェライトによ
り形成された一対のサブコアを示している。これらのサ
ブコア２１．２２の対向する面の両側には、それぞれ規
制溝２３．２３・・・が形成されており、これらの規制
溝２３．２３に挟まれる対向面には、金属磁性体膜であ
るセンダスト薄膜によりメインコア２４．２４が形成さ
れている。

これらのメインコア２４の側面および規制溝２３には、
クロムなどの保護膜２５が形成されている。

また、メインコア２４．２４の対向面および保護膜２５
上には、磁気的ギャップを形成するシリコンなどの酸化
物膜２６が形成されている。また、一方のサブコア２１
には、他方のサブコア２２に対向する面に巻線溝２７が
形成されている。巻線溝２７には、ガラス２８が配置さ
れ、ガラス２８が溶融されることによりサブコア２］、
２２が一体に固定されている。

なお、巻線溝２７により巻線孔２９が形成され、この巻
線孔２９には、コイル３ｏが巻装されている。

したがって、この実施例の磁気ヘッドでは、対の対向す
るサブコア２１．２２のメインコア２４の側面および規
制溝２３にクロムなどの保護膜２５を形成して磁気的ギ
ャップを形成する酸化物膜２６が形成されているので、
磁気記録媒体のトラック幅に対応する所定のメインコア
の幅を安定に得ることができ、特性の低下を有効に防止
することができる。

次に、この発明の磁気ヘッドの製造方法の一実施例を図
面を用いて説明する。

第２図（ａ）〜（ｈ）はこの発明の一実施例の磁気ヘッ
ドの製造方法を説明するための図である。

まず、サブコアとなるフェライトなどの一対の磁性体ブ
ロック３１．３１にたとえばダイシングマシンを用いて
複数の凹溝３２を形成する（第２図（ａ））。次に、凹
溝３２が形成された各磁性体ブロック３１の対向面に、
たとえばスパッタリングによってメインコアとなるセン
ダスト膜３３を全面に約５μｍの厚さで形成する。この
後、再びダイシングマシンにて、先に形成した凹溝３２
に平行して規制溝３４を幅約３００μｍ１深さ約３００
μｍで形成する（第２図（Ｃ））。なお、この状態で、
センダスト膜３３の幅は、約２０μｍとなっている。次
に、一方の磁性体ブロック３１に、その規制溝３４に直
交させて巻線溝３５および接合用溝３６を形成する（第
２図（ｄ））。この後、各磁性体ブロック３１．３１の
規制溝３４を含む対向面の全面に、スパッタリングによ
り保護膜となるクロム（Ｃｒ）膜３７を約７００人の厚
さで形成しく第２図（ｅ））　、次いで、このスパッタ
リング装置内で、メインコアであるセンダスト膜３３上
面にスパッタエツチングを行い、センダスト膜３３上面
のクロム膜３７を除去する。なお、この状態では、セン
ダスト膜３３の側面および規制溝３４内の保護膜である
クロム膜３７は除去されない（第２図（ｆ））。この後
、上述のスパッタリング装置内で、各磁性体ブロック３
１．３１のクロム膜３７上およびセンダスト膜３３上に
、スパッタリングにより磁気的ギャップとなる酸化物膜
として酸化シリコン（Ｓｉ０２）膜３８を約２０００人
の厚さで形成する（第２図（ｇ））。次に、各磁性体ブ
ロック３１．３１をその酸化シリコン膜３８．３８が対
応するように接触させ、巻線溝３５および接合用溝３６
にｐｂ系のガラス３９を配置して所定の荷重をかけつつ
ガラス３９の融点以上の温度に加熱する。これにより、
各磁性体ブロック３１．３］がガラス接着される（第２
図（ｈ））。そして、この一体とされたブロックを第２
図（ｈ）の点線で示すように、各規制溝３４に沿って所
定のピッチで切断し、巻線孔４０を形成するとともに、
テープ接触面を形成するための面形加コニおよび研磨加
工を施すことにより、第１図に示した磁気ヘッドが得ら
れる。

