JPS62250506A - 基板材料 - Google Patents
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- JPS62250506A JPS62250506A JP61093587A JP9358786A JPS62250506A JP S62250506 A JPS62250506 A JP S62250506A JP 61093587 A JP61093587 A JP 61093587A JP 9358786 A JP9358786 A JP 9358786A JP S62250506 A JPS62250506 A JP S62250506A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
- G11B5/3106—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination
-
- G—PHYSICS
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、コンピュータ用、オーディ１用、 ＶＴＲ用
等の記録再生用磁気ヘッド・スライダ、磁気ディスク用
等の基板に使用される材料に関する。
等の記録再生用磁気ヘッド・スライダ、磁気ディスク用
等の基板に使用される材料に関する。
（従来の技術〕
従来、コンピュータ用を始めオーディオ用、ＶＴＲ用等
の記録再生用磁気ヘッド・スライダ等の基板には多結晶
Ｎｉ−Ｚｎフェライト＋ Ｍｎ４ｎフエライト。
の記録再生用磁気ヘッド・スライダ等の基板には多結晶
Ｎｉ−Ｚｎフェライト＋ Ｍｎ４ｎフエライト。
単結晶Ｍｎ−Ｚｎフェライト等のフェライト、さらには
高硬度のパーマロイ等が用いられてきた。
高硬度のパーマロイ等が用いられてきた。
今日では記録密麿の高密度化と耐摩耗性の改善のために
、薄膜磁気ヘッド化が進められ、記録再生のための磁気
回路部材及びスライダとしてそれぞれの特性を満足した
材料の選定が進められつつある。
、薄膜磁気ヘッド化が進められ、記録再生のための磁気
回路部材及びスライダとしてそれぞれの特性を満足した
材料の選定が進められつつある。
例えば、磁気回路用としては、高周波域の磁気特性が優
れたパーマロイ、センダスト或いはアモルファス薄膜を
用い、また、磁気ヘッド・スライダとしては非磁性で且
つ耐摩耗性の良いアルミナ系セラミックスが好ましいと
されている。
れたパーマロイ、センダスト或いはアモルファス薄膜を
用い、また、磁気ヘッド・スライダとしては非磁性で且
つ耐摩耗性の良いアルミナ系セラミックスが好ましいと
されている。
このアルミナ系セラミックスからなる磁気ヘッド・スラ
イダとして、例えば、特開昭５５−１６３６６５号公報
にはＡｊ！２０Ｂ −ＴｉＣ系材料が開示されている。
イダとして、例えば、特開昭５５−１６３６６５号公報
にはＡｊ！２０Ｂ −ＴｉＣ系材料が開示されている。
このへ１２０３−ＴｉＣ系材料は焼結材料であることか
ら来る低密度による欠点が解消され、耐摩耗性と機械加
工性においてかなり改善されたものとなっている。
ら来る低密度による欠点が解消され、耐摩耗性と機械加
工性においてかなり改善されたものとなっている。
かかる磁気記録再生部材の基板材料としては、非磁性で
あること、高強度と耐摩耗性を有すること、また材質的
には組織の緻密性を有し、精密加工性、加工能率性に優
れていることと共に、とくに記録媒体とのなじみ、摺動
潤滑性などの諸特性において優れていることが要求され
る。
あること、高強度と耐摩耗性を有すること、また材質的
には組織の緻密性を有し、精密加工性、加工能率性に優
れていることと共に、とくに記録媒体とのなじみ、摺動
潤滑性などの諸特性において優れていることが要求され
る。
上記ａｇ ｏａ系のセラミックスは、これらの要求特性
に対して多くの面で優れたものではあるが、磁気記録再
生機器部材として最も重要な要素である摺動性において
未だ充分とはいえない。
に対して多くの面で優れたものではあるが、磁気記録再
生機器部材として最も重要な要素である摺動性において
未だ充分とはいえない。
この発明の目的は、上記従来のセラミックスからなる磁
気ヘッド・スライダの特性をさらに改善し、薄膜磁気ヘ
ッド・スライダに要求される耐摩耗性を始め、精密加工
性、加工能率、高強度１組織の緻密性などの諸特性にお
いて優れ、特にこれらの特性を維持しつつ摺動潤滑性に
おいて改善された基板材料を提供することにある。
気ヘッド・スライダの特性をさらに改善し、薄膜磁気ヘ
ッド・スライダに要求される耐摩耗性を始め、精密加工
性、加工能率、高強度１組織の緻密性などの諸特性にお
いて優れ、特にこれらの特性を維持しつつ摺動潤滑性に
おいて改善された基板材料を提供することにある。
この発明は、＾ｚ２０ｓ −５ｉＣ系焼結材料が磁気ヘ
