JP2011082736A - 圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】パッケージベースとリッドとの線膨張率の違いに起因した熱応力の発生を回避し、周波数−温度特性などの諸特性の劣化を回避する圧電デバイスの製造方法の提供。
【解決手段】水晶振動子1の製造方法は、シリコンを含んでなるパッケージベース20と、シリコンを含んでなりパッケージベース20を覆うリッド30とを備えたパッケージ40の内部空間41に、水晶振動片10を収容し気密に封止する封止工程S1と、パッケージ40内の水晶振動片10の位置を検出する位置検出工程S3と、位置検出工程S3で取得した水晶振動片10の位置情報に基づいて、周波数調整装置70と水晶振動片10とを位置合わせする位置合わせ工程S4と、周波数調整装置70を用いてパッケージ40を透過する波長のYAGレーザー72照射により、水晶振動片10の周波数を調整する周波数調整工程S5と、を有することを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】水晶振動子1の製造方法は、シリコンを含んでなるパッケージベース20と、シリコンを含んでなりパッケージベース20を覆うリッド30とを備えたパッケージ40の内部空間41に、水晶振動片10を収容し気密に封止する封止工程S1と、パッケージ40内の水晶振動片10の位置を検出する位置検出工程S3と、位置検出工程S3で取得した水晶振動片10の位置情報に基づいて、周波数調整装置70と水晶振動片10とを位置合わせする位置合わせ工程S4と、周波数調整装置70を用いてパッケージ40を透過する波長のYAGレーザー72照射により、水晶振動片10の周波数を調整する周波数調整工程S5と、を有することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、水晶振動子などに代表される圧電デバイスの製造方法に関する。
従来、圧電材料である水晶基板から音叉型に形成され、駆動用の金属電極(以下、励振電極という)が設けられた水晶振動片(以下、圧電振動片ともいう)が、セラミックで形成されたベース(以下、パッケージベースという)に導電性の接着剤などで接合され、透明なガラス材のリッドにより真空雰囲気中に封止された状態の水晶振動子において、封止後、リッドを透過するレーザーなどにより水晶振動片の励振電極をトリミングし、水晶振動片の周波数を調整する水晶振動子の製造方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。
上記水晶振動子の製造方法においては、セラミックで形成されたパッケージベースに、透明なガラス材のリッドを接合してパッケージを封止する必要があることから、両者の線膨張率の違いに起因した周囲の温度変化に伴う熱応力が発生する。
これにより、水晶振動子は、上記熱応力が水晶振動片に伝達され、水晶振動片の振動を阻害することから、周波数−温度特性などの諸特性が劣化する虞がある。
また、水晶振動子は、透明なガラス材のリッドを透過して侵入する外光などによって、水晶振動片を始めとする内部の構成要素が悪影響を受け(例えば、紫外線による劣化)、上記周波数−温度特性などの諸特性が劣化する虞がある。
これにより、水晶振動子は、上記熱応力が水晶振動片に伝達され、水晶振動片の振動を阻害することから、周波数−温度特性などの諸特性が劣化する虞がある。
また、水晶振動子は、透明なガラス材のリッドを透過して侵入する外光などによって、水晶振動片を始めとする内部の構成要素が悪影響を受け(例えば、紫外線による劣化)、上記周波数−温度特性などの諸特性が劣化する虞がある。
本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例にかかる圧電デバイスの製造方法は、シリコンを含んでなるパッケージベースと、シリコンを含んでなり前記パッケージベースを覆うリッドとを備えたパッケージの内部空間に、圧電振動片を収容し気密に封止する封止工程と、前記パッケージ内の前記圧電振動片の位置を検出する位置検出工程と、前記位置検出工程で取得した前記圧電振動片の位置情報に基づいて、周波数調整装置と前記圧電振動片とを位置合わせする位置合わせ工程と、前記周波数調整装置を用いて前記パッケージを透過する波長のレーザー照射により、前記圧電振動片の周波数を調整する周波数調整工程と、を有することを特徴とする。