なお、この磁気ヘッドの接着条件を第３図に示す。

同図に示すように、５３０℃、４５分保持、５４０℃、
３０分保持、５５０℃、２０分保持などの条件で良好な
接着を行うことができ、接着条件の選択の幅が広がった
。

なお、上述した実施例において、クロム膜の形成をバイ
アススパッタ法により形成してもよい。

この場合では、第３図に示したように、さらに接着条件
に広がりがでる。また、上述の実施例において、クロム
膜をスパッタエツチングする際のイオンエツチングの粒
子を磁性体ブロックの面に対して斜めに入射させるよう
にしてもよい。この場合では、メインコアであるセンダ
スト膜上のクロム膜を確実に除去することができ、規制
溝中のクロム膜を有効に存在させることができる。

［発明の効果］ 以上説明したように、この発明の磁気ヘッドおよびこの
磁気ヘッドの製造方法は、一対の対向するサブコアとな
る磁性体ブロックの規制溝および金属磁性体膜の側面に
保護膜が形成されるので、所定のメインコアの幅を安定
に得ることができ、製造効率を向上させることができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の磁気ヘッドを示す斜視図
、第２図（ａ）〜（ｈ）はそれぞれこの発明の一実施例
の磁気ヘッドの製造方法を説明するための図、第３図は
第１図の磁気ヘッドを製造する際の接着条件を説明する
ための図、第４図は従来の磁気ヘッドを示す斜視図、第
５図（ａ）〜（ｆ）は第４図の従来の磁気ヘッドの製造
方法を説明するための図、第６図は第４図の従来の磁気
ヘッドを製造する際の接着条件を説明するための図であ
る。 ２１．２２・・・サブコア、２３．３４・・・規制溝、
２４・・・メインコア、２５・・・保護膜、２６・・・
酸化物膜、２７．３５・・・巻線溝、３６・・・接合用
溝、２８．３９・・・ガラス、２９．４０・・・巻線孔
、３０・・・コイル、３１・・・磁性体ブロック、３２
・・・凹溝、３３・・・センダスト膜、 ７・・・クロム膜、 ３８・・・酸化シリ コン膜。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁性体により形成されそれぞれ対向する面の両側
   に規制溝が形成された一対のサブコアと、これらのサブ
   コアの前記対向面にそれぞれ金属磁性体膜により形成さ
   れた一対のメインコアと、前記サブコアの各規制溝およ
   び前記メインコアの対向面を除く側面に形成された保護
   膜と、前記メインコアの対向面の間に形成された磁気的
   ギャップ部と、前記一対のサブコアを一体に接合する接
   合部材とを備えたことを特徴とする磁気ヘッド。
2. （２）一対の磁性体ブロックの対向する面にそれぞれ所
   定のピッチで複数の凹溝を形成する工程と、前記各磁性
   体ブロックの凹溝を含む前記対向面に金属磁性体膜を形
   成する工程と、前記対向面に形成すべき金属磁性体膜の
   幅を規制するよう前記金属磁性体膜が形成された前記凹
   溝に対応させて規制溝を形成する工程と、前記一方の磁
   性体ブロックの前記規制溝が形成された面に前記規制溝
   に直交する少なくとも２条の溝を形成する工程と、これ
   ら各磁性体ブロックの前記規制溝および金属磁性体膜を
   含む面に保護膜を形成する工程と、これら各磁性体ブロ
   ックの前記規制溝および金属磁性体膜の側面を除く前記
   対向面の保護膜を除去する工程と、これら各磁性体ブロ
   ックの前記規制溝および金属磁性体膜を含む面に非磁性
   体膜を形成する工程と、これらの一対の磁性体ブロック
   の対向面を前記規制溝が対応するよう接触させ前記一方
   の磁性体ブロックの２条の溝に溶融接合部材を挿入し一
   方の溝に空洞が形成されるように前記溶融接合部材を溶
   融させて前記一対の磁性体ブロックを接合する工程と、
   この接合されたブロックを前記規制溝に沿って所定のピ
   ッチで切断する工程と、このブロックの前記非磁性体膜
   および金属磁性体膜の露出する面を所定の形状に研磨す
   る工程とを具備する磁気ヘッドの製造方法。