JP4549158B2 - 水晶発振器の製造方法 - Google Patents
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Description
該容器体となる基板領域と、該基板領域の隣り合う2つの外周辺の外側に設けられた捨て代領域とが、マトリックス状に配列して構成されシート状基板を積層する工程で、該基板領域の該半導体部品の搭載面に水晶振動子のモニター電極を形成し、
該捨て代領域に形成されたモニター電極の引き回しにより、該モニター電極と、該水晶振動子と接続する内層配線とを電気的に接続し、
該基板領域に形成された温度補償制御端子の引き回しにより、該モニター電極と、該半導体部品に設けられた温度補償制御信号が入力される端子が接続する該基板領域の一方の主面に設けられた所定の端子とを電気的に接続し、
該モニター電極で該水晶振動子の周波数測定を行った後、該シート状基板を該基板領域であった該容器体と該捨て代領域に分割し、水晶発振器の形態に個片化すると同時に、該モニター電極の引き回しを切断し、
該モニター電極を用いて水晶発振器の温度補償制御信号を書き込むことを特徴としている。
前記半導体部品の搭載面に形成する温度補償制御端子と、水晶振動子のモニター電極とを共用したことから、半導体部品搭載面の省スペース化が可能となり、結果として水晶発振器の小型化が可能となる。
図2はシート状基板35から切断された1個の基板領域Aとその両端の捨て代領域Bを示したものである。また、図3はそのシート状基板35の基板領域Aの上面図である。また、図2に示す基板領域Aの上面には基板領域Aの4隅部に外部端子電極9、水晶発振器のモニター電極32と温度補償制御端子32の共用端子が配置され、基板領域A内に温度補償制御端子の引き回し34が配置されており、捨て代領域Bに水晶発振器のモニター電極の引き回し33が形成されている。
まず、図4に図示するように、縦m列×横n行(m、nは2以上の自然数)のマトリクス状に配列された複数個の凹状の開口部10を有するシート状基板35を準備する。次に、図1に図示するように各凹状の開口部10に水晶振動子12と水晶振動子12を囲繞するシールリング3とを搭載する。各凹状の開口部10には、その上面側に一対の接続パッドと接合用の導体層が被着・形成されている。また、各凹状の開口部10と相反する面の基板領域Aの四隅部には、外部端子電極9が先の図2に図示するように被着して形成されている。
また、ここでは切断することで水晶振動子12のモニター電極32と、水晶発振器の温度補償制御端子32との機能の切り換えを行っているが、シート状基板の状態でレーザー等の照射でモニター電極の引き回し33のみを切断し、水晶発振器の温度補償制御端子32との機能の切り換えを行っても良い。
2・・・基板
3・・・シールリング
4・・・蓋体
5・・・バンプ
9・・・外部端子電極
10・・・凹状の開口部
12・・・水晶振動子
13・・・導電性接着剤
15・・・内層配線
32・・・モニター電極(温度補償制御端子)
33・・・モニター電極の引き回し
34・・・温度補償制御端子の引き回し
35・・・シート状基板
36・・・導電性接着剤
37・・・半導体部品
38・・・樹脂
A・・・基板領域
B・・・捨て代領域
Claims (1)
- シート状基板を用いてマトリックス状に形成する一方主面に半導体部品が配置されたキャビティー部を有する容器体の、他方主面に水晶振動子を配置し、該水晶振動子を気密封止して成る水晶発振器の製造方法において、
該容器体となる基板領域と、該基板領域の隣り合う2つの外周辺の外側に設けられた捨て代領域とが、マトリックス状に配列して構成されシート状基板を積層する工程で、該基板領域の該半導体部品の搭載面に水晶振動子のモニター電極を形成し、
該捨て代領域に形成されたモニター電極の引き回しにより、該モニター電極と、該水晶振動子と接続する内層配線とを電気的に接続し、
該基板領域に形成された温度補償制御端子の引き回しにより、該モニター電極と、該半導体部品に設けられた温度補償制御信号が入力される端子が接続する該基板領域の一方の主面に設けられた所定の端子とを電気的に接続し、
該モニター電極で該水晶振動子の周波数測定を行った後、該シート状基板を該基板領域であった該容器体と該捨て代領域に分割し、水晶発振器の形態に個片化すると同時に、該モニター電極の引き回しを切断し、
該モニター電極を用いて水晶発振器の温度補償制御信号を書き込むことを特徴とする水晶発振器の製造方法。
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