これによれば、圧電デバイスの製造方法は、シリコンを含んでなるパッケージベースと、シリコンを含んでなるリッドとを備えたパッケージの内部空間に、圧電振動片を収容し気密に封止する封止工程、周波数調整装置を用いてパッケージを透過する波長のレーザー照射により、圧電振動片の周波数を調整する周波数調整工程などを有する。
これにより、圧電デバイスの製造方法は、パッケージを透過する波長のレーザー照射によって、圧電振動片の周波数を調整する方法を採用することで、シリコンを含んでなるパッケージベースにシリコンを含んでなるリッドを接合してパッケージを封止できる。
これにより、圧電デバイスの製造方法は、パッケージを透過する波長のレーザー照射によって、圧電振動片の周波数を調整する方法を採用することで、シリコンを含んでなるパッケージベースにシリコンを含んでなるリッドを接合してパッケージを封止できる。
このことから、圧電デバイスの製造方法は、パッケージベースとリッドとを同じ材料で形成することが可能となり、従来のような、周囲の温度変化に伴って両者の線膨張率の違いに起因した熱応力の発生を回避することができる。
この結果、圧電デバイスの製造方法は、従来のような、両者の線膨張率の違いに起因した熱応力が圧電振動片に伝達され、周波数−温度特性などの諸特性が劣化する虞を回避することができる。
この結果、圧電デバイスの製造方法は、従来のような、両者の線膨張率の違いに起因した熱応力が圧電振動片に伝達され、周波数−温度特性などの諸特性が劣化する虞を回避することができる。
また、圧電デバイスの製造方法は、シリコンを含んでなるパッケージベースにシリコンを含んでなるリッドを接合してパッケージを封止することから、パッケージの内部へ外光の侵入する余地が殆どない。
このことから、圧電デバイスの製造方法は、従来のような、透明なガラス材のリッドを透過して侵入する外光によって、水晶振動片を始めとする内部の構成要素が悪影響を受け(例えば、紫外線による劣化)、上記周波数−温度特性などの諸特性が劣化する虞を回避することができる。
このことから、圧電デバイスの製造方法は、従来のような、透明なガラス材のリッドを透過して侵入する外光によって、水晶振動片を始めとする内部の構成要素が悪影響を受け(例えば、紫外線による劣化)、上記周波数−温度特性などの諸特性が劣化する虞を回避することができる。
[適用例2]上記適用例にかかる圧電デバイスの製造方法において、前記レーザーが近赤外レーザーであることが好ましい。
これによれば、圧電デバイスの製造方法は、レーザーが近赤外レーザーであることから、シリコンを含んでなるパッケージベースまたはシリコンを含んでなるリッドを透過して、効率的に圧電振動片の周波数を調整することができる。
[適用例3]上記適用例にかかる圧電デバイスの製造方法において、前記位置検出工程では、前記パッケージを透過する赤外光の照射により前記圧電振動片の位置を検出することが好ましい。
これによれば、圧電デバイスの製造方法は、位置検出工程でパッケージを透過する赤外光の照射により圧電振動片の位置を検出する。
このことから、圧電デバイスの製造方法は、例えば、パッケージの上方から赤外光を照射し、パッケージの下方で受光素子により赤外光を受光する構成とすることで、赤外光の透過領域(パッケージ部分)及び不透過領域(圧電振動片の励振電極部分)の識別によって、圧電振動片の位置を容易に検出することができる。
このことから、圧電デバイスの製造方法は、例えば、パッケージの上方から赤外光を照射し、パッケージの下方で受光素子により赤外光を受光する構成とすることで、赤外光の透過領域(パッケージ部分)及び不透過領域(圧電振動片の励振電極部分)の識別によって、圧電振動片の位置を容易に検出することができる。
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。
(実施形態)
ここでは、圧電デバイスの一例として水晶振動子を例に挙げて説明する。
図1は、本実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式図である。図1(a)はリッド側から俯瞰した平面図、図1(b)は、図1(a)のA−A線での断面図である。なお、平面図では、理解を容易にするためにリッドを省略してある。
ここでは、圧電デバイスの一例として水晶振動子を例に挙げて説明する。
図1は、本実施形態の水晶振動子の概略構成を示す模式図である。図1(a)はリッド側から俯瞰した平面図、図1(b)は、図1(a)のA−A線での断面図である。なお、平面図では、理解を容易にするためにリッドを省略してある。
