JPS62270776A - 光化学蒸着の装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ３、発明の詳細な説明 （産業上の利用分野） 本発明は、一般に基材への材料の光化学蒸着の装置及び
方法に関し、特に、半導体薄膜の光化学蒸着に関する。

（従来の技術） 光化学蒸着は、導体、絶縁体及び半導体の薄膜を蒸着す
る際に有効でおる。１９８３年２月１日付発行の米国特
許４．３７１．５８７号には、半導体デバイスへのシリ
コン酸化物のパッシベーション層の光化学蒸着について
の記載がされている。１９８１年５月５日付発行の米国
特許４．２６５．９３２月には、半導体デバイスのシリ
コン窒化物のパッシベーション層の光化学蒸着について
の記載がされている。イノウニ（ｒ、Ｉｎｏｕｅ　＞そ
のイ也著「フォトケミカル　ベイパー　デポジション　
オフ　アンド−ブト　アンド　ｎ−タイプ　アモルファ
ス　シリコン　フィルムス　プロデユースト　フロム　
ジシラン（Ｐｈｏｔｏｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｖａｐｏｒ　
Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ　ｏｒ　Ｕｎｄｏｐｅｄａｎｄ　
　ｎ−丁Ｖｐｅ　　Ａｍｏｒｐｈｏｕｓ　　５ｉｌｉｃ
ｏｎ　　Ｆｉｌｍｓ　　ＰｒｏｄｕｃｅｄＦｒｏｍ　Ｄ
ｉｓｉｌａｎｅ　）　ｊアプライド・フィジックス・レ
ターズ（八ｐｐｌｉｅｄ　Ｐｈｙｓｉｃｓ　Ｌｅｔｔｅ
ｒｓ　）第４３巻３号１９８３年１０月１５日発刊７７
４ないし７７６ページには、太陽光電池とＲＩＭ半導体
デバイスのための水素と化合されたアモルファスシリコ
ンの薄膜の光化学蒸着について記述されている。

光化学蒸着の工程は、蒸着室の最−Ｆ部に設けられるウ
ィンドウより入射する、放射の透過によって始められる
。蒸着の間は、上記ウィンドウは付着した材料に覆われ
る。この付着層は、前記ウィンドウの透明度を減少させ
、光化学反応を始めさせるように蒸谷層へ浸入する放射
の量を減少させる。このようにして、蒸着速度と蒸着の
最終の厚さをさまたげる。

このウィンドウへ付着する事についての問題に対して、
多くの解決法か提案されている。イノウニその他層の前
述の刊行物中では、ウィンドウを、アモルファスシリコ
ン膜の付着による曇りから守るように、低蒸発圧オイル
でウィンドウを覆う方法が記述されている。カザハヤ（
Ｔ、　Ｋａｚａｈａｙａ　）その他署「バレンシー　コ
ントロール　イン　フォトケミカリ−デポジション　ａ
−３ｉ：）−１フロム　Ｓｉ２トＨＢ　　（Ｖａｌｅｎ
ｃｙ　Ｃｏｎｔｒｏｌ　ｉｎ　Ｐｈｏｔ。

ｃｈｅｍｉｃａｌｌｙ−Ｄｅｐｏｓｉｔｅｄ　ａ−３ｉ
：Ｈｆｒｏｍ　　Ｓ　ｉ　２　Ｈｅ　）」テクノロジー
　ダイジェスト　オフ　ザ　イン’；ｌ−ナシＥ　ｔ）
Ｌ、ｔ　（Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ　ｏｉｇｅｓｔ　ｏｆ　
ｔｈｅ　ｒｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ　）　ＰＶＳ　Ｅ
　Ｃ−１、コウベ、ジャパン（１９８４年発行）の４４
９ないし４５２ページには、ウィンドウの近くに窒素ガ
スの流れを吹きつける方法が記載されている。類似した
方法が、１９８４年３月６日発行の米国特許第４；　４
３５．４４５号に記載されている。

前述の米国特許第４，２６５，９３２号には、反応空の
ウィンドウの内側に引いてあり、そのウィンドウの内側
を薗うように動かせるポリ弗化ビニリデンのフィルムよ
り成る可’Ｊｅｔ　Ｓ明つィンドウ装置についての発表
がなされ−Ｃいる。この可動性フィルムは、反応室の内
側ウィンドウに着く好ましくない付着を防ぐために、蒸
着中に反応室ウィンドウの内側面に設けられる。反応室
ウィンドウの内側面を覆うフィルムの動きは、放射の入
射通路からフィルムに付着した材料を除去するように及
び、このウィンドウを清潔で透明な状態に保持するよう
に与えられる。ガイド軸は、このウィンドウとフィルム
間が最小の摩擦状態であるような可動フィルムとウィン
ドウ間の最適空間（接触も含む）を得るように設けられ
ており、このために、反応ガスがウィンドウの内側面に
接触することを防止している。