ッド及びディスク用基板材に要求される特性を満足する
ものであるという知見に基づいて完成したものである。
ッド及びディスク用基板材に要求される特性を満足する
ものであるという知見に基づいて完成したものである。
この発明におけるＳｉＣは、記録媒体とのなじみ、潤滑
性をよくすると共に焼結体の熱伝導率を上げ磁気ヘッド
・スライダの放熱性を向上させる機能を有する。また、
磁気ヘッド・スライダ等の記録再生部材を製作する時に
精密加工が容易になるという効果を有するもので、その
含有量が１０容量％未満では精密加工時にチンピングが
発生し易く、またＡｊ！ｚｏａ単味の焼結材と較べて摺
動特性の改善の効果は左程みられない、また４ｏ容量％
を超えると焼結性が悪くなり、気孔が多く観察される。
性をよくすると共に焼結体の熱伝導率を上げ磁気ヘッド
・スライダの放熱性を向上させる機能を有する。また、
磁気ヘッド・スライダ等の記録再生部材を製作する時に
精密加工が容易になるという効果を有するもので、その
含有量が１０容量％未満では精密加工時にチンピングが
発生し易く、またＡｊ！ｚｏａ単味の焼結材と較べて摺
動特性の改善の効果は左程みられない、また４ｏ容量％
を超えると焼結性が悪くなり、気孔が多く観察される。
このため焼結温度を高くする必要があり、この焼゛結温
度が高くなるとａｚ２ ｏｓの結晶粒の成長をもたらし
、チンピングが発生し易くなる。従って、ＳｉＣの含有
量を１０〜４０容量％とする必要がある。
度が高くなるとａｚ２ ｏｓの結晶粒の成長をもたらし
、チンピングが発生し易くなる。従って、ＳｉＣの含有
量を１０〜４０容量％とする必要がある。
また、この発明においては、前述のように、Ａｚ２ ｏ
ａに１０〜４０容量％のＳｉＣを含有せしめた基本組成
を有するものであるが、この基本組成に対して’ｇｏｔ
Ｙ２０ａ 、 ＺｒＯ２、Ｃａｂ、 Ｅｒ２０Ｂ
。
ａに１０〜４０容量％のＳｉＣを含有せしめた基本組成
を有するものであるが、この基本組成に対して’ｇｏｔ
Ｙ２０ａ 、 ＺｒＯ２、Ｃａｂ、 Ｅｒ２０Ｂ
。
Ｃｒ２０６等の焼結助剤を０．２〜１０重量％添加して
Ａｊ２ ｏａ−５ｉＣ材の焼結性を向上させ、構成結晶
粒子を微細化し、精密加工性をさらに向上することがで
きる。しかし、これらの助剤の添加量がＡｇ３０３
ＳｉＣの全量に対して０．２重量％未満では充分な基本
系組織の改善並びに強度向上が得られず成形体加工時に
精密加工が困難となり、また１０重量％を超える添加は
硬度及び強度を著しく低下させて成形性が悪くなる。
Ａｊ２ ｏａ−５ｉＣ材の焼結性を向上させ、構成結晶
粒子を微細化し、精密加工性をさらに向上することがで
きる。しかし、これらの助剤の添加量がＡｇ３０３
ＳｉＣの全量に対して０．２重量％未満では充分な基本
系組織の改善並びに強度向上が得られず成形体加工時に
精密加工が困難となり、また１０重量％を超える添加は
硬度及び強度を著しく低下させて成形性が悪くなる。
なお、上記ＳｉＣは粉末原料としてはα型、β型のいず
れもよく、またウィスカを用いてもよい。
れもよく、またウィスカを用いてもよい。
また、上記添加助剤のうちＺｒＯ２は、粉末原料として
は、安定化剤を含有しない未安定ｊヒ粉末と、Ｙ２０３
、 ＭｇＯ，Ｃｒ２０Ｂ及びＣａＯ等で部分安定また
は安定化処理した粉末とがあり、いずれの粉末を用いて
も目的を達成できる。
は、安定化剤を含有しない未安定ｊヒ粉末と、Ｙ２０３
、 ＭｇＯ，Ｃｒ２０Ｂ及びＣａＯ等で部分安定また
は安定化処理した粉末とがあり、いずれの粉末を用いて
も目的を達成できる。
しかし、未安定化ＺｒＯ２粉末を用いる場合には、純度
が９９．９％以上でかつ平均粒度が０．１ μ剛板下と
し、最終的に正方晶及び立方晶の状態で存在させること
により、組織改善効果及び強度改善効果が得られ、薄膜
磁気ヘッド・スライダとして、結晶粒子が微細均一で緻
密であり、気孔が存在しないことから記録媒体とのなじ
み、潤滑性、耐摩耗性に優れ、また機械加工性にも優れ
ている。
が９９．９％以上でかつ平均粒度が０．１ μ剛板下と
し、最終的に正方晶及び立方晶の状態で存在させること
により、組織改善効果及び強度改善効果が得られ、薄膜
磁気ヘッド・スライダとして、結晶粒子が微細均一で緻
密であり、気孔が存在しないことから記録媒体とのなじ
み、潤滑性、耐摩耗性に優れ、また機械加工性にも優れ
ている。
部分安定化あるいは安定化処理したＺｒＯ２粉末を用い
る場合は、７〜１５モル％Ｙ２０３ ＺｒＯ２原料で
、不純物が０．１％以下、平均粒度０．３μ園以下の粉
末を用いるのが、組織改善効果及び強度改善効果におい
て最もよい結果が得られる。
る場合は、７〜１５モル％Ｙ２０３ ＺｒＯ２原料で
、不純物が０．１％以下、平均粒度０．３μ園以下の粉
末を用いるのが、組織改善効果及び強度改善効果におい
て最もよい結果が得られる。
さらに詳述すれば、例えば、この発明による材料は５ｉ
