JPS5956276A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPS5956276A
JPS5956276A JP57164830A JP16483082A JPS5956276A JP S5956276 A JPS5956276 A JP S5956276A JP 57164830 A JP57164830 A JP 57164830A JP 16483082 A JP16483082 A JP 16483082A JP S5956276 A JPS5956276 A JP S5956276A
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JP
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signal
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internal
supplied
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JP57164830A
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Hiroaki Kotani
博昭 小谷
Koji Shinoda
篠田 孝司
Kazumasa Yanagisawa
一正 柳沢
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、半導体記憶装置。に関する。
従来のii、AM(ランダム・アクセス・メモリ〕や几
OM (リード・オンリ・メモリ)は、データの読出し
ル)るいは−込みの際に、外部からアト1/ス信号を供
給し″tlビットずつあろいは1バイト(8ピン)・)
のような所定のビット数のデータ群ごとに、読出し、:
訃込みを行lsりようにされ又いL二。
そのため、例えばディスプレイ用のデータの読出しのよ
うに−まとまりの任意の多数ビットのデータを読み出す
ような場合、従来のIt A Mやl(、(JMにあっ
又は、1ビツトあるいは1バイトごとにアドレス恒量を
OPU等におい℃作って1(、A Mやit OM K
供給して、ランダムアクセスしてやらなければならない
ので、アドレス信号を供給する外部装置の動作が複雑に
なるとともに、読出し速度も早くすることができ7rい
という不都合があった。
この発明の目的は、ランダムアクセス機能とシリアルア
クセス機能とを持つ半導体記1.(5装置を提供するこ
とにある。
この発明の他の目的は、シリアルアクセス動作時、読み
出し動作、書き込み動作を、(II速に行ブf’)こと
のできる半導体記憶装置を提供することにある。
この発明の更に他の目的は、以下゛の説明及び図面から
明らかにIIるであろう。
この発明の後述する実JMi+llに11℃えば、半導
体記憶装置I?(に初4匪設定[1能な内部アドレス発
生回路が設けら第1、この内部アドレス発生1i!f路
から連続的に変化される内部アドレスピン号を発生させ
て、この半導体記i1 装置に、ランダムアクセス様態
の他に、シリアルアクセスさせる機DBをも持たせイ)
ようにされる。これにより任意のピント数のデータを外
部からの゛アドレス信号の供給を受けることIIく連続
的に1a℃み叶きできるよ5にし℃、OP[J等の外部
装置の負担を少プエくし、使い易さを同士させることが
できる、 さらに、この発明の後述するJ6施例に従えば、新たに
何カ(1され1こシリアルアクセスの実行時において、
1〜1.沌の11に1102.書込み動作か行なえイ1
ようにするl、・めに、ヒンスアンプの出力かスイッチ
手段を介1...−(、l/レジスタ供給されるようK
さ415石。
以下、図面にJr、ついてこの発明を説明ずろ。
−例とし゛(,64にビットダイナミック1もA、Mに
適用した。揚台を説明する。
第1図におい又、点線で囲まれ1こ各ブロックは、周知
の半導体集積回路技術により−(,1つの半導体基板十
に形成され1いる。
第11¥1に示される実施向の回路し′よ、Ijr足の
アドレスピンからアドレスマルチプレクス方式により、
アドレス信号が21g1に分は1供A’i?されZ)こ
と九よりランダムアクセスされて1ビツトすつデータが
読み貫ぎされるとともに、16ピンパツケージにおい1
空いている1 :?iVピンから適当なfillJ (
面信号が供給されることにより、?RK’!ビットのデ
ータかシーケンシャルに読み744°ぎできるようにさ
れ又いる。