（発明が解決しようとする問題点） 以上の解決法は、いづれもあまり満足できる結果は示さ
れていない。イノウニ（Ｉｎｏｕｅ　）その他箸の刊行
物に述べられているようにオイルで反応室のウィンドウ
を覆う（汚染を取り入れる）方法は、再現性がないし、
長期間の効果を維持できない。カザハヤ（Ｋａｚａｈａ
Ｖａ　）その他層の刊行物および米国特許第４．４３５
．４４５号に記述しであるように、反応室のウィンドウ
面を横切って反応しないガスの流れを吹きつける方法は
、反応室のウィンドウ部分への反応性ガスのさけられな
い伝達により効果が限定されている。米国特許第４，２
６５，９３２号の可動性の透明なウィンドウの方法も、
フィルムと反応室のウィンドウ間に機械的に課せられた
ガスの洩れないシールを必要とする。フィルムとウィン
ドウ間への反応性ガスの洩れは、長期の運転下において
は避けがたい。

本発明の目的は、選択した材料を基材に付着させる光化
学蒸着装置を提供することにある。

さらに本発明の目的は、選別した材料を広い範囲の基材
に、高い付着速度で付着させる光化学蒸着装置を提供す
ることにある。

さらにまた、本発明の目的は、反応室のウィンドウの好
ましくない付着を除去する光化学蒸着装置を提供するこ
とにある。

それに本発明の目的は、選択した材料の層が、基材に連
続的に付着する光化学蒸着装置を提供することにある。

それにまた別の本発明の目的は、選別した材料を、装置
の内外へ移動できるような基材に付着させる光化学蒸着
装置を提供することに必る。

そして、本発明の目的は、選別した材料が、移動可能な
基材に連続的に付着するような少なくとも１つの付着域
が存在する光化学蒸着装置を提供することにある。

本発明の目的は、半導体湧膜を含むアモルファスシリコ
ンの、光化学蒸着のための方法とその装置を提供するこ
とにある。

（問題点を解決するための手段） 本発明の光化学Ｒ管装置は、反応室の最上壁に透明なウ
ィンドウを有する反応室をもつ。反応室は２つの区域に
分割されており、透明で可動なカーテンまたはフィルム
によって遮断密閉されて分離されている。まず、フラッ
シュ域即ち前記ウィンドウとフィルム間の空間へ始めの
ガス混合物を導く手段が与えられる。そして反応酸部ち
フィルムと基材間の空間へと、次のガス混合物を導く手
段が与えられる。本装置はまた、反応域中に位置してい
る基材の温度副部装置をも有する。この装置はフラッシ
ュ域中と反応域中のガス混合物の圧力と流れを制御する
ように動く。外面的な手段は、放射を引き起こし、そし
てウィンドウを通して放射を導く。

（作用および実施例） 第１図にはこの発明の概要が示されている。そこに示す
ように光化学前着装δ１０は、その最上部にある反応室
１４をもつハウジング１２を有する。透明なウィンドウ
１６は、ハウジング１２の　□上壁１８にはめ込まれて
いる。

第１図に示すように、透明なカーテン２０は反応室１４
を、反応域２２とフラッシュ域２４とに分離する。反応
域２２は、ウィンドウ１６を通しての光の通路に取付け
られる少なくとも１つの基材２６を有する。よって、紫
外光源２Ｂは、ウィンドウ１６を通してフラッシュ域へ
入射する放射と、カーテン２０を通して反応域２４へ入
ｑ；Ｉする放射とでウィンドウ１６を照らすように、ウ
ィンドウコロの外側に位置され得る。

反応ガスは、反応域２２へ適当なバルブ３２とマーキュ
リ−バブラー３４を通じて、一つ或いはそれ以上のりザ
ーバ−３０から供給されるので、反応域２２内の紫外線
照射の結果として、光化学蒸着が行なわれて基材２６に
蒸着面をつくる。

この発明によると、不活性希釈ガス並びに別の希釈ガス
と、反応抑制ガスの両者またはその一方が、フラッシュ
域２４へと、適当なリザーバー３６から、バルブ３８（
所望によりマーキュリ−バブラー４０＞を通して供給さ
れる。

このようにしてリザーバー３６から流れ込む不活性ガス
及び反応抑制ガスは混合され、すなわち反応性ガスを希
釈し、すなわちフラッシュ域２４内に在るかもしれない
反応性ガスによる蒸着の進行を抑制する。これらのガス
は、その後いろいろな原因で汚染したウィンドウを復元
し、或いは除去する。特に、反応性ガスを希釈すること
は結果としてフラッシュ域２４内の反応速度を遅める。

さらに気相反応は、フィルムの成長に必要な気相先駆物
質の１溝造を抑えるようないくつかの方法で、フラッシ
ュ域内で緩和させられる。さらにまた、ウィンドウ１６
での表面上の反応は、気相から、フィルムの組成を妨げ
るように緩和させられる。