Ｃ１０〜４０容量％、残部＾ｊ！２０ａからなる組成に
対しＭｇＯ，Ｙ２０Ｂ 、ＺｒＯ２、Ｃａｂ。
Ｃ１０〜４０容量％、残部＾ｊ！２０ａからなる組成に
対しＭｇＯ，Ｙ２０Ｂ 、ＺｒＯ２、Ｃａｂ。
Ｃｒ２０３ 、 Ｅｒ２０Ｂの少なくとも１種以上を０
．２〜１０重量％となるように高純度原料を配量し、粉
砕、混合したのち、ホットプレス法あるいは熱間静水圧
プレス法によって焼結基板が得られる。
．２〜１０重量％となるように高純度原料を配量し、粉
砕、混合したのち、ホットプレス法あるいは熱間静水圧
プレス法によって焼結基板が得られる。
以下に実施例に基づいて、本発明の基板材料の特性を具
体的に示す。
体的に示す。
実施例１
純度９９．９％ 平均粒度０．６．ｕｎ （Ｄ Ａ１
２０Ｓ純度９８，０％ 平均粒度０．４μ翔のＳｉＣ純
度９９．０％ 平均粒度０．５μｍのＺｒＯ２、ＭｇＯ
の各粉末を用い、 Ａ配合： ５ｉＣ２０容量％−Ａ１２０３８０容量％に対し、Ｍｇ
Ｏ０，５重量％配合 Ｂ配合： ５ｉＣ２０容量％−Ａｊ！２０３８０容量％に対し、Ｍ
ｇ００．５重量％−Ｚｒ０２４重量％配合となるよう混
合し、ゴムライニングのボールミルによって２０時間の
湿式混合粉砕を行った。
２０Ｓ純度９８，０％ 平均粒度０．４μ翔のＳｉＣ純
度９９．０％ 平均粒度０．５μｍのＺｒＯ２、ＭｇＯ
の各粉末を用い、 Ａ配合： ５ｉＣ２０容量％−Ａ１２０３８０容量％に対し、Ｍｇ
Ｏ０，５重量％配合 Ｂ配合： ５ｉＣ２０容量％−Ａｊ！２０３８０容量％に対し、Ｍ
ｇ００．５重量％−Ｚｒ０２４重量％配合となるよう混
合し、ゴムライニングのボールミルによって２０時間の
湿式混合粉砕を行った。
つぎにカーボン型枠内に上記焼結用粉末を充填しアルゴ
ン雰囲気中で、１５００℃、１８００℃の各温度で、２
００ｋｇ／ａＪの圧力を加えて１時間保持したのち減圧
して放冷し、寸法５０鶴×５０龍Ｘ５．５ｍｍの焼結体
を得た。
ン雰囲気中で、１５００℃、１８００℃の各温度で、２
００ｋｇ／ａＪの圧力を加えて１時間保持したのち減圧
して放冷し、寸法５０鶴×５０龍Ｘ５．５ｍｍの焼結体
を得た。
この発明において使用する焼結体Ａ、Ｂの物性値を、比
較例として従来の７０ Ａｊ２０ａ ３０ＴｉＣと共
に示したのが第１表である。
較例として従来の７０ Ａｊ２０ａ ３０ＴｉＣと共
に示したのが第１表である。
次に、これらの材料の精密加工性の評価は、材料をダイ
ヤモンド切断砥石で切断した角部の微細チッピングを観
察することにより行った。第２表は従来のフェライト、
？０ Ａ１２０３ ３０ＴＩＣとともに、チッピング
の発生状態を調べたものである。
ヤモンド切断砥石で切断した角部の微細チッピングを観
察することにより行った。第２表は従来のフェライト、
？０ Ａ１２０３ ３０ＴＩＣとともに、チッピング
の発生状態を調べたものである。
チッピングの発生したものはｘ印、発生しないものはＱ
印で示す。またチッピングが少し発生したものをΔ印で
示す。
印で示す。またチッピングが少し発生したものをΔ印で
示す。
第 ２ 表
さらに、上記焼結体Ａ、Ｂを、ダイヤモンド砥石により
２６＠ｘ４ｍ断面、長さ２０ｍｍの直方体とし、その−
万端を鋭角な刃状に成形した。さらに、外径４５ｍ會ｘ
内径１０鶴×厚みｌＱｍｓのドーナツ型円板のフェライ
トと組み合わせて、回転するフェライトに焼結体の鋭角
な刃先を当接させて実施する所謂゛ ビン−ディスク方
式の摩耗試験を行った。
２６＠ｘ４ｍ断面、長さ２０ｍｍの直方体とし、その−
万端を鋭角な刃状に成形した。さらに、外径４５ｍ會ｘ
内径１０鶴×厚みｌＱｍｓのドーナツ型円板のフェライ
トと組み合わせて、回転するフェライトに焼結体の鋭角
な刃先を当接させて実施する所謂゛ ビン−ディスク方
式の摩耗試験を行った。
また、上記試験の際に、従来のフェライト系材料（Ｍｎ
−Ｚｎ多結晶フェライト、６ロ０３２重量％、Ｚｎ０１
５重量％、Ｆｅ２０ａ ５３重量％）、Ａｆｆｉ２０ａ
−ＴｉＣ系焼結体（ＡＡ２０Ｓ ７０重量％、ＴｉＣ３
０重景％）を用いて同様の摩耗試験を行った。
−Ｚｎ多結晶フェライト、６ロ０３２重量％、Ｚｎ０１
５重量％、Ｆｅ２０ａ ５３重量％）、Ａｆｆｉ２０ａ
−ＴｉＣ系焼結体（ＡＡ２０Ｓ ７０重量％、ＴｉＣ３
０重景％）を用いて同様の摩耗試験を行った。
試験結果を第３表と第４表に示す、第３表は焼結体の硬
さと摩耗量を、第４表は相手材摩耗量を示している。
さと摩耗量を、第４表は相手材摩耗量を示している。
第 ３ 表
第 ４ 表
実施例２
磁気ディスク用基板材料として、次の実験を行った。
基板として、平均粒子径２μ面の５ｉＣ２０容量％−Ａ
ｆ２０３８０容量％からなる混合粉末に、？ＩｇＯＯ０
５重量％を添加した出発原料をホ７）プレスによって、
５μ−以下の微細孔を存する寸法直径２００ｗｍｘ厚さ
２龍、相対理論密度９９％の基板を得た。
