JP4690146B2 - 水晶振動子、発振器及び電子機器 - Google Patents
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Description
本発明に係る水晶振動子は、水晶振動子片が枠状部によって囲まれて形成された水晶振動板と、前記水晶振動子片に設けられ、前記水晶振動子片に電圧を印加するための内部電極と、前記水晶振動板を厚さ方向に挟み込む板状の蓋部材及びベース部材を有する密閉容器と、前記蓋部材と前記水晶振動板との間、並びに、前記ベース部材と前記水晶振動板との間に設けられ、前記内部電極に電気的に接続された接合用の接合電極と、前記密閉容器の外面に設けられ、前記接合電極を保護する保護膜と、を備え、前記蓋部材と前記水晶振動板との間の外縁部、並びに、前記ベース部材と前記水晶振動板との間の外縁部に、前記密閉容器の内方に没する凹部が設けられ、この凹部に前記保護膜が設けられるとともに、前記接合電極が、前記凹部よりも前記内方に位置していることを特徴とする。
ここで、水晶振動子を製造する際には、ウエハを利用して複数の水晶振動子を一括で製造するのが一般的である。すなわち、複数のウエハが重ね合わされて、複数の水晶振動子が行列方向に連続的に形成される。そして、それら複数のウエハが、陽極接合される。すなわち、蓋部材及びベース部材となる上下のウエハのそれぞれに、外部の電圧印加装置などによって、例えば負の電圧を印加し、接合電極にはそれとは反対の正の電圧を印加する。このとき、一の水晶振動子の接合電極は、凹部より前記内方に位置しているため、行列方向に隣り合う他の水晶振動子の接合電極には接続されておらず、それぞれの接合電極は、水晶振動子一つ一つ分で絶縁された状態となる。そのため、ウエハの縁に位置する水晶振動子の接合電極には、電圧印加装置などの電極端子をそれぞれ接続して電圧を印加することができるものの、ウエハの内方に位置する水晶振動子の接合電極には電極端子を接続することができない。
また、本発明に係る電子機器は、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の水晶振動子を備えることを特徴とする
以下、本発明の第1実施形態における水晶振動子について、図面を参照して説明する。
図1において、符号1は水晶振動子を示すものである。
水晶振動子1は、水晶からなり矩形に形成された水晶振動板2と、この水晶振動板2を厚さ方向に挟み込む板状の蓋部材6及びベース部材7を有する密閉容器3とを備えている。
また、蓋部材6及びベース部材7は、例えばソーダライムガラスなどのガラスからなっており、これら蓋部材6とベース部材7とが、下地電極25及び接合電極19を介して陽極接合されている。
まず、蓋部材6及びベース部材7を形成加工する。すなわち、図4に示すように、ガラスかならなる蓋部用ウエハ30を所定の厚さになるまで研磨加工して洗浄する。そして、最表面の加工変質層をエッチングなどによって除去する。さらに、蓋部用ウエハ30の一方の主面30aに、エッチングなどにより、複数の蓋側凹部11を形成する。なお、図4には、簡略化のため、一つの蓋側凹部11しか明示されていないが、実際には蓋部用ウエハ30の一方の主面30a全面に、複数の蓋側凹部11が行列方向に連続的に形成される。つまり、蓋部用ウエハ30は、蓋部材6が複数配列されて一体的に形成されたものであり、ここでは蓋部用ウエハ30は蓋部材6に相当するものである。さらに、蓋部用ウエハ30の一方の主面30aは、蓋部材6の一方の主面6aに相当する。
次いで、それぞれのベース側凹部14を所定の大きさで矩形に取り囲んだときの、その矩形の四隅のそれぞれに不図示のスルーホールを設ける。
それから、水晶ウエハ32の全面にスパッタリングや蒸着などによって、下地電極層を形成したのち、フォトリソグラフィ及びエッチングなどによりパターニングを行い、枠状部10の内側面35や振動腕部9aなどの下地電極層を取り除く。このようにパターニングされた下地電極層が、上述の下地電極25となる。この下地電極25は、枠状部10の両面全面に形成されており、枠状部10の外縁部にまで延在している。そのため、下地電極25は、図5に示すように、水晶振動板2の行列方向の複数にわたって一体的に形成され、水晶ウエハ32上の下地電極25の全てが導通した状態になる。
それから、テープに貼り付けた状態のまま、蓋部用ウエハ30及びベース用ウエハ31など全体をフルオロカーボンの溶液中に浸漬する。それから、蓋部用ウエハ30及びベース用ウエハ31などを取り出し、所定の時間置いた後加熱する。すると、各密閉容器3の外面や凹部21に保護膜16が形成される。なお、各ウエハを浸漬したときに、溶液がテープの隙間から浸入する場合があるが、外部端子20の表面がAuからなり、溶液がフルオロカーボンからなっていることから、外部端子20に保護膜が形成されるのが防止される。