第1図において、1は64にビットのメモリセルが例え
ば256 X 256ビツトのよ5なマ) IJノクヌ
状に配設さハ℃なるメモリセルアレイである。
2a、2bはアドレスバッファ回路で、このアドレスバ
ッファ回路2a、2bには、図示し7rいOI)[1(
マイクロプロセッサ)等から2回に分け℃与えられるX
系のアドレスイト号Axo−Ax□とY系のアドレス信
号A、。〜A、が人力さノシる、3a*3bは十制アド
レスバッフTITj、l路2j。
上記メモリセルフ L/イ1の中からアドレス信号Ax
irAyiに対応するーのメモリセルを選択ス4)ため
のXデコーダおよびYデコーダである。
4は内部信号・発生回路で、この内部信は発生回路は、
OPU等から供給される行アドレスストローブ信号(以
1几As信号と称する)および列アドレスストローブ信
号(以下OA 8143号と称する)に基づい℃、上記
アドレスバッファ回路2a。
2bとX、 Yデコーダ3a、3bを動作さぜろ制御信
号φXllφ8□、φ、1.φ、2及び読み出し動作。
書き込み動作で必・決な各種内部制御信号(図示せず)
を発生する。
内;IB信号発生回路4は、1 i17ビンから供給さ
」しる外部制御1信号φに基づい℃、内、SIS 11
1+1仰1d号φ。。
φ、も発生する。
5a、5bはカウンタ回路であって、カウンタ回路5a
にばよ記内部信号発生回ト:64からクロックが供給さ
れてカウントアツプされイ」。カウンタ回路5aがオー
バーフローすると、キャリーがカウンタ回路51)に込
られ1、このキャリーによってカウンタ回路5bがカウ
ントアツプさハ又行く。
カウンタ回路5a、5bはそれぞれ行アドレス信−1j
 Axlと列アドレス信号A、1のビット数ど等しい桁
数を有するバイナリカウンタからなり、その出力が内部
アドレス信号とされる、 6a、  6bは±6己内部イIj発生回路4から供給
される制御It11h弓φ8にょっ−(9、外(二1X
アト1/ス倍号”x i r Ay iまたは上記カウ
ンタ回路5 a、  5 bカラノ内i%アドレス1g
Ji″fを選択的に−1記アドレスバツフ丁回路2a、
2bに供給1イ)1.二めのスイ、・f−回路である。
1fお、7はデータの人出力バッファ回路である。
上記回路においては、】dvピンがら供給されイ)外部
!ti制御信号φがハイレベルにさチ1−(−いるとき
には、通常のフンダノ、アクセスにより1ビツトずつy
′−夕の1洸み沓ぎがなされるようにされている。
つまり、外部制御引汀号φがハイレベルの状態では、内
部4j11仰信号φ8がハイレベルのより1にされ℃、
スイッチ回路5a、5bがカウンタ5a、51)の出力
をカントし、外■げドレス(rJ’jl’ Ax r 
+ A、y ’。
をアドレスバッファ回路2 ” +  2 Llに供に
1゛1させろよう7j状態にされる。そし−C1ILA
8信けがハイレベルからロウレベルに変化されイ・と、
ili!I ?+111 (a ’ijφ8、カハイレ
ベルKf化さjt’t、  アト1/スバノファ回路2
 a カスイッヂ回h’2i 6 aを介してアドレス
信号Axo−Ax7を取り込んで内部にラッチする、こ
れにより−C、イ+’+”’、> aXIg −イZ−
が形成され又Xデコーダ3 aに供給され7.、Xデコ
ーダ3aは、1(、A8(バ号に基づい℃形成される副
側+イ;5号φ8□が信号φ8、よりも少し遅れ又ハ・
イレベルに立ち十がると、アドレス信号Axiに対応す
Z)ワー ド線を1本だけ選択レベルにさせる。
次K、(3A、 S イit号がハイレベルからロウレ
ベルに変化されると、内部信号発生回路4からアl゛レ
スバッフーfIII回路21)に供給される制御信号φ
、1がハイレベルに変化さす′しる。すイ・ど、このと
さく31)U等かI’) Uc給される列アドレス信号
A y o〜八、7がアドレスバッフr回路2bに取り
込−Jai′lランチされイ)、統い又、制御信号φ、
2がハイレベルに変化さり、イ)と、Yデコーダ3bが
アドレスバッファ回路2 bの出力信号ay r r 
 仙1よって・アドレス信けA、1に対応した1本のデ
ータ線をに1り択する〇こJしに」、っ又、外バliア
ドレスイa号Ax1.AyIに応シた1ヒントのチー 
タかメモリセルアレイ1からhoeみ出さオ1.又入出
力バソフ了回が、17かも出力され、あるいは人出力バ
ノフ了回11’ij 7に人力された1ビツトのデー 
タが、:3択され1.−ノー1ニリーヒルに、すぎ込ま
れる、 データの、尻出t、書4みの切換え&」、(J P U
から供給さ第1るライ)・イネーブルイ;トけWト)に
」:っ1入出力バッファ回路7の状態が震央さ、)1.
