JP2006074293A - 圧電部品容器及び圧電発振器の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】
本発明の目的は、シート状の容器基板の状態から個片に分割して得られた圧電発振器において、個片に分割後に温度補償データ等の書込が可能な圧電部品容器を提供することにある。
【解決手段】
シート状の容器基板50を分割して小片化して成る容器1を用い、容器1の一面に圧電部品12を搭載する容器基板50の圧電部品12搭載側と相対する他方の容器基板50面に導通が取れる電極構造体5a、5bを有した圧電部品容器1において、
圧電部品12を搭載する面と相対する面に、電極構造体5a、5bに複数の導通電極27が形成されており、容器基板50の少なくとも一辺に連続して電極構造体5aが形成され、電極構造体5a、5bに囲まれるようにシート基板60上に搭載する半導体部品22を実装した構造を有する。
【選択図】 図1
本発明の目的は、シート状の容器基板の状態から個片に分割して得られた圧電発振器において、個片に分割後に温度補償データ等の書込が可能な圧電部品容器を提供することにある。
【解決手段】
シート状の容器基板50を分割して小片化して成る容器1を用い、容器1の一面に圧電部品12を搭載する容器基板50の圧電部品12搭載側と相対する他方の容器基板50面に導通が取れる電極構造体5a、5bを有した圧電部品容器1において、
圧電部品12を搭載する面と相対する面に、電極構造体5a、5bに複数の導通電極27が形成されており、容器基板50の少なくとも一辺に連続して電極構造体5aが形成され、電極構造体5a、5bに囲まれるようにシート基板60上に搭載する半導体部品22を実装した構造を有する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、携帯用通信機器等の電子機器に用いられる圧電発振器用の圧電部品容器に関するものである。
従来より、携帯用通信機器等の電子機器には圧電発振器が用いられている。かかる従来の圧電発振器100としては、例えば、図6に図示するように下面に複数個の外部端子電極109が被着されている単独の電極構造体105の上面に圧電部品を搭載する容器101を取着させるとともに、前記容器101底面に前記圧電部品の振動に基づいて発振出力を制御する半導体部品やコンデンサ等のチップ型電子部品を配設した構造のものが知られている。(例えば、特許文献1参照)
尚、このような容器101や単独の電極構造体105は、通常、ガラス−セラミック等のセラミック材料によって一体となるように形成されており、その内部、及び表面には配線導体が形成され、従来周知のセラミックグリーンシート積層法等を採用することによって製作されている。
また、前記半導体部品の内部には、圧電部品の温度特性に応じて作成された温度補償データに基づいて圧電発振器の発振出力を補正するための温度補償回路が設けられており、圧電発振器を組み立てた後、上述の温度補償データを半導体部品内のメモリに格納するために、単独の電極構造体105の下面や側面等に温度補償データ書込用の外部書込端子を設けておくのが一般的であった。
特開2000―299611号公報 なお、出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。
しかしながら、上述した従来の圧電発振器100においては、その下面に複数個の外部端子電極109が被着されている単独の電極構造体105には、その構造上、単独の電極構造体105の側面に温度補償データ書込用の外部書込端子を配置するのが困難であった。また、そのため、圧電発振器をシート状基板の状態から個片に分割した後に、温度補償データの書込作業が困難となる問題があった。
本発明は、上述の問題点に鑑み創出されたもので、その目的は、シート状基板の状態から個片に分割した圧電発振器において、その個片分割後に温度補償データ等の書込が可能な圧電部品容器を提供することにある。
本発明の圧電部品容器は、シート状の容器基板を分割して小片化して成る容器を用い、該容器の一面に圧電部品を搭載する該容器基板の該圧電部品搭載側と相対する他方の該容器基板面に導通が取れる電極構造体を有した圧電部品容器において、
前記圧電部品を搭載する面と相対する面に、該電極構造体に複数の導通電極が形成されており、該容器基板の少なくとも一辺に連続して該電極構造体が形成され、前記電極構造体に囲まれるようにシート基板上に搭載する半導体部品を実装した構造を有することを特徴とする。