不活性ガスと反応抑制ガスの両者またはその一方は、フ
ラッシュ域２４から、排気口４２や圧力調整バルブ４４
を通って、適当なポンプ及びベントスタックへと流出す
る。

リザーバー３０から流れ込む、反応性ガス及び、不活性
希釈ガスは、適正に配置された配管ガスマニホールド４
６を通って、反応域２２へと公平に分配される。これら
の反応性ガスは、このようにして、光化学蒸着プロセス
により、基材２６へと硬い蒸着面を形成する。紫外光源
２８からの光は、先に記したように、このプロセスを起
動させる。

基材或いは基材２６は、基材の下に取付けられた炉によ
って適宜熱せられる。反応性ガスは反応域２２より流出
し、そして集合マニホールド５０を通ってアウトレット
ライン５２へ流れ、圧力調整バルブ５４を通って、そし
てポンプへ及び過当なベントへと流れる。

第２図から第１０図までは、この発明の好ましい実施例
の詳細図である。これらの詳細は、一般的にハウジング
１２の最上端に必る反応室１４内の構成部材を含む。

第２図と第６図によく示されているように、装置］Ｏは
、フローティングクランププレート６４に合い、また環
状の凹みをそのプレートに持つカーテンプレート６２か
取付けられている、上記プレートの下方にある、Ｗ＋Ａ
ベースプレー１−６０を含む。ウィンドウ取付プレート
６６は、この上記アセンブリの最上部に取付けられてお
り、このウィンドウ取付プレート６６にはさらに、ハウ
ジングの石英ウィンドウ１６を固定するようにウィンド
ウ取付リング６８か取付けられている。

基材プレート６０の詳細は、第２図、第６図及び第７図
によく示されている。図示されているように、プレート
６０は、基ｊｒＡ２６が配置される部分か凹状でおる、
中央突起部ＱｒＪら、プラットホームセクション７０を
含む。ヒータ部材７２の大多数は、第１図に示すように
、炉４８を形成している。適宜数量の熱電対７６は、突
起部すなわちプラットフォーム７０の中心部及び外縁部
の温度を感知するように、突起部７０内に設けられてい
る。

第２図および第６図に示すように、一対のハンドル７６
が、組み立て、及び分解時の早い操作ができるように、
ベースプレート６０へと固着されている。

第２図、第６図及び第８図は、カーテンプレート６２の
詳細図である。これらに示すように、一対の延長ポケッ
ト７８は、プレート６２の開放された上面内に形成され
る。一連のガス通路もプレート６２内に形成される。こ
れらのガス通路は、通常はプラットホーム７０の付近に
あるカーテンプレート６２の最上面においてｌ１ｌｉ’
を番に終わる、垂直方向に走る一連のガス通路８２へと
導く（第６図）、水平方向に走る反応性ガス通路８０を
含む。

同様に、一連の垂直方向に走る通路８４は、プレート６
２の最上面から、水平方向に走るガス出口側通路８６へ
と導かれている。これらのガス通路の出入口は、第１図
の反応性ガス流通ライン４６と５０に該当する。

カーテンプレート６２は、また、フラツレユガス入口側
通路８８とフラッシュガス出口側通路９０とを含み、上
記各々の通路は、それぞれのポケット７８で連絡してい
る。

第６図に示ずように、ｌプレート６０の最上面には、同
心円上に、３本の溝９２．９４．９６がある。一対のＯ
−リング９８．’１００が、上記溝９２と９６に取付け
られている。このＯ−リングを取付ける目的は、プレー
ト６０及び６２を、適当な方法、例えば、ねじ山の着い
た止め金具などで取付けた場合に、このプレート６０と
６２間の密閉性を得るためである。中央の溝９４は、ガ
ス洩れ発生時のために真空引き発生源へと接続され、水
平方向に走るガス通路１０４へと順番に接続され、垂直
方向に走る通路１０２に接続されているので、ガスは反
応域２２に侵入する前に退けられるだろう。同様に、同
心円上に３本の＠１０６．１０８，１１０の組が、カー
テンプレート６２の最上面に成されている。Ｏ−リング
は、カーテンプレート６２とウィンドウ取付プレート６
６間に密閉性を与えるように溝１０６，１１０内に設け
られる。中央の溝１０８は、通路１１２へ接続されてお
り、通路１１２は、通路１０４へと及びプレート６２へ
と導びかれている。第８図に示すように、第二の真空引
きライン１１４は、カーテンプレート６２内を導通し、
プレート６２の最上面にあるＶ型溝１１６に接続される
。後述するように、カーテン２０は、プレート６２の最
上面上を横切る。第８図に示すように、溝１１６は、カ
ーテン２０の幅より狭く、長門形状に囲むように形成さ
れている。よって、この溝１１６へ真空引きを行なうこ
とにより、カーテン２０は、プレート６２の最上面に対
しである位置に保てるであろうことは明確である。

種々の図に示すように、−組のローラー１１８゜１２０
は、それぞれのポケット７８に取付けられ、それぞれの
ローラー１１８，１２０には、カーテン２０の端部が固
着されている。またカーテン２０の中間部はピン２１で
支持されている。このようにして、後述するように、基
材２６上に直接横たわるカーテンの部分を変えることが
可能である。

