JPS60107744A - 光学情報記録部材 - Google Patents

光学情報記録部材

Info

Publication number
JPS60107744A
JPS60107744A JP58215489A JP21548983A JPS60107744A JP S60107744 A JPS60107744 A JP S60107744A JP 58215489 A JP58215489 A JP 58215489A JP 21548983 A JP21548983 A JP 21548983A JP S60107744 A JPS60107744 A JP S60107744A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
recording
ratio
optical information
information recording
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP58215489A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0441669B2 (ja
Inventor
Noboru Yamada
昇 山田
Kunio Kimura
邦夫 木村
Kenichi Nishiuchi
健一 西内
Eiji Ono
鋭二 大野
Mutsuo Takenaga
睦生 竹永
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP58215489A priority Critical patent/JPS60107744A/ja
Priority to EP84307783A priority patent/EP0142968B1/en
Priority to DE8484307783T priority patent/DE3480240D1/de
Priority to KR1019840007139A priority patent/KR890003202B1/ko
Publication of JPS60107744A publication Critical patent/JPS60107744A/ja
Publication of JPH0441669B2 publication Critical patent/JPH0441669B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • G11B2007/24302Metals or metalloids
    • G11B2007/24312Metals or metalloids group 14 elements (e.g. Si, Ge, Sn)
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • G11B2007/24302Metals or metalloids
    • G11B2007/24316Metals or metalloids group 16 elements (i.e. chalcogenides, Se, Te)
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/242Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
    • G11B7/243Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
    • G11B2007/24318Non-metallic elements
    • G11B2007/2432Oxygen