前記圧電部品を搭載する面と相対する面に、該電極構造体に複数の導通電極が形成されており、該容器基板の少なくとも一辺に連続して該電極構造体が形成され、前記電極構造体に囲まれるようにシート基板上に搭載する半導体部品を実装した構造を有することを特徴とする。
また、本発明の圧電部品容器の電極構造体は上記構成において、少なくともひとつが該容器基板の一辺に連続して構成され、少なくともひとつが単独の電極構造体であることを特徴とする。
また、本発明の圧電部品容器の製造方法は、 縦m列×横n行(m,nは2以上の自然数)のマトリクス状に配列された複数個の凹状矩形状の開口部を有するシート状の容器基板に圧電振動子を実装する工程と、前記の各凹状の開口部と相反する面に長辺端面の一辺に連続して電極構造体と、前記連続して電極構造体を形成する面の対長辺角部に単独の電極構造体とがシート状の基板材料で形成する工程と、前記電極構造体端面にシート基板に半導体部品を搭載し実装する工程を含むことを特徴とする。
本発明の圧電部品容器によれば、シート状の容器基板を分割して小片化して成る容器を用い、該容器の一面に圧電部品を搭載する該容器基板の該圧電部品搭載側と相対する他方の該容器基板面に導通が取れる電極構造体を有した圧電部品容器において、
前記圧電部品を搭載する面と相対する面に、該電極構造体に複数の導通電極が形成されており、該容器基板の少なくとも一辺に連続して該電極構造体が形成され、前記電極構造体に囲まれるようにシート基板上に搭載する半導体部品を実装した構造を有することから、連続して形成された電極構造体の側面に書き込み端子等となる導通電極を配置することが可能となる。
前記圧電部品を搭載する面と相対する面に、該電極構造体に複数の導通電極が形成されており、該容器基板の少なくとも一辺に連続して該電極構造体が形成され、前記電極構造体に囲まれるようにシート基板上に搭載する半導体部品を実装した構造を有することから、連続して形成された電極構造体の側面に書き込み端子等となる導通電極を配置することが可能となる。
また、このような圧電部品容器の場合、電極構造体は、少なくともひとつが容器基板の少なくとも一辺に連続して構成され、少なくともひとつが単独の電極構造体であることから、単独の電極構造体側に半導体部品等の搭載面積を広くとることが可能となる。
また、本発明の圧電部品容器の製造方法によれば、縦m列×横n行(m,nは2以上の自然数)のマトリクス状に配列された複数個の凹状矩形状の開口部を有するシート状の容器基板に圧電振動子を実装する工程と、前記の各凹状の開口部と相反する面に長辺端面の一辺に連続して電極構造体と、前記連続して電極構造体を形成する面の対長辺角部に単独の電極構造体とがシート状の基板材料で形成する工程と、前記電極構造体端面にシート基板に半導体部品を搭載し実装する工程を含むことから、各圧電部品容器を切断(ダイシング)面に対して線対称に配置することが可能となり、それにより、単独の電極構造体は切断(ダイシング)面に対して連結して配置する構造となるため、半導体部品の搭載面のクリアランスを大きくとることができるので、半導体部品の搭載時の生産性の向上も可能となる。
以下に図面を参照しながら本発明の実施の一形態について説明する。なお、各図においての同一の符号は同じ対象を示すものとする。
図1は本発明の圧電部品容器を圧電発振器Aに適用した場合に得られる本発明の実施形態における圧電発振器Aの斜視図であり、図2はその断面図である。図2に図示する圧電発振器Aは大略的に言って、容器1と、電極構造体5(5aは連続して形成された電極構造体、5bは単独の電極構造体である。)、圧電部品12、半導体部品22、樹脂28と配線基板31とで構成されている。図2、図3に図示する圧電発振器Aは、凹状の開口部10に圧電部品12を収容した容器1を容器1の底面に接続端子電極9a、9bが設けられた一対の電極構造体5a,5bを容器1の底面に載置し、かつ固定させるとともに、一対の電極構造体5a,5b間に位置する容器1の下面に配線基板31上に配置された半導体部品22を搭載した構造を有している。
また、配線基板31の下面には、接続端子電極6a、6 bと電気的に接続された外部端子電極9a、9bが形成されている。
図1は本発明の圧電部品容器を圧電発振器Aに適用した場合に得られる本発明の実施形態における圧電発振器Aの斜視図であり、図2はその断面図である。図2に図示する圧電発振器Aは大略的に言って、容器1と、電極構造体5(5aは連続して形成された電極構造体、5bは単独の電極構造体である。)、圧電部品12、半導体部品22、樹脂28と配線基板31とで構成されている。図2、図3に図示する圧電発振器Aは、凹状の開口部10に圧電部品12を収容した容器1を容器1の底面に接続端子電極9a、9bが設けられた一対の電極構造体5a,5bを容器1の底面に載置し、かつ固定させるとともに、一対の電極構造体5a,5b間に位置する容器1の下面に配線基板31上に配置された半導体部品22を搭載した構造を有している。