第２．第３．第１０図に示すように、前記カーテン２０
の移動は、シャフト即ちロッド１２２．１２４にカーテ
ンプレート６２の外部へ延長するローラーシャツ１−を
固着することにより手動でなされ得る。このシャフトは
、シャフト１２２．１２４に固着したハンドル１２６の
手動操作によって、或いは、ハンドルの少なくとも１つ
の部分にモーターを固着することによって回転可能であ
る。このハンドルは、シャフト１２２，１２４へと、カ
プラー１２８を介して磁力によりつながれ、そして順番
にシャフトは、第１０図に示されるように、溝連結部１
３０の凸部を介し、ローラーシャフトへと固着される得
る。再び第１０図に示すように、ポケット７８内のセッ
トスクリュー１３２は、シャフトを所定の位置に保持す
るように機能する。

第２．第６及び第９図は、カーテンプレート６２に同心
円上に設けられた凹部を介して配置された、フローティ
ングクランププレート６４の詳細を示している。第９図
に示すように、クランププレート６４には、ポケット７
８に通じるように１対の環状の開口部１３４がある。開
口部１３４には、ねじ山を切った上方の装置と螺設する
ように、やはりねじ山が切っである。中央の開口部１３
８は基材プラットホーム７０の上方に位置している。

第２．６．７図に示すように、マスク１４０は基材を所
定の位置に保持するようにプラットホーム７０の最上部
に取付けられている。図中では、四つのウェハー即ち基
材が置かれてあり、マスク１４０は、これらの基材と一
致するように適宜に開口部を設けである。この発明はも
ちろん、別の基材の配置で、また別のマスクを用いて実
施され得る。好都合に、マスク１４０は、種々のマスク
をすぐにはがし、またすぐに再び取付けられるように、
取付具１４２（第６図）によって、プラットホーム７０
へ着脱可能に固定されている。

第６図に示すように、フローティングクランプ６４が所
定の位置に取付けられている時は、カーテン２０が行き
来するのに都合の良いように、わずかなすきまが内側同
心円上の突起部１４４の最上面と、クランププレート６
４の最下面との間に空けられている。

第６図に示すように、このように反応域２２は、プラッ
トホーム７０の上面と、カーテンプレート６２の凹面部
１４６よりなる基底部をもとに形成されると考えられ得
る。プレート６２の一部分１４４の凹面１４６の周囲に
あるショルダ一部は、フラッシュ域２４から反応Ｖｊ、
２２を遮断密閉するために、周囲の壁をか（プ渡すカー
テン２０によって覆われる前記基底部から外見上設けた
壁と考えられ得る。

第２図及び第６図は、ウィンドウ取付プレート６６の詳
細図を承り。図に示されるように、−＋ｙに、プレー１
−６６は、上部に石英ウィンドウ１６か取付けられる環
状の開口部を有し、円板形状をしている。環状の溝１４
８は、ウィンドウ１６の接触密閉性を確保するＯ−リン
グが付きやすいように、プレート６６の上面に設けられ
ている。１対のハンドル１５０は、プレート６６の操作
を容易にするように設けられている（第３図参照）。

第６図には、また、ウィンドウ１６に合うような内側の
凹面１５２をもつウィンドウ取付リング６８の詳細か図
示されている。環状の溝１５４は、ウィンドウ１６の上
面を密閉してつなげる０−リングのために設けられてい
る。ウィンドウリング６８は、例えば第６図に示ずねじ
山のついた止め金具１５６によるような適当な方法で、
ウィンドウプレート６６へと取付けられる。

装置１０に組入れられている種々の要素は、装置１Ｑの
効果的操作を確実にすることと、相互関係がある。たと
えば、機械的密閉と圧力密閉の両方が、反応域２２とフ
ラッシュ域２４間でなされている。この点で、周囲の溝
１１６になされている真空引きは、カーテン２０を下方
に吸いつけて、圧力密閉するように動く。つけ加えると
、フローティングプレート６４は、前記２つの域の機械
的密閉をするプレートとして動く。

この発明の装置の、またの優れた点は、この可動のカー
テンが、反応域２２の上方に配回される前記カーテンの
清潔な部分の維持を容易にするという点にある。加える
と、密閉性は、反応域２２内の圧力よりフラッシュ域２
４内の圧力をより高めることによって、高められる。

第６図には、ウィンドウフラッシュ域２４と反応域２２
との２つに分離された域をもつ反応器１０の実施態様か
示されている。前記山域の構成部の材質は、３０４ステ
ンレススチールが良い。このしなやかな透明ウィンドウ
は、好ましくは「テフロン」　（商標名）で、例えばポ
リ弗化ビニリデンのように、不活性でかつ透明でなおか
つしなやかなポリマーならば適当で必る。ウィンドウ１
６は、ニスコブログクツ社（Ｅｓｃｏ　Ｐｒｏｄｕｃｔ
ｓ　）　製の高品質石英製か良い。カーテンのローラー
１１８゜１２０はまた、３０’４ステンレススチールが
良い。

