JP4777745B2 - 圧電振動子及びこれを備える発振器、電波時計並びに電子機器 - Google Patents
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Description
本発明に係る圧電振動子は、板状の蓋部材とベース部材とが厚さ方向に重ね合わされて接合された密閉容器と、前記密閉容器の中に設けられた圧電振動子片と、前記ベース部材の底面部に設けられ、前記圧電振動子片に接続されて前記圧電振動子片に電圧を印加するための外部電極と、を備え、前記ベース部材の底面部のうち、少なくとも前記外部電極が設けられる部位に、凹凸部が形成されており、前記凹凸部にならって前記外部電極が設けられていることを特徴とする。
そのため、外部電極と半田との接触面積を増大させることができるだけでなく、半田が溶融したときに、液化した半田が外部電極の凹の部分に入り込んでいくため、全体を基板に向けて沈み易くさせることができ、外部電極と半田とを電気的にも機械的にもしっかりと接合することができる。
そのため、従来よりも外部電極と半田との接触面積を増大させることができるだけでなく、全体を基板に向けて沈み易くさせることができる。
また、外部電極と半田との間に気泡が生じる場合があり、それら気泡が生じると、外部電極と半田との接合力が弱まってしまうが、外部電極の傾斜によって、それら気泡が外部電極の縁側に案内されていく。そのため、外部電極と半田との間の気泡を排除することができ、外部電極と半田とを電気的にも機械的にもより強固に接合することができる。
そのため、外部電極と半田との接触面積をさらに増大させることができる。また、半田が溶融したときに、液化した半田が外部電極の凹の部分に入り込んでいくため、全体を基板に向けて沈み易くさせることができ、外部電極と半田とを電気的にも機械的にもしっかりと接合することができる。
そのため、外部電極と半田との間に生じた気泡を容易に排除することができる。
そのため、外部電極と半田との間に生じた気泡を容易に排除することができる。
そのため、外部電極と半田との間に生じた気泡を容易に排除することができる。
ここで、同一の圧電振動子を付け替えて複数の電子回路上で実験を行いたいなど、一度半田付けした圧電振動子を取り外して再度半田付けしたいとの要望がある。
本発明においては、一度半田付けして表面金属膜を形成する金属が拡散しても、合金膜が保持されているので、合金膜を構成する所定金属によって、再度半田付けが可能となる。
また、本発明に係る電波時計は、前記圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする。
また、本発明に係る電子機器は、前記圧電振動子を備えることを特徴とする。
以下、本発明の第1実施形態における水晶振動子(圧電振動子)について、図面を参照して説明する。
図1において、符号1は水晶振動子を示すものである。
水晶振動子1は、水晶からなり矩形に形成された水晶振動子板2と、この水晶振動子板2を挟んで厚さ方向に重ね合わされて接合された板状の蓋部材6及びベース部材7を有する密閉容器3とを備えている。
水晶振動子片9は、密閉容器3の中に固定されており、電圧を印加することにより所定の周波数で振動するようになっている。
また、水晶振動子片9と枠状部10とは、水晶振動子片9の基端部を介して一体的に形成されている。水晶振動子板2の表裏面には、水晶振動子片9に電圧を印加するための電極膜4が形成されている。電極膜4は、例えばアルミなどの導電性部材からなっている。なお、図2においては、電極膜4を簡略化して示しているが、実際には、電極膜4は各種仕様や形状に応じてパターニングされているのはいうまでもない。
また、枠状部10には、後述する外部端子(外部電極)20を電極膜4に案内するスルーホール5が形成されている。
また、密閉容器3の外周面には、底面7bを除いて、電極膜4の腐食などを防止するための不図示の保護膜が形成されている。保護膜は、トリメチルシロキサンを末端に有するフッ素系コート剤の0.1wt%フルオロカーボンからなっている。保護膜としては、例えば、オプツールDSX(製品名:ダイキン工業(株)製)などが使用される。
さらに、外部端子20は、ベース部材7に接合する下地金属膜(合金膜)29と、この下地金属膜29に設けられ外部端子20の表面を形成する表面金属膜30とを備えており、これら下地金属膜29と表面金属膜30との二層構造として構成されている。
表面金属は、金(Au)からなっており、スパッタリングや蒸着などにより下地金属膜29上に堆積されて形成されている。
図7は、水晶振動子1の製造方法の手順を示すフローチャートである。
まず、水晶の原石に研磨加工などを施して円板状の振動子用ウエハを形成する。そして、振動子用ウエハに、水晶振動子片9を行列方向に複数形成する(ステップS10)。それから、振動子用ウエハの表裏に、スパッタリングや蒸着などによってアルミからなる膜を形成する。さらに、フォトリソグラフィ及びエッチングなどによりパターニングを行い、電極膜4を形成する(ステップS11)。
また、ガラスから円板状のベース用ウエハを形成し、このベース用ウエハに、フォトリソグラフィ及びエッチングなどにより、行列方向に配される複数のベース側凹部14と、ベース側凹凸部19とを形成する(ステップS30)。そして、このベース用ウエハに、ブラスト加工などにより外部電極形成用スルーホールを形成する(ステップS31)。さらに、ベース用ウエハに、断面V字型のベベルカットを行列方向に形成する(ステップS32)。
それから、重ね合わせた三枚のウエハを、陽極接合装置で陽極接合する(ステップS40)。
それから、接合された蓋用ウエハ、振動子用ウエハ及びベース用ウエハを、ベベルカットに沿って、行列方向にフルカットする(ステップS60)。これにより切断された一つ一つが水晶振動子1となる。
さらに、個々に切断された水晶振動子1について個別に周波数調整が行われ(ステップS70)、続いて電気的特性が検査される(ステップS80)。この後、密閉容器の外周面には、底面7bを除いて保護膜が形成される(ステップS90)。
以上によって、図1に示す水晶振動子1が得られる。
