JP4892562B2 - 情報記録媒体、その製造方法および情報記録媒体を形成するためのスパッタリングターゲット - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 33
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 title claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 202
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 48
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 41
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 37
- 229910015902 Bi 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 35
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 31
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 claims description 29
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 28
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 25
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 20
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 18
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 17
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910005191 Ga 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 9
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 8
- 239000013077 target material Substances 0.000 claims description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 5
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 claims description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 66
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 32
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 32
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 31
- 239000010408 film Substances 0.000 description 29
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 21
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 18
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 18
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 17
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 17
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 17
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910017768 LaF 3 Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 7
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 6
- 238000010587 phase diagram Methods 0.000 description 6
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 6
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- 229910018516 Al—O Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910017299 Mo—O Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 4
- -1 rare earth fluoride Chemical class 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 3
- JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N norbornene Chemical compound C1[C@@H]2CC[C@H]1C=C2 JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N 0.000 description 3
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 3
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 3
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 3
- 229910015405 B—O Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910002480 Cu-O Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018557 Si O Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910003077 Ti−O Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910007746 Zr—O Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Inorganic materials [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018085 Al-F Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018179 Al—F Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018509 Al—N Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018514 Al—O—N Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910016300 BiOx Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020203 CeO Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005742 Ge—C Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020788 La—F Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910019077 Mg—F Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002668 Pd-Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018540 Si C Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007991 Si-N Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008284 Si—F Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006294 Si—N Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910011208 Ti—N Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910011210 Ti—O—N Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000005811 Viola adunca Nutrition 0.000 description 1
- 240000009038 Viola odorata Species 0.000 description 1
- 235000013487 Viola odorata Nutrition 0.000 description 1
- 235000002254 Viola papilionacea Nutrition 0.000 description 1
- 229910008936 W—O Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007541 Zn O Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007744 Zr—N Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910007733 Zr—O—N Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 1
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000000320 mechanical mixture Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N selenium;zinc Chemical compound [Se]=[Zn] SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003346 selenoethers Chemical class 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007736 thin film deposition technique Methods 0.000 description 1
- 150000003568 thioethers Chemical class 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
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Description
追記型媒体は一般に、書換型媒体と比較して層数を少なくできる場合が多いため、製造が容易であり低コストの媒体が可能である。また、追記型媒体は、書換ができないことから、ユーザーが破壊されたくないデータを書きこむ際には好都合である。このことから保存寿命が長く信頼性の高い追記型媒体は、アーカイバル用途として大きな需要がある。例えばコンピュータを通じた個人データや映像情報等の記録、保存や、医療分野、学術分野、或いは家庭用ビデオテープレコーダーの置き換え等、様々な分野での追記型媒体の需要が高まっている。現在、この記録媒体については、アプリケーションの高性能化や画像情報の高性能化に伴い、さらに大容量化、高速化を達成することが求められている。
また、光情報記録媒体に高パワーで情報を記録すると、記録層に接している誘電体層などへの熱負荷が大きくなるため、記録媒体の信頼性が低下するといった問題もある。すなわち記録媒体の信頼性という観点においても、高感度化が望ましい。
記録密度の向上を目指して、複数の層に情報を記録する多層媒体が必要となってきている。2層以上の情報層を有する多層の光学的情報記録媒体においては、光入射面に近い側の情報層を透過して光入射面から遠い側の情報層にデータを記録する必要があり、より高い記録感度が求められる。逆に光入射面から近い側の情報層では高透過率を目指して記録層を薄膜化する必要があり、より高感度の記録層が求められる。このようなことから、大容量化を目指した多層記録媒体ではより高感度化のニーズが高くなっている。
従来より、追記型の記録材料として、いくつかの酸化物材料が提案されていた。例えば、Teの低酸化物であるTeOxを主成分とする記録材料が知られている。中でもTeOx中にPd(Au、Ptでも適用可能)を分散させた材料を主成分とするTe−O−Pd記録材料は、大きい信号振幅が得られ、信頼性も非常に高いことが知られている(特許文献1参照)。しかし、Te−O−Pd記録材料は今後の高速化や大容量化のニーズに答え得る程度の記録感度を得ることができない、という課題があった。
記録特性改善を目的として、TeOxを主成分とする材料に他の材料を添加した例としては次のようなものがある。
また特許文献3では、融点が低い材料であるTlOxを添加することにより記録感度を向上することが述べられているが、これらの従来技術では、光情報記録媒体に情報を記録する際の高感度化に対する効果は不十分である。また同特許文献では、BiOxやInOxを添加することによって屈折率変化を大きくし光学変化を大きくする提案もなされているが、このときの記録感度への効果に関しては述べられていない。
また、材料Aが酸化物を含むことは、情報を記録する際のレーザパワーを高感度化しやすいという点で好ましい。
また、材料Aが、Ag−O、Al−O、B−O、Bi−O、Ce−O、Cu−O、Ga−O、In−O、Mo−O、Nb−O、V−Oのうち少なくともいずれかを含むことは、記録感度が向上する効果が大きいという点で好ましい。
本発明の他の見地に係る情報記録媒体は、基板上に記録層を有し、記録層にレーザ光を照射または電気エネルギーを印加することによって情報の記録及び再生を可能とする情報記録媒体である。記録層がTe、M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)、TeO2、材料Aを主成分として含み、Te原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、M原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、TeO2+材料Aの含有割合が40mol%以上85mol%以下である。この媒体では、ジッタ、記録感度などの記録特性と信頼性を確保しやすい。
また、材料AがAl2O3であって、Al2O3/TeO2比が0.10以上0.50以下であることは、記録層の融点を低下させ記録感度が向上し、信頼性が向上するという点で好ましい。
また、材料AがB2O3であって、B2O3/TeO2比が0.18以上0.33以下であることは、記録層の融点を低下させ記録感度が向上し、信頼性が向上するという点で好ましい。
また、材料AがBi2O3であって、Bi2O3/TeO2比が0.04以上0.30以下であることは、記録層の融点を低下させ記録感度が向上し、信頼性が向上するという点で好ましい。
また、材料AがCuOであって、CuO/TeO2比が0.10以上1.00以下であることは、記録層の融点を低下させ記録感度が向上し、信頼性が向上するという点で好ましい。
また、材料AがCu2Oであって、Cu2O/TeO2比が0.05以上1.00以下であることは、記録層の融点を低下させ記録感度が向上し、信頼性が向上するという点で好ましい。
また、材料AがGa2O3であって、Ga2O3/TeO2比が0.05以上0.18以下であることは、記録層の融点を低下させ記録感度が向上し、信頼性が向上するという点で好ましい。