回転する供給ガス通過部は特に高真空に耐えるように設
計される。反応器の構成要素は、空気に対して、はめこ
まれた「ビトン（ｖｉｔｏｎ　）　ＪのＯ−リングによ
って密閉される。

この発明の実施例において、次の状態は、ドープ未処理
のａ−３ｉ：Ｈに付着させるように、反応域２２内及び
フラッシュ域２４内で確証される。

これらの状態は、付着ざぜるフィルムと独立しているの
で、フラッシュ域２４内での同じ状態は、別の材料にさ
せる付着へも使用された・紫外光源２８は低圧水銀蒸着
ランプで、ビーエイチケイ社（ＢＨＫ　Ｉｎｃ、　＞　
Ｍモデルナンバー８８−９１０２−０２で１２〜１５ｍ
Ｗ／ｃｆｆｌである。ウィンドウ１６は、ニスコブロタ
クツ社（Ｅｓｃｏ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　）　製の直径約
１０．２ｃｍ（４インチ）で、厚さ約０゜９ｃｍ（３／
８インチ）の紫外光透過窓である。り畢アーバー３６の
バルブ３８と、バルブ４４の調整によって、アルゴン中
の４％Ｈ２の約０．８〜１゜７　（５／６〜５／３　）
　ｃｍ３／ｓの流速は、５〜２０１”ルの全体の圧力で
確証される。バルブ３８は、タイラン　マス　フロラ　
コントローラー（丁ｙｌａｎ　Ｈａｓｓ　Ｆｌｏｗ　Ｃ
ｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）　Ｆ　Ｃ−２６０である。マーキ
ュリ−バブラーは使用されない。カーテン２０は、「テ
フロン」　（商標名）カーテンで、デュポン　カンパニ
ー　（ＤｕＰｏｎｔ　Ｃｏｍｐａｎｙ）　製のＰ「△（
デエポン社によって使用される「テフロン」の特別等級
のための呼称。以下、同様。）グレードの名称１００１
Ｐ、厚さは、ＰＦＡグレートの約０．００２５ｃｍ（１
ミル）である。新しいカーテンの領域は、毎０．５〜８
分でざらされる。

特に述べろように、フラッシュ域２４内での上記の状態
は、付着させるフィルムにかかわらず使われる。ドープ
未処理のａ−３ｉニド１においては、リザーバ３０は、
高純度のＨｅまたはＨ２）及び高純度のジシランまたは
シランを供給する。バルブ３２は、タイラン　マス　フ
ロラ　コントローラー社製のＦＣ−２６０で、Ｈｅ或い
はＨ２の流れにおいては約０．０８〜０．３　（１／１
２〜２／３）ｃｍ３／ｓの流速を与え、ジシランあるい
はシランにおいては約０．０２〜０．０７　（１／６０
〜１／２０）ｃｍ３Ｌｓの流速を提供する。マーキュリ
−バブラー或いはポットは、その自らの温度を２０’Ｃ
〜６０°Ｃに制御させる。圧力調整バルブ５４はバルブ
４４と同様の機能を持ち、５〜２０トルの圧力をつくっ
ている。ヒーター４８は基材２６を、２００°Ｃ〜２８
０°Ｃに加熱するａ基材２６は、カラス、ステンレスス
チール、シリコン、酸化すすて覆ったガラス或いは金属
が良い。　域２２内及び２４内で上記の状態が確証され
た時に、紫外光源２８は点灯される。１，８００〜７，
２００秒の蒸着時間で、成長速度１Ｘ１０°９〜２Ｘ１
０−８０ｍ／ＳｅＣの付着が１．５ｘ１ｏ−６〜’＋、
４Ｘ１０−４ｃｍのフィルムの厚さで成される。この結
果フィルムの特性は、１．７〜１．９８Ｖのオプチカル
ギャップ、１０’〜１０’　（Ω−ｃｍ＞−’の光導電
率、１０　〜１Ｏ−９（Ω−ｃｍ＞”の暗導電率である
。

この発明は、この発明の精神から逸脱することなく仙種
類の態様で実施され得る。例えば、第４図では、ウィン
ドウプレート６６の最上部に取付けられたレンズマウン
ト１６０か示されている。

図示されているように、レンズ１６２は、ウィンドウ１
６の外側の光を増幅するように、ブラケット１６４上に
置かれている。成長速度は、カーテン２０を基材２６へ
よりも、レンズ１６２へより近づけるように配置するこ
とにより、改善され得る。レンズは、例えば第１１図に
示すレンズ１６６のように、種々の形式をとっても良い
。つけ加えると、レンズは、例えば第１２図に示すレン
ズ１６８のように、ウィンドウ１６の下方に取付けられ
ても良い。

カーテン２０の一部分がくり返し付着を受けるので、こ
れらの部分は、独立したエツチング室へと導かれ（図示
せず）、その後再び蒸着賊へと引き戻されるようにして
も良い。このエツチング技術としては、プラズマエツチ
ング、基本的解決としての湿式エツチング或いは、フォ
トデコンポジションエッチング等の技術か考えられる。