また、配線基板31の下面には、接続端子電極6a、6 bと電気的に接続された外部端子電極9a、9bが形成されている。
前記容器1は、例えば、ガラス−セラミック、アルミナセラミックス等のセラミック材料から成る基板2、42アロイやコバール,リン青銅等の金属から成るシールリング3、シールリング3と同様の金属から成る蓋体4から成り、前記基板2の上面にシールリング3を取着させ、その上面に蓋体4を載置し固定させることによって容器1が構成され、シールリング3の内側に位置する基板2の上面に半田等の導電性接合剤13を介して圧電部品12が実装される。前記容器1はその内部に、具体的には、基板2の上面とシールリング3の内面と蓋体4の下面とで囲まれる凹状の開口部10内に圧電部品12を収容して気密封止するためのものである。
一方、前記容器1の凹状の開口部10に収容される圧電部品12は、所定の結晶軸でカットした水晶片の両主面に一対の振動電極を被着・形成してなり、外部からの変動電圧が一対の振動電極を介して水晶片に印加されると、所定の周波数で厚みすべり振動を起こす。
また一方で上述した基板2の下面には図3に図示するように、一対の電極構造体5a,5b上には複数個の接続端子電極6a、6bが被着・形成されており、これら、一対の電極構造体5a,5b間に位置する配線基板31の上面には、矩形状に形成されたフリップチップ型の半導体部品22が搭載されており、半導体部品22は半田等の導電性接合剤23を介して配線基板31に接続されており、また、樹脂28でその表面が保護されている。ここで用いる樹脂28には硬化した際に収縮率の比較的大きいエポキシ樹脂等が主に用いられる。
前記半導体部品22はその回路形成面に、周囲の温度状態を検知する感温素子、圧電部品12の温度特性を補償する温度補償データを有し、温度補償データに基づいて前記圧電部品12の振動特性を温度変化に応じて補正する温度補償回路、温度補償回路に接続されて所定の発振出力を生成する発振回路等が設けられており、発振回路で生成された発振出力は、外部に出力された後、例えばクロック信号等の基準信号として利用されることとなる。ここで圧電部品12と半導体部品22は図2に図示する基板2の内層に設けられた上部内層配線15と下部内層配線25により接続されている。また、図2に図示するように、圧電部品12の温度特性を補償する温度補償データ書込用の導通電極27が連続して形成された電極構造体5aの側面に配置されている。
また、図4は本発明の実施形態である圧電発振器Aのシート基板60の上面図であり、図4においてはシート基板60に半導体部品22を搭載した状態のものを示している。また、図4において、6aは連続して形成された電極構造体5aに形成された接続端子電極であり、6bは単独の電極構造体5bに形成された接続端子電極である。また、図4において、40は捨て代領域、45は外部書込端子であり、外部書込端子45は捨て代領域40内に形成されており、圧電発振器Aを個片に切断した際に廃棄される。
次に上述した圧電発振器Aの製造方法について、本発明の実施形態である図2〜図5を用いて説明する。 まず、図5に図示するように、縦m列×横n行(m、nは2以上の自然数)のマトリクス状に配列された複数個の凹状の開口部10を有するシート状の容器基板50を準備する。図5において40は図4のシート基板60と同様に捨て代領域40である。また、容器基板50には、図2に図示するように各凹状の開口部10に圧電部品12と圧電部品12を囲繞するシールリング3が形成されており、各凹状の開口部10には、その上面側に一対の接続パッドと接合用の導体層が被着・形成されている。また、各凹状の開口部10と相反する面の長辺端面の一辺には連続して形成された電極構造体5aが形成され、連続して形成された電極構造体5aを形成する面の対長辺角部には単独の電極構造体5bが複数個形成されている。連続して形成された電極構造体5a及び単独の電極構造体5bの4隅部には入出力端子やグランド端子等への接続端子電極6a、6bが被着して形成されている。
このような容器基板50は、例えば、アルミナセラミックス等から成るセラミック材料粉末に適当な有機溶剤等を添加し更に混合して得たセラミックグリーンシートの表面等に、接続パッドや接続端子電極6a、6b等となる導体ペーストを所定のパターンに印刷して塗布するとともに、これを複数枚積層してプレス成形した後、高温で焼成することによって製作される。