イ)ことにより行1fわJしる(1ネ1示−伊ず)、。
次に第1[31の回路にt−けるシリアルアクセス動作
を説明する。
1dνビンから供給されろ外部制御(n号φが、εB2
図に示すようにハイレベルからロ1クレベルKf化され
イ)と、内部信号発生回路4から出力される信号によっ
又カウンタ5a、5bがリセツトされる。また、スイッ
チ回路6a、(if)に供給される内部flilJ 1
11 (、t’号φ がハイレベルかりロウレベルに+
! 変化され2)。こ沿、にょノて、スイヴチー’bl(s
 (i ;′I。
6bは、外部アドレスイi(号をJ: 1tjr l、
 ’(−、カウンタ5 a、  5 b (71+1力
(内部アドレスイi’f −’−r’ ) ’l アl
’ l/スバソフノ・回h’I′12 cl q  2
13にIf” ;l’l;させン1よ51!状態にされ
イ)。
また、外バー+ !1III 1111信−号φがロウ
レベルに変化1.−(カラ、 、lL A、 S 11
m1j7+’ハイレヘルが1)口■ンレベルに変化する
タイメ、/グで、内74B イ、、・−シy弄生回路4
がらカウンターjaに洪Artされるilj!I仰信−
脣φ。に同期して、外部力II’)供給されるアドレス
漬けA  が力I ウンタ5aにIII(り込まれる。青天いて、(3A、
 b 1pH−y5がロウレベルに変化するタイミング
で、アドレス信号yi がカウンタ5bに取り込まれる
シカル後、1番ビンがら供給さ」1.る外!Gl’ f
lill 6NJ信号φが、’J12図のごとく、1向
肖l)同期で変化されると、内部信号発生回路4かhカ
ウンタ5aに対して同周期のクロック0が供給され又、
カウンタ5aかカウントアツプされ℃イj(。
このようにし又アップされるカウンタ5aおよυ’5b
の出力がアト1ノスバンファ回路2a、2bに供給され
ると、テコーダ3a、31)によって゛アドレスが一つ
ずつ更新されて行き、連続的にデータの読出り、!込み
が行なわれる、 iiLっ−U−gR41ヌ巨131に示すようにメモリ
セルアレイ内の所望の番地(先頭アl−1/ス)かV−
)Jf+望の番地(最終アドレス)までに格納さtt、
 ’tいろ任意のヒツト数のデータを連続的にに&5み
出1.. フ;Tい場合に&1、h」制御信号φがロウ
レベルにされ壬から、RA S信号とOA SIM−号
の立下がりに同期し2て先頭アドレスをカウンタ5a、
、5bK人順壬やり、t’Jlみ出すデータのビット数
に応じたクロックを外部制御IT−けφにのせて] i
1S’ピンより供給L’Uやれはよい。
読み出すぺぎデータのビソトダyは、例えb上、OPU
内のA L U (iV術論理ユニット)を用い又、最
終アドレスから先頭アドレスを引き37.1石などして
得ることができる。
ただし、(JPtJ等の外部装置で所5j!の数のクロ
ックを形成する代わりに、1.(A M内部に2つのカ
ウンタとALUを設けて、先5・+1アルスと最終アド
レスの差(データビ) b a )をこのA 、lJU
で演算して第2のプlウンタに入れ、外141(かも併
給されるクロックで第20カウンタも・ダウンカウント
させて、Oに1.cった時点で上記カウンタ5aのカラ
ン)・アップを停[1ユさせることにより、Iヅ「!イ
1のアドレスからar寮のアドレスまでの任2d【σ)
ビット数のデータを、1児み出させるようにしても」二
い、また、先頭アドレスをカウンタ5a、5bにセント
させるようにするとともに、ノjΣ終アドレスをセット
1イ)ためのレジスタと、こσ)レジスタと上記カウン
タ5a、51)の1直を比較ずろための比軟回路とを設
けて、両者の値が一致した時点でカウンタ5 a H!