図1に示すように、水晶振動子1は、圧電振動片としての水晶振動片10と、シリコン(例えば、単結晶シリコン)を含んでなるパッケージベース20と、シリコン(例えば、単結晶シリコン)を含んでなりパッケージベース20を覆うリッド30とを備えている。 水晶振動子1は、パッケージベース20とリッド30とを備えたパッケージ40の内部空間41に、水晶振動片10が収容され、内部空間41が真空状態で気密に封止されている。
水晶振動片10は、平面形状が略矩形の基部11と、基部11の一端部から互いに略平行に延在した角柱状の一対の振動腕部12とを備えた音叉型水晶振動片である。
水晶振動片10には、励振電極13(一部を図示)が振動腕部12の形状に沿って形成されている。なお、励振電極13は、Cr(クロム)などの下地層にAu(金)、Ag(銀)などの金属が積層された金属被膜からなる。
パッケージベース20は、平面形状が略矩形で、エッチングなどにより一面に開口部21を有する箱状に形成されている。
なお、パッケージベース20は、上記のようなシリコンの厚板をエッチングして凹部を形成する一体構造ではなく、薄い平板状の層に枠状の層を積層して接合した構成としてもよい。
水晶振動片10には、励振電極13(一部を図示)が振動腕部12の形状に沿って形成されている。なお、励振電極13は、Cr(クロム)などの下地層にAu(金)、Ag(銀)などの金属が積層された金属被膜からなる。
パッケージベース20は、平面形状が略矩形で、エッチングなどにより一面に開口部21を有する箱状に形成されている。
なお、パッケージベース20は、上記のようなシリコンの厚板をエッチングして凹部を形成する一体構造ではなく、薄い平板状の層に枠状の層を積層して接合した構成としてもよい。
パッケージベース20の内底面22には、内部電極23,24が形成され、Agなどの金属フィラーを含有したペースト状のエポキシ系、シリコン系、ポリイミド系などの導電性接着剤50を介して、水晶振動片10が搭載されている。なお、水晶振動片10の搭載には、導電性接着剤50に代えて、はんだ、バンプなどの接合材を用いてもよい。
水晶振動片10は、励振電極13から引き出されて基部11に形成された図示しない引き出し電極部分が、内部電極23,24と重なるように搭載されている。
これにより、水晶振動子1は、水晶振動片10の励振電極13と、内部電極23,24とが導通される。
水晶振動片10は、励振電極13から引き出されて基部11に形成された図示しない引き出し電極部分が、内部電極23,24と重なるように搭載されている。
これにより、水晶振動子1は、水晶振動片10の励振電極13と、内部電極23,24とが導通される。
内部電極23,24は、パッケージベース20を貫通して内底面22と外底面25と繋ぐように形成された図示しない貫通電極などの内部配線を介して、パッケージベース20の外底面25に形成された一対の実装端子26と電気的に接続されている。
これにより、一対の実装端子26は、内部電極23,24を介して水晶振動片10と電気的に接続される。
なお、内部電極23,24及び実装端子26は、例えば、W(タングステン)などのメタライズ層にNi(ニッケル)、Auなどの金属を積層した金属被膜からなる。
また、内部電極23,24、実装端子26、貫通電極などの内部配線は、パッケージベース20と絶縁されている。これは、シリコンを含んでなるパッケージベース20へ、駆動信号などがリークする虞を回避するためである。
これにより、一対の実装端子26は、内部電極23,24を介して水晶振動片10と電気的に接続される。
なお、内部電極23,24及び実装端子26は、例えば、W(タングステン)などのメタライズ層にNi(ニッケル)、Auなどの金属を積層した金属被膜からなる。
また、内部電極23,24、実装端子26、貫通電極などの内部配線は、パッケージベース20と絶縁されている。これは、シリコンを含んでなるパッケージベース20へ、駆動信号などがリークする虞を回避するためである。
パッケージ40は、パッケージベース20の開口部21が、略矩形の平面形状をした平板状のリッド30により覆われることで、内部空間41が形成される。
パッケージベース20とリッド30とは、内部空間41が気密になるように低融点ガラスなどを用いて接合されている。
パッケージベース20とリッド30とは、内部空間41が気密になるように低融点ガラスなどを用いて接合されている。
水晶振動子1は、真空雰囲気中でパッケージベース20とリッド30とが接合され、気密に封止されることにより、パッケージ40の内部空間41が真空状態に保持され、外部の機器に実装される実装端子26を介して印加される駆動信号によって、水晶振動片10が励振されて所定の周波数で共振する。
