JPS5847882B2 - 圧電振動子の気密封止容器 - Google Patents

圧電振動子の気密封止容器

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JPS5847882B2
JPS5847882B2 JP51012001A JP1200176A JPS5847882B2 JP S5847882 B2 JPS5847882 B2 JP S5847882B2 JP 51012001 A JP51012001 A JP 51012001A JP 1200176 A JP1200176 A JP 1200176A JP S5847882 B2 JPS5847882 B2 JP S5847882B2
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JP
Japan
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container
glass
hermetically sealed
vibrator
sealed container
Prior art date
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Expired
Application number
JP51012001A
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English (en)
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JPS5295191A (en
Inventor
靖紀 海老原
三郎 原田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
KOTO DENKI KK
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
KOTO DENKI KK
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/10Mounting in enclosures
    • H03H9/1007Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
    • H03H9/1014Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
    • H03H9/1021Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being of the cantilever type

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、腕時計等の携帯用小型計時装置の時間標準に
用いる巴電振動子を固定、気密封正するための気密封止
容器に関する。
巴電振動子は周波数安定度が高いことから携帯用計時装
置特に電子式腕時計の源振部に多用され、腕時計の精度
向上に大きく寄与している。
腕時計用圧電振動子としては、現在音叉型水晶振動子が
原料の入手容易性と、周波数安定度から多用されている
音叉型水晶振動子は、その特性を充分発揮させるため真
空または不活性ガスを減巴した状態に保つ必要があり気
密容器に通常収納されている。
先にも述べたように、音叉型の振動子が安定な発振をす
る素子であることはいうまでもないが、このものを固定
した後、微妙な周波数のズレが起ることが知られていた
この場合、気密容器に収納した製品の状態で、このよう
な事実が明らかになることと、周波数のズレが大小どち
らに移行するか予測不可能なために、予め予防の手立て
ができにくいため特性の規格値ハズレが多く出る。
従って、大巾に歩留りの低下をまねいていた。
このような欠点を取除く最も簡単な方法としては、気密
封止後発振子の発振周波数の微調を気密容器にそなえた
光透過用透明ガラス窓を通して光学エネルギーにより行
なうことが知られている。
この種製造方式をとり入れるための気密容器としては、
セラミック製、ガラス製共存在していたが、各々以下に
述べるような欠点がある。
つまり、セラミック製容器については、ステムが高価で
あることと、透明ガラス製蓋とステムとを気密シールす
るために透明ガラス窓側のステム接合部にメクライジン
グを行う必要があり、その工数と材料費がコストアップ
の要因となっていた。
すなわち、ガラスのシール用枠体の接合部に金属膜、例
えばク.ロムとアルミの二重スパツター膜を前もって付
けておき、ガラス金属膜部とシール用枠体との間に、1
0Au− 9 0 Sn等の低融点合金をサンドイツ
チ状にはさみ、250℃以下での溶融シールを行なうも
のである。
また、従来のガラス気密容器の欠点を第1図で詳しく説
明すると、この図において、2は有底ガラス体であり、
3a,3bは電気リード端子で、その先端部がガラス体
2の側部から内部に突出るようにガラス体2に固定され
ている。
この電気リード端子3a,3bはガラス体2とほゾ同一
の熱膨張率を持つ材料を用いており、かつガラス体2を
貫通するように固定され・ているから、熱または機械的
外力を受けても気密性は十分保てるようになっている。
また、符号1は金属性シール用枠体であり裏面において
ガラス体と密着している。
この材料も電気リード端子3a,3bと同じくその選択
に当っては熱膨張特性を配慮する必要がある。
これらの部品を例えばカーボン治具等を使用してセット
し、ガラスの軟化点以上の温度に保った中性雰囲気炉中
を通過させ、徐冷することにより気密容器を製造するこ
とができる。
しかし、この構造の場合、金属製シール枠体1とガラス
体2の密着力が一面で密着しているだけであるため弱く
、剥離したり、または気密性が不足する欠点があった。
また、従来のガラス体2はガラス粉末をプレス加工する
ことにより製作していたため、このものを焼或したステ
ムにおいては、気泡などの介在のため光学的に不透明で
あり、前述の光学エネルギーを使用する加工はできない
また、最終封止面に透明ガラス板を用いる場合において
、もし、直接シールするためには400℃以上の加熱を
必要とし、ステムに設定した振動子の特性が劣下するた
ゆに実用不可能であり、セラミック容器の場合と同じく
、ガラス窓側にメタライジングを施す方法についてはコ
ストアップの要因が多く実用的でなかった。
本発明は、上記の従来の匝電振動子ガラス気密容器の欠
点を解決するため種々検討した結果得られたものである
容器の底部および側部を透明ガラスで構或するとともに