それから、テープを剥がすと、一つ一つの水晶振動子1が、図1から図3に示す水晶振動子1となる。
外部端子20に所定の電圧を印加すると、その電圧は、接合電極19及び内部電極24を介して、水晶振動子片9に印加される。すると、圧電効果により、振動腕部9aが互いに接近または離隔する方向に、即ち逆相のモードで、所定の周期を持って屈曲運動する。
また、枠状部10に、外縁部まで延びる下地電極25が設けられていることから、水晶ウエハ32上に複数の水晶振動板2を形成したときに、水晶ウエハ32上の全ての下地電極25を電気的に接続することができる。そのため、陽極接合時において、下地電極25に対する外部の電極端子との接点を一つにしつつも、それら下地電極25を介して水晶ウエハ32上の全ての接合電極19に電圧を印加することができる。したがって、複数の水晶振動子1を、効率よく容易に製造することができる。なお、下地電極25は、接合電極19よりも耐食性が高いことから、下地電極25に接する保護膜16に欠損やクラックが生じたとしても、下地電極25の腐食を防止することができる。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
図7は、本発明の第2の実施形態を示したものである。
図7において、図1から図6に記載の構成要素と同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
この実施形態と上記第1の実施形態とは基本的構成は同一であり、ここでは異なる点についてのみ説明する。
ここで、枠状部10の内側面35に、下地電極層が取り除かれずに残っていると、蓋部材6側の接合電極19と、ベース部材7側の接合電極19とが短絡してしまう。そこで、下地電極25の形成時において、露光のためのマスクを枠状部10の内縁部にかからないようにする。そして、オーバー露光により下地電極25をパターニングする。そのため、枠状部10の内側面35から内縁部にかけて下地電極層が取り除かれる。そして、パターニングされた下地電極25の上から上述のように接合電極19を形成する。
これにより、内側面35における下地電極層の残留を防止することができ、歩留まりを向上させることができる。
さらに、下地電極25を設けるとしたが、この下地電極25は無くてもよい。ただし、ウエハなどを用いて複数の水晶振動子1を一括で製造する場合には、下地電極25を設けることが好ましいのは上述のとおりである。
また、接合電極19や下地電極25の部材についても適宜変更可能である。
さらに、蓋部用ウエハ30とベース用ウエハ31とにより、複数の水晶振動子1を一括で製造しているが、これに限ることはなく、個別に製造してもよい。
次に、本発明の第3の実施形態について、図8を参照して説明する。
図8において、符号38は、本発明の第3の実施形態に係る発振器を示すものである。
発振器38は、上記第1または第2の実施形態の水晶振動子1が発振子として用いられて構成されたものである。
発振器38は、コンデンサなどの電子部品39が実装された基板40を備えている。基板40には、発振器用の集積回路43が実装されており、この集積回路43の近傍に、水晶振動子1が実装されている。そして、これら電子部品39、集積回路43及び水晶振動子1は、不図示の配線パターンによって電気的に接続されている。なお、各構成部品は、不図示の樹脂によりモールドされている。
また、集積回路43の構成を、例えばRTC(リアルタイムクロック)モジュール等を要求に応じて選択的に設定することにより、時計用単機能発振器などの他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダーなどを提供したりする機能を付与することができる。
次に、本発明の第4の実施形態について説明する。
本実施形態では、上記第1または第2の実施形態における水晶振動子1を備える電子機器として、携帯情報機器について説明する。
図9において、符号46は、携帯情報機器を示すものであり、図9を参照して、携帯情報機器46の機能的構成について説明する。
電源部47には、各種制御を行う制御部48と、時刻等のカウントを行う計時部51と、外部との通信を行う通信部52と、各種情報を表示する表示部56と、それぞれの機能部の電圧を検出する電圧検出部53と、が並列に接続されている。そして、電源部47によって、各機能部に電力が供給されるようになっている。