ここで、水晶振動子1の製造方法について主要な部分を中心に説明する。
図2は、水晶振動子の製造方法の工程を示すフローチャートであり、図3は、主要工程を説明する模式図である。
図2は、水晶振動子の製造方法の工程を示すフローチャートであり、図3は、主要工程を説明する模式図である。
図2に示すように、水晶振動子1の製造方法は、封止工程S1と、周波数測定工程S2と、位置検出工程S3と、位置合わせ工程S4と、周波数調整工程S5と、周波数検査工程S6とを有している。
以下、順を追って各工程について説明する。
以下、順を追って各工程について説明する。
[封止工程S1]
まず、シリコンを含んでなるパッケージベース20と、シリコンを含んでなりパッケージベース20を覆うリッド30とを備えたパッケージ40の内部空間41に、水晶振動片10を収容し気密に封止する(図1参照)。
まず、シリコンを含んでなるパッケージベース20と、シリコンを含んでなりパッケージベース20を覆うリッド30とを備えたパッケージ40の内部空間41に、水晶振動片10を収容し気密に封止する(図1参照)。
詳述すると、真空チャンバー内などの真空雰囲気中で、パッケージベース20の内底面22に形成された内部電極23,24に、水晶振動片10の基部11に形成された引き出し電極部分を位置合わせし、導電性接着剤50を介して水晶振動片10を搭載(接合)する。
ついで、パッケージベース20の開口部21を覆うようにして、パッケージベース20にリッド30を接合し、パッケージ40の内部空間41を気密に封止する。
ついで、パッケージベース20の開口部21を覆うようにして、パッケージベース20にリッド30を接合し、パッケージ40の内部空間41を気密に封止する。
ここで、パッケージベース20とリッド30との接合には、上述した低融点ガラスによる接合方法以外に、(1)互いの接合面をプラズマ照射などにより親水化処理して表面を活性化させ、接合面同士を貼り合わせることで水素結合させるなどの直接接合方法、(2)アルコキシド、オルガノシロキシ基などを含む接合部材を用い、紫外線やプラズマ照射により接合する接合方法、(3)Au、Au/Sn(錫)合金などの金属被膜を接合部材に用いた共晶接合方法などを用いてもよい。
なお、封止工程S1においては、パッケージベース20及びリッド30が、複数個取りされたウエハー状に形成され、ウエハー状のパッケージベース20にウエハー状のリッド30を接合し、複数の水晶振動子1を一括して気密に封止する形態であってもよい。
[周波数測定工程S2]
ついで、水晶振動子1の実装端子26を介して水晶振動片10に所定の駆動信号を印加し、周波数カウンターなどの周波数測定装置を用いて、水晶振動片10の周波数を測定し、所望の周波数とのずれ量を把握する。
ついで、水晶振動子1の実装端子26を介して水晶振動片10に所定の駆動信号を印加し、周波数カウンターなどの周波数測定装置を用いて、水晶振動片10の周波数を測定し、所望の周波数とのずれ量を把握する。
[位置検出工程S3]
ついで、パッケージ40内の水晶振動片10の位置を検出する。
具体的には、図3(a)に示すように、パッケージ40の上方から赤外光照射装置60により、パッケージ40を透過する赤外光61の平行光を照射し、パッケージ40の下方でCCD(Charge Coupled Device:電荷結合素子)などの受光素子62により赤外光61を受光する。
このとき、赤外光61は、パッケージ40を透過するが、水晶振動片10に形成された金属被膜である励振電極13を透過しない。
このことから、受光素子62による赤外光61の透過領域(受光領域=パッケージ40部分)及び不透過領域(不受光領域=水晶振動片10の励振電極13部分)の識別により水晶振動片10(励振電極13)の位置を検出することができる。
なお、便宜上図示しないが、水晶振動子1は、赤外光61の透過が可能な作業テーブルなどに載置されている。
ついで、パッケージ40内の水晶振動片10の位置を検出する。
具体的には、図3(a)に示すように、パッケージ40の上方から赤外光照射装置60により、パッケージ40を透過する赤外光61の平行光を照射し、パッケージ40の下方でCCD(Charge Coupled Device:電荷結合素子)などの受光素子62により赤外光61を受光する。
このとき、赤外光61は、パッケージ40を透過するが、水晶振動片10に形成された金属被膜である励振電極13を透過しない。
