JPS6080185A - 磁気ヘッドスライダー用焼結体及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドスライダー用焼結体及びその製造方法Info
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- JPS6080185A JPS6080185A JP58190362A JP19036283A JPS6080185A JP S6080185 A JPS6080185 A JP S6080185A JP 58190362 A JP58190362 A JP 58190362A JP 19036283 A JP19036283 A JP 19036283A JP S6080185 A JPS6080185 A JP S6080185A
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/10—Structure or manufacture of housings or shields for heads
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/56—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides
- C04B35/565—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気ヘッドスライダ−用材料及びその製造方法
に関するものである・ 従来コンビ二−タ用をけじめとし、オーディオ用１ＶＴ
几用等の記録再生用磁気ヘッドには多結晶Ｎｉ −Ｚｎ
、 Ｍｎ−Ｚｎフェライトや単結晶Ｍｎ −Ｚｎフェ
ライトあるいけ高硬度パーマロイなどが用いられていた
。
に関するものである・ 従来コンビ二−タ用をけじめとし、オーディオ用１ＶＴ
几用等の記録再生用磁気ヘッドには多結晶Ｎｉ −Ｚｎ
、 Ｍｎ−Ｚｎフェライトや単結晶Ｍｎ −Ｚｎフェ
ライトあるいけ高硬度パーマロイなどが用いられていた
。
仏
とζろで、今日では記録密度の高密度ボ並びに耐摩粍性
の改善が強くめられており、この為薄膜磁気ヘッド化が
進められている０この薄膜磁気ヘッド化に伴い記録再生
の為の磁気回路部材用材料とスライダーあるいは耐摩耗
用部材材料に、それぞれ要求される特性を満足した個別
の材料が選定されつつある。すなわち磁気回路用として
は高周波域の磁気特性に優れたパーマロイやセンｌスト
の薄膜が用すられ、又耐摩耗用部材としてはアルミナ系
、炭化物系材料が望ましいと考えられているロ磁気ヘッ
ドスライダー用材料として特開昭１Ｃ −５５−１６３６６５公報に示されるｋｌ、２０ｓ−気
系材料は上記耐摩耗用部材材料に最適な材料の１つであ
るが・記録媒体とのなじみ、ＩＦＩｍ性の点では必ずし
も安定した材料とはいえない０特に今後実用かくなるこ
と、媒体に潤滑保護膜をつけること等の点で問題を生じ
る。又、これまで長時間にわたって使用されてきたソツ
ト７エライトはその硬さがするために、媒体によっては
適用が困惟な場合が生じる〇 この発明は磁気ヘッド・スライダー用材料に要求される
緒特性を満たし特に記録媒体とのなじみ、潤滑性に優れ
た材料及びその製造方法に係り、その要旨は、下記Ａ成
分群から選ばれる元素あるいけその化合物の少なくとも
１種以上ｔ−０，５〜６０重量％、酸化エルビウムが５
〜１５重量％、残部炭化ケイ素から成る組成の磁気ヘッ
ドスライダ一層材料ＯＡ成分：チタニウム、バナジウム
、クロム。
の改善が強くめられており、この為薄膜磁気ヘッド化が
進められている０この薄膜磁気ヘッド化に伴い記録再生
の為の磁気回路部材用材料とスライダーあるいは耐摩耗
