JPS60187117A - 圧電振動子 - Google Patents

圧電振動子

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JPS60187117A
JPS60187117A JP60025357A JP2535785A JPS60187117A JP S60187117 A JPS60187117 A JP S60187117A JP 60025357 A JP60025357 A JP 60025357A JP 2535785 A JP2535785 A JP 2535785A JP S60187117 A JPS60187117 A JP S60187117A
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glass plate
hole
piezoelectric vibrator
conductive
vibrator according
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JP60025357A
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ヴアルター・ツイング
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Asulab AG
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Asulab AG
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    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/05—Holders or supports
    • H03H9/10—Mounting in enclosures
    • H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
    • H03H9/1014—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
    • H03H9/1021—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being of the cantilever type
    • G—PHYSICS
    • G04—HOROLOGY
    • G04F—TIME-INTERVAL MEASURING
    • G04F5/00—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards
    • G04F5/04—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using oscillators with electromechanical resonators producing electric oscillations or timing pulses
    • G04F5/06—Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using oscillators with electromechanical resonators producing electric oscillations or timing pulses using piezoelectric resonators
    • G04F5/063—Constructional details

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は圧電素子とケーシングを有するバー、″ｌｌｉ
振動子に関する。より詳しく言えば、ケーシングが相互
に封止された一対のガラス板を有し、このガラス板の内
側に凹部が形成され、この四部が圧電素子の・・ウジン
グとその台座部分を形成する、例えば時計用の振動子に
関する。
従来技術 従来、このような振動子の製作は必ずし、も容易でなか
った。２つのガラス板を接着剤で封止しようとしても接
着剤の透過性が大きくて、振動子に必要な高真空を長時
間係てなかったからである。また、２枚のガラス板を金
属ノ・ンタ゛で封止しようとする試みもなされた。しか
し、一対の導電層を横切る・・ンダが圧電素子の端子の
ように作用するので、ノ・ンダによる短絡を防止するに
は、十分な幅の中間絶縁材料を使用せざるを得す、ケー
シングの容積が増大する結果に終っていた。
発明の解決すべき問題点 本願発明の主１」的は、上述のような振動子の寸法を小
さくし、製造コストを低減することである。
問題点を１督決するだめの手段 本発明によれば、この課題は次のようにして解決される
。すなわち第１のガラス板の台座部と反対側の部分に、
該ガラス板の外側に向って開いた孔を設け、鎖孔が導電
性トラックの１つによって封止され、また鎖孔の中に端
子の１つ実施例 次に、図面を参照しながら実施例について本発明の詳細
な説明する。
第１図は本発明による振動子の断面図、第２図は同じく
平面図である。
第１図および第２図の振動子は音叉形の圧電素子１０を
有し、その脚部１２ａ　、１２ｂおよび基部１４には制
御電極１６．１８が設けられている。さらに、ガラス板
２２．２４から平行６面体のケーシングが形成されてい
る。ガラス板の内側には凹部２６，２７があり、この２
つの凹部によってハウジング２８が形成されている。ガ
ラス板２２の内側の一部分２２ａは、音叉形圧電素子の
台座となっている。台座部２２には導電性トラック３０
，３２が設けられ、このトラックは、図示していない導
電性接着剤またはハンダから成る２つのスポットによっ
て電極１６．１８と接続されている。」二連した２′）
のスポットは、音叉形圧電素子の基部１４を台１１ＨＧ
［５２２ａに固定するためにも用いられる。
ガラス板２２．２４の内側表面の周辺部分は環状の導電
性トラック３δ、４０によって完全に被覆されている。
２つのトラックは対向して配置され、例えば錫合金の封
止フレーム４２によって分離されている。封止フレーム
４２は２つのガラス板を結合している。トラック３２は
実質的には環状ｌ・ラック３８の延長部である。
Ｆ側のガラス板２２にはクレータ状の孔４４゜牛６が形
成されている。そのうち１つの孔４４は台座部２２ａの
ト“、つ１リガラス板２２の一方の端部の近くに、もう
１つは同じガラス板の反対側の部分に設けられている。
第２図を複雑にしない／ζめ、孔４４．４６は第１図に
しか示していない。孔４４．４６の内側端面は導電性ト
ラック３０．３８により封止されている。寸だその内側
からガラス板２２の外部表面へかけて導電層４８．５０
が被着され、圧電素子１０に対する給電端子４５．４７
を形成している。
孔４６は環状トラック３８のある部分ならどこに設けて
もよい。しかし、例えばケーシングがプリント基板上に
設置された場合などに短絡の危険性を低くするには、孔
４６を孔４４からできるだけ離す方がよい。
第３図は、第１図、第２図に示した振動子の一連の製造
工程を示している。ガラス板２２゜２４と同じ厚さで大
きさ数センチ四方のガラス板５’２．５４（第３図ａ）
は、その表面が金属化される（第３図ｂ）。この場合、
最初はクロム層で、次に金層で金属化が行なわれる。こ
のガラス板５２．５４は化学的にエツチングさノシ、蜂
の巣状の小孔５６．５７が多数形成される（第３図Ｃ）
。各々の小孔は、第１図に示したケーシングの凹部２７
，２６に対応している。これと同じ工程で孔４４．４６
もガラス板５４に形成されるが、これらの孔は第３図に
示されていない。次に、２枚のガラス板に被着され／ζ
金属層は、導電性トラック３０，３２，３８．’４０゜
４５．４７をのぞいて化学的エツチングにより除去され
る。この後で、音叉形圧電素子１　ｏ、が取付けられる
。この場合、その基部１４が接着剤によって各小孔５７
の端部に固定される（第３図ｄ）。第１図のフレーム４
２に相当するハンダのフレームを数個けた後、凹部２７
が音叉１０の上に来るよう２つのガラス板が第３図に示
す而を向い合わせて重ねられる（第３図ｄ）。
ここで装置全体を真空中で熱するとフレーム牛２が融け
、２枚のガラス板は相互に接着、封止される。） ガラス板が接着されると、孔４４．４６の中に金属層４
８．５０（第１図参照）が被着される。ただし、すす合
金捷だけ導電性接着材によって孔４４．４．６を充たす
こともできる。
この後、ガラス板をスクライプし、スクラッチ線に沿っ
て割れば振動子が出来上がる（第３図ｅ、ｆ参照少。
上述の構成によれば、封止フレームが導電性トラックを
横切ることに起因する短絡の危険性は取除かれる。また
、電極がケーシングの端面ではなくその広い面に設けら
れているので、振動子を小さくすることができる。結果
的に、振動子の製造工程を簡略化することができる。な
ぜなら、第１には導電性トラックと封止フレームとの間
の絶縁材料が不要となるから。第２には、従来例のよう
に電極を振動子ケーシングの端面に取付けるために一方
のガラス板を他方より長くする必要がなく、両名を同じ
長さにできるので、第３図ｅ、ｆの工程が可能となるか
らである。
発明の効果 本発明の振動子では、封止フレームが導電層を横切るこ
とによる短絡の危険性は取除かれる。
また、振動子の寸法を従来のものより小さくシ。
かつ製造コストを引下げることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明による振動子の縦断ｉｎｊ図、第２図は
同じく平面図、第３図は本発明による振動子の製造工程
を示す図である。 １０　・・・圧電素子、　１２　ａ　、　１２　ｂ−脚
部、１４・・・基部、１６．１８・・・制御電極、２０
・・・ケニシング、２２．２４・・・ガラス板、２２＆
・・・台座部２６．２７・・・凹部、２８・・・ハウジ
ング、３０゜３２，３８．４０・・・導電性トラック、
４２・・・封止フレーム、４４’　、　４６・・・孔、
４ｂ　、４７・・・給電端子、４８．５０・・・導電層
。 ｈ惨・２