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
  • Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は光、熱等を用いて高速かつ高密度に光学的な情
報を記録、再生できる光学情報記録部材に関するもので
ある。
従来例の構成とその問題点 レーザー光線を利用して高密度な情報の記録。
再生を行なう技術は公知である。このような記録再生に
用いる記録媒体として基板上にテルルの酸化物TeOx
1(0<lIc1<2)を主成分とする薄膜を設けたも
のがある (特開昭50−46317号公報。
特開昭50−46318号公報、特開昭60−4631
9号公報、米国特許第3971874号明細書)。添加
成分としてはPb0x6(0(x6〈1 )、5bOx
6(0<X6<1.6)、VOx7(0<x7<2.5
)等が使用される。このような記録媒体は再生用の光ビ
ームの照射において透過率変化を大きく得ることが出来
る。
しかし、記録、再生装置の小型化、簡易化を図る場合に
使用し得るレーザー光源の出力には限度があり、小型の
出力20 mW以内のHe−Neレーザー発振装畳、半
導体レーザー発振装置等を使用して記録、再生を行なう
には前記TeOx、(0(x〈2)を主成分とする薄膜
を備えた記録媒体では感度が不十分である。丑だ、情報
を反射光量変化で再生ずる場合には十分な変化量が得ら
れない。
次に、前記欠点を補うものとして、TeOx (0(x
(2)に、融点の低い添加材料を適用し、状態変化のス
レノ/ヨールド温度を下げる試み、例えばTl2Oλ(
Oくx〈1.6)(Tl2O融点300℃)を添加する
方法が有る。
一方状態変化に伴う光学特性の変化を太きぐするために
、媒体の屈折率を大きくする方法があり、このため、イ
オン分極率の大きいかつ密度の大きい添加材料を用いる
試みがなされている。例えば、B1Ox2.In0x2
(0(x2(1,6)等である。
(特願昭63−109002 、特願昭54−7150
6)これらの方法によって、T e Ox を主成分と
する記録媒体は、半導体レーザによる記録2反射光量変
化による再生等が可能となった。
しかし、情報社会の進展に伴ない、これ寸で以上に情報
伝達の高速化が要求されるようになると、従来以」二の
記録速度、再生速度、それに伴なう記録感度の向」二が
必要となっできている。
発明の目的 本発明は、従来の0を主成分とする光記録薄膜、例えば
TeOxを主成分とする材料すなわち、TeとTeO2
とから成る薄膜等を改良し、Oを主成分とする光記録薄
膜の特長、例えば耐湿性に強い、といったメリットを残
しながら、記録速度、記録感度とも従来に比べて犬d〕
に向上した高速、高品質記録薄膜を得ようとするもので
ある。
発IJJの構成 本発明の光学情報記録部材は、基拐の」−に、Te、G
o、Sn、ならびに0の4元から構成され、膜中のOの
原子比が220−60at%、Te、Ge。
Snの原子比が第1図A−Fで四重れた領域による光記
録薄膜を設けたものである。
Te −002元から構成される光記録薄膜においては
、光照射−吸収−昇温というプロセスによって、膜中の
Te粒子が状態変化、すなわち結晶化、あるいは粒形を
増大し、記録が行なわれるわけであるが、この光学的濃
度変化の主成分であるTeの状態変化を促進するだめ、
例えば、結晶核のようなものになり得、変態に用する照
射時間を知紺1し、同時に照射強度を下げる添加材料と
して、Sn、Geが有効である。また、外部からの熱、
光のエネルギーによる不必要な状態変化を避ける目的で
、Geが不動である。Geは、膜中で、ネットワーク強
化要素としての働きを合わせもち、変態に至る温度を高
める。
実施例の説明 次に図面を参照しながら実施例をもって、本発明の詳細
な説明する。
第2図は、本発明による光学情報記録部材の断面図であ
る。
1は基拐であり、金属、例えばアルミニウム。
銅環;ガラス、例えば、石英、パイレックス、ソーダガ
ラス等;あるいは樹脂、例えばABS樹脂。
ポリスチレン、アクリル、塩ビ等、又透明フィルムとし
ては、アセテ−1−、テフロン、ポリエステル等が使用
できる。中でも、ポリエステルフィルム、アクリル板等
を使用する場合、透明性がすぐれており、形成せしめた
信号像を光学的に再生する際に有効である。
2ば、薄膜記録層を示す。薄膜記録層は、真空系内に用
意された複数個の蒸着ソースから、次のような手順で前
記、基板−ヒに形成する。
蒸着ンースとしては、TeまたはOの供給源としてTe
ソースとTe○2ソースのどちらか、あるいは両方。G
eiたはOの供給源としてGeンースとG e O2ソ
ースのどちらか、あるいは両方、Sn捷たは0の供給源
としてSnソースとS n O2ソースのどちらか、あ
るいは両方を用意する。このとき、膜中に必ず0が含丑
れるべく、TaO2、GeO2゜S n 02ソースの
いずれかは必ず用いられる。蒸着は、各原材料を石英容
器に入れ、その外壁をWコイルヒーターで加熱して行な
う。加熱方法としては、電子線ビームで直接加熱するこ
ともできる。
各ソースからの蒸着量は、それぞれのソースを臨むセン
サーで検出し、ヒーター電流、電子線ビーム強度を制御
して変えることができる。
このようにして各ソースから蒸発した各成分が前記基板
上に蒸着され前述の記録薄膜が合成される。
蒸着膜は、淡黄色ないしは黄カン色の透過色を呈する薄
膜であり、膜厚は600〜2000への範囲で用いるの
が好ましい。
蒸着の際の真空度は6×1σ” mmH9程度で十分で
あり、蒸着条件を変化させても得られる光学記録膜の特
性に顕著庁差は生じない。
蒸着膜の組成は、上記蒸着方法によってO−T 。
−Ge−8n の4元で自由に選ぶことが可能である。
記録薄膜への記録は、Xeフラッシュランプ光。
He −N eレーザ光、半導体レーザ光、赤外線ラン
プ光等の光照射の、何を用いても可能である。
本発明の記録膜は、赤外線う/プのような連続的光照射
から、10 n5ec程度のレーザーパルス光まで同様
に応答し、光学濃度を増すことがわかった。
記録薄膜には、耐湿性をより確実にするために、防湿層
をつけることも可能である。防湿層としては、半導体レ
ーザ光の波長で、すなわち400〜1000 nm付近
で透明な層が記録、再生上必要であり、酸化物薄膜、特
に5102が有効である。
次に、更に具体的な例をもって、本発明の詳細な説明す
る。
〔実施例1〕 蒸着ソースとして、TeO2,Te、Ge、an を用
いる。蒸着レートは水晶振動子式膜厚計でモニターし、
それぞれ1A/S、 1A/S、2A/S、2A/Sと
する。加熱手段は、電子線ビームとし、150rpmで
回転する2 00 ttanφのPMMA樹脂製のディ
スク基村上に、厚さ約1000へのTo−8n −Go
 −0膜を形成した。膜組成は、オージェ電子分光法で
」り定した結果、Te5oGe2oSn1.036であ
った。
上記の方法で得た薄膜は、見た目に淡カン色を呈してい
る。この膜に、λ= 830 n mの半導体レーザー
を用いて、約0.8μのスポットに集光し、照射時間を
10〜2oonsecの間で変化させてレーザーパワ〜
7mWでパルス光を照射したところ、各パルス光に対し
て、リアルタイムで記録が完了し、見た目に黒化変態す
ることが確かめられた。
この記録したところは、同じ半導体レーザー光を弱めて
、その反射光を検出して再生することができる。
第3図は、前述の膜の分光反射率曲線を表わす。
図中のaで示される部分は初期未記録状態、bはレーザ
ーで黒化記録した状態の曲線である。半導体レーザー波
長830 n mでは、大きいΔR226係が得られて
いる。
〔実施例2〕 蒸着ソースとして、TeO2,Te、Ge、Snを用い
、実施例1と同様にして、各ソースからの蒸着レートを
変え、色々な組成比のTe −Ge −Sn −0系薄
膜を形成した。これらの薄膜に、照射時間40n気の半
導体レーザー光を照射したところ、Oの原子比が20〜
70%の範囲では第1図に示した、A、Fで囲まれた領
域では、実時間で記録が終了することがわかった。A−
F領域の上では、記録完了までに若干のタイムディレィ
が観測された。
またA、F領域の下では、光の吸収が不十分で、記録感
度が低かった。
またA−Fの領域の中でも、特に斜線で示したG、Hの
領域では応答速度が速く、40nsec以下のパルス光
にも十分対応した。
なお、A〜N各点の座標は次のとおりである。
(Te、Ge、Sn)% A:60,25.15 B:60,16.25 C:30,0.70 D:5,0.95 E:10,90.O F:40,60.O G:50,40.10 H: tsts 、 30,16 I:65,20.25 J:35,20.45 に:15,46.40 L:15,75.10 M:20,75.5 N:25,70.6 第4図は、46°C,85H%中での耐熱、耐湿テスト
の試験結果を示す。Cは、020 T e 2□G e
2eSn26.dは、Os oT e 22 Ge21
 S n 21 、eは04oTe20Ge2oSn2
゜の相対透過率T/To(Tは透過率、Toは初期透過
率)を表わす。この結果から、○の原子数比が20%を
切ると耐湿性が極端に低下することがわかった3捷だ、
逆に0が多すぎると膜の光吸収が低下し記録感度が低下
するっ○比は3Q〜6Q%に選べば耐湿性、記録感度の
両方が保持される。
発明の効果 本発明における、テルル、ゲルマニウム、錫。
酸素から成る光学記録薄膜を有する光学記録部材は、従
来のテルル、酸素を主成分とした系を用いる光学記録部
材と比較して、次にあげる効果を有する。
(1)光照射に対して高速にレスポンスする。
薄膜の構造をレーザー光等に対して敏感なものとするこ
とにより、40 n SeCと以下という短い時間内に
記録が完了できる。
(2)信号品質が高い。
レーザー光で、記録された情報を再生する場合に、初期
未記録部と記録部の反射率差ΔRが26%以上と極めて
大きく、高品質の光学記録ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明による光学情報記録部拐における0以
外の有効な組成領域を示す組成図、第2図は、本発明の
一実施例における光学情報記録部拐の断面図、第3図は
、本発明の一実施例における光学情報記録部材の分光反
射率を示すグラフ、第4図は光学情報記録部材の耐湿テ
ストの結果を示すグラフである。 1・・・・・・暴利、2・・・・・・光学情報記録薄膜
。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが1名固 の 旧蓄徐ぺ