なお、容器基板50には、マトリクス状に配列された個々の圧電発振器の間に図5に図示するように所定の捨て代領域40が設けられている。そして、凹状の開口部10を有する容器基板50に形成される42アロイ等から成るシールリング3を、容器基板50の各接合領域にAu−Ni等の接合材を介して載置させた上、接合材を高温で加熱して溶融させることによってシールリング3の下面を容器基板50上面の導体層に接合させ、しかる後に各シールリング3の内側に圧電部品12を1個ずつ搭載する。圧電部品12はその振動電極と容器基板50上面の対応する搭載パッドとを半田等の導電性接合剤13を介して電気的・機械的に接続することによって容器基板50上に搭載される。
次に容器基板50の凹状の開口部10と1対1に対応する複数個のカバー(蓋)領域を有する金属製の蓋体4を、圧電部品12が封止されるようにシールリング3上に載置・接合する。前記蓋体4としては、例えば、42アロイやコバール,リン青銅等の金属から成る厚みが60μm〜100μmの金属板が用いられ、このような蓋体4にも、先に述べた容器基板50と同様に、各カバー領域間に所定の捨て代領域が設けられている。
この工程では、蓋体4を各カバー(蓋)領域の内側に対応する凹状の開口部10領域に圧電部品12が配されるようにして容器基板50上面のシールリング3上に載置させ、しかる後に両者を従来から周知の金すず等で接合することによって蓋体4がシールリング3の上面に取着し固定される。なお、ここでは容器基板50の上面にシールリング3を載置しているがシールリング3に替えて金属メッキ層を形成しても構わない。それにより、低背化、低コスト化が可能となる。また、上述した一連の接合工程は、窒素ガスやアルゴンガス等の不活性ガス雰囲気中で行うのが好ましく、これによって圧電部品12が収納される空間には不活性ガスが充満されるため、圧電部品12が酸素や大気中の水分等によって腐食して劣化するおそれを有効に防止することができる。
次にシート基板60の上面の電極構造体(5a、5b)領域で囲まれる領域に半導体部品22を1個ずつ搭載する。半導体部品22は、その接続電極(図示せず)とシート基板60上面の対応する搭載パッドとを半田等の導電性接合剤23を介して電気的・機械的に接続することによってシート基板60に搭載される。また、半導体部品22はその表面を保護するために、樹脂28が半導体部品22の電極パターン形成面とシート基板60間を覆うように塗布されている。
そして、上述の工程で製作された容器基板50と上面に半導体部品22と樹脂28が形成されたシート基板60とを、半田等の導電性接合剤により接合する。ここで半導体部品22は、その回路形成面に周囲の温度状態を検知する感温素子や圧電部品12の温度特性を補償する温度補償データを有し、温度補償データに基づいて圧電部品12の振動特性を温度変化に応じて補正する温度補償回路を有する半導体部品22へ、圧電発振器Aの仕様を所望の数値となるように、外部書込端子45よりビットデータを入力し温度補償データの書き込みを行う。また、本発明の実施形態においては、外部書込端子45は捨て代領域40にあることから、半導体部品22へのデータ書き込み終了後は外部書込端子45を廃棄することが出来るので、圧電発振器Aの更なる小型化が可能となる。
最後に、シート状の容器基板50とシート基板60とが接合された状態で、各基板領域の外周に沿って一括的に分割・切断(ダイシング)し、これによって複数個の圧電発振器Aが同時に製作される。 また、シート状の容器基板50の切断(ダイシング)は、例えば、ダイサー等を用いて、これらの部材を一括的に切断(ダイシング)することによって行われ、これによって複数個の圧電発振器Aが同時に得られる。
以上のような工程で製造される圧電発振器Aに用いられる圧電部品容器1においては、図4、図5に図示するように、各圧電部品容器1を切断(ダイシング)面に対して線対称に配置することで、線対称に配置された圧電部品容器1同士を同時に樹脂28を塗布することができるので生産効率の改善が可能となる。また、圧電発振器Aを切断(ダイシング)面に対して線対称に配置することで、単独の電極構造体5bは切断(ダイシング)面に対して連結して配置される構造となるため、半導体部品22の搭載面のクリアランスを大きくとることができるので、半導体部品22の搭載時の生産性の向上も可能となる。