ｆ２０３８０容量％からなる混合粉末に、？ＩｇＯＯ０
５重量％を添加した出発原料をホ７）プレスによって、
５μ−以下の微細孔を存する寸法直径２００ｗｍｘ厚さ
２龍、相対理論密度９９％の基板を得た。
次に、アルミナターゲットを用いてスパッタリング処理
を行った結果、本発明品は無孔化、無歪表面層を有し、
良好な表面粗度を有する磁気ディスク用基板としての特
性に優れている。
を行った結果、本発明品は無孔化、無歪表面層を有し、
良好な表面粗度を有する磁気ディスク用基板としての特
性に優れている。
本発明の基板材料は従来のフェライト系より高硬度材料
であり、Ａ１２０３ ＴｉＣ系材料と同程度の硬度を
有する材料であり、耐摩耗性において特に優れた性能を
示す。
であり、Ａ１２０３ ＴｉＣ系材料と同程度の硬度を
有する材料であり、耐摩耗性において特に優れた性能を
示す。
しかも、本発明による焼結体は加工能率、精密加工等の
加工性、例えば磁気ヘッド・スライダとして使用した際
の記録媒体とのなじみ、潤滑性に優れ、また軽量である
という特長を有し、記録再生磁気ヘッド・スライダ、磁
気ディスク用等の基板として優れた特性を有する。
加工性、例えば磁気ヘッド・スライダとして使用した際
の記録媒体とのなじみ、潤滑性に優れ、また軽量である
という特長を有し、記録再生磁気ヘッド・スライダ、磁
気ディスク用等の基板として優れた特性を有する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、炭化ケイ素１０〜４０容量％と残部が酸化アルミニ
ウムの基本組成を有する焼結体からなることを特徴とす
る基板材料。 ２、基本組成がＭｇＯ、Ｙ＿２Ｏ＿３、ＺｒＯ＿２、Ｃ
ａＯ、Ｅｒ＿２Ｏ＿３、Ｃｒ＿２Ｏ＿３等の焼結助剤の
うちの１種または２種以上を０．２〜１０重量％含有し
てなることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の
基板材料。
Priority Applications (2)
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|---|---|---|---|
| JP61093587A JPH0622053B2 (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | 基板材料 |
| US07/143,245 US4796127A (en) | 1986-04-23 | 1988-01-11 | Recording head slider |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61093587A JPH0622053B2 (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | 基板材料 |
Publications (2)
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| JPS62250506A true JPS62250506A (ja) | 1987-10-31 |
| JPH0622053B2 JPH0622053B2 (ja) | 1994-03-23 |
Family
ID=14086418
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP61093587A Expired - Fee Related JPH0622053B2 (ja) | 1986-04-23 | 1986-04-23 | 基板材料 |
Country Status (2)
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003089573A (ja) * | 2001-09-11 | 2003-03-28 | Kyocera Corp | 非磁性セラミックスとその製造方法及びこれを用いた磁気ヘッド用基板 |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6446216A (en) * | 1987-08-14 | 1989-02-20 | Tdk Corp | Magnetic head |
| JPH0719459B2 (ja) * | 1987-12-03 | 1995-03-06 | 日立金属株式会社 | 浮動型磁気ヘッド |
| US5060098A (en) * | 1988-04-18 | 1991-10-22 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recorder provided with a magnetic head slider having a non-magnetic oxide of spinel structure |
| US5010429A (en) * | 1988-11-22 | 1991-04-23 | Hitachi Metals, Ltd. | Floating magnetic head having improved static friction coefficient |
| JP2815176B2 (ja) * | 1989-06-08 | 1998-10-27 | ティーディーケイ株式会社 | スライダ，ヘッド及び記録再生装置 |
| JP2637823B2 (ja) * | 1989-06-08 | 1997-08-06 | ティーディーケイ株式会社 | 磁気ヘッド |
| JPH03126662A (ja) * | 1989-10-06 | 1991-05-29 | Hitachi Metals Ltd | 磁気ヘッド用非磁性Ｍｎ―Ｚｎフェライト |
| US5162073A (en) * | 1990-02-15 | 1992-11-10 | Applied Magnetics Corporation | Textured air bearing surface |
| JP2977867B2 (ja) * | 1990-06-21 | 1999-11-15 | 住友特殊金属株式会社 | 磁気ヘッドスライダ用材料 |
| US5086360A (en) * | 1990-09-06 | 1992-02-04 | Applied Magnetics Corporation | Constant flying height slider |
| US5367419A (en) * | 1991-10-02 | 1994-11-22 | Alps Electric Co., Ltd. | Floating magnetic head slider with flexure wings located within slider L-shaped members and upper surface of slider |
| ATE151555T1 (de) * | 1991-11-04 | 1997-04-15 | Philips Electronics Nv | Magnetkopf mit kernteil aus polykristallinem mnzn-ferroferrit |
| US5336550A (en) * | 1993-05-18 | 1994-08-09 | Applied Magnetics Corporation | Carbon overcoat for magnetic head sliders |
| US5654850A (en) * | 1993-05-18 | 1997-08-05 | Applied Magnetics Corp. | Carbon overcoat with electrically conductive adhesive layer for magnetic head sliders |
| US5452166A (en) * | 1993-10-01 | 1995-09-19 | Applied Magnetics Corporation | Thin film magnetic recording head for minimizing undershoots and a method for manufacturing the same |
| US6435016B1 (en) * | 2000-03-24 | 2002-08-20 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Head gimbal assembly, test device and slider for use therewith |
| WO2003052748A1 (en) * | 2001-12-17 | 2003-06-26 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Slider head having a sic underlayer |
| JP2004310943A (ja) * | 2003-04-09 | 2004-11-04 | Nitto Denko Corp | 摺動部材 |
| US7502205B1 (en) * | 2003-06-05 | 2009-03-10 | Maxtor Corporation | Method of operating read and write transducers by controlling thermal actuation |
| JP3691833B2 (ja) * | 2003-07-28 | 2005-09-07 | 株式会社Ｎｅｏｍａｘ | 薄膜磁気ヘッド用基板およびその製造方法 |