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 ■、圧電素子が設けられ、該圧電素子が制御電極を有し
    、 ケーシングが設けられ、該ゲージングが相互に封止され
    た第１および第２のガラス板を有し、該ガラス板の内側
    に凹部が形成され。 該凹部は前記圧電素子に対するハウジングとなり、かつ
    第１．のガラス板上に前記圧電素子を支持する台座部を
    形成し、 該台座部に導電性ｌ・ラックが被覆され、該トランク（
    ｄ：前記制御電極と接続され、前記導電件トランクと接
    続きれた１対の端子が設けられ、該端子は導電性ｌ・ラ
    ックをケーシングの外部と接続する。 圧電振動子において、 第１のガラス板の台座部と反対側の部分に、れ、鎖孔が
    前記導電性トラックの１つによって封止され１寸た鎖孔
    の中に前記端子の１つを形成する導電材料が設けられて
    いる、ことを特徴とする圧電振動子。 ２、各ガラス板の内側表面の端部ＶＣ環状の導電性トラ
    ックが設けられ、またケーシングが該環状トラックに融
    着された金属フレームを有している特許請求の範囲第１
    項記載の圧電振動子。 δ、第１のガラス板に、その外部へ向って開いた第２の
    孔が設けられ、該第２の孔が第１のガラス板の環状トラ
    ックによって封止され、まだ該第２の孔に第２の端子を
    形成する導電性材料が設けられている特許請求の範囲第
    ２項記載の圧電振動子。 牛１台座部および第１の孔が第１のガラス板の一端近く
    に配置され、第２の孔は第１のガラス板の反対側の端部
    に形成されているＺ′Ｖ＋許請求の範囲第３項記載の圧
    電振動子。 璽　μｍ−−〜）　リ　〃ユψ歪仁Ｃ需Ｉ４−小Ｊα＼
    Ｌ８−も　１　イ１７特許請求の範囲第１項記載の圧電
    振動子。 ６．　ガラス板に設けられた孔に設けられた導電性材料
    が鎖孔の表面に被着された金層を含んでいる特許請求の
    範囲第１項記載の圧電振動子。 ７　ガラス板に設けられた孔内の導電性材料が、鎖孔を
    充だすずず合金を含んでいる特許請求の範囲第１項記載
    の圧電振動子。 ８　ガラス板に設けられた孔内の導電性材料が、鎖孔を
    充たす導電性接着剤を含んでいる特許請求の範囲第１項
    記載の圧電振動子１゜９　孔がクレータの形状をしてお
    り、その大きい方の開１−１部が第１のガラス板の外部
    表面へ向って開いている特許請求の範囲第１項記載の圧
    電振動子。 １０　ガラス板に設けられた孔に設けられた導電性（」
    旧が鎖孔の表面に被着された金層を含んでいる特許請求
    の範囲第３項記載の圧電振動子。 １１、ガラス板に設けられた孔内の導電性材料が鎖孔を
    充たすすず合金を含んでいる特許請求の範囲第３項記載
    の圧電振動子。 １２、ガラス板に設けられた孔内の導電件利料が鎖孔を
    充たす導電性接着剤を含んでいる特許請求の範囲第３項
    記載の圧電振動子。 １３　ガラス板に設けられた孔がクレータの形状をして
    おり、その大きい方の開１］部が第１のガラス板の外部
    表面へ向って開いている特許請求の範囲第３項記載の圧
    電振動子・。
JP60025357A 1984-02-15 1985-02-14 圧電振動子 Pending JPS60187117A (ja)

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