JPS60219646A - 光情報記録媒体 - Google Patents

光情報記録媒体

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JPS60219646A
JPS60219646A JP59076257A JP7625784A JPS60219646A JP S60219646 A JPS60219646 A JP S60219646A JP 59076257 A JP59076257 A JP 59076257A JP 7625784 A JP7625784 A JP 7625784A JP S60219646 A JPS60219646 A JP S60219646A
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JP
Japan
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film
thin
thin film
recording
xsnxte
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JP59076257A
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Teruo Kobayashi
輝夫 小林
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Nippon Columbia Co Ltd
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Nippon Columbia Co Ltd
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    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
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    • G11B2007/24302Metals or metalloids
    • G11B2007/24312Metals or metalloids group 14 elements (e.g. Si, Ge, Sn)
    • GPHYSICS
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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
  • Non-Silver Salt Photosensitive Materials And Non-Silver Salt Photography (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は光ビームを用いて情報が記録される光情報記録
媒体に関し、特に小さい光エネルギーにて情報を記録す
ることができる記録薄膜に関す乙ものである。
光情報記録媒体において、記録薄膜に光ビームを照射し
、記録簿m’ta成す2材料の非晶質−結晶質転移によ
4反射率変化を成起せしめ、情報を記録する方法が知ら
れていゐ0この記録膜材料としてはテルル低級酸化物T
eOx (0(x (2)や三セレン化アンチモンBb
、Be、Q’EJられてぃ2が、光ビーム照射前後の反
射率変化量が小さかったシ、光エネルギー吸収層を積層
す2必要がある等の欠点がちゐ。本出願人は鳶にか\ゐ
欠点上解消すえ材料と(てテルル化□ゲルマニウムGe
Te薄膜t−特JIl昭59−13745号によシ提案
し九。GoToは光ビーム照射前後の反射率変化量が太
きくLd−も単層で記録膜を構成できゐ利点があゐが、
非晶質−結晶質転移′を生じさせ乙には該薄膜t”44
0cK以上になるよう光エネルギーを与え2必要があっ
た。そのため高感度記録、例えばビデオ(6号を実時間
で記録すゐ龍には、光ビーム装置は高出力のものが必要
にな□す、記録再生装置が高価になこ欠点があった。
本発明はGeTe記録薄膜の上述の欠点全解消し、小さ
い光エネルギーにて情報を記録再生すえことのでき2元
情報記録媒体を提供することを目的とす芝ものでJその
特徴は記録薄膜がGe、8n及びTet−主成分とす4
金属薄膜であj) Ge 、 Sn及びTeがGe□−
x8nxTo (0< x≦0.7)なえ組成(アトミ
ツクチ)であゐことに64゜ 以下冥施例に従って詳細に説明する。
光情報記録媒体に使用さt′L/:基板は熱伝導度が小
さく、該基板表面が平滑でキズが少ないことが必要で、
又例えけ光ビー・ムを基板を通して記録薄膜に照射す2
場合Fi牌元ビームに対して透過性でなければならない
。このような基板には記録再生レーザー光に対し透明な
合成樹脂、例えはポリメチルメタクリレート、ポリカー
ボネート、ポリ塩化ビニル、ポリスルホンな・どや、ガ
ラスが用いられ乙。
情報記録薄膜は前記基板上に接して設けおこともでき乙
が、前記基板上に低熱伝導、物質からなる熱遮断性薄膜
、前記基板上に存在すふキズを除去すふ高分子塗膜又は
光ビーム反射性#膜を介して設けふこともできる。金属
記録薄膜は公知の