−,+ bのカウ゛/トーアソブを停止ヒさせ又−所望
のアト1/ス領域からデータを読み出す」:5にし又も
よい。
上記の場合には、第3図に示すように、外部制御信号φ
がロウレベルにさtt’tかも最初のlLA、S信号の
立1・−がりで先頭アドレスの行アドレス信号AxIを
、また最?刀の0AS(ar;σ)立下がりで列アドレ
ス信号A、1をカウンタ5aと51.+に取り込み、次
にILAS信けの2回目の立下がりで最終アドレスの行
アト“レス信号Ax7 X:、また2回口の0A814
号σ)立下がりで列アドレス信’!t j’!、 i’
a:’レジスタに取り込むようにしてやtt4丁よい。
上記回トbにおいて、第4図(5)に示すごとく、′ア
ドレスの0掖114か12最後の番地までのすべ又のデ
ータ4・続けて1゛1尾力・出すようl工使い方を対象
とする場合には、例えば−・1;源投入により1)セッ
ト信号を形成するり七ノI・1Lil路を設げ又、電?
I管1(人と同時にカウンタ5a、5bをす七))・’
+’p’l’ノ、)ようにす7−1.そして、上記と同
様に、外部ib’j I’ll lJけφに基つい゛C
形成さねるクロ、Iりる°カウソタ!’i a L供給
してカウントアツプさせることにより、すべてのアドレ
スをアクセスさせて全データを順次連θ1.的に読み出
させど)ことができろ、 iA−お、シリアルアクセス動作の場什、子連した制御
1b号φ88.φ8□、φ、1 、φ、2 及び読み出
し動作、書き込み動作で必要な各4jllの1ノ引’S
lt制御信号、1り11えはセンスアップを動作させる
ための内部tljlJ御信号等は、上記外部制御信号φ
に!4(ついて形成される。すなわち、この」場合、十
記内部信も発生回路4゛は、に記外部制御化けφのりy
化(ト(1λ+−1x ]・イレベルから1ウレベルへ
の変化)毎に、十1ホし1、二各鍾の制御(n号を形成
する。
上記)、:施1&llでは、先Qトiアドレスからlド
終アドレスに向かつ111に4次°フ゛−タをrfJ′
f、み出すようにさfl、ているが、カウンタ5a、f
i))に最終アドレスな入れ又カランI・ダウンさせる
ことによ・つて、逆回ぎにデータな1洸み出させること
も可能である。
また、1・記実施13・uでは一例と1−て64にピン
トRAMに、I+N Jl、l L、た場合を説明した
が本発明IJ2561(ピッl−1もAM−や■もOM
等にも適用ずイ)ことができる0 256にピット1もAMでは16ピンバノケージの場合
1番ビンがノ“ドレスA8と1.、−u使用されるので
、上記実7+fli例における外部制御信号φを供給す
るピンが1.r < 7:cる、しかし1.rがら、こ
の、1ノら台には、1(、A8信号と0.AS信号の変
化のタイミングの相違によって、ランダムアクセスモー
 ドかシリアルアクセスモードかを判別させるとともシ
こ、シリアルアクセス時にはRAIぎ号またはOA8信
−号の周期的7.C変化にまりカウンタ5aをカウント
アツプさせるクロックを形成し一1カウンタ5aに供む
し、カウンタ5a、5bより連続的に変化さ1Lる内部
アドレスを発生させることができる。また、読み出し動
作、書き込み動作に分い又心安II士述した各種制御信
号は、l(、AS信号またはOfi、8信号の変化をも
とに内部12i号発生回路4で形成するようにする。
次に、本発明の他の実j用例を2p: 5図を用いてi
況明する、 この′;l!施例は、センス−1ング8の次段にバッフ
ァレジスタ9を設けることにより、fi)’l出1−.