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)O,To、Go及びSnから成り、膜中のOの原
    子数比が20atm%以上かっ60atm%以下であっ
    て、Te、Go、Snの原子数の割合が、第1図におけ
    るA−Fで囲まれた領域にある光学情報記録薄膜を有す
    ることを特徴とする光学情報記録部材。
  2. (2) Te、Ge、Snの原子数の割合が、第1図に
    おけるG−Nで囲まれた領域にある特許請求の範囲第1
    項記載の光学情報記録部材。
  3. (3)Oの原子数比が30 a tm%以上かッ60 
    a tm%以下である特許請求の範囲第1項記載の光学
    情報記録部材。
  4. (4)薄膜の膜厚を600ん2000への間に選ぶこと
    を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光学情報記録
    部材。
  5. (5)#膜の両側に、波長400〜1000 nmで透
    明な防湿層を設けることを特徴とする特許請求の範囲第
    1項記載の光学情報記録部材。
  6. (6)透明な防湿層として、特に5i02を用いること
    を特徴とする特許請求の範囲第6項記載の光学情報記録
    部材。
JP58215489A 1983-11-15 1983-11-15 光学情報記録部材 Granted JPS60107744A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58215489A JPS60107744A (ja) 1983-11-15 1983-11-15 光学情報記録部材
EP84307783A EP0142968B1 (en) 1983-11-15 1984-11-09 Optical recording medium and method of producing same
DE8484307783T DE3480240D1 (en) 1983-11-15 1984-11-09 Optical recording medium and method of producing same
KR1019840007139A KR890003202B1 (ko) 1983-11-15 1984-11-14 광학 기록매체 및 그 제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58215489A JPS60107744A (ja) 1983-11-15 1983-11-15 光学情報記録部材