無線部57は、音声データ等の各種データを、アンテナを介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部58は、無線部57または増幅部62から入力された音声信号を符号化及び復号化する。増幅部62は、音声処理部58または音声入出力部63から入力された信号を所定のレベルまで増幅する。音声入出力部63は、スピーカやマイクロフォンなどからなり、着信音や受話音声を拡声したり、話者音声を集音したりする。
なお、水晶振動子1は、通信部52の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断することができる電源遮断部69を備えており、この電源遮断部69によって、通信部52の機能が確実に停止される。
次に、本発明の第5の実施形態について説明する。
本実施形態では、上記第1または第2の実施形態における水晶振動子1を備える電子機器として、電波時計について説明する。
図10において、符号71は、電波時計を示すものである。
アンテナ74は、前記40kHzもしくは60kHzの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、前記40kHzもしくはkHzの搬送波にAM変調をかけたものである。
受信された長波の標準電波は、アンプ75によって増幅され、複数の水晶振動子1を有するフィルター80によって濾波、同調される。本実施形態における水晶振動子1は、上記搬送周波数と同一の40kHz及び60kHzの共振周波数を有する水晶振動子部76,79をそれぞれ備えている。
さらに、濾波された所定周波数の信号は、検波、整流回路81により検波復調される。続いて、波形成形回路84を介してタイムコードが取り出され、CPU85でカウントされる。CPU85では、現在の年、積算日、曜日、時刻等の情報を読み取る。読み取られた情報は、RTC86に反映され、正確な時刻情報が表示される。
2 水晶振動板
3 密閉容器
6 蓋部材
7 ベース部材
9 水晶振動子片
10 枠状部
16 保護膜
19 接合電極
21 凹部
24 内部電極
25 下地電極(補助電極)
38 発振器
43 集積回路
46 携帯情報機器(電子機器)
71 電波時計(電子機器)
d 開口径
Claims (4)
- 水晶振動子片が枠状部によって囲まれて形成された水晶振動板と、
前記水晶振動子片に設けられ、前記水晶振動子片に電圧を印加するための内部電極と、
前記水晶振動板を厚さ方向に挟み込む板状の蓋部材及びベース部材を有する密閉容器と、
前記蓋部材と前記水晶振動板との間、並びに、前記ベース部材と前記水晶振動板との間に設けられ、前記内部電極に電気的に接続された接合用の接合電極と、
前記密閉容器の外面に設けられ、前記接合電極を保護する保護膜と、を備え、
前記蓋部材と前記水晶振動板との間の外縁部、並びに、前記ベース部材と前記水晶振動板との間の外縁部に、前記密閉容器の内方に没する凹部が設けられ、この凹部に前記保護膜が設けられるとともに、
前記接合電極が、前記凹部よりも前記内方に位置している水晶振動子であって、
前記接合電極に電気的に接続され、かつ前記接合電極よりも耐食性の高い補助電極を備え、
この補助電極が、前記蓋部材と前記水晶振動板との間の外縁部、並びに、前記ベース部材と前記水晶振動板との間の外縁部まで延在していることを特徴とする水晶振動子。 - 水晶振動子片が枠状部によって囲まれて形成された水晶振動板と、
前記水晶振動子片に設けられ、前記水晶振動子片に電圧を印加するための内部電極と、
前記水晶振動板を厚さ方向に挟み込む板状の蓋部材及びベース部材を有する密閉容器と、
前記蓋部材と前記水晶振動板との間、並びに、前記ベース部材と前記水晶振動板との間に設けられ、前記内部電極に電気的に接続された接合用の接合電極と、
前記密閉容器の外面に設けられ、前記接合電極を保護する保護膜と、を備え、
前記蓋部材と前記水晶振動板との間の外縁部、並びに、前記ベース部材と前記水晶振動板との間の外縁部に、前記密閉容器の内方に没する凹部が設けられ、この凹部に前記保護膜が設けられるとともに、
前記接合電極が、前記凹部よりも前記内方に位置している水晶振動子であって、
前記凹部の開口径が、前記凹部の内部の径よりも大きく設定されていることを特徴とする水晶振動子。 - 請求項1または請求項2に記載の水晶振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする発振器。
- 請求項1または請求項2に記載の水晶振動子を備えることを特徴とする電子機器。
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