また、材料AがMoO3であって、MoO3/TeO2比が0.25以上1.50以下であることは、記録層の融点を低下させ記録感度が向上し、信頼性が向上するという点で好ましい。
また、材料AがNb2O5であって、Nb2O5/TeO2比が0.05以上0.12以下であることは、記録層の融点を低下させ記録感度が向上し、信頼性が向上するという点で好ましい。
また、材料AがVO2であって、VO2/TeO2比が0.10以上0.33以下であることは、記録層の融点を低下させ記録感度が向上し、信頼性が向上するという点で好ましい。
また、情報層が有する記録層の膜厚が、2nm以上30nm以下であることは、十分な光学変化が得られ、良好な記録特性を確保できるという点で好ましい。
本発明の他の見地に係る情報記録媒体の製造方法は、基板上に記録層を作成する工程を有し、記録層にレーザ光を照射または電気エネルギーを印加することによって情報の記録及び再生を可能とする情報記録媒体の製造方法である。この製造法では、記録層をスパッタリング法により作製し、記録層の作製工程で用いるターゲット材料はTe−O−M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)と材料A(ただし材料AはTe−Oと共晶反応を示す材料)との混合物を主成分とする。
本発明のさらに他の見地に係る情報記録媒体の製造方法は、基板上に記録層を作成する工程を有し、記録層にレーザ光を照射または電気エネルギーを印加することによって情報の記録及び再生を可能とする情報記録媒体の製造方法である。この製造法では、記録層をスパッタリング法により作製し、記録層の作製工程において、Te−M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)とTe−Oと材料Aの化合物(ただし材料AはTe−Oと共晶反応を示す材料)とを異なるターゲットから同時にスパッタリングする。
本発明のスパッタリングターゲットは、Teと材料Bを主成分として含み、材料Bの酸化物はTeO2と共晶反応を示す材料である。
図1、図2及び図3は、本発明の情報記録媒体の一構成例である。
(図1に示す情報記録媒体)
図1に示すように、本発明の情報記録媒体1は、基板2と、その上に設けられた情報層とを有している。情報層は、反射層3、第1の誘電体層4、記録層5、第2の誘電体層6を含んでいる。さらに情報層の上に光透明層7が形成されている。記録特性等に影響がなければ、反射層3、第1の誘電体層4、第2の誘電体層6に関しては、コスト面を考慮して適宜除いてもよい。この情報記録媒体に対し、光透明層7の側からレーザ光8を照射して記録再生を行う。
また、図2に示すように、本発明の情報記録媒体9は、基板10と、その上に順番に設けられた第1の情報層15及び第2情報層21とを有している。2つの情報層の間には中間層16を介在させることで、各情報層を光学的に分離して不要な光学干渉を排除する。さらに第2の情報層21の上に光透明層22が形成されている。この情報記録媒体に対し、光透明層22の側からレーザ光23を照射して記録再生を行う。第1の情報層15は、高反射率と高信号品質を両立するために、反射層11、第1の誘電体層12、記録層13、第2の誘電体層14を順次積層した構成からなる。第2の情報層21は、第1の情報層と同様に、反射層17、第1の誘電体層18、記録層19、第2の誘電体層20からなる。ただし、第2の情報層21は、高透過率と高信号品質を両立するために第1の情報層に比べて記録層と反射層の膜厚を薄くしてもよい。記録特性等に影響がなければ、コスト面を考慮して、第1の情報層および第2の情報層における反射層、第1の誘電体層、第2の誘電体層を適宜除いてもよい。
また、図3に示すように、本発明の情報記録媒体24は、基板25上に第1の情報層30、第2の情報層35、・・・、第nの情報層40(n≧3)がこの順に設けられて構成されている。各情報層の間には中間層を介在させ、各情報層を光学的に分離して不要な光学干渉を排除する。この光学的情報記録媒体24に対し、光透明層41の側からレーザ光42を照射して記録再生を行う。第1の情報層30は、高反射率と高信号品質を両立するために、反射層26、第1の誘電体層27、記録層28、第2の誘電体層29を順次積層した構成からなる。第2の情報層35から第nの情報層40は、高透過率と高信号品質を両立するために、第1の誘電体層、記録層、第2の誘電体層からなる。第1の誘電体層と中間層の間には、信号品質を高めるために反射層を適宜挿入してもよい。記録特性等に影響がなければ、コスト面を考慮して、各情報層における反射層、第1の誘電体層、第2の誘電体層を適宜除いてもよい。
本発明の記録層からなる情報層は、主として記録感度の向上を目的としているため、図1から3のすべての記録層に適用することが好ましいが、多層媒体において各層の記録感度を互いに調整するといった場合などには、本発明を適用する層と適用しない層と混在することも可能である。
基板2、10、25の材料としては、透明な円盤状のポリカーボネイト樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリオレフィン樹脂、ノルボルネン系樹脂、紫外線硬化性樹脂、ガラス、あるいはこれらを適宜組み合わせたもの等を用いることができる。また、基板2、10、25の厚さは、特に限定されないが、0.01〜1.5mm程度のものを用いることができる。
対物レンズの開口数が0.75〜0.95の場合、ディスク製造時の強度を保つために基板2、10、25の厚さは1.00〜1.20mmの範囲で、チルトに対する許容幅を小さくするために光透明層7、22、41の厚さは0.03mm〜0.20mmの範囲であることが好ましい。
中間層16、31、36の材料としては、光透明層と同様に透明な円盤状のポリカーボネイト樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリオレフィン樹脂、ノルボルネン系樹脂、紫外線硬化性樹脂、ガラス、あるいはこれらを適宜組み合わせたもの等を用いることができる。中間層16、31、36の厚さは、第1の情報層、第2の情報層および第nの情報層のいずれか一方を再生する際に他方からクロストークが小さくなるように、少なくとも対物レンズの開口数NAとレーザ光の波長λにより決定される焦点深度以上の厚さであることが必要であり、また、全ての情報層が集光可能な範囲に収まる厚さであることも必要である。3層以上の情報層を積層する場合は、それぞれの中間層の厚さが異なるようにすることが好ましい。なぜなら、中間層が同じ厚さの場合には、情報層の位置が等間隔となり、ある奥の層を記録再生する際に、2つ手前に位置する層でレーザ光が焦点を結びうるため、クロストークが大きくなる可能性があるためである。
記録層5、13、19、28、33、38は、光学特性が異なる2つ以上の状態間をとりうる材料から構成されている。記録層の材料は、この異なる状態間を非可逆的に変化しうるものが好ましく、具体的には、Te−O−M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)と材料Aとの混合物からなる。
本形態における記録層5、13、19、28、33、38によれば、従来に比べて記録層の材料を結晶化させるのに必要なエネルギーが少なくてもよいため、情報を記録する際のレーザパワーを高感度化することができ、長期保存に対する信頼性が高い情報記録媒体の実現が可能となる。
元素Mは、Teの結晶化を促進させるために添加するものであり、Au、Pd、PtなどのTeと結合を作りうる元素であればこの効果を得ることができる。Au、Pd、Ptなどの元素は貴金属であって酸素と結合しにくいため、Teと結合しやすいことから特に好ましい元素である。
元素Mは、Te−O−Mにおいて、元素Mの含有量をxat%、Teの含有量をyat%とすると、xとyとが0.05y≦x≦yの関係を満たすように添加されることが好ましい。x≦yとすることで、光学特性の十分な変化量を得ることができ、0.05y≦xとすることで、結晶化速度向上効果を効果的に得ることができるからである。
共晶反応とは、ただ1つの液相が冷却中に分離して異なる2つの固相になる反応のことである。図5を例として、2成分A,Bが液体で溶け合い、結晶では混ざり合わない場合の状態図を示す。融点の極小値Teに相当する組成の溶液を冷却すると、Teであたかも純粋液体のように溶液全体がすべて結晶化するまで温度が一定に保たれる。2種類の結晶A,Bの機械的混合物でありながら、融けるときも一定温度を保って、純粋結晶に似た融解挙動を示す。