、前記容器の側部上面全周に段部を形或し、この段部の
上面および側面に密着するよう金属性シール用枠体を構
戊したことが本発明の大きな特徴である。
次に実施例につき説明する。第2図は水晶振動子を取付
けた状態を示した例である。
電気リード端子31a,3lbの容器内側に突出した端
部(これは少なくとも上面は金属が露出し、かつガラス
底部41面より上にする必要がある。
)に二端子型音叉水晶振動子5の基部を有機または無機
接着剤で固定し、必要によりリードワイヤーで電気的に
独立して各々リード端子に接続してある。
尚、リード端子間のガラス体部に振動子5の基部を直接
固定し、リードワイヤで振動子基部の電極とリード端子
を接続することもできる。
シール用枠体11は第3図のように相連なる二面でガラ
ス体21を密着している。
これにより第1図に示した従来のように一面密着と異な
り機械的外力を受けても剥離しに<<、かつ、側方から
外力を受けてもずれることがないため充分な気密性を得
ることができ、その結果、振動子の高いQ値を維持する
ことが可能となる。
容器底部41はシートガラスを使用し、このシートガラ
スを通炉作業時に封着したものである。
第4図は、他の実施例で、振動子の他に発振、分周等の
回路を構戊しているICを内包し、ICと振動子のパツ
ケーシジを1つにしたものである。
尚、インナー側の電気リード端子の形状は、本実施例に
限定するものでなく必要に応じて任意に形或することが
できることは云うまでもない。
以上のように本発明によれば、容器の底部および側部が
透明ガラスで構成されているため、振動子の気密封止後
の周波数調整を底部を通し又必要に応じ側部を通しレー
ザ光などで行なうことが可能となる。
また、容器上面に段部を形或し、この段部の上面と下面
にシール用枠体を密着させたから、従来のような一面密
着と較べ、機械的外力を受けても剥離しに<<、またず
れることもなく、充分な気密性を得ることができるよう
になった。
従来、このような箱型容器の気密封止は非常に難しく、
シばしば封虚不良が発生していた。
完全に気密性が保持されていないと、減正されていた容
器内に空気が流入しその粘性抵抗によって振動子のQ値
が低下するとともに、金電極の下地のスズが水分により
酸化されてやはり振動子のQ値を低下させる要因となっ
てしまうのである。
本発明は非常に簡単な構造によって振動子の高いQ値を
維持する信頼性の高い安価な小型気密封止容器を提供す
るものである。
また、微妙な調整をより精密に行なう必要が存在する場
合においては、気密容器を使用した上で蓋にも透明ガラ
ス板を予めメタライジングしておき、低融点合金でシー
ルすることにより、蓋側、底部、側部の両面方向から光
学的に調整作業ができる効果がある。
従って、非常に精密なる周波数調整が簡単にできる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のガラスステムの斜面図、第2図は本発明
のガラスステムの斜面図、第3図は第2図A−A線断面
図、第4図は本発明の他の実施例を示す斜面図である。 1,11,12・・・シール用枠体、2,21.22・
・・ガラス、3a,3b,31a,3lb・=リード端
子、5・・・振動子、41・・・ステム底部。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 容器側部上面に金属性シール用枠体を載置しさらに
    その上に蓋体を載置し封正した圧電振動子の気密封止容
    器において、容器の底部および側部を透明ガラスで構成
    するとともに、前記容器の側部上面全周に段部を形戊し
    、この段部の上面および側面に密着するよう前記金属性
    シール用枠体を構成したことを特徴とする匡電振動子の
    気密封正容器。
JP51012001A 1976-02-06 1976-02-06 圧電振動子の気密封止容器 Expired JPS5847882B2 (ja)

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JP51012001A JPS5847882B2 (ja) 1976-02-06 1976-02-06 圧電振動子の気密封止容器

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JP51012001A JPS5847882B2 (ja) 1976-02-06 1976-02-06 圧電振動子の気密封止容器

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JPS5295191A JPS5295191A (en) 1977-08-10
JPS5847882B2 true JPS5847882B2 (ja) 1983-10-25

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JP51012001A Expired JPS5847882B2 (ja) 1976-02-06 1976-02-06 圧電振動子の気密封止容器

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JPS57166718A (en) * 1981-04-07 1982-10-14 Seiko Instr & Electronics Ltd Oscillator unit
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JPS62146315U (ja) * 1986-03-08 1987-09-16
JPS6344524U (ja) * 1986-09-08 1988-03-25
JPS63174716U (ja) * 1987-04-30 1988-11-14
JPH0256361U (ja) * 1988-10-19 1990-04-24
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JPH0247631Y2 (ja) * 1989-03-02 1990-12-14

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS498212A (ja) * 1972-03-22 1974-01-24

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JPS498212A (ja) * 1972-03-22 1974-01-24

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