用部材材料に、それぞれ要求される特性を満足した個別
の材料が選定されつつある。すなわち磁気回路用として
は高周波域の磁気特性に優れたパーマロイやセンｌスト
の薄膜が用すられ、又耐摩耗用部材としてはアルミナ系
、炭化物系材料が望ましいと考えられているロ磁気ヘッ
ドスライダー用材料として特開昭１Ｃ −５５−１６３６６５公報に示されるｋｌ、２０ｓ−気
系材料は上記耐摩耗用部材材料に最適な材料の１つであ
るが・記録媒体とのなじみ、ＩＦＩｍ性の点では必ずし
も安定した材料とはいえない０特に今後実用かくなるこ
と、媒体に潤滑保護膜をつけること等の点で問題を生じ
る。又、これまで長時間にわたって使用されてきたソツ
ト７エライトはその硬さがするために、媒体によっては
適用が困惟な場合が生じる〇 この発明は磁気ヘッド・スライダー用材料に要求される
緒特性を満たし特に記録媒体とのなじみ、潤滑性に優れ
た材料及びその製造方法に係り、その要旨は、下記Ａ成
分群から選ばれる元素あるいけその化合物の少なくとも
１種以上ｔ−０，５〜６０重量％、酸化エルビウムが５
〜１５重量％、残部炭化ケイ素から成る組成の磁気ヘッ
ドスライダ一層材料ＯＡ成分：チタニウム、バナジウム
、クロム。
マンガン、マグネシウム、イツトリウム、ジルコニウム
、ニオブ、モリブデン、バリウム、ランクン、セリウム
、ガドリウム、／）７ニウム、タンタル、タングステン
、トリウム、セシウム及び下記Ａ成分群から選ばれる元
素あるいけその化合物の少なくとも１種以上の粉末０．
５〜６．０重Ｊ１％、酸化エルビウム粉末５〜１５重量
％、残部炭化ケイ素粉末から成る混合粉末を熱間焼結法
により焼結せしめることを特徴とする磁気ヘッドスライ
ダ−用材料の製造方法。Ａ成分：チタニウム、バナジウ
ム。
、ニオブ、モリブデン、バリウム、ランクン、セリウム
、ガドリウム、／）７ニウム、タンタル、タングステン
、トリウム、セシウム及び下記Ａ成分群から選ばれる元
素あるいけその化合物の少なくとも１種以上の粉末０．
５〜６．０重Ｊ１％、酸化エルビウム粉末５〜１５重量
％、残部炭化ケイ素粉末から成る混合粉末を熱間焼結法
により焼結せしめることを特徴とする磁気ヘッドスライ
ダ−用材料の製造方法。Ａ成分：チタニウム、バナジウ
ム。
クロム、マンガン、マグネシウム、イツトリウム、ジル
コニウム、ニオブ、モリブデン、バリウム。
コニウム、ニオブ、モリブデン、バリウム。
ランタン、セリクム、ガドリウム、ハフニウム。
タンタル、タングステン、トリウム、ル“ビジラム、セ
シウムである。
シウムである。
なお上記［Ａ成分群から選ばれる元素あるいけその化合
物」という場合の「化合物」とは［酸化物、窒化物、ホ
ウ化物あるいは炭化物］を相称するものとする。
物」という場合の「化合物」とは［酸化物、窒化物、ホ
ウ化物あるいは炭化物］を相称するものとする。
を促進させる多種元素を添加する事で焼結体の密度を高
め結晶粒を微細となしミクロ的な気孔がほとんどなり高
靭な焼結体を得ることが出来るが、その機構については
必ずしも正確には解明し得てその過程で焼結が進行する
が１その場合に酸化シが結晶粒成長を抑制するものと考
えられるのである。しかし、それだけで瞠まだミクロ的
な気孔が多いものだが焼結を促進させる第２の各種元素
を添加することによって、それ奪ミクロ的気孔が非であ
る。
め結晶粒を微細となしミクロ的な気孔がほとんどなり高
靭な焼結体を得ることが出来るが、その機構については
必ずしも正確には解明し得てその過程で焼結が進行する
が１その場合に酸化シが結晶粒成長を抑制するものと考
えられるのである。しかし、それだけで瞠まだミクロ的
な気孔が多いものだが焼結を促進させる第２の各種元素
を添加することによって、それ奪ミクロ的気孔が非であ
る。
ここで・熱間焼結法（ホットプレス法及びＨＩＰ法）の