(1)より融点の低い添加材料を加える。
(2)元の材料と共晶反応を示す添加材料を加える。
前者は添加量に比例して融点の低下効果が得られるため、融点の十分な低下効果を得るためには添加量が多くなり、元の材料の特性を大幅に変化させてしまう。しかし、後者は局所的に融点が低下する組成域があるため、添加量が少なくても十分に融点の低下効果が見られる。そのため、(2)は元の材料の特性を大幅に変化させることなく、融点のみ低下させることができる。
先に述べたように、ライトワンス型記録材料Te−O−Mは、成膜直後ではTeO2中にTe、Te−MおよびMの微粒子が一様に分散された複合材料であるが、本発明者らの実験により、これに材料Aを添加することによって成膜直後での記録層5、13、19、28、33、38の融点を低減できることがわかった。これは、TeO2の融点が730℃近傍であるのに対して、TeO2と共晶反応を示す材料を添加すると、融点が低下するからであると推測している。
材料Aとしては、Ag−O、Al−O、B−O、Bi−O、Ce−O、Cu−O、Ga−O、Ge−O、In−O、Mo−O、Nb−O、V−Oなどが挙げられる。中でも、Al−O、Bi−O、Ga−O、In−O、Mo−O、Nb−OV−Oは、特に高感度化と信頼性の向上を両立しやすいという点で好ましい。
Te原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、M原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、TeO2+材料Aの含有割合が40mol%以上85mol%以下である。
特に、材料AがAg2Oの場合にはAg2O/TeO2比が0.18以上1.00以下であり、材料AがAl2O3の場合にはAl2O3/TeO2比が0.10以上0.50以下であり、材料AがB2O3の場合にはB2O3/TeO2比が0.18以上0.33以下であり、Bi2O3の場合にはBi2O3/TeO2比が0.04以上0.30以下であり、材料AがCeO2の場合にはCeO2/TeO2比が0.05以上0.14以下であり、材料AがCuOの場合にはCuO/TeO2比が0.10以上1.00以下であり、材料AがCu2Oの場合にはCu2O/TeO2比が0.05以上1.00以下であり、材料AがGa2O3の場合にはGa2O3/TeO2比が0.05以上0.18以下であり、材料AがIn2O3の場合にはIn2O3/TeO2比が0.02以上0.08以下であり、材料AがMoO3の場合にはMoO3/TeO2比が0.25以上1.50以下であり、材料AがNb2O5の場合にはNb2O5/TeO2比が0.05以上0.12以下であり、材料AがVO2の場合にはVO2/TeO2比が0.10以上0.33以下であることが好ましい。
記録層5、13、19、28、33、38の膜厚は、2nm以上30nm未満とすることが好ましい。膜厚を2nm以上とすることにより記録材料が層状になりやすく、良好な信号を得ることできるからである。また、膜厚が30nmより厚い場合には情報層の透過率が下がるため、多層媒体には適用するのが困難となるため好ましくない。さらに膜厚を30nm未満とすることにより、十分な記録感度の改善効果を得ることができる。
また、記録層5、13、19、28、33、38は、Te−O−Mを主成分とする膜と、材料Aを主成分とする膜とを交互に積層した構成とすることもできる。この場合、作製するための工程数が増えるものの、各膜厚を微調整することにより、Te−O−Mと材料Aとの混合比を容易に調整することができるため、場合によって適宜用いることが好ましい。
記録層は、図2や図3に示す多層からなる情報記録媒体のいずれかの層に適用することがより好ましい。多層の情報記録媒体ではレーザ入射側に位置する情報層を透過することによって情報を記録再生する必要があるため、より記録感度が高い記録層が必要であるためである。
第1の誘電体層4、12、18、27、32、37と第2の誘電体層6、14、20、29、34、39は、記録材料の保護、情報層での効果的な光吸収を可能にするといった光学特性の調節が主な目的として設けられる。材料としては、ZnS等の硫化物、ZnSe等のセレン化物、Si−O、Al−O、Ti−O、Ta−O、Zr−O、Cr−O等の酸化物、Ge−N、Cr−N、Si−N、Al−N、Nb−N、Mo−N、Ti−N、Zr−N、Ta−N等の窒化物、Ge−O−N、Cr−O−N、Si−O−N、Al−O−N、Nb−O−N、Mo−O−N、Ti−O−N、Zr−O−N、Ta−O−N等の窒酸化物、Ge−C、Cr−C、Si−C、Al−C、Ti−C、Zr−C、Ta−C等の炭化物、Si−F、Al−F、Ca−F、La−F等の弗化物、および上記の材料の適当な組み合わせ(例えば、ZnS−SiO2等)などが用いられる。
反射層3、11、17、26は、放熱効果や記録層での効果的な光吸収等の光学的効果を得るために設ける。材料としてはAu、Ag、Cu、Al、Ni、Cr、Ti等の金属、或いは適宜選択された金属の合金などが用いられ、Ag合金やAl合金が好ましい。特に放熱性、耐湿性の観点から、Ag−Pd−Cu合金やAg−Ga−Cu合金を材料に用いることが好ましい。反射層3、11、17、26の膜厚は1nm以上であることが好ましい。反射層の膜厚が1nm以下の場合、膜が均一な層状となることが困難となり、熱的、光学的な効果が低下するためである。
図2では第1の情報層15と第2の情報層21はともに反射層を有する構成であるが、コスト面を考慮したり、透過率を高めることを目的として、反射層を有さない構成であってもよい。図3では第1の情報層30のみ反射層26を有する構成であるが、第2の情報層35〜第nの情報層40が反射層を有していてもよいし、或いは第1の情報層30が反射層26を有さない構成であってもよい。一般に、反射層を設けると情報層の透過率は低下するが、上記で述べた放熱効果や光学的効果により、高い信号品質を容易に得ることができる。このため、レーザ光の入射側に位置する図2における第2の情報層21、および図3における第2の情報層35から第nの情報層40については、反射層を設けるかどうか適宜設計を行うことが必要である。反射層を設けた場合は、その厚さを例えば10nm以下といった非常に薄い膜厚とすることにより、情報層の高い透過率を保つ工夫をすることが必要である。n及びkのより好ましい範囲は、それぞれ2.0未満及び2.0以上である。
各層の作製順序について説明する。図1に示す情報記録媒体の場合、基板2上に、反射層3、第1の誘電体層4、記録層5、第2の誘電体層6を順次成膜し、その上に光透明層7を形成する。光透明層7の形成方法は以下の3通りのいずれでも良い。
・第2の誘電体層6まで作製した媒体と、接着樹脂を片面に有する基材(光透明層7)とを貼り合わせる。
・第2の誘電体層6まで作製した媒体とシート状の基材(光透明層7)とをUV樹脂によって貼り合わせる
・第2の誘電体層6まで作製した媒体上に紫外線硬化樹脂によって光透明層7を形成する。
特に上記記録層の成膜に関しては以下のいずれかの方法を用いることができる。
記録層はスパッタリング法により作製し、記録層の作製工程で用いるターゲット材料はTe−O−M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)と材料A(ただし材料AはTe−Oと共晶反応を示す材料)との混合物を主成分としていることが好ましい。また、ターゲット材料はTe−M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)と材料B(ただし材料Bの酸化物である材料AはTe−Oと共晶反応を示す材料)との混合物を主成分とし、成膜ガスは希ガスと酸素との混合ガスを主成分とし、反応性スパッタリングを行ってもよい。また、Te−M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)とTe−Oと材料Aの化合物(ただし材料AはTe−Oと共晶反応を示す材料)とを異なるターゲットから同時にスパッタリングしてもよい。これらいずれかの方法で成膜することによって、TeO2と材料Aが共晶反応を示すため、高感度で記録することができるため好ましい。