合金ｌ＼の蒸着は、種々の材質があり、例えば、５ｉ−
Ｃ，５ｉ−Ｇｅ、５ｉ−３ｎ、ＳｉＯ２）ＳｎＯ２）Ｓ
　１２Ｎ３　、Ｓ　ｉ３Ｎ４　、ＩＴＯ，鉄、ＩｎＰ、
ＧａＡＳ、Ｃｄ１（ＣＩＴｅ、ＣｄＴｅ、ＺｎＳ、シリ
コンオキシ窒化物、錫およびドープ処理された半導体等
がある。

別のフィルムに付着させるようなガスの変量は、ａ−３
ｉＱｅニド１を生じさせるために約０．０２〜０．　０
７　　（１／６０〜１／２０）　ｃｍ３／ｓのＧｅＨ４
、Ｐ型ａ−３ｉ：ｌ−１を生じざぜるために約１．７×
１０°４〜１　、　ＯＸ　１０’　（Ｌ／６，０００〜
１／１．０００）ｃｍ３／ｓの８２　Ｈａ　、ＩＮ型ａ
　−Ｓ　ｉ　：　Ｈヲ生Ｌ；２１にセるために約１　、
、７ｘ　１０’〜１．０Ｘ１０−３（１／６．０００〜
１／１，０００）ｃｍ”　／ｓのＰＨ３、及びａ−３ｉ
：Ｈを生じさせるために約８．３Ｘ１０７４〜５．　Ｏ
Ｘ　１０’　　（１／１，２００〜ｉ／２００　ｃｍ３
／ｓのＣ２ト１２（７）ようになっている。

複数の室はロードロツクス（真空状態を維持してそれぞ
れの室へ選択導通を可能にする装置）を介して接続され
得るので、反応を停止させることにＪ：す、（ライトを
消灯する）そして次の層を形成するために必要なものへ
のガスの供給を変化させることにより、順次の蒸着が独
立した室内で成され、或いは、順次の蒸着が単独の大き
な反応室内て成され得る。

紫外光源２８は、カーテン２ｏの上方の反応器１０の内
側に取付けられるが、或いは、水銀蒸発プラズマがフラ
ッシュ賊２４のウィンドウ内て光生させられても良い。

どちらの場合でも、光発生源が反応器の外部になければ
、ウィンドウは、反応器の内部の様子を観察するより伯
には必要ない。

この場合は、ウィンドウを通しての光の損失が無くなる
ので、より大きな光の照度が提供される。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の光化学蒸着装置の略部分断面図で
ある。 第２図は、この装置の主要構成部の分解図である。 第３図は、この発明に従った第１〜２図のような装置の
平面図である。 第４図は、第３図に示した装置にレンズマウントを加え
た正面部分断面図である。 第５図は、第４図に示した装置の平面図である。 第６図は、第３図の線６−６に沿う断面図である。 第７図は、第２図から第６図の装置に示されている基材
ベースプレートの平面図である。 第８図は、第２図から第６図の装置に示されているカー
テンプレートの平面図である。第９図は、第２図から第
６図の装置に示されるフローティングクランププレート
の平面図である。 第１０図は、第３図の線１０−１０に沿う断面図である
。 第１１図及び第１２図は、この発明に従った交替用レン
ズマウントの断面図である。 １２・・・ハウジング、　１４・・・反応室、１６・・
・ウィンドウ、　２０・・・カーテン、２２・・・反応
域、　　　２４・・・フラッシュ域、２６・・・基材、
　　　　２８・・・紫外光源、６０・・・基材ベースプ
レート、 ６２・・・カーテンプレート、 ６４・・・フローティングクランププレート、６６・・
・ウィンドウ取付プレート、 ７０・・・プラットホーム、　７８・・・ポケット、１
１６−Ｖ型溝、　１１８，１２０・０−ラー。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）反応器のハウジング（１２）と、 該ハウジング（１２）の一方の壁にあるウィンドウ（１
   ６）と、 該ウィンドウ（１６）を透過して反応室（１４）へと紫
   外線照射が入射するように、紫外光源（２８）が該ハウ
   ジング（１２）の外側に配置され得るような、当該ウィ
   ンドウ（１６）を有する該ハウジング（１２）の一部分
   であり、該ハウジング（１２）内にある前記反応室（１
   ４）と、 該反応室（１４）を、反応域（２２）及びフラッシュ域
   （２４）へと分離する透明カーテン（２０）と、 該カーテン（２０）を通して、該ウィンドウ（１６）か
   らの光の通路内の、該反応域（２２）内ある基材取付部
   材（７０）と、 該基材取付部材（７０）の周囲にあるベース（６０）か
   ら外見上突出している周囲の壁及び前記ベース（６０）
   によつて形成される該反応域（２２）と、 前記フラッシュ域（２４）から該反応域（２２）を遮断
   密閉するように、前記ベースと平行に前記周囲の壁を覆
   うように引く当該カーテン（２０）と、 該反応域（２２）へと反応性ガスを供給する手段と、 該反応域（２２）から反応性ガスを引込む手段と、 前記フラッシュ域（２４）内へと、及び当該ウィンドウ
   （１６）と当該カーテンの間の空間内へと不活性希釈ガ
   スを流す手段とより成る、少なくとも１つの基材（２６
   ）上に、選別された材料を蒸着させる光化学蒸着装置。 ２）特許請求の範囲第１項記載の装置において、該カー
   テン（２０）を、圧力密閉と機械的密閉の両者に応用す
   る手段を有する光化学蒸着装置。 ３）特許請求の範囲第１項記載の装置において、該カー
   テン（２０）は折曲自在な薄膜で一対のローラ（１１８
   、１２０）に巻かれており、前記ローラー（１１８、１
   ２０）の一方は該反応域（２２）の一端に取付けられ、
   前記ローラー（１１８、１２０）の他方は前記反応域（
   ２２）の他端に取付けられ、該反応域（２２）を覆うよ
   うに配置された該カーテン（２０）の部位を変えるよう
   に、前記ローラー（１１８、１２０）を回転するように
   した光化学蒸着装置。 ４）特許請求の範囲第３項記載の装置において、該ハウ
   ジング（１２）に取付けられた基材ベースプレート（６
   ０）と、 該ベースプレート（６０）の上にある基材取付部材（７
   ０）と、 該基材取付部材（７０）上に取付けられた前記基材（２
   ６）と、 該ベースプレート（６０）に固着されたカーテンプレー
   ト（６２）と、 一般に中央にある、開口部を限定する周囲の壁部で当該
   カーテンプレート（６２）を貫通している前記一般に中
   央にある開口部と、 該反応域（２２）の該ベース（６０）の少なくとも一部
   から成り、当該開口部を通して延長する基材取付部材（
   ７０）と、 該反応域（２２）の前記周囲の壁より成る、前記周囲の
   壁とを有することを特徴とする光化学蒸着装置。 ５）特許請求の範囲第４項記載の装置において、該反応
   域（２２）へ反応ガスを供給する該手段と、該反応域（
   ２２）へ前記反応ガスを引込む該手段とから成る該カー
   テンプレート（６２）内の反応ガスの通路と、 該フラッシュ域（２４）内へと前記希釈ガスを流す該手
   段より成る該カーテンプレート（６２）内の希釈ガスの
   通路とを有することを特徴とする光化学蒸着装置。 ６）特許請求の範囲第５項記載の装置において、該ベー
   スプレート（６０）と該カーテンプレート（６２）との
   間を密閉する手段と、 当該ベースプレート（６０）と当該カーテンプレート（
   ６２）間に吸引力を用いる真空応用手段とを有すること
   を特徴とする光化学蒸着装置。 ７）特許請求の範囲第６項記載の装置において、該一般
   に中央にある開口部の各々のサイド上の該カーテンプレ
   ート（６２）内に形成されたポケット（７８）と、該ポ
   ケット（７８）の各々に各１つずつ取付ける前記ローラ
   ー（１１８、１２０）とを有することを特徴とする光化
   学蒸着装置。 ８）特許請求の範囲第７項記載の装置において、該カー
   テンプレート（６２）の凹部の部分としてのカーテンプ
   レート（６２）の上面及び該周囲の壁とで構成する一般
   に中央部にある凹部と、 該凹部に取付けられるクランププレート（６４）と、 当該周囲の壁の前記最上面から、わずかにすきまを空け