このことから、受光素子62による赤外光61の透過領域(受光領域=パッケージ40部分)及び不透過領域(不受光領域=水晶振動片10の励振電極13部分)の識別により水晶振動片10(励振電極13)の位置を検出することができる。
なお、便宜上図示しないが、水晶振動子1は、赤外光61の透過が可能な作業テーブルなどに載置されている。
[位置合わせ工程S4]
ついで、図3(b)に示すように、位置検出工程S3で取得した水晶振動片10の位置情報に基づいて、周波数調整装置70と水晶振動片10(励振電極13)とを位置合わせする。位置合わせは、周波数調整装置70または水晶振動子1のいずれかを移動して行う。
例えば、作業テーブルにXYテーブルを用いて、水晶振動片10の位置情報に基づいてXYテーブルを操作し、周波数調整装置70のレーザー照射部71と、水晶振動片10の励振電極13のトリミング部分(振動腕部12の先端に近い部分)との位置合わせを行う。
ついで、図3(b)に示すように、位置検出工程S3で取得した水晶振動片10の位置情報に基づいて、周波数調整装置70と水晶振動片10(励振電極13)とを位置合わせする。位置合わせは、周波数調整装置70または水晶振動子1のいずれかを移動して行う。
例えば、作業テーブルにXYテーブルを用いて、水晶振動片10の位置情報に基づいてXYテーブルを操作し、周波数調整装置70のレーザー照射部71と、水晶振動片10の励振電極13のトリミング部分(振動腕部12の先端に近い部分)との位置合わせを行う。
[周波数調整工程S5]
ついで、図3(b)に示すように、周波数調整装置70を用いてパッケージ40を透過する波長の近赤外レーザーである、例えば、YAGレーザー72(波長:約1064nm)照射により、水晶振動片10の励振電極13のトリミング部分を加熱溶融させ、蒸発させる。
これにより、水晶振動片10の励振電極13の質量を減らし、水晶振動片10の周波数を調整する。
なお、上記質量の削減量は、先の周波数測定工程S2で測定された調整前の周波数と所望の周波数とのずれ量により決定される。この際、削減量は、以下の理由により少なめに設定される。
ついで、図3(b)に示すように、周波数調整装置70を用いてパッケージ40を透過する波長の近赤外レーザーである、例えば、YAGレーザー72(波長:約1064nm)照射により、水晶振動片10の励振電極13のトリミング部分を加熱溶融させ、蒸発させる。
これにより、水晶振動片10の励振電極13の質量を減らし、水晶振動片10の周波数を調整する。
なお、上記質量の削減量は、先の周波数測定工程S2で測定された調整前の周波数と所望の周波数とのずれ量により決定される。この際、削減量は、以下の理由により少なめに設定される。
つまり、上記YAGレーザー72による周波数調整が、励振電極13の質量を減らし、水晶振動片10の周波数を高くする方向の調整方法であることから、励振電極13のトリミング部分は、予め他の部分より厚めにAu、Agなどの金属が積層されており、調整前の周波数が所望の周波数より低くなるように設定されている。
[周波数検査工程S6]
ついで、水晶振動子1の実装端子26を介して水晶振動片10に所定の駆動信号を印加し、周波数カウンターなどの周波数測定装置を用いて、水晶振動片10の周波数を測定する。
測定された周波数が、所望の周波数の範囲内であれば合格(OK)として作業を終了する。
測定された周波数が、所望の周波数の範囲外であれば不合格(NG)として再度周波数調整工程S5に移行し、水晶振動片10の周波数を再度調整する。以降、合格(OK)となるまで上記作業を繰り返す。
ついで、水晶振動子1の実装端子26を介して水晶振動片10に所定の駆動信号を印加し、周波数カウンターなどの周波数測定装置を用いて、水晶振動片10の周波数を測定する。
測定された周波数が、所望の周波数の範囲内であれば合格(OK)として作業を終了する。
測定された周波数が、所望の周波数の範囲外であれば不合格(NG)として再度周波数調整工程S5に移行し、水晶振動片10の周波数を再度調整する。以降、合格(OK)となるまで上記作業を繰り返す。
なお、上記工程について、図3では水晶振動子1が個片状態で示されているが、封止工程S1で述べたように、水晶振動子1が複数個取りされたウエハー状態で、各工程が行われてもよい。
この場合には、最終工程(ここでは、周波数検査工程S6)終了後、分割装置などを用いて水晶振動子1を個片に分割する。
この場合には、最終工程(ここでは、周波数検査工程S6)終了後、分割装置などを用いて水晶振動子1を個片に分割する。