図4に、情報記録媒体が光ディスクである場合に、記録再生に用いる装置の一例の概略を示す。信号の記録再生には、レーザ47と対物レンズ46とを搭載した光学ヘッド(図示省略)と、レーザ光を照射する位置を所定の位置へと導くための駆動装置(図示省略)、トラック方向及び膜面に垂直な方向の位置を制御するためのトラッキング制御装置及びフォーカシング制御装置(図示省略)と、レーザパワーを変調するためのレーザ駆動装置(図示省略)、媒体を回転させるためのスピンドルモータ49とを用いる。
信号の記録、再生は、まず媒体をスピンドルモータ49により回転させ、光学系によりレーザ光を微小スポットに絞りこんで、媒体へレーザ光を照射することにより行う。信号の再生の際には、信号の記録を行うパワーレベルよりも低く、そのパワーレベルでのレーザ照射によって記録マークの光学的な状態が影響を受けず、かつその照射によって媒体から記録マークの再生のために十分な光量が得られるパワーのレーザビームを照射し、得られる媒体からの信号を光検出器48で読みとることによって行うことができる。
(実施例1)
実施例1では、Te−O−Pd記録材料にTeO2と共晶反応を示す材料を添加した際の記録感度および信頼性へ与える影響、およびその組成依存性を調べた。各材料を添加した情報記録媒体を作製、評価したので、以下にその詳細を示す。
まず図1に示した層構成を有する情報記録媒体1の作製方法について述べる。
基板としては、ポリカーボネイト樹脂を用いた。基板の直径は12cm、厚さは1.1mm、グルーブピッチは0.32μm、グルーブ深さは20nmとした。基板のグルーブが形成された側の表面上に、各層をスパッタリング法により以下の順に積層した。AgPdCu(重量比98.1:0.9:1.0)ターゲットを用いて膜厚40nmのAgPdCu反射層を成膜し、ZrO2−SiO2−Cr2O3−LaF3(分子数比23:23:31:23)ターゲットを用いて膜厚20nmのZrO2−SiO2−Cr2O3−LaF3誘電体層を成膜し、Te−O−Pd、もしくはTe−O−Pd+添加材料からなるターゲットを用いて膜厚24nmのTe−O−PdもしくはTe−O−Pd+添加材料からなる記録層を成膜し、ZnS−SiO2(分子数比80:20)ターゲットを用いて膜厚10nmのZnS−SiO2誘電体層の各層を成膜した。
次に情報記録媒体の評価手法について説明する。情報記録媒体1の記録感度は、ランダム信号のジッタ値が最良値を示す記録パワーによって評価した。情報記録媒体1に情報を記録するために、情報記録媒体1を回転させるスピンドルモータ49とレーザ光45を発する半導体レーザを備えた光学ヘッドとレーザ光45を情報記録媒体1の記録層上に集光させる対物レンズとを具備した一般的な構成の情報記録システムを用いた。情報記録媒体1の評価においては、波長405nmの半導体レーザと開口数0.85の対物レンズを使用し、25GB容量相当の記録を行った。情報記録媒体を回転させる線速度は4.92m/s(36Mbps)、9.84m/s(72Mbps)、19.68m/s(144Mbps)とした。また、ジッタ値の測定にはタイムインターバルアナライザーを用いた。
また表2から表13に示した記録材料の組成を得るために、成膜に用いるターゲットの組成及び成膜時の酸素量を適宜調整している。例えば、表5における以下の組成(Te:Pd:TeO2:Bi2O3=23.0:24.0:47.1:5.9[mol%])からなる記録材料を成膜する際には、以下の組成(Te:Pd:Bi=66.2:22.7:11.1[mol%])からなるターゲットを用いて成膜を実施した。
実施例1では、表2〜表13に示されるようなTe−O−Pdのみからなる記録層とTe−O−Pdに各添加材料(Ag2O、Al2O3、B2O3、Bi2O3、CeO2、CuO、Cu2O、Ga2O3、In2O3、MoO3、Nb2O5、VO2)を添加した記録層からなる情報記録媒体を作製し上記の評価を行った。
これに対して、記録感度を改善するために各種の添加材料を添加した結果を表2から表13に示す。
ここでは、2層からなる情報記録媒体に本発明の記録層材料(ここでは代表例としてTe−Pd−TeO2−Bi2O3)を適用し、記録感度、信頼性に与える影響を調べた。
図2に示した層構成を有する情報記録媒体を作製した。基板としては、ポリカーボネイト樹脂を用いた。基板の直径は12cm、厚さは1.1mm、グルーブピッチは0.32μm、グルーブ深さは20nmとした。
基板のグルーブが形成された側の表面上に、第1の情報層として、AgPdCu(重量比98.1:0.9:1.0)ターゲットを用いて膜厚40nmのAgPdCu反射層、ZrO2−SiO2−Cr2O3−LaF3(分子数比23:23:31:23)ターゲットを用いて膜厚20nmのZrO2−SiO2−Cr2O3−LaF3誘電体層、Te−O−PdもしくはTe−O−Pd−Bi2O3からなるターゲットを用いて膜厚20nmのTe−O−PdもしくはTe−O−Pd−Bi2O3記録層、ZnS−SiO2(分子数比80:20)ターゲットを用いて膜厚20nmのZnS−SiO2誘電体層、の各層をスパッタリング法によりこの順に積層した。この第1の情報層の表面上に、紫外線硬化性樹脂を用いて基板と同じ溝パターンを転写し、厚さ約25μmの中間層を形成した。
記録層組成の分析方法、記録感度および信頼性の評価方法は、実施例1と同様に行った。なお、2層からなる情報記録媒体の場合、得られた記録感度は、BD規格を考慮すれば、1倍速(36Mbps)においては12mW、2倍速(72Mbps)においては14mW、4倍速(144Mbps)においては18mW以下を満足することが望ましい。
実施例2では、表14に示されるようなTe−O−Pdのみからなる記録層を有する情報記録媒体と、Te−O−PdにBi2O3を添加した記録層を有する情報記録媒体とを作製し上記の評価を行った。
これに対して、記録感度を向上するためにBi2O3を添加した場合には、第1情報層、第2情報層ともに、記録感度は1倍速、2倍速、4倍速で目標値を上回っており、さらに信頼性に関してもPp1、Pp2でともに良好であることがわかった。また、添加物を添加しない場合に比べて、全ての情報層で同等以上の良好なジッタ値が得られた。また、実施例1で挙げたBi2O3以外の添加材料に関しても同様の効果が得られることを確認した。
(実施例3)
ここでは、4層からなる情報記録媒体に本発明の記録層材料(ここでは代表例としてTe−O−Pd−Bi2O3)を適用し、記録感度、信頼性に与える影響を調べた。
図3に示した層構成を有する情報記録媒体(nが4の場合)を作製した。基板としては、ポリカーボネイト樹脂を用いた。基板の直径は12cm、厚さは1.1mm、グルーブピッチは0.32μm、グルーブ深さは20nmとした。
基板のグルーブが形成された側の表面上に、第1の情報層として、AgPdCu(重量比98.1:0.9:1.0)ターゲットを用いて膜厚80nmのAgPdCu反射層、ZrO2−SiO2−Cr2O3−LaF3(分子数比23:23:31:23)ターゲットを用いて膜厚20nmのZrO2−SiO2−Cr2O3−LaF3誘電体層、Te−O−PdもしくはTe−O−Pd−Bi2O3からなるターゲットを用いて膜厚20nmのTe−O−PdもしくはTe−O−Pd−Bi2O3記録層、ZnS−SiO2(分子数比80:20)ターゲットを用いて膜厚30nmのZnS−SiO2誘電体層の各層をスパッタリング法によりこの順に積層した。この第1の情報層の表面上に、紫外線硬化性樹脂を用いて基板と同じ溝パターンを転写し、厚さ約13.5μmの中間層を形成した。
この中間層の表面上に、第3の情報層として、AlNターゲットを用いて膜厚12nmのAlN誘電体層、Te−O−PdもしくはTe−O−Pd−Bi2O3からなるターゲットを用いて膜厚6nmのTe−O−PdもしくはTe−O−Pd−Bi2O3記録層、ZnS−SiO2(分子数比80:20)ターゲットを用いて膜厚38nmのZnS−SiO2誘電体層の各層をスパッタリング法によりこの順に積層した。この表面上に、紫外線硬化性樹脂を用いて基板と同じ溝パターンを転写し、厚さ9.5μmの中間層を形成した。
各層の成膜は、いずれも、直径100mm、厚さ6mm程度のターゲットを用い、反射層はDC電源200W、誘電体層はRF電源300W、記録層はRF電源100Wで成膜した。また、反射層は、Ar(25sccm)のガスを、記録層はAr(25sccm)及び適量の酸素との混合ガスを、誘電体層は、Ar(25sccm)を、いずれも、ガス圧約0.13Paに保った雰囲気で成膜した。
なお、4層からなる情報記録媒体の場合、得られた記録感度は、1倍速(36Mbps)においては13mW以下、2倍速(72Mbps)においては17mW以下を満足することが望ましい。