 Nb作の高速化を図ったものである、 手記センスアンプ8とバッファレジスタ9との間には、
内部信号発生回路4から出力される制御信号φ、によっ
てコントロールされ又回路間を接続、または遮1哲する
ためのスイッチ回路1()が設置−+らり、ている。す
なわち、スイッチ1」11路1oば、内部信−13′発
生回11164からのtii11f1iff信吋φ6o
によツー(。
センスアンプ8の出力をバッファレジスタ9ヘイ1−く
える状態と、伝えない状)凸1とのし・ずれかにさ」1
.る。
また、この実施例では、アドレスバッファ・回路2a、
2bの後段に、外−LXIXj″ドL/スどl’F C
a1 アトL/スの切換えを行なうスイング・回路(i
a、ribが設けら牙]ている。スイッチ回1烙(ia
、6hは内部(7−j号発生回路4から出力さJlろ利
1ull信弓φ8によって、アトL/スバッファ回路2
”!21)の出力信シフまたはカウンタ5a、5bの出
力を選択的にXデコー タ3 aとYデコーダ31)に
供治′ン」イ:l 、に’)にされていイ)。カウンタ
5aけカウンタ51)からのギセリ−,01もによっ又
カウントアツプ″さ旧、るようにさJしている。
第5図の実施例の回路では、シリアルアクセスモード時
にメモ1)セルアレイl内のノーフケ、第4図(C1に
示す」、うに、所望のイエか「)所ツノの行まで連n−
児的に’N7t、み出すことができ2)、。
ランダムアクセスモードhには、アトし/スバノファ2
aに外部から供給さ第11こ夕E部ア1゛し7信号Ax
Iに!、6じてXデコーダ3aにより対応する1ツート
イ泉が選択レベルにされろ、ずイ・と、そのワードイイ
1に接続され′℃いろすべてのメモリセルのデータが同
時にセンスアンプ8に読与出さJじC保持される。そし
“こ、アドレスバッフ−r 2 b kこ供給される外
31(アドレスI;”T !F A、 Hに比、じ”℃
、Yう゛j−ダ3bによりそのうち一つのシゞ−夕が」
“k択さ才t’H1Yデコーダ31)及び人出力バッフ
ァ7をRt、又出力さオするようにされている、 しか[2−し、シリアルアクセスモードu、l、には、
内部信号発生([)1路4からの制商1信号φ3によ・
つて、OP U等から供給される先頭アドレスを・示′
1アドレス信号AXIがカウンタ5aに」(V、り込よ
れ7)。そl−て、内部制御信号φ8によつ℃スイッチ
回路63が切り換えられ又−アドレスバッファ2aの出
力信号が5lC1rされ又、カウンタ5aの出力がXデ
コーダ3aに供給される、その結呆、先頭アドレスを含
む一行のデータがセンスアンプ8に読み出される。読み
出された一行分のデ タは全ビット同時に、バッファレ
ジスタ9に転Jムされる。−万、カウンタ51)は、内
部信号’JJl路4から供給されるクロック〔Jによっ
1カウントアンプさfrる。このカウンタ51〕の出力
な受しvてYデコーダ3bがバッファレジスタ9に保j
、lfさJl、て℃・イ)f−タを1ビットずつ順次出
力させろ。バッファレジスタ9のデータが、Yデコーダ
31〕によってl1tj次読み出され=℃いイ)とぎ、
バッファレジスタ9とセンスアンプ8とku:、スイッ
チ回路10によつ又νノり離さjl、(ニンスアンプ8
にはメモリセルアレイJから次の行の−1−夕が読み出
さiシて保J1rさ」しるようにさハ、又いイ]。
これにより″(、ワード線の)1世レベルへのSl、l
−Pがりの遅れにj、る読出り動作の遅れが見かけ土1
.cくなり晶速1tに出17動作が可能とされる。
読み出すべき最初の行、以降の行σ)う−−一夕の読出
しは、例え(よ、前の行のデータがバッファレジスタ9
に払込さ」1、カウンタ51)かカウントアツプされ始
めた1段、カウンタ5bか元金にオーバーフロー−(イ
)前に、カウンタ51)からカウンタ5aにキーシリ 
−が1炉’、> i してカウンタ5aが−だけカウン
トアッグされるようにすれし」:よい。これによっ又、
バッファレジスタ9の1己出しが+I沓’J’する前に
、次の行のワード線が駆動され又、データがセンスアン
プ8に1元み出されているようにされる。
lIお、シリアルアクセスモード作の場合、」−記制御
1g−けφ8□は、例えはキャリーIH−レン0[もに
同jll比で、内部信号発生回路4で形成され、十ii
i、: 1lill 1illlイJ号φ、2は、例え
ばfltlJ飼1信号φを)占に、内部信号発生回路4
で形成されるようにさJl、’(いイ)。まブこ、この