| JP4389932B2 (ja) * | 2004-05-17 | 2009-12-24 | 日立金属株式会社 | 薄膜磁気ヘッド用基板およびその製造方法 |
| WO2006115016A1 (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Hitachi Metals, Ltd. | 薄膜磁気ヘッド用セラミックス基板材料 |
| US20090244772A1 (en) * | 2006-02-27 | 2009-10-01 | Kyocera Corporation | Magnetic head substrate, magnetic head and recording medium driving device |
| JP6436513B2 (ja) * | 2015-06-17 | 2018-12-12 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 治癒活性剤を含む酸化誘起型自己治癒セラミックス組成物、その製法及びその用途、並びに酸化誘起型自己治癒セラミックス組成物の高機能化方法 |
| CN109608173B (zh) * | 2018-12-28 | 2020-09-01 | 青海大学 | 一种Al2O3基复相陶瓷烧结样品及形状控制方法 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4489484A (en) * | 1977-09-02 | 1984-12-25 | Lee Fred S | Method of making thin film magnetic recording heads |
| JPS57198578A (en) * | 1981-05-29 | 1982-12-06 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | Material for magnetic head and slider |
| DE3267514D1 (en) * | 1982-03-25 | 1986-01-02 | Ibm Deutschland | Ceramic magnetic head slider |
| JPS59207873A (ja) * | 1983-05-10 | 1984-11-26 | ティーディーケイ株式会社 | 高密度炭化ケイ素焼結体の製造方法 |
| US4649448A (en) * | 1983-06-03 | 1987-03-10 | Hitachi, Ltd. | Thin film magnetic head having a sliding surface |
| JPS6080185A (ja) * | 1983-10-11 | 1985-05-08 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | 磁気ヘッドスライダー用焼結体及びその製造方法 |
| US4636894A (en) * | 1984-03-12 | 1987-01-13 | Censtor Corp. | Recording head slider assembly |
| JPS61155261A (ja) * | 1984-04-27 | 1986-07-14 | 住友特殊金属株式会社 | 磁気ヘツドスライダ用材料及びその製造方法 |
| JPS60231308A (ja) * | 1984-05-01 | 1985-11-16 | Sumitomo Special Metals Co Ltd | アルミナ系磁気ヘッド用基板材料及びその製造方法 |
| JPS6139918A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-26 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘツド用スライダ |
-
1986
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-
1988
- 1988-01-11 US US07/143,245 patent/US4796127A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003089573A (ja) * | 2001-09-11 | 2003-03-28 | Kyocera Corp | 非磁性セラミックスとその製造方法及びこれを用いた磁気ヘッド用基板 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
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