焼結方法につき検討すると、緻密で強度が大力る焼結体
を得る為には温度ｌｌ１１９００″Ｃ以上が必要である
が、逆にあまり高（２１００″Ｃともなれば粒成長が激
しくなる為に十分に緻密化する以前に過度な粒成長が生
起し気孔が残存する０又圧力についてａ１００ｋｇ／＋
４以上あれば十分でその上限について社特に限定される
ものではない。次にホットプレス法の場合にあって祉焼
結雰囲気は真空中ある込は不活性ガス中でなす事が、又
、ＨＩＰ法の場合は不活性ガス中でなす事が望ましい０
また普通焼結方法にても、はぼ同等の焼結体を得る仁と
ができ、その温度は無加圧の不活性ガス中で、２０００
″Ｃはなければ対理論密度が低く、がっ抗折力その他の
諸物件も良くないが１８重涙量と多ＪＩ Ｖｃなると粒
度が再び大となシ、それに伴なって抗折力や衝撃値が低
下し、その他の特性も殆んど低下する傾向にある為にそ
の量は１５重量％古以内とする。さらに焼結を促進させ
る第２の添加元素の量は□、３弧では殆んど効果がなく
最低０．５１Ｊ１％は必要であり多量となり６重量％を
越えると粒度が再び大とな９特性が低下するので、その
添加量は０．５〜６重責ηイも ％が好ましい。炭化上の一部をＢｅ 、 ＢｅＯ、Ｂ
、 Ｂ４Ｏ１ＡＺ ＋ ＡｔＮ＋ ｋｌ−２０ｓ ｓで
置換した場合に菖りても酸化エルヒラ区 缶を適正量添加する事により、緻密で微細粒状焼結体と
する事が出来る事が確認されるが、この場合の置換量は
０，５重量％位なければ無置換の物と比べて大差はない
が、あまり多量となり′５．０重量％にもなると抗折力
や硬さの低下が見られる為その置換量は２重量％以下好
ましくは０，５〜２重景重量する。
焼結方法につき検討すると、緻密で強度が大力る焼結体
を得る為には温度ｌｌ１１９００″Ｃ以上が必要である
が、逆にあまり高（２１００″Ｃともなれば粒成長が激
しくなる為に十分に緻密化する以前に過度な粒成長が生
起し気孔が残存する０又圧力についてａ１００ｋｇ／＋
４以上あれば十分でその上限について社特に限定される
ものではない。次にホットプレス法の場合にあって祉焼
結雰囲気は真空中ある込は不活性ガス中でなす事が、又
、ＨＩＰ法の場合は不活性ガス中でなす事が望ましい０
また普通焼結方法にても、はぼ同等の焼結体を得る仁と
ができ、その温度は無加圧の不活性ガス中で、２０００
″Ｃはなければ対理論密度が低く、がっ抗折力その他の
諸物件も良くないが１８重涙量と多ＪＩ Ｖｃなると粒
度が再び大となシ、それに伴なって抗折力や衝撃値が低
下し、その他の特性も殆んど低下する傾向にある為にそ
の量は１５重量％古以内とする。さらに焼結を促進させ
る第２の添加元素の量は□、３弧では殆んど効果がなく
最低０．５１Ｊ１％は必要であり多量となり６重量％を
越えると粒度が再び大とな９特性が低下するので、その
添加量は０．５〜６重責ηイも ％が好ましい。炭化上の一部をＢｅ 、 ＢｅＯ、Ｂ
、 Ｂ４Ｏ１ＡＺ ＋ ＡｔＮ＋ ｋｌ−２０ｓ ｓで
置換した場合に菖りても酸化エルヒラ区 缶を適正量添加する事により、緻密で微細粒状焼結体と
する事が出来る事が確認されるが、この場合の置換量は
０，５重量％位なければ無置換の物と比べて大差はない
が、あまり多量となり′５．０重量％にもなると抗折力
や硬さの低下が見られる為その置換量は２重量％以下好
ましくは０，５〜２重景重量する。
純度９８．５％、平均粒子径０５μＩ１１の８１０粉末
の純度９９９％、平均粒子径５μ題のＥｒ＊Ｏｓ粉末を
５重量％添加し、ボールミル混合機により１５時時間式
混合粉砕を行った後、これを充分、に乾燥して焼結用原
料とし、５０Ｘ５０（ｌｌｌｆｉ）角、高ｇ ６９ｍｆ
）黒鉛型内に上記各種焼結用原料を光線すると共に高周
波コイルに挿入しｔ９５［１の温Ｉ！ 、２００ ｎ／
ｃイの任、力を加え６０分間保持し、次いで圧力を抜い