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60107744A true JPS60107744A (ja) 1985-06-13
JPH0441669B2 JPH0441669B2 (ja) 1992-07-09

Family

ID=16673228

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58215489A Granted JPS60107744A (ja) 1983-11-15 1983-11-15 光学情報記録部材

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60107744A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60219646A (ja) * 1984-04-16 1985-11-02 Nippon Columbia Co Ltd 光情報記録媒体
JPS61217287A (ja) * 1985-03-25 1986-09-26 Nippon Columbia Co Ltd 光情報記録媒体
JPS6230086A (ja) * 1985-07-31 1987-02-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学情報記録部材
JPS6276035A (ja) * 1985-09-30 1987-04-08 Tdk Corp 情報記録媒体および記録方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55126480A (en) * 1979-03-26 1980-09-30 Hitachi Ltd Recording member
JPS5854338A (ja) * 1981-09-28 1983-03-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学記録媒体および記録方法
JPS58161161A (ja) * 1982-03-19 1983-09-24 Hitachi Ltd 記録用部材

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55126480A (en) * 1979-03-26 1980-09-30 Hitachi Ltd Recording member
JPS5854338A (ja) * 1981-09-28 1983-03-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学記録媒体および記録方法
JPS58161161A (ja) * 1982-03-19 1983-09-24 Hitachi Ltd 記録用部材

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60219646A (ja) * 1984-04-16 1985-11-02 Nippon Columbia Co Ltd 光情報記録媒体
JPH0327974B2 (ja) * 1984-04-16 1991-04-17 Nippon Columbia
JPS61217287A (ja) * 1985-03-25 1986-09-26 Nippon Columbia Co Ltd 光情報記録媒体
JPS6230086A (ja) * 1985-07-31 1987-02-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学情報記録部材
JPS6276035A (ja) * 1985-09-30 1987-04-08 Tdk Corp 情報記録媒体および記録方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0441669B2 (ja) 1992-07-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6248301B2 (ja)
JPS6168296A (ja) 光学情報記緑部材
JPH09198709A (ja) 多層光ディスク及び記録再生装置
JPH0473387B2 (ja)
JPS60107744A (ja) 光学情報記録部材
US4341863A (en) Archival optical recording medium
JPS6288152A (ja) 光学情報記録部材
JPS6045485B2 (ja) 光学記録媒体
JPS60157894A (ja) 光情報記録媒体
JPS60203490A (ja) 光学情報記録部材
JPS5953614B2 (ja) ジヨウホウキロクホウホウ
JPS597093A (ja) 光学記録媒体
JPS6256583B2 (ja)
JPS63155437A (ja) 情報記録媒体
JPH0478031A (ja) 情報記録媒体
JPH0375940B2 (ja)
JPS6230085A (ja) 光学情報記録部材
JPH0327975B2 (ja)
JPH10289478A (ja) 光学式情報記録媒体及びその製造方法
JPS63121142A (ja) 光学情報記録媒体
JPH0558910B2 (ja)
JPH07109656B2 (ja) 光学情報記録媒体
JPH0387291A (ja) 情報記録媒体
JPS58222891A (ja) 光学記録媒体
JPS639039A (ja) 光学情報記録媒体