また、以上より本発明の圧電部品容器1によれば、シート状の容器基板50を分割して小片化して成る圧電部品容器1を用い、圧電部品容器1の一面に圧電部品12を搭載する容器基板50の圧電部品12搭載側と相対する他方の容器基板50面に導通が取れる電極構造体(5a、5b)を有した圧電部品容器1において、電極構造体5に複数もの導通電極27が形成されており、容器基板50の少なくとも一辺に連続して形成された電極構造体5aが形成されていることから、連続して形成された電極構造体5aの側面に書き込み端子等となる導通電極27を配置することが可能となる。
また、このような圧電基板容器1の場合、電極構造体(5a、5b)は、少なくともひとつが容器基板50の少なくとも一辺に連続して構成された電極構造体5aであり、少なくともひとつが単独の電極構造体5bであることから、単独の電極構造体5b側に半導体部品22等の搭載面積を広くとることが可能となる。
また、本実施形態においては、電極構造体(5a、5b)を圧電発振器Aの長辺側に形成しているが、電極構造体(5a、5b)を圧電発振器Aの短辺側に形成しても構わない。この場合においても本発明の技術的範囲に含まれることはいうまでもない。
また、本実施形態においては、電極構造体(5a、5b)を圧電発振器Aの長辺側に形成しているが、電極構造体(5a、5b)を圧電発振器Aの短辺側に形成しても構わない。この場合においても本発明の技術的範囲に含まれることはいうまでもない。
A・・・圧電発振器(水晶発振器)
1・・・容器(圧電部品容器)
2・・・基板
3・・・シールリング
4・・・蓋体
5a・・・連続して形成された電極構造体
5b・・・単独の電極構造体
6a、6b・・・接続端子電極
9a、9b・・・外部端子電極
10・・・凹状の開口部
12・・・圧電部品(水晶振動子)
13・・・導電性接合剤
15・・・上部内層配線
22・・・半導体部品
23・・・導電性接合剤
25・・・下部内層配線
27・・・導通電極
28・・・樹脂
31・・・配線基板
40・・・捨て代領域
45・・・外部書込端子
50・・・容器基板
60・・・シート基板
100・・・圧電発振器
101・・・容器
105・・・電極構造体
109・・・外部端子電極
1・・・容器(圧電部品容器)
2・・・基板
3・・・シールリング
4・・・蓋体
5a・・・連続して形成された電極構造体
5b・・・単独の電極構造体
6a、6b・・・接続端子電極
9a、9b・・・外部端子電極
10・・・凹状の開口部
12・・・圧電部品(水晶振動子)
13・・・導電性接合剤
15・・・上部内層配線
22・・・半導体部品
23・・・導電性接合剤
25・・・下部内層配線
27・・・導通電極
28・・・樹脂
31・・・配線基板
40・・・捨て代領域
45・・・外部書込端子
50・・・容器基板
60・・・シート基板
100・・・圧電発振器
101・・・容器
105・・・電極構造体
109・・・外部端子電極
Claims (3)
- シート状の容器基板を分割して小片化して成る容器を用い、該容器の一面に圧電部品を搭載する該容器基板の該圧電部品搭載側と相対する他方の該容器基板面に導通が取れる電極構造体を有した圧電部品容器において、
前記圧電部品を搭載する面と相対する面に、該電極構造体に複数の導通電極が形成されており、該容器基板の少なくとも一辺に連続して該電極構造体が形成され、前記電極構造体に囲まれるようにシート基板上に搭載する半導体部品を実装した構造を有することを特徴とする圧電部品容器。 - 請求項1に記載の電極構造体は、少なくともひとつが該容器基板の一辺に連続して構成され、少なくともひとつが単独の電極構造体であることを特徴とする圧電部品容器。
- 縦m列×横n行(m,nは2以上の自然数)のマトリクス状に配列された複数個の凹状矩形状の開口部を有するシート状の容器基板に圧電振動子を実装する工程と、前記の各凹状の開口部と相反する面に長辺端面の一辺に連続して電極構造体と、前記連続して電極構造体を形成する面の対長辺角部に単独の電極構造体とがシート状の基板材料で形成する工程と、前記電極構造体端面にシート基板に半導体部品を搭載し実装する工程を含む圧電発振器の製造方法。
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JP2012142688A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Kyocera Crystal Device Corp | 圧電デバイスおよびその製造方法 |
JP2013058944A (ja) * | 2011-09-09 | 2013-03-28 | Kyocera Crystal Device Corp | 圧電デバイスの製造方法 |
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