JPS5854338A - 光学記録媒体および記録方法 - Google Patents

光学記録媒体および記録方法

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JPS5854338A JP56154308A JP15430881A JPS5854338A JP S5854338 A JPS5854338 A JP S5854338A JP 56154308 A JP56154308 A JP 56154308A JP 15430881 A JP15430881 A JP 15430881A JP S5854338 A JPS5854338 A JP S5854338A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は光、熱等を用いて情報を高密度に記録し、再生
するだめの光学記録媒体に関するもので、低エネルギー
で記録でき大きな再生効率を有する可視および近赤外域
で高密度の光学的記録、再生かり能な光学記録媒体を提
供するものである。
このような記録媒体としては、カルコゲン薄膜(米国特
許第3530441号)あるいは低酸化物を主成分とす
る薄膜(特開昭50−46317号、特開昭50−46
318号、特開昭50−46319号、特開昭53−1
09002号)が知られている。−■二記のカルコゲン
膜はGeAsSeやG e T e 9砧゛のターゲッ
ト材料を用いて電子ビーム蒸着法などにより容易に記録
薄膜を作製できる。しかしながら、一般にカルコゲン薄
膜の光学的反射率は非常に大きい(25〜36%)。し
たがって光学的吸収率が小さくなるために低感度となら
ざるを得ない。またカルコゲン薄膜は、大気中の温度に
よって容易に酸化され、記録特性が劣化してしまう。
一方、L記の低酸化物薄膜は、 TeO(0<XI!。
く2)を主成分とり、Pb、Sb、V、TI、Bi あ
るいはIn等の金属の低酸化物が添加物として使用され
ている。これらの低酸化物は通常真空蒸着法で形成され
る。例えば、Teo!l(oくX、く2)は以下のよう
にして作製される。すな゛わち、蒸着原材料として粉末
または塊状のT e O2を酸化力の強い金属製ボート
、例えば、タングステンあるいはモリブデンボード内で
加熱する。Too2が昇温し昇草するとき、気体状の酸
素の一部が金属製ボートの一部と反応して酸化物を形成
し、したがって気体の状態は、TeO2の平衝状態から
酸素不足の方向へずれている。このような状態で蒸着さ
れた膜の組成は化学当量比より酸素が少ないToo(。
! <X<2)になる。
これらの低酸化物薄膜は、オージェ電子分光分析の結果
、膜厚方向で大きな組成分布を生じている。その主な原
因は、金属ボートの還元力が、ボート表面に酸化物が形
成されるにつれて1次第に変化していくためである。こ
のように組成分布を有する記録薄膜の場合、膜厚によっ
て記録特性が著しく異なる。
本発明の光学記録媒体は、従来の低酸化物材料に対して
新たな複合酸化物材料を提供して1作製法を容易にし、
かつ光学特性の高感度化ならびに安定化をめざしたもの
である。
本発明における光学記録媒体の構成は、酸化物をhlJ
質とし、金属テルル(T o)を所定量分散させた薄膜
である。媒質の酸化物として特に* GeO2゜TeO
2,SiO2,5b2o3.sno29MOo3あルイ
ハZnOの少なくともひとつを含む酸化物を使用する場
合良好の光ヂ的特性を得ることができる。さらに添加物
のToが粒状で分散している場合には高感度を実現する
ことができる。
上記光学記録媒体の作製法を、−例として真空蒸着法に
ついて述べる。
蒸着用基板として、ガラス板、ポリメチルメタクリレー
ト樹脂、ポリ塩化ビニール樹脂等の合成樹脂製シートあ
るいはフィルムを用いる。蒸着は少なくとも2組のルツ
ボを設置した蒸着装置を使用して媒質としての酸化物と
金属テルルの少なくとも2種類を、同時に蒸着させる。
当蒸着法では。
使用するルツボとしては、蒸着用材料と反応するものは
除外しなければならない。当蒸着法でT。
の添加量は、ルツボの温度を制御することによって決定
する。
当光学記録媒体の光学的特性1例えば屈折率および減衰
係数は酸化物と添加物との組成比および薄膜が非晶質の
場合には非晶質の程度に強く依存している。そして透過
率および反射率は上記屈折率、減衰係数に加えτ薄膜の
厚さおよび添加物が粒子状の場合その状態に依存してい
る。
光学記録媒体への記録は、He−Neレーザー光、半導
体レーザー光、赤外線ランプ光等の光照射あるいはヒー
ター等による加熱によって行なう。
次に本発明の実施例を酸化物としてT e O2を用い
た場合について述べる。
蒸着用の原材料にはT e O2粉末およびTe粉末を
用いる。蒸着用ルツボとして、それぞれ独立に温度制御
が可能な石英ルツボを2組用いる。蒸着基板にはポリメ
チルメタクリレート樹脂のシートおよびフィルムおよび
ガラス基板を用いる。蒸着はs TeO2の蒸着温度と
して600’ 〜750 C。
Toの蒸着温度として3oo0〜4ooCの範囲で行な
い、均質な蒸着膜を得るために基板を30〜360rp
mの回転速度で回転させる。膜厚は。
1000〜2000 人の範囲で制御する。To添加物
の粒子径は、基板温度を調整することによって所定のも
のを実現させる。
第1図は、−ト記蒸着法で得た薄膜のToの添加量と屈
折率および減衰係数との関係を示したものである。薄膜
中のTe添加量は光電子分光法で決定した。なおTeの
量は蒸着温度によってはy 一義的に決まることが上記
分析によって確認できた。
第1図において屈折率は、Toが増加するにしたがって
、Te量が零の場合のn=1.8から、T。
が1.00%の場合のn=4.6へはマ直線的に増加し
ている。減衰係数もTe量に強く依存しているが屈折率
の場合と異なり曲線的である。
ル(折率n = 1 、8はT e O2に* n ”
” 4m6はToにそれぞれ対応しているがこれらの値
は、結晶性の値と比べて若干少さい。このことは上記蒸
着膜がT。
添加量が非常に大きい範囲を除いて非晶質であるという
X線回折の解析結果に対応している。さらにオージェ電
子分光分析の結果、これらの薄膜内におけるTo原子と
酸素原子の存在比は膜の深さ方向に一定であり蒸着が安
定していることを示していた。第2図はTe添加量が4
0% 、45% 。
6o%の薄膜を約100C/分の速度で加熱したときの
変化をしらべた結果を示したものである。
この図に示すように約90度以−ヒの温度で階段状に変
える顕著な光学的透過率の変化を得た。このような加熱
では組成の変化は生じず透過率の変化は主として結晶性
の回復と粒子の成長に起因している。
上記の結果から本発明による光学記録媒体は光学的特性
が非常に制御しやすく、かつ状態変化による光学的特性
の変化も大きいことが確認できた。
ただし光学的特性の変化はToの添加量が20%より小
さい場合は透過率が40チ以上となり記録感度が低下す
る。また80%より大きい場合はその変化開始温度が6
0〜70Cとなる為に熱劣化を生じやすくなる。
を60Cで90%の相対温度の雰囲気中に放置した場合
の光学的透過率の変化を示す図である。図から判るよう
に、Toの添加量が多くなるとともに温度によって変化
し易くなっている。このことlt、 h T e O2
の存在が湿度による膜特性の変化を防止する効果を与え
ているものと考えられる。
なお実施例の説明においては酸化物としてTeO2を用
いた場合について述べたがG e O、S iO2。
5b2o3.Sno29MOQ3.ZnO等の酸化物を
用いた場合についても同様に薄膜の屈折率は組成にはV
比例しており、減衰係数も同様である。ただし光学的特
性の変化が生じる処理温度は酸化物の種類によって80
Cから260Cの範囲で変化する。
またTo添加物の粒子径は粒子径が大きい程低い温度で
状態変化を生じさせる効果を有している。
しかし粒子径が膜厚に対して大きい場合には1例えば粒
子径が膜厚の10分の1程度以ヒになると熱処理による
効果は小さくなり粒子径の光学的特性への寄与は小さく
なる。
以上に述べたことから明らかなように本発明による光学
記録媒体は、従来の低酸化物からなる光学記録媒体と比
較して次にあげる効果を有する。
(1)  光学的特性の制御が容易である。
薄膜の光学的特性は酸化膜の種類とTo添IJ1Mによ
ってはソ決まり薄膜の作製条件を制量することにより所
定の光学的特性を容易に得ることができる。
(財)量産が容易である。
蒸着法により製造する場合蒸着用原材料が単体であるの
で蒸着による組成の変化は小さく長時間安定して薄膜を
作製することができる。
(3)特性が安定している。
薄膜内で組成の変化がほとんどないので光学的特性が安
定しており、膜厚により記録特性が変化しない。また、
適当な組成比を用いることにより、湿度あるいは温度に
よる劣化の少ない膜を得ることができる。
(4)高感度であるO Teが粒子状で分散しているので、熱による状態変化が
起りやすく低エネルギーで記録できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例におけるTo添加計と光学的特
性との関係を示す図、第2図は同実施例における熱処理
による光学的透過率の変化を示す図、第3図は同実施例
においてTeの添加量を変えた場合の浸度雰囲気中での
光学的透過率の変化を示す図である。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第2
図 98.捏う龜浅(’C1 第3図 鉄7i 1i ?jl (Fl ) 第1頁の続き 0発 明 者 竹永睦生 門真市大字門真1006番地松下電 器産業株式会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光、熱等のエネルギーによって状態を変化さ拷、
    そねにもとづく光学的特性の変化を利用し−C情報を記
    録する光学記録媒体において、酸化物IU材材料−テル
    ルTe粒子を分散させてなる薄膜を基板上に形成してな
    ることを特徴とする光学記録媒体。
  2. (2)特許請求の範囲第1項の記載において、テルルの
    含有縫が20〜80モル係であることを特徴とした光学
    記録媒体〇
  3. (3)特許請求の範囲第1項の記載において酸化物母拐
    料として、GeO2,TeO2,5i02,5b2o3
    ゜計029M0o3.およびZnOよりなるグループの
    なかより選択された少なくとも1つを用いることを特徴
    とした光学記録媒体。
JP56154308A 1981-09-28 1981-09-28 光学記録媒体および記録方法 Granted JPS5854338A (ja)

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