上述したように、水晶振動子1の製造方法は、シリコンを含んでなるパッケージベース20と、シリコンを含んでなるリッド30とを備えたパッケージ40の内部空間41に、水晶振動片10を収容し気密に封止する封止工程S1、周波数調整装置70を用いてパッケージ40を透過する波長のYAGレーザー72照射により、水晶振動片10の周波数を調整する周波数調整工程S5などを有する。
これにより、水晶振動子1の製造方法は、パッケージ40を透過する波長のYAGレーザー72照射によって、水晶振動片10の周波数を調整する方法を採ることから、シリコンを含んでなるパッケージベース20にシリコンを含んでなるリッド30を接合してパッケージ40を封止できる。
これにより、水晶振動子1の製造方法は、パッケージ40を透過する波長のYAGレーザー72照射によって、水晶振動片10の周波数を調整する方法を採ることから、シリコンを含んでなるパッケージベース20にシリコンを含んでなるリッド30を接合してパッケージ40を封止できる。
したがって、水晶振動子1の製造方法は、パッケージベース20とリッド30とを同じ材料で形成することが可能となり、従来のような、パッケージベース20とリッド30との線膨張率の違いに起因した周囲の温度変化に伴う熱応力の発生を回避することができる。
この結果、水晶振動子1の製造方法は、従来のような、両者の線膨張率の違いに起因した熱応力が水晶振動片10に伝達され、周波数−温度特性などの諸特性が劣化する虞を回避することができる。
この結果、水晶振動子1の製造方法は、従来のような、両者の線膨張率の違いに起因した熱応力が水晶振動片10に伝達され、周波数−温度特性などの諸特性が劣化する虞を回避することができる。
また、水晶振動子1の製造方法は、シリコンを含んでなるパッケージベース20にシリコンを含んでなるリッド30を接合してパッケージ40を封止することから、パッケージ40の内部へ外光の侵入する余地が殆どない。
このことから、水晶振動子1の製造方法は、従来のような、透明なガラス材のリッドを透過して侵入する外光によって、水晶振動片10を始めとする内部の構成要素が悪影響を受け、周波数−温度特性などの諸特性が劣化する虞を回避することができる。
このことから、水晶振動子1の製造方法は、従来のような、透明なガラス材のリッドを透過して侵入する外光によって、水晶振動片10を始めとする内部の構成要素が悪影響を受け、周波数−温度特性などの諸特性が劣化する虞を回避することができる。
また、水晶振動子1の製造方法は、周波数調整用のレーザーが近赤外レーザーとしてのYAGレーザー72である。
このことから、水晶振動子1の製造方法は、YAGレーザー72がシリコンを含んでなるリッド30を効率的に透過して、水晶振動片10の励振電極13のトリミング部分を加熱溶融させ、蒸発させることにより、効率的に水晶振動片10の周波数を調整することができる。
なお、水晶振動子1の製造方法は、YAGレーザー72をリッド30側から水晶振動片10に照射する構成としたが、これに限定するものではなく、パッケージベース20側から水晶振動片10に照射する構成としてもよい。
このことから、水晶振動子1の製造方法は、YAGレーザー72がシリコンを含んでなるリッド30を効率的に透過して、水晶振動片10の励振電極13のトリミング部分を加熱溶融させ、蒸発させることにより、効率的に水晶振動片10の周波数を調整することができる。
なお、水晶振動子1の製造方法は、YAGレーザー72をリッド30側から水晶振動片10に照射する構成としたが、これに限定するものではなく、パッケージベース20側から水晶振動片10に照射する構成としてもよい。
また、水晶振動子1の製造方法は、位置検出工程S3でパッケージ40の上方から赤外光61を照射し、パッケージ40の下方で受光素子62により赤外光61を受光する構成とすることで、赤外光61の透過領域(受光領域)及び不透過領域(不受光領域)の識別により水晶振動片10(励振電極13)の位置を容易に検出することができる。
なお、水晶振動子1の製造方法は、上記赤外光61をパッケージ40の下方から照射し、パッケージ40の上方で受光素子62により赤外光61を受光する構成としても同様の効果を得ることができる。
また、位置検出工程S3では、受光素子62を赤外光照射装置60側に設けて、赤外光61の反射光を受光し、水晶振動片10(励振電極13)部分と、パッケージ40部分との反射率の違いによって位置を検出してもよい。
また、位置検出工程S3では、赤外線顕微鏡を用いて水晶振動片10の位置を検出してもよい。
なお、水晶振動子1の製造方法は、上記赤外光61をパッケージ40の下方から照射し、パッケージ40の上方で受光素子62により赤外光61を受光する構成としても同様の効果を得ることができる。