   て設ける該クランププレート（６４）の底壁と、 該周囲の壁の前記最上面を覆うように延ばす該カーテン
   （２０）とを、該クランププレート（６４）の最上壁に
   有することを特徴とする光化学蒸着装置。 ９）特許請求の範囲第８項記載の装置において、該カー
   テンプレート（６２）の一般に中央にある開口部の周囲
   を完全に包囲して、該周囲の壁の前記上面にある周囲の
   溝（１１６）と、 該周囲の溝（１１６）を完全に覆う当該カーテン（２０
   ）と、 該周囲の溝（１１６）へ真空引きを行なう手段とを有す
   ることを特徴とする光化学蒸着装置。 １０）特許請求の範囲第９項記載の装置において、該カ
   ーテンプレート（６２）に取付けられるウィンドウ取付
   プレート（６６）と、 該ハウジング（１２）の、少なくとも前記一方の壁の部
   分を構成する該ウィンドウ取付プレート（６６）と、 該基材取付部材（７０）と一直線上に、該ウィンドウ取
   付プレート（６６）を貫通する開口部と、該ウィンドウ
   取付プレート（６６）に取付られる該ウィンドウ（１６
   ）と、 該クランププレート（６４）の上面から、その間にスロ
   ットを作るように空間を空けて設ける該ウィンドウ取付
   プレート（６６）の下面と、前記スロットと導通してい
   る該ポケット（７８）を部分的に閉じる該クランププレ
   ート（６４）と、希釈ガスが該ポケット（７８）の一方
   へと流入し、そして前記スロットへと流れ、かつ該カー
   テン（２０）を横切り、それから前記スロットより出て
   、さらに該ポケット（７８）の他方へと流出するような
   、該ポケット（７８）と導通している該希釈ガスの通路
   とを有することを特徴とする光化学蒸着装置。 １１）特許請求の範囲第１０項記載の装置において、該
   カーテンプレート（６２）及び該ウィンドウ取付プレー
   ト（６６）間を密閉する手段と、該カーテンプレート（
   ６２）及び該ウィンドウ取付プレート（６６）間にも吸
   引力を用いる該真空応用装置とを有することを特徴とす
   る光化学蒸着装置。 １２）特許請求の範囲第１１項記載の装置において、該
   ベースプレート（６０）と、該クランププレート（６４
   ）と、該ウィンドウ取付プレート（６６）との各々を引
   き上げる手段を有することを特徴とする光化学蒸着装置
   。 １３）特許請求の範囲第１２項記載の装置において、該
   ベースプレート（６０）と、当該ウィンドウ取付プレー
   ト（６６）と、該クランププレート（６４）のねじ山を
   切った開口部とに設けたハンドルよりなる、該引上げ手
   段を有することを特徴とする光化学蒸着装置。 １４）特許請求の範囲第７項記載の装置において、第１
   シャフトと、前記第１シャフトのおのおのへ同軸となる
   ように接続されると共に、該カーテンプレート（６２）
   を通して延長する第２シャフトと、該ローラー（１１８
   、１２０）の操作を可能にするように、該ハウジング（
   １２）の外側に延長する前記第２シャフトのおのおのへ
   固着するハンドル（１２６）とに取付られると共に、 該ローラー（１１８、１２０）を回転する手段より成る
   、該ローラー（１１８、１２０）のおのおのを有するこ
   とを特徴とする光化学蒸着装置。 １５）特許請求の範囲第１４項記載の装置において、該
   ローラー（１１８、１２０）の回転を制御するように、
   前記ハンドル（１２６）の少なくとも一方に駆動手段が
   接続されることを特徴とする光化学蒸着装置。 １５）特許請求の範囲第５項記載の装置において、該カ
   ーテンプレート（６２）の外部から、該周囲の壁へと導
   く最初の通常は水平方向に走る通路と、前述の最初の通
   常は水平方向に走る通路から前記反応域（２２）へと導
   く第１の一連の一般に垂直方向に走る通路と、 該カーテンプレート（６２）の外部から、当該周囲の壁
   へと導く第２の通常は水平方向に走る通路と、 前記の第２の一般に水平方向に走る通路から、該反応域
   （２２）へと導く第２の一連の一般に垂直方向に走る通
   路とより成る該反応ガス通路を有することを特徴とする
   光化学蒸着装置。 １７）特許請求の範囲第１６項記載の装置において、前
   記の第１の一般に水平方向に走る通路へと接続される反
   応性ガス供給手段を有することを特徴とする光化学蒸着
   装置。 １８）特許請求の範囲第４項記載の装置において、該基
   材取付部材（７０）内にあるヒータ部材（７２）と熱電
   対（７４）と、 該基材（２６）を受ける凹んだ上壁を有する該基材取付
   部材（７０）と、 前記凹んだ上壁を覆うように取付けられるマスク（１４
   ０）とを有することを特徴とする光化学蒸着装置。 １９）特許請求の範囲第１項記載の装置において、該基
   材（２６）へ光が当たるように取付けられる紫外光源（
   ２８）と、当該紫外光源（２８）と当該基材（２６）間
   に取付けられたレンズ（１６２、１６６、１６８）とを
   有することを特徴とする光化学蒸着装置。 ２０）ハウジング（１２）の反応室（１４）内に基材（
   ２６）を取付け、 反応室（１４）を、反応域（２２）及びフラッシュ域、
   （２４）へと、フレキシブルで透明なカーテン（２０）
   によつてお互いに遮断密閉させるように分割して、 反応域（２２）へ反応性ガスが、流入及び流出している
   間は、前記基材（２６）を加熱して、前記ハウジング（
   １２）内のウィンドウ（１６）及び前記カーテン（２０
   ）を通して、光化学蒸着を引き起こすように紫外光源（
   ２８）によって、前記基材（２６）へと紫外光放射を導
   いて、そして、光化学蒸着中に、前記フラッシュ域（２
   ４）内へと不活性希釈ガスを流すことより成る、 光化学蒸着によって前記基材（２６）上に選別された材
   料を蒸着する光化学蒸着の方法。２１）特許請求の範囲
   第２０項記載の方法において、前記カーテン（２０）が
   、機械的密閉と圧力密閉との両者を提供することを特徴
   とする光化学蒸着の方法。 ２２）特許請求の範囲第２０項記載の方法において、前
   記反応域（２２）の各々の側のローラー（１１８、１２
   ０）に、前記カーテン（２０）を取付けて、前記反応域
   （２２）を密閉して覆う前記カーテン（２０）の部位を
   制御するように、前記ローラー（１１８、１２０）を操
   作することを特徴とする光化学蒸着の方法。