モードにされたとき、読出し動作、書き込み動作で必要
な各紬制御信号は、例えば、キャリ(N号01tに同期
した信号、外部制御信号φ等に基づいて内部信号発生回
路4で形成される。
以上説明したように、この発明に係る半導体記憶装置は
、ランダムアクセス機能の他に、シリアルアクセス機能
を有するようにされてい乙1ので、−まとまりのデータ
群を連続し℃読み出すような場合に、シリアルアクセス
モードで使用されることにより、内VJ15アドレス信
号が発生され又所望のデータが自動的に読み出される。
そのため、外部装置においてツー“−夕を読み出す1こ
めに一ビットずつアドレス信号を形成してや2)心間が
lIりなる。
これKJ、っ’C,OPU等σ)外(’i3装置i′i
、における負4.H」が軽減されtll)憶装置σのr
史い易さが同士される。
さらに、メモリセル−行分のデータを一時に読み出し−
しシラチーするセンスアンプの酬j蒙に、バッファレジ
スタな設け、センスアンプからこのバッファレジスタに
転送され保1.7さftている一′)−一夕を読み出し
7℃いる間に、次の行の′フータをセンスアンプに読み
1旧−でラッチさせるようにすることによっ℃、高速の
読出しd(9作が1い11Σとされる。また、−行分の
データを1き込むのに、ワード線の選択が1回で済むた
め、高速の良き込み動作が可能である。
この発明は、前記実施例に限5j!されない。前記実施
例は、アドレスマルチプレクス方式を使った半導体記憶
装置であったが、例えは、X糸の外部アドレス信号AX
iとY系の外1kltアドレスGf号Ayiとが同時に
供給されるような方式の十d7・体記憶装置であっ又も
よい。
【図面の簡単な説明】
第1図は,本発明に係を・半導体i’ic i!装置の
一実施例を示1ブロック図、 第2図はそのシリアルアクセスモード時における制御信
号のタイミングチャート、 第3図は同じく他の構成例に卦げろシリアルアクセスモ
ード時の制#信号のタイミングチャート、第4図は各実
施例におけるシIJ ’7ルアクセスモード時のデータ
の読出し書込み方式を示すメモリマツプ、 第5図は本発明の他の実施例を示すブロツク図・であ7
)。 1・・・メモリセルアレイ、3 a,  3 b−デコ
ーダー4・・・内部信号発生回路、53,5b・・・内
部アドレス発生回路(カウンタ)。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、複数個のメモリセルがマトリックス状に配設されて
    なるメモリセルアレイと、アドレス信号が人力され上記
    メモリセルアレイ内から−のビットを選択するためのテ
    コーダ回路と、初期設定可能な内部アドレス発生回路と
    、外115から供給される制御信号に基づい又上記内部
    アドレス発生回路を動作させる信号および発生される内
    部アドレス信号または外部から供給される外部アドレス
    信号のいずれか一万を上記デコーダIす1路に供給させ
    るイ言号を形成ずろための内部イn号発生回路と、少な
    くともデータ出力機能を有する入出力回路とを備え、連
    続的に変化される内部アドレス信号が上記内部アト1/
    ス発生回路より発生され−〔、この内P1〜アドレス信
    号によっ又所望のデータ群か少なくとも読み出されるよ
    うにされてなることを特徴とする半導体記憶装置。 2、上記内部アドレス発生回路か、外部からアドレス信
    号が供給されることにより初期設定されるようにされて
    なることを特徴とず7′)特許請求の範囲第1項記載の
    半導体記憶装置。 3、上記内部アドレス発生回路か、内部の(1′1(に
    よって所定の初期状態に設定されるようにされてなるこ
    とを特徴とする特許請求のii1η囲第1項第1項記載
    体記憶装置R。 4、初期設定され1こ上記内部アドレス発生回路か、外
    部から供給されるfilT号または内部の発振回路から
    のクロンクイu号によってカウントアツプあ7:)いは
    カウントダウンされて、連続的に変化さfする内部アド
    レス信号が形成されるようにされ又1よることを特徴と
    する特許請求の範囲第1項、第2項まTこは第3j白記
    載の半導体記憶装置。
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