すなわち、図8に示すように、あらかじめ半田17がスクリーン印刷された基板16の所定の半田17上に水晶振動子1をセットする。このとき、端子側凹凸部25が半田17に接触するように設置する。それから、水晶振動子1の周辺を加熱すると、ある温度で半田17が溶融する。すると、表面金属膜30の金が半田17に拡散していく。そして、図9に示すように、液化した半田17が、下地金属膜29に形成された端子側凹凸部25の凹部に入り込んでいくと同時に、水晶振動子1が自重によって基板16に向けて沈み込んでいく。このとき、外部端子20と半田17との間に気泡が生じる場合があるが、この気泡は、端子側凹凸部25の凹部によって縁部26に案内され、短手方向Dに向けて外方に排除される。それから、周辺を除冷することにより、半田17が固体化し、水晶振動子1が基板16に実装される。
さらに、この水晶振動子1を取り外して、上記と同様にして、水晶振動子1が別の基板に実装される。
さらに、端子側凹凸部25が短手方向Dに向けられていることから、長さ方向Wの両端に設けられた両外部端子20の間の極小のクリアランスに気泡を排出することを防止することができるため、迅速かつ確実に気泡を排出することができる。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
図14及び図15において、図1から図13に記載の構成要素と同一部分については同一符号を付し、その説明を省略する。
この実施形態と上記第1の実施形態とは基本的構成は同一であり、ここでは異なる点についてのみ説明する。
本実施形態においては、図14に示すように、ベース部材7の底面7bに、ベース部材7の縁部26にいくにつれてベース部材7が漸次肉薄となるようなベース側傾斜部32が設けられている。すなわち、ベース部材7の一方の主面7a全面の面積よりも、ベース側傾斜部32以外の底面7bの面積のほうが小さくなっており、ベース部材7の断面が底面7b側に突出する略凸状をなしている。なお、ベース側傾斜部32は、傾斜部として機能するものである。
それから除冷によって、半田17が固体化し、水晶振動子1が基板16に実装される。
また、外部端子20´と半田17との間の気泡を容易に排除することができ、外部端子20´と半田17とをより強固に接合することができる。
また、外部端子20´が第2の下地金属膜29bと表面金属膜30とを備えていることから、上記と同様に、第2の下地金属膜29bにニッケルが残っている限り、水晶振動子1を容易に再半田することができる。さらに、外部端子20´は三層構造をなし、第2の下地金属膜29bを中間層とすることにより、第2の下地金属膜29bのニッケルとクロムとが半田に拡散してしまっても、第1の下地金属膜29aによって水晶振動子片9と導通を取ることができる。また、第1の下地金属膜29aによって、第2の下地金属膜29bのニッケルの応力を吸収することができ、ベース部材7にかかる応力を軽減させることもできる。
また、上記第1及び第2の実施形態においては、蓋用ウエハとベース用ウエハとを陽極接合するとしたが、これに限ることはなく、その接合方法は適宜変更可能である。例えば、共晶接合などであってもよい。
また、圧電振動子片を水晶からなる水晶振動子片9としているが、これに限ることはなく、ニオブ酸リチウムなどの様々な圧電単結晶材料からなる振動子片であってもよい。
さらに、第1の下地金属膜29aがクロムからなるとしたが、これに限ることはなく、その部材は適宜変更可能である。例えば、チタン(Ti)やタンタル(Ta)などであってもよい。
また、表面金属膜30が金からなるとしたが、これに限ることはなく、その部材は適宜変更可能である。例えば、白金などであってもよい。
次に、本発明の第3の実施形態について、図17を参照して説明する。
図17において、符号38は、本発明の第3の実施形態に係る発振器を示すものである。
発振器38は、上記第1又は第2の実施形態の水晶振動子1が発振子として用いられて構成されたものである。
発振器38は、コンデンサなどの電子部品39が実装された基板40を備えている。基板40には、発振器用の集積回路43が実装されており、この集積回路43の近傍に、水晶振動子1が実装されている。そして、これら電子部品39、集積回路43及び水晶振動子1は、不図示の配線パターンによって電気的に接続されている。なお、各構成部品は、不図示の樹脂によりモールドされている。
また、集積回路43の構成を、例えばRTC(リアルタイムクロック)モジュール等を要求に応じて選択的に設定することにより、時計用単機能発振器などの他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダーなどを提供したりする機能を付与することができる。
次に、本発明の第4の実施形態について説明する。
本実施形態では、上記第1又は第2の実施形態における水晶振動子1を備える電子機器として、携帯情報機器について説明する。
図18において、符号46は、携帯情報機器を示すものであり、図18を参照して、携帯情報機器46の機能的構成について説明する。
電源部47には、各種制御を行う制御部48と、時刻等のカウントを行う計時部51と、外部との通信を行う通信部52と、各種情報を表示する表示部56と、それぞれの機能部の電圧を検出する電圧検出部53と、が並列に接続されている。そして、電源部47によって、各機能部に電力が供給されるようになっている。
無線部57は、音声データ等の各種データを、アンテナを介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部58は、無線部57または増幅部62から入力された音声信号を符号化及び復号化する。増幅部62は、音声処理部58または音声入出力部63から入力された信号を所定のレベルまで増幅する。音声入出力部63は、スピーカやマイクロフォンなどからなり、着信音や受話音声を拡声したり、話者音声を集音したりする。
なお、水晶振動子1は、通信部52の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断することができる電源遮断部69を備えており、この電源遮断部69によって、通信部52の機能が確実に停止される。