実施例3では、表15に示されるようなTe−O−Pdのみからなる記録層とTe−O−PdにBi2O3を添加した記録層からなる情報記録媒体を作製し上記の評価を行った。
これに対して、記録感度を向上するためにBi2O3を添加した場合には、記録感度は1倍速、2倍速ともに、全ての情報層で目標値を上回った。さらに信頼性に関してもPp1、Pp2でともに良好であることがわかった。また、添加物を添加しない場合に比べて、全ての情報層で同等以上の良好なジッタ値が得られた。また、実施例1で挙げたBi2O3以外の添加材料に関しても同様の効果が得られることを確認した。
2,10,25 基板
4,12,18,27,32,37 第1の誘電体層
5,13,19,28,33,38 記録層
7,22,41 光透明層
8,23,42,45 レーザ光
3,11,17,26 反射層
6,14,20,29,34,39 第2の誘電体層
15,30 第1の情報層
16,31,36 中間層
21,35 第2の情報層
40 第nの情報層
43 記録再生装置
46 対物レンズ
47 レーザ
48 光検出器
49 スピンドルモータ
Claims (19)
- 基板上に記録層を有し、前記記録層にレーザ光を照射または電気エネルギーを印加することによって情報の記録及び再生を可能とする情報記録媒体であって、
前記記録層がTe、M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)、TeO2、材料Aを主成分として含み、
Te原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、M原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、TeO2+材料Aの含有割合が40mol%以上85mol%以下であり、
材料AがAg2Oであって、Ag2O/TeO2比が0.18以上1.00以下であることを特徴とする情報記録媒体。 - 基板上に記録層を有し、前記記録層にレーザ光を照射または電気エネルギーを印加することによって情報の記録及び再生を可能とする情報記録媒体であって、
前記記録層がTe、M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)、TeO2、材料Aを主成分として含み、
Te原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、M原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、TeO2+材料Aの含有割合が40mol%以上85mol%以下であり、
材料AがAl2O3であって、Al2O3/TeO2比が0.10以上0.50以下であることを特徴とする情報記録媒体。 - 基板上に記録層を有し、前記記録層にレーザ光を照射または電気エネルギーを印加することによって情報の記録及び再生を可能とする情報記録媒体であって、
前記記録層がTe、M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)、TeO2、材料Aを主成分として含み、
Te原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、M原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、TeO2+材料Aの含有割合が40mol%以上85mol%以下であり、
材料AがB2O3であって、B2O3/TeO2比が0.18以上0.33以下であることを特徴とする情報記録媒体。 - 基板上に記録層を有し、前記記録層にレーザ光を照射または電気エネルギーを印加することによって情報の記録及び再生を可能とする情報記録媒体であって、
前記記録層がTe、M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)、TeO2、材料Aを主成分として含み、
Te原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、M原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、TeO2+材料Aの含有割合が40mol%以上85mol%以下であり、
材料AがBi2O3であって、Bi2O3/TeO2比が0.04以上0.30以下であることを特徴とする情報記録媒体。 - 基板上に記録層を有し、前記記録層にレーザ光を照射または電気エネルギーを印加することによって情報の記録及び再生を可能とする情報記録媒体であって、
前記記録層がTe、M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)、TeO2、材料Aを主成分として含み、
Te原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、M原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、TeO2+材料Aの含有割合が40mol%以上85mol%以下であり、
材料AがCeO2であって、CeO2/TeO2比が0.05以上0.14以下であることを特徴とする情報記録媒体。 - 基板上に記録層を有し、前記記録層にレーザ光を照射または電気エネルギーを印加することによって情報の記録及び再生を可能とする情報記録媒体であって、
前記記録層がTe、M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)、TeO2、材料Aを主成分として含み、
Te原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、M原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、TeO2+材料Aの含有割合が40mol%以上85mol%以下であり、
材料AがCuOであって、CuO/TeO2比が0.10以上1.00以下であることを特徴とする情報記録媒体。 - 基板上に記録層を有し、前記記録層にレーザ光を照射または電気エネルギーを印加することによって情報の記録及び再生を可能とする情報記録媒体であって、
前記記録層がTe、M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)、TeO2、材料Aを主成分として含み、
Te原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、M原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、TeO2+材料Aの含有割合が40mol%以上85mol%以下であり、
材料AがCu2Oであって、Cu2O/TeO2比が0.05以上1.00以下であることを特徴とする情報記録媒体。 - 基板上に記録層を有し、前記記録層にレーザ光を照射または電気エネルギーを印加することによって情報の記録及び再生を可能とする情報記録媒体であって、
前記記録層がTe、M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)、TeO2、材料Aを主成分として含み、
Te原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、M原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、TeO2+材料Aの含有割合が40mol%以上85mol%以下であり、
材料AがGa2O3であって、Ga2O3/TeO2比が0.05以上0.18以下であることを特徴とする情報記録媒体。 - 基板上に記録層を有し、前記記録層にレーザ光を照射または電気エネルギーを印加することによって情報の記録及び再生を可能とする情報記録媒体であって、
前記記録層がTe、M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)、TeO2、材料Aを主成分として含み、
Te原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、M原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、TeO2+材料Aの含有割合が40mol%以上85mol%以下であり、