て放冷することにより、５０Ｘ５０Ｘ５．５（簡）の目
的の焼結体２Ｉｔ？４また。各々の焼結体をダイヤモン
ド砥石で切断後研削して各１０例の３Ｘ４Ｘ３６（朋）
の試験片を作成し、各種試験をして得られた測定値を下
記第１表に示す〇 第１表 次にアルミナ系材料（７０Ａｔ、Ｏ，−ＩＴ［ｉ ）と
本発明品（９２８１Ｇ −３Ｍｙｏ 、５Ｅｒｔ Ｏｓ
） との試験片を子治具で固定しこれに滑車を介して
１０１１９のおもりをつけたレジンダイヤモンド切断砥
石にておもりの力により５０鮎長ざを切断するに要する
時間を調べた結果、アルミナ系試験片５０簡の長ざを切
断するに要する時間を１００とした場合、ＳｉＣ系試験
片は６５の時間で切断できた。このことはセラミック系
磁気ヘッド・スライダー用材料に要求されている機械加
工性において本発明品が硬い材料であるにかかわらず優
位な特性をもっていることが判る０次に本発明品である
９２ｓｔｃ 千５Ｍｇｏ −５Ｅｒｔ Ｏｘ成形品をダ
イヤモンド砥石により２×４処ｍｅｅｔ血の長さ２０簡
の長方体となし、その−万端を鋭角ＩＬ刀刃状成形した
。ざらに外径４５１１１１１１％内径１ｏ訪、厚み１゜
闘のドーナツ型円盤のフェライトを用いこの発明の焼結
体と組合せて回転するフェライトに本顧光明品たる９２
８１０ ３Ｍ ＩＯ５Ｅ ｒｔ Ｏｘ成形品の鋭角な先
端を当該させて行う、いわゆるビン・ディスク方式の摩
耗試験を行った。
の純度９９９％、平均粒子径５μ題のＥｒ＊Ｏｓ粉末を
５重量％添加し、ボールミル混合機により１５時時間式
混合粉砕を行った後、これを充分、に乾燥して焼結用原
料とし、５０Ｘ５０（ｌｌｌｆｉ）角、高ｇ ６９ｍｆ
）黒鉛型内に上記各種焼結用原料を光線すると共に高周
波コイルに挿入しｔ９５［１の温Ｉ！ 、２００ ｎ／
ｃイの任、力を加え６０分間保持し、次いで圧力を抜い
て放冷することにより、５０Ｘ５０Ｘ５．５（簡）の目
的の焼結体２Ｉｔ？４また。各々の焼結体をダイヤモン
ド砥石で切断後研削して各１０例の３Ｘ４Ｘ３６（朋）
の試験片を作成し、各種試験をして得られた測定値を下
記第１表に示す〇 第１表 次にアルミナ系材料（７０Ａｔ、Ｏ，−ＩＴ［ｉ ）と
本発明品（９２８１Ｇ −３Ｍｙｏ 、５Ｅｒｔ Ｏｓ
） との試験片を子治具で固定しこれに滑車を介して
１０１１９のおもりをつけたレジンダイヤモンド切断砥
石にておもりの力により５０鮎長ざを切断するに要する
時間を調べた結果、アルミナ系試験片５０簡の長ざを切
断するに要する時間を１００とした場合、ＳｉＣ系試験
片は６５の時間で切断できた。このことはセラミック系
磁気ヘッド・スライダー用材料に要求されている機械加
工性において本発明品が硬い材料であるにかかわらず優
位な特性をもっていることが判る０次に本発明品である
９２ｓｔｃ 千５Ｍｇｏ −５Ｅｒｔ Ｏｘ成形品をダ
イヤモンド砥石により２×４処ｍｅｅｔ血の長さ２０簡
の長方体となし、その−万端を鋭角ＩＬ刀刃状成形した
。ざらに外径４５１１１１１１％内径１ｏ訪、厚み１゜
闘のドーナツ型円盤のフェライトを用いこの発明の焼結
体と組合せて回転するフェライトに本顧光明品たる９２
８１０ ３Ｍ ＩＯ５Ｅ ｒｔ Ｏｘ成形品の鋭角な先
端を当該させて行う、いわゆるビン・ディスク方式の摩
耗試験を行った。
また、上記試験の際に従来のＭｎ −Ｚｎ多結晶フェラ
イト系材料（５２Ｍｎ０−１５２１０ｓ −５２Ｆ’ｅ
、 Ｏ，）と、ｈ１４０．− ＴｔＣ系材料を用いて同
様に摩耗試験を行った。その結果を第１図及び第２図に
示す。
イト系材料（５２Ｍｎ０−１５２１０ｓ −５２Ｆ’ｅ
、 Ｏ，）と、ｈ１４０．− ＴｔＣ系材料を用いて同
様に摩耗試験を行った。その結果を第１図及び第２図に
示す。
即ち、＠１図に耐摩耗性と硬さとの関係を、また第２図
には相手材摩耗量と硬さとの関係をそれぞれ示す。なお
、図面における＠Ｓ部分が示す一群はおよそ本願発明材
料が有する各竺性値に相当する。この第１図、第２図か
らも判る如く、本願発明材料性従来のフェライト系材料
と前記のＡｌｔＯｓ−’ｉ’ｉｃ系材料との中間よりＡ
ｌｘ Ｏｓ ＝Ｔｉｅ系側寄りの硬ざを有しており、磁
気ヘッド・スライダー用材料として優れた特性を有し、
特に記録媒体とのなじみ、潤滑性に優れ薄膜記録媒体に
最適である。
には相手材摩耗量と硬さとの関係をそれぞれ示す。なお
、図面における＠Ｓ部分が示す一群はおよそ本願発明材
料が有する各竺性値に相当する。この第１図、第２図か
らも判る如く、本願発明材料性従来のフェライト系材料
と前記のＡｌｔＯｓ−’ｉ’ｉｃ系材料との中間よりＡ
ｌｘ Ｏｓ ＝Ｔｉｅ系側寄りの硬ざを有しており、磁
気ヘッド・スライダー用材料として優れた特性を有し、
特に記録媒体とのなじみ、潤滑性に優れ薄膜記録媒体に
最適である。
又、次に純［９８，５％、平均粒子径０．５ ｐ ｍ
ｆ） ＳｉＣ粉末に、純度９９９％、平均粒子径５μｍ
のＥｒ、 ０．粉末を５重量％、焼結を促進させる第２
の添加物を第２表に示す様に配合されたものを上述の実
験で示した様な方法で焼結させ、その焼結体を、ダイヤ
モンド砥石で平研後、ラップし、光学顕６１鏡の４００
倍にて、ボアの有無を観察した。ボアが多数観察される
ものをＸ印で、はとんど観察されないものを０印で示し
た。また各々の焼結体の破面な走査型電顕て観察し粒度
が磁気へ、ド・スライダー用材料として使用可能なもの
を０印で、使用不同きのものをＸ印で示した〇 第２表 なお、第５図にＴｔＧを０３１■含有せしめたものの、
又第４図にはＴ１０．を４．０重量％含有せしめたもの
の４００倍の顕聚鏡組織写真をそれぞれ示す。
ｆ） ＳｉＣ粉末に、純度９９９％、平均粒子径５μｍ
のＥｒ、 ０．粉末を５重量％、焼結を促進させる第２
の添加物を第２表に示す様に配合されたものを上述の実
験で示した様な方法で焼結させ、その焼結体を、ダイヤ
モンド砥石で平研後、ラップし、光学顕６１鏡の４００
倍にて、ボアの有無を観察した。ボアが多数観察される
ものをＸ印で、はとんど観察されないものを０印で示し
た。また各々の焼結体の破面な走査型電顕て観察し粒度
が磁気へ、ド・スライダー用材料として使用可能なもの
を０印で、使用不同きのものをＸ印で示した〇 第２表 なお、第５図にＴｔＧを０３１■含有せしめたものの、
又第４図にはＴ１０．を４．０重量％含有せしめたもの
の４００倍の顕聚鏡組織写真をそれぞれ示す。
更に又、遊離炭素を０５〜ｚＯ重量外含有する８１（３
粉末を用い上述の第２表に示した結果を得た実験と同様
の実験をしたところ同様な結果が得られた。
粉末を用い上述の第２表に示した結果を得た実験と同様
の実験をしたところ同様な結果が得られた。
以上述べて来た如く本発明材料蝶適度な耐摩耗性を有し
、被加工性が良好であり、かつ空孔率が非常に小である
ので磁気へ、ド・スライダー用の材料として最適であり
、その様な材料を本発明方法によれに簡単にかつ（ｉ４
頼性をもって造ることが出来るものである。
、被加工性が良好であり、かつ空孔率が非常に小である
ので磁気へ、ド・スライダー用の材料として最適であり
、その様な材料を本発明方法によれに簡単にかつ（ｉ４
頼性をもって造ることが出来るものである。
更に又、純度９Ｂ、５％、平均粒子径０５μｍのＥ３１
０粉末に純度９９９％、平均粒子径５μｍ ｖ）Ｅｒ、
Ｏｓ粉末を５ｆｆｉｉ１％・純度９９９％、平均粒ｙ
５ ｐ ｍ ｏ ＭｙＯ粉末粉末６外量外第３奢に記載
する様な各種添加物を配合したものを上述と同様の方法
で焼結させ、その焼結体を、ダイヤモンド砥石で平研後
、ラップし、光学顧眼鏡の４００倍にて、ボアの有無を
観察した。ボアが多数観察されるものをＸ印で、はとん
ど観察されないものをＯ印で示した。また各々の焼結体
の破面を走査型電顕で観察し、粒度が磁気ヘッド・スラ
イダー用材料として使用可能なものをＯ印で、使用不向
きのものをＸ印で示゛した。
０粉末に純度９９９％、平均粒子径５μｍ ｖ）Ｅｒ、
Ｏｓ粉末を５ｆｆｉｉ１％・純度９９９％、平均粒ｙ
５ ｐ ｍ ｏ ＭｙＯ粉末粉末６外量外第３奢に記載
する様な各種添加物を配合したものを上述と同様の方法
で焼結させ、その焼結体を、ダイヤモンド砥石で平研後
、ラップし、光学顧眼鏡の４００倍にて、ボアの有無を
観察した。ボアが多数観察されるものをＸ印で、はとん
ど観察されないものをＯ印で示した。また各々の焼結体
の破面を走査型電顕で観察し、粒度が磁気ヘッド・スラ
イダー用材料として使用可能なものをＯ印で、使用不向
きのものをＸ印で示゛した。
第３表
次いで、上記第３！！と同じ配合組成のものを、金型に
て成形し、予備焼結にて相対理論密度の、９５外迄焼結
させ、その後１９５０℃、１０００ ｋｇ ／ ｃｔ／
ＬのＡｒガスにてル１． Ｐ、焼結ぎせて、上述と同様
の事項につき調査したら、同様の結果が得られた。
て成形し、予備焼結にて相対理論密度の、９５外迄焼結
させ、その後１９５０℃、１０００ ｋｇ ／ ｃｔ／
ＬのＡｒガスにてル１． Ｐ、焼結ぎせて、上述と同様
の事項につき調査したら、同様の結果が得られた。
また、第３表と同じ配合組成のものを金型にて成形し、
Ａｒガス９５ｋｅ／Ｃ１！の加圧雰囲気中で２１００℃
に加熱し、保持２時間の焼結をし、上述と同様の事項に
つき調査したら、同様の結果が得られた。
Ａｒガス９５ｋｅ／Ｃ１！の加圧雰囲気中で２１００℃
に加熱し、保持２時間の焼結をし、上述と同様の事項に
つき調査したら、同様の結果が得られた。
第１Ｆ）３は各材料の耐摩耗性と８！ざとの関係を示す
グラフ、第２図は相手材摩耗量と硬さとの関係を示すグ
ラフ、第３図及び第４図はそれぞれＴｉＧを０．３ｆＫ
ｉｉ％含有せしめたもの及びＴ１０、を４．０重量％含
有せしめたものの１眼鏡組織写真。 特許出願人 住友特蛛金属株式会社（他１名）代理人
弁理士有吉教晴 矛ｊ図 會えａ ａｙ−ｉｎ耗ｔ （ｍｍ３）
グラフ、第２図は相手材摩耗量と硬さとの関係を示すグ
ラフ、第３図及び第４図はそれぞれＴｉＧを０．３ｆＫ
ｉｉ％含有せしめたもの及びＴ１０、を４．０重量％含
有せしめたものの１眼鏡組織写真。 特許出願人 住友特蛛金属株式会社（他１名）代理人
弁理士有吉教晴 矛ｊ図 會えａ ａｙ−ｉｎ耗ｔ （ｍｍ３）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｌ 下記人成分群から選ばれる元素あるいはその化合物
の少なくとも１種以上を［１５〜６．０重ｉ％、酸化エ
ルビウムが５〜１５重量％、残部炭化ケイ素から成る組
成の磁気ヘッドスライダ−用材料、Ａ成分：チタニウム
、バナジウム、クロム。 マンガン、″ｆグネシウム、イツトリ ウム、ジルコニウム、ニオブ、モリ ブデン、バリウム、ランタン、セリ ウム、ガドリウム、ハフニウム、タ ンタル、タングステン、トリウム。 セシウム。 ユ 下記Ａ成分群から選ばれる元素あるいはその化合物
の少なくとも１種以上をａ５〜６．０ｇｆＩｔ％、酸化
エルビウムが５〜１５重量％、残部がその２重ｆｆｉ％
以下（０は含まず）をＢｅ 、 ＢｅＯ、Ｂ２Ｏ。 人ｔ、Ａハ、 Ａ４２０ｓの少なくとも１重以上４≠か
ら成る焼結助剤で置換した炭化ケイ素から成る組成の磁
気ヘッドスライダ−用材料Ｏ Ａ成分：チタニウム、バナジウム、クロム。 マンガン、マグネシウム、イツトリ ウム、ジルコニウム、ニオブ、モリ ブデン、バリウム、ランタン、セリ ウム、ガドリウム、ハフニウム、タ ンタル、タングステン、トリウム。 セシウム ユ 下記人成分群から選ばれる元素あるいはその化合物
の少なくとも１１１以上の粉末０．５〜６．Ｏｔ量％、
酸化エルビウム粉末５〜１５重量％、残部炭化ケイ素粉
末から成る混合粉末を熱間焼結法により焼結せしめるこ
とを特徴とする磁気ヘッドスライダ−用材料の製造方法
Ｏ Ａ成分：チタニウム、パナジクム、クロム。 マンガン、マグネシウム、イツトリ ウム、ジルコニウム、ニオブ、モリ ブデン、バリウム、ランタン、セリ ウム、ガドリウム、ノＮ７ニウム、り ンタル、タングステン、トリウム。 ルビジウム、セシウム 喝 下記人成分群から選ばれる元素あるいはその化合物
の少なくとも１種以上の粉末０．５〜６．０重ｆｆｉ％
翫酸化エルビウム粉末５〜１５重ｇｋ％、残部がその２
重ｉ％以下（０は含まず）全Ｂｅ 、 ＢｅＯ、Ｂ２Ｏ
、Ａｔ、 ＡＩＲ，Ａｔ２０Ｂの少なくとも１種以上か
ら成る焼結助剤で置換された炭化ケイ素粉末から成る混
合粉末を熱間焼結法により焼結せしめることを特徴とす
る磁気ヘッドスライダ−用材料の製造方法。 Ａ成分：チタニウム、バナジウム、クロム。 マンガン、マグネシウム、イツトリ ウム、ジルコニウム、ニオブ、モリ ブデン、バリウム、ランタン、セリ ウム、ガドリウム、ハ７ニクム、タ ンタル、タングステン、トリウム。 セシウム
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58190362A JPS6080185A (ja) | 1983-10-11 | 1983-10-11 | 磁気ヘッドスライダー用焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58190362A JPS6080185A (ja) | 1983-10-11 | 1983-10-11 | 磁気ヘッドスライダー用焼結体及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6080185A true JPS6080185A (ja) | 1985-05-08 |
| JPH0238542B2 JPH0238542B2 (ja) | 1990-08-30 |
Family
ID=16256917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58190362A Granted JPS6080185A (ja) | 1983-10-11 | 1983-10-11 | 磁気ヘッドスライダー用焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6080185A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4796127A (en) * | 1986-04-23 | 1989-01-03 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Recording head slider |
-
1983
- 1983-10-11 JP JP58190362A patent/JPS6080185A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4796127A (en) * | 1986-04-23 | 1989-01-03 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Recording head slider |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0238542B2 (ja) | 1990-08-30 |
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