JP6004168B2 - 圧電振動片の製造方法 - Google Patents
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Description
2 矩形領域
3,4 凹部
5 薄肉部
6 厚肉部
7a,7b 励振電極
8,9 ブレーク用溝
10 ウエハ部分(ブレークポイント)
11 接着テープ
12 ウエハブレーク装置
Claims (10)
- 圧電性単結晶材からなるウエハ上に複数の矩形領域(薄肉部の周囲に厚肉部を有した逆メサ型の圧電振動片に個片化される領域)を形成し、前記矩形領域を個片化することで当該ウエハから複数の圧電振動片を製造する方法であって、
前記各矩形領域における一方の平行する辺に沿って当該ウエハにブレーク用溝を形成し、
次いで前記各矩形領域における他方の平行する辺に沿ってダイシングブレードにより当該ウエハを貫通切断し、
次いで前記各矩形領域を、前記ブレーク用溝を利用してブレークして、前記各矩形領域を複数の圧電振動片に個片化するものであり、
前記各矩形領域を、前記他方の平行する辺を長辺に、また、前記一方の平行する辺を短辺とする矩形領域となし、
前記各矩形領域の短辺方向に沿って当該ウエハにブレーク用溝を形成し、
次いで前記各矩形領域の長辺方向に沿ってダイシングブレードにより当該ウエハを貫通切断し、
次いで前記各矩形領域を、前記ブレーク用溝を利用してブレークして、前記各矩形領域を複数の圧電振動片に個片化する、
ことを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 圧電性単結晶材からなるウエハ上に複数の矩形領域(薄肉部の周囲に厚肉部を有した逆メサ型の圧電振動片に個片化される領域)を形成し、前記矩形領域を個片化することで当該ウエハから複数の圧電振動片を製造する方法であって、
前記各矩形領域における一方の平行する辺に沿って当該ウエハにブレーク用溝を形成し、
次いで前記各矩形領域における他方の平行する辺に沿ってダイシングブレードにより当該ウエハを貫通切断し、
次いで前記各矩形領域を、前記ブレーク用溝を利用してブレークして、前記各矩形領域を複数の圧電振動片に個片化するものであり、
前記各矩形領域を、前記他方の平行する辺を短辺に、また、前記一方の平行する辺を長辺とする矩形領域となし、
前記各矩形領域の長辺方向に沿って当該ウエハにブレーク用溝を形成し、
次いで前記各矩形領域の短辺方向に沿ってダイシングブレードにより当該ウエハを貫通切断し、
次いで前記各矩形領域を、前記ブレーク用溝を利用してブレークして、前記各矩形領域を複数の圧電振動片に個片化する、
ことを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 前記短辺方向または前記長辺方向のいずれか一方の方向に沿って形成される前記ブレーク用溝は、
前記いずれか一方の方向に連続する直線的なスリットからなる溝、または前記いずれか一方の方向の直線上において不連続な複数のスリットからなる溝、または前記いずれか一方の方向の直線上においてミシン目状の複数の小穴からなる溝である、
請求項1または2に記載の製造方法。 - 前記ブレーク用溝を、ウエハの片面側だけに形成する
請求項1ないし3のいずれかに記載の製造方法。 - 前記ブレーク用溝を、ウエハの両面に形成する
請求項1ないし3のいずれかに記載の製造方法。 - 前記矩形領域にエッチング技術でその片面または両面に凹部を形成して前記薄肉部を形成する、
請求項4または5に記載の製造方法。 - 前記ウエハをATカット水晶で形成すると共に、前記矩形領域の両面にエッチングで凹部を形成して前記薄肉部および前記厚肉部を形成する際に、同時に前記エッチングで当該ウエハの両面それぞれに、前記ブレーク用溝を、前記ATカット水晶の結晶軸であるY軸方向で略対向した状態に形成する、
請求項1ないし6のいずれかに記載の製造方法。 - 前記ウエハをATカット水晶で形成すると共に、前記矩形領域の前記一方の平行する辺を前記ATカット水晶の結晶軸のX軸またはZ軸のいずれか一方の軸方向、前記他方の平行する辺を結晶軸のX軸またはZ軸のいずれか他方の軸方向となるよう当該矩形領域を作製する、
請求項7に記載の製造方法。 - 前記各矩形領域を、前記他方の平行する辺を長辺、前記一方の平行する辺を短辺とする矩形領域に作製し、前記各矩形領域の長辺方向を前記結晶軸のX軸方向、前記短辺方向を前記結晶軸のZ軸方向とする請求項8に記載の製造方法。
- 前記両ブレーク用溝の底部の頂点が前記Y軸方向で略一致した状態で対向して、両頂点間のウエハ部分がブレークポイントとなるように前記エッチングを行い、
前記各矩形領域を短辺方向に沿って前記ブレーク用溝を利用してブレークするに際しては、前記ブレークポイントにおいてブレークして、前記各矩形領域から、個片化された圧電振動片を得る、
請求項7ないし9のいずれかに記載の製造方法。
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JP2012150573A JP6004168B2 (ja) | 2012-07-04 | 2012-07-04 | 圧電振動片の製造方法 |
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