次に、本発明の第5の実施形態について説明する。
本実施形態では、上記第1又は第2の実施形態における水晶振動子1を備える電子機器として、電波時計について説明する。
図19において、符号71は、電波時計を示すものである。
アンテナ74は、前記40kHzもしくは60kHzの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、前記40kHzもしくはkHzの搬送波にAM変調をかけたものである。
受信された長波の標準電波は、アンプ75によって増幅され、複数の水晶振動子1を有するフィルタ(フィルタ部)80によって濾波、同調される。本実施形態における水晶振動子1は、上記搬送周波数と同一の40kHz及び60kHzの共振周波数を有する水晶振動子部76,79をそれぞれ備えている。
さらに、濾波された所定周波数の信号は、検波、整流回路81により検波復調される。続いて、波形成形回路84を介してタイムコードが取り出され、CPU85でカウントされる。CPU85では、現在の年、積算日、曜日、時刻等の情報を読み取る。読み取られた情報は、RTC86に反映され、正確な時刻情報が表示される。
3 密閉容器
6 蓋部材
7 ベース部材
7b 底面(ベース部材の底面部)
9 水晶振動子片(圧電振動子片)
19 ベース側凹凸部(凹凸部)
20 外部端子(外部電極)
26 縁部
29 下地金属膜(合金膜)
29b 第2の下地金属膜(合金膜)
30 表面金属膜
32 ベース側傾斜部(傾斜部)
38 発振器
43 集積回路
46 携帯情報機器(電子機器)
71 電波時計
80 フィルタ(フィルタ部)
D 短手方向(長さ方向と直交する方向)
W 長さ方向(ベース部材の長さ方向)
Claims (9)
- 板状の蓋部材とベース部材とが厚さ方向に重ね合わされて接合された密閉容器と、
前記密閉容器の中に設けられた圧電振動子片と、
前記ベース部材の底面部に設けられ、前記圧電振動子片に接続されて前記圧電振動子片に電圧を印加するための外部電極と、を備え、
前記ベース部材の底面部のうち、少なくとも前記外部電極が設けられる部位に、前記底面部の縁部にまで一方向に連続して延在する凹凸部が形成されており、
前記凹凸部にならって前記外部電極が設けられていることを特徴とする圧電振動子。 - 板状の蓋部材とベース部材とが厚さ方向に重ね合わされて接合された密閉容器と、
前記密閉容器の中に設けられた圧電振動子片と、
前記ベース部材の底面部に設けられ、前記底面部から前記ベース部材の側面部を経由して前記圧電振動子片に接続されて前記圧電振動子片に電圧を印加するための外部電極と、を備え、
前記ベース部材の底面部のうち、少なくとも前記外部電極が設けられる面に、前記底面部の縁部にいくにつれて漸次肉薄となる傾斜部が形成され、
前記傾斜部に、前記底面部の縁部にまで一方向に連続して延在する凹凸部が形成されており、
前記傾斜部に沿って傾斜するとともに、前記凹凸部にならって前記外部電極が設けられていることを特徴とする圧電振動子。 - 前記外部電極が、前記ベース部材の長さ方向の両端部に設けられており、
前記凹凸部が、前記長さ方向と直交する方向に向けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電振動子。 - 前記凹凸部が、前記傾斜部の傾斜方向に向けられて、前記底面部の縁部にまで延在していることを特徴とする請求項2に記載の圧電振動子。
- 前記外部電極が、
クロムと所定金属とからなり、かつ半田付け可能な合金からなる合金膜と、
前記合金膜に設けられ、かつ半田付け可能な金属からなる表面金属膜と、を備えることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の圧電振動子。 - 前記所定金属が、ニッケルであることを特徴とする請求項5に記載の圧電振動子。
- 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする発振器。
- 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする電波時計。
- 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の圧電振動子を備えることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005318553A JP4777745B2 (ja) | 2005-11-01 | 2005-11-01 | 圧電振動子及びこれを備える発振器、電波時計並びに電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005318553A JP4777745B2 (ja) | 2005-11-01 | 2005-11-01 | 圧電振動子及びこれを備える発振器、電波時計並びに電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007129327A JP2007129327A (ja) | 2007-05-24 |
JP4777745B2 true JP4777745B2 (ja) | 2011-09-21 |
Family
ID=38151648
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005318553A Expired - Fee Related JP4777745B2 (ja) | 2005-11-01 | 2005-11-01 | 圧電振動子及びこれを備える発振器、電波時計並びに電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4777745B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007089117A (ja) * | 2005-08-24 | 2007-04-05 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子、発振器、電子部品、電子機器、圧電振動子の製造方法及び電子部品の製造方法 |
JP2009170283A (ja) * | 2008-01-17 | 2009-07-30 | Panasonic Corp | プッシュオンスイッチ |
JP2009194091A (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-27 | Seiko Instruments Inc | 電子部品、電子機器、及びベース部材製造方法 |
WO2010023731A1 (ja) | 2008-08-27 | 2010-03-04 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計、並びに圧電振動子の製造方法 |
WO2010023729A1 (ja) * | 2008-08-27 | 2010-03-04 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計 |
JP5128670B2 (ja) * | 2008-08-27 | 2013-01-23 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計、並びに圧電振動子の製造方法 |
JP4809410B2 (ja) * | 2008-09-29 | 2011-11-09 | 日本電波工業株式会社 | 圧電デバイスとその製造方法 |
JP5391943B2 (ja) * | 2009-09-07 | 2014-01-15 | 豊田合成株式会社 | セラミック基板の製造方法及び発光体並びに発光装置 |
JP5514898B2 (ja) * | 2010-04-27 | 2014-06-04 | 京セラ株式会社 | 弾性波装置およびその製造方法 |
JP2012090252A (ja) * | 2010-09-22 | 2012-05-10 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイスの製造方法及び圧電デバイス |
JP2012074837A (ja) * | 2010-09-28 | 2012-04-12 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス |
CN108565254B (zh) * | 2013-10-21 | 2021-08-24 | 日本精工株式会社 | 半导体模块 |
JP6573462B2 (ja) * | 2015-03-09 | 2019-09-11 | リバーエレテック株式会社 | 水晶振動子 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0537271A (ja) * | 1991-07-26 | 1993-02-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チツプ部品の電極形成方法 |
JPH08222402A (ja) * | 1995-02-14 | 1996-08-30 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品の電極構造及び圧電共振素子の振動電極構造 |
JPH08298362A (ja) * | 1995-04-26 | 1996-11-12 | Kyocera Corp | 表面実装用回路基板 |
JPH10106883A (ja) * | 1996-10-03 | 1998-04-24 | Murata Mfg Co Ltd | 積層セラミック電子部品 |
JP2859221B2 (ja) * | 1996-10-17 | 1999-02-17 | 埼玉日本電気株式会社 | 電子部品の端子構造 |
JP3864467B2 (ja) * | 1996-10-23 | 2006-12-27 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品の製造方法 |
JP2001156575A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
JP3989663B2 (ja) * | 2000-02-17 | 2007-10-10 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動子と圧電振動子の製造方法 |
JP3685683B2 (ja) * | 2000-04-19 | 2005-08-24 | 日本電波工業株式会社 | 表面実装用の水晶発振器 |
JP2003174258A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-06-20 | Kyocera Corp | 電子部品及びその実装構造 |
JP2006005027A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Epson Toyocom Corp | 表面実装型電子デバイス |
JP2006197278A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Seiko Instruments Inc | 表面実装型圧電振動子、発振器、及び電子機器 |
-
2005
- 2005-11-01 JP JP2005318553A patent/JP4777745B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007129327A (ja) | 2007-05-24 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
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R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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