JP4585908B2 - 圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
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かかる従来の圧電デバイスとしては、例えば図5に示す如く、内部に水晶振動素子(図示せず)が収容されている第1の容器体23を、キャビティ部25内に前記水晶振動素子の振動に基づいて発振出力を制御するIC素子26やコンデンサ等の電子部品素子(図示せず)が収容されている第2の容器体21上に取着させた構造のものが知られており、かかる温度補償型水晶発振器をマザーボード等の外部配線基板上に載置させた上、第2の容器体21の下面に設けられている外部端子(図示せず)を外部配線基板の配線に半田接合することにより外部配線基板上に実装される。
本発明は上記欠点に鑑み案出されたもので、その目的は、取り扱いが簡便で、かつ、生産性にも優れた小型の圧電デバイスを得ることができる圧電デバイスの製造方法を提供することにある。
更に本発明の圧電デバイスの製造方法は、前記マスター基板の開口部には、絶縁性樹脂が充填されていることを特徴とするものである。
また更に本発明の圧電デバイスの製造方法は、前記マスター基板の捨代領域には、特性制御データ書込端子を形成することを特徴とするものである。
更に本発明の圧電デバイスの製造方法によれば、前記マスター基板の開口部には、絶縁性樹脂が充填されていることにより、マスター基板に対する発振用IC素子の取着強度を向上させることができるとともに、発振用IC素子の回路形成面を良好に被覆し、回路形成面の電子回路が大気中の水分等によって腐食されるのを有効に防止することができる。以上のことから分割時の作業性の向上と、ダイシングブレードの磨耗による損傷の低減を効率良く行うことができ、ダイシング法により分割された短冊状の基板をブレイク法により個片にすることによって、分割タクトを上げることができるので、生産性の向上と歩留まり改善、製造コストを低減することができる。
図1は本発明の製造方法によって製作された圧電デバイスの分解斜視図、図2は図1の圧電デバイスの断面図であり、これらの図に示す圧電デバイスは、下面に外部端子10が設けられ、上面には、空間部が設けられており、空間部11を形成している壁部13の内、少なくとも1つに開口部12が形成されている。前記空間部内に発振用IC素子7が取着・搭載されている実装用基体6上に、水晶振動素子5が収容されている容器体1を載置・固定した構造を有している。
前記実装用基体6は、下面の四隅部に4つの外部端子10(電源電圧端子、グランド端子、発振出力端子、発振制御端子)が形成され、上面には、空間部11を形成する為の壁部13が設けられており、該壁部13の少なくとも1つには、開口部12が設けられている。そして、前記実装用基体6の下面に設けられている4つの外部端子10は、圧電デバイスをマザーボード等の外部配線基板に接続するための端子として機能するものであり、圧電デバイスを外部配線基板上に搭載する際、外部配線基板の回路配線と半田等の導電性接合材を介して電気的に接続されるようになっている。
更に、上述した実装用基体6の中央域には、複数個の電極パッドが設けられており、これら電極パッドに発振用IC素子7の接続パッドをAuバンプや半田、異方性導電接着材等の導電性接合材を介して電気的・機械的に接続させることによって発振用IC素子7が実装用基体6上の所定位置に取着される。
これにより、実装用基体6に対する発振用IC素子7の取着強度が向上されるとともに、発振用IC素子7の回路形成面が樹脂材15によって良好に被覆され、回路形成面の電子回路が大気中の水分等によって腐食されるのを有効に防止することができる。
ここで、図3(a)〜(d)は本発明の製造方法を説明するための斜視図である。
(工程A)
まず、図3(a)に示す如く、水晶振動素子5が収納されている容器体1と、マスター基板14とを準備する。
前記マスター基板14は、矩形状の基板領域Aと捨代領域Bとを相互に隣接させて複数個ずつ配置させてなり、その一主面側には、空間部11が設けられており、該空間部を形成する為の壁部13が形成されており、該壁部13の少なくとも1つには、開口部12が設けられている。
このようなマスター基板14は、上述した実装用基体6と同じ材料、即ち、ガラス−セラミック,アルミナセラミックス等のセラミック材料等によって形成されている。
尚、本実施形態においては、マスター基板14上の書込制御端子を各基板領域の側面に2個ずつ設け、且つこれら2個の書込制御端子を各基板領域Aの平行な2辺に沿って2個ずつ、前記2辺と平行な中心線に対して線対称に配置させるようにしている。
次に、マスター基板14の各基板領域A内で、書込制御端子の存在しない部位に温度補償データを格納するメモリを有した発振用IC素子7を搭載し、しかる後、図3(b)に示す如く各基板領域に水晶振動素子5が収容されている容器体1を取着させる。
前記IC素子7としては、先に述べたように、接合面に複数個の接続パッドを有した矩形状のフリップチップ型ICが用いられる。
そして最後に、図3(c)乃至(d)に示す如く、前記マスター基板14を各基板領域Aの外周に沿って切断することにより、各基板領域Aを捨代領域Bより切り離す。
前記マスター基板14の切断はダイサーを用いたダイシング等によって行なわれ、短冊状の基板領域を分割し、この後、ブレイク工程を経てマスター基板14が個々の基板領域毎に分割される。これにより、複数個の圧電デバイスが同時に得られる。
前記ブレイク工程では、図3(c)で示すように、ブレイク溝16を用いて分割する。
更にまた本実施形態においては、容器体1を加工性や封止性に優れたセラミック材料で形成し、マスター基板14を切断時の作業性や取り扱いの簡便性に優れた樹脂材料で形成しておくことにより、信頼性の高い圧電デバイスを極めて効率良く製作することができる。従って、前記容器体1をセラミック材料で形成し、前記マスター基板14を樹脂材料で形成しておくことが好ましい。
また上述した実施形態においては、容器体1の蓋体4をシールリング3を介して基板2に接合させるようにしたが、これに代えて、基板2の上面に接合用のメタライズパターンを形成しておき、このメタライズパターンに対して蓋体4をダイレクトに溶接するようにしても構わない。
2・・・基板
3・・・シールリング
4・・・蓋体
5・・・水晶振動素子
6・・・実装用基体
7・・・発振用IC素子
8・・・容器体の配線導体
9・・・実装用基体の配線導体
10・・・外部端子
11・・・空間部
12・・・開口部
13・・・壁部
14・・・マスター基板
15・・・樹脂材
16・・・ブレイク溝
A・・・基板領域
B・・・捨代領域
Claims (4)
- 矩形状の基板領域の表主面には、空間部が設けられており、前記空間部の少なくとも1つの側面には開口部を形成し、捨代領域を外周に形成した該基板領域が複数個マトリックスに配列されて一体に構成されているマスター基板を形成する工程Aと、
前記基板領域に圧電振動素子が収容されている容器体と前記圧電振動素子の発振出力を制御する集積回路素子及び電子部品素子とを取着させる工程Bと、
前記マスター基板を各々の前記基板領域に形成された開口部が設けられている外周部及び対向する箇所の外周部はダイシング方法によって切断し、その他の外周部はブレイク方法によって割って分割し、複数個の圧電デバイスを同時に得る工程Cとを含む圧電デバイスの製造方法。 - 前記マスター基板の捨代領域には、前記開口部と連結されている樹脂塗布口が形成されていることを特徴とする請求項1記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記マスター基板の開口部には、絶縁性樹脂が充填されていることを特徴とする請求項1記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記マスター基板の捨代領域には、書込制御パッドを形成することを特徴とする請求項1記載の圧電デバイスの製造方法。
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