また、位置検出工程S3では、受光素子62を赤外光照射装置60側に設けて、赤外光61の反射光を受光し、水晶振動片10(励振電極13)部分と、パッケージ40部分との反射率の違いによって位置を検出してもよい。
また、位置検出工程S3では、赤外線顕微鏡を用いて水晶振動片10の位置を検出してもよい。
なお、上記実施形態では、水晶振動子1の構成を、一面が開口した箱状のパッケージベース20に水晶振動片10を搭載し、平板状のリッド30で覆う構成としたが、これに限定するものではなく、平板状のパッケージベース20に水晶振動片10を搭載し、一面が開口した箱状のリッド30で覆う構成としてもよい。
また、上記実施形態では、水晶振動片10を音叉型水晶振動片としたが、これに限定するものではなく、ATカット型水晶振動片としてもよい。
また、上記実施形態では、圧電振動片を水晶振動片10としたが、これに限定するものではなく、例えば、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料を用いた圧電振動片としてもよい。
また、上記実施形態では、水晶振動片10を音叉型水晶振動片としたが、これに限定するものではなく、ATカット型水晶振動片としてもよい。
また、上記実施形態では、圧電振動片を水晶振動片10としたが、これに限定するものではなく、例えば、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料を用いた圧電振動片としてもよい。
なお、上記実施形態では、圧電デバイスとして水晶振動子1を例に挙げたが、これに限定するものではなく、例えば、水晶振動子1に発振回路素子を内蔵した水晶発振器、周波数フィルター、リアルタイムクロックモジュールなどでもよい。
1…圧電デバイスとしての水晶振動子、10…圧電振動片としての水晶振動片、11…基部、12…振動腕部、13…励振電極、20…パッケージベース、21…開口部、22…内底面、23,24…内部電極、25…外底面、26…実装端子、30…リッド、40…パッケージ、41…内部空間、50…導電性接着剤、60…赤外光照射装置、61…赤外光、62…受光素子、70…周波数調整装置、71…レーザー照射部、72…YAGレーザー、S1…封止工程、S2…周波数測定工程、S3…位置検出工程、S4…位置合わせ工程、S5…周波数調整工程、S6…周波数検査工程。
Claims (3)
- シリコンを含んでなるパッケージベースと、シリコンを含んでなり前記パッケージベースを覆うリッドとを備えたパッケージの内部空間に、圧電振動片を収容し気密に封止する封止工程と、
前記パッケージ内の前記圧電振動片の位置を検出する位置検出工程と、
前記位置検出工程で取得した前記圧電振動片の位置情報に基づいて、周波数調整装置と前記圧電振動片とを位置合わせする位置合わせ工程と、
前記周波数調整装置を用いて前記パッケージを透過する波長のレーザー照射により、前記圧電振動片の周波数を調整する周波数調整工程と、を有することを特徴とする圧電デバイスの製造方法。 - 請求項1に記載の圧電デバイスの製造方法において、前記レーザーが近赤外レーザーであることを特徴とする圧電デバイスの製造方法。
- 請求項1または2に記載の圧電デバイスの製造方法において、前記位置検出工程では、前記パッケージを透過する赤外光の照射により前記圧電振動片の位置を検出することを特徴とする圧電デバイスの製造方法。
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JP2009232336A JP2011082736A (ja) | 2009-10-06 | 2009-10-06 | 圧電デバイスの製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN106271085A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-01-04 | 武汉华工激光工程有限责任公司 | 一种基于激光的晶振调频加工装置及加工方法 |
CN108141196A (zh) * | 2015-11-24 | 2018-06-08 | 株式会社村田制作所 | 谐振装置及其制造方法 |
-
2009
- 2009-10-06 JP JP2009232336A patent/JP2011082736A/ja not_active Withdrawn
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