材料AがIn2O3であって、In2O3/TeO2比が0.02以上0.08以下であることを特徴とする情報記録媒体。 - 基板上に記録層を有し、前記記録層にレーザ光を照射または電気エネルギーを印加することによって情報の記録及び再生を可能とする情報記録媒体であって、
前記記録層がTe、M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)、TeO2、材料Aを主成分として含み、
Te原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、M原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、TeO2+材料Aの含有割合が40mol%以上85mol%以下であり、
材料AがMoO3であって、MoO3/TeO2比が0.25以上1.50以下であることを特徴とする情報記録媒体。 - 基板上に記録層を有し、前記記録層にレーザ光を照射または電気エネルギーを印加することによって情報の記録及び再生を可能とする情報記録媒体であって、
前記記録層がTe、M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)、TeO2、材料Aを主成分として含み、
Te原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、M原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、TeO2+材料Aの含有割合が40mol%以上85mol%以下であり、
材料AがNb2O5であって、Nb2O5/TeO2比が0.05以上0.12以下であることを特徴とする情報記録媒体。 - 基板上に記録層を有し、前記記録層にレーザ光を照射または電気エネルギーを印加することによって情報の記録及び再生を可能とする情報記録媒体であって、
前記記録層がTe、M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)、TeO2、材料Aを主成分として含み、
Te原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、M原子の含有割合が0mol%以上40mol%以下、TeO2+材料Aの含有割合が40mol%以上85mol%以下であり、
材料AがVO2であって、VO2/TeO2比が0.10以上0.33以下であることを特徴とする情報記録媒体。 - 前記記録層の膜厚が、2nm以上30nm未満であることを特徴とする請求項1から12のいずれか1項に記載の情報記録媒体。
- 前記基板上にn層(ただし、nは2以上の整数)の情報層が分離層を介して積層された情報記録媒体であって、少なくともいずれかの情報層が、前記記録層を有することを特徴とする請求項1から13のいずれか1項に記載の情報記録媒体。
- 請求項1か14のいずれかに記載の情報記録媒体の製造方法であって、基板上に記録層を作成する工程を有し、前記記録層にレーザ光を照射または電気エネルギーを印加することによって情報の記録及び再生を可能とする情報記録媒体の製造方法において、
前記記録層をスパッタリング法により作製し、
前記記録層の作製工程で用いるターゲット材料はTe−O−M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)と材料A(ただし材料AはTe−Oと共晶反応を示す材料)との混合物を主成分とすることを特徴とする情報記録媒体の製造方法。 - 請求項1から14のいずれかに記載の情報記録媒体の製造方法であって、基板上に記録層を作成する工程を有し、前記記録層にレーザ光を照射または電気エネルギーを印加することによって情報の記録及び再生を可能とする情報記録媒体の製造方法において、
前記記録層をスパッタリング法により作製し、
前記記録層の作製工程で用いるターゲット材料はTe−M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)と材料B(ただし材料Bの酸化物である材料AはTe−Oと共晶反応を示す材料)との混合物を主成分とし、
成膜ガスは希ガスと酸素との混合ガスを主成分とし、反応性スパッタリングを行うことを特徴とする情報記録媒体の製造方法。 - 請求項1から14のいずれかに記載の情報記録媒体の製造方法であって、基板上に記録層を作成する工程を有し、前記記録層にレーザ光を照射または電気エネルギーを印加することによって情報の記録及び再生を可能とする情報記録媒体の製造方法において、
前記記録層をスパッタリング法により作製し、
前記記録層の作製工程において、Te−M(ただし、MはAu、Pd、Ptから選ばれる1つまたは複数の元素)とTe−Oと材料Aの化合物(ただし材料AはTe−Oと共晶反応を示す材料)とを異なるターゲットから同時にスパッタリングすることを特徴とする情報記録媒体の製造方法。 - 請求項1から14のいずれかに記載の情報記録媒体の記録層を成膜する際に用いるスパッタリングターゲットであって、
前記スパッタリングターゲットがTeO2と材料Aを主成分として含み、
前記材料AはTeO2と共晶反応を示す材料であることを特徴とする情報記録媒体用スパッタリングターゲット。 - 請求項1から14のいずれかに記載の情報記録媒体の記録層を成膜する際に用いるスパッタリングターゲットであって、
前記スパッタリングターゲットがTeO2と材料Bを主成分として含み、
前記材料Bの酸化物はTeO2と共晶反応を示す材料であることを特徴とする情報記録媒体用スパッタリングターゲット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008542075A JP4892562B2 (ja) | 2006-11-01 | 2007-10-26 | 情報記録媒体、その製造方法および情報記録媒体を形成するためのスパッタリングターゲット |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006297386 | 2006-11-01 | ||
JP2006297386 | 2006-11-01 | ||
PCT/JP2007/070874 WO2008053792A1 (fr) | 2006-11-01 | 2007-10-26 | Support d'enregistrement d'informations, son procédé de fabrication, et cible de pulvérisation pour former un support d'enregistrement d'informations |
JP2008542075A JP4892562B2 (ja) | 2006-11-01 | 2007-10-26 | 情報記録媒体、その製造方法および情報記録媒体を形成するためのスパッタリングターゲット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008053792A1 JPWO2008053792A1 (ja) | 2010-02-25 |
JP4892562B2 true JP4892562B2 (ja) | 2012-03-07 |
Family
ID=39344133
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008542075A Expired - Fee Related JP4892562B2 (ja) | 2006-11-01 | 2007-10-26 | 情報記録媒体、その製造方法および情報記録媒体を形成するためのスパッタリングターゲット |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7972674B2 (ja) |
JP (1) | JP4892562B2 (ja) |
CN (1) | CN101511598B (ja) |
WO (1) | WO2008053792A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4953168B2 (ja) * | 2008-03-24 | 2012-06-13 | 三菱マテリアル株式会社 | パーティクル発生の少ない光記録媒体膜形成用Te系スパッタリングターゲット |
JP5592621B2 (ja) * | 2009-08-20 | 2014-09-17 | ソニー株式会社 | 光記録媒体 |
EP2479751B1 (en) * | 2009-09-18 | 2017-04-26 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Recording layer for optical information recording medium, optical information recording medium, and sputtering target |
CN102634755B (zh) * | 2012-04-16 | 2014-11-19 | 东南大学 | 一种致密氮化物陶瓷涂层及其制备方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5538616A (en) * | 1978-09-04 | 1980-03-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical recording medium |
JPS5854338A (ja) * | 1981-09-28 | 1983-03-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学記録媒体および記録方法 |
JPS609870A (ja) * | 1983-06-27 | 1985-01-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | テルル低酸化物薄膜の製造方法 |
WO1998009823A1 (fr) * | 1996-09-09 | 1998-03-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Support d'enregistrement d'informations optiques, procede de fabrication correspondant, et procede et dispositif d'enregistrement et de lecture d'informations optiques |
JP2002133712A (ja) * | 2000-08-17 | 2002-05-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学的情報記録媒体とその製造方法、記録再生方法及び記録再生装置 |
JP2005022409A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学情報記録媒体とその製造方法 |
JP2005135568A (ja) * | 2003-10-08 | 2005-05-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 情報記録媒体とその製造方法、およびスパッタリングターゲット |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0130755B1 (en) * | 1983-06-27 | 1988-08-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of producing optical recording medium |
TW556185B (en) * | 2000-08-17 | 2003-10-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical information recording medium and the manufacturing method thereof, record reproduction method and record reproduction device |
TW200506926A (en) * | 2003-06-13 | 2005-02-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical information recording medium and method for manufacturing the same |
EP1523002B1 (en) * | 2003-10-08 | 2008-05-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Information recording medium, method of manufacturing the same, and sputtering target |
-
2007
- 2007-10-26 WO PCT/JP2007/070874 patent/WO2008053792A1/ja active Search and Examination
- 2007-10-26 JP JP2008542075A patent/JP4892562B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2007-10-26 CN CN200780031899.1A patent/CN101511598B/zh active Active
- 2007-10-26 US US12/439,592 patent/US7972674B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5538616A (en) * | 1978-09-04 | 1980-03-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical recording medium |
JPS5854338A (ja) * | 1981-09-28 | 1983-03-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学記録媒体および記録方法 |
JPS609870A (ja) * | 1983-06-27 | 1985-01-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | テルル低酸化物薄膜の製造方法 |
WO1998009823A1 (fr) * | 1996-09-09 | 1998-03-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Support d'enregistrement d'informations optiques, procede de fabrication correspondant, et procede et dispositif d'enregistrement et de lecture d'informations optiques |
JP2002133712A (ja) * | 2000-08-17 | 2002-05-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学的情報記録媒体とその製造方法、記録再生方法及び記録再生装置 |
JP2005022409A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学情報記録媒体とその製造方法 |
JP2005135568A (ja) * | 2003-10-08 | 2005-05-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 情報記録媒体とその製造方法、およびスパッタリングターゲット |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2008053792A1 (fr) | 2008-05-08 |
CN101511598A (zh) | 2009-08-19 |
US20090258178A1 (en) | 2009-10-15 |
JPWO2008053792A1 (ja) | 2010-02-25 |
US7972674B2 (en) | 2011-07-05 |
CN101511598B (zh) | 2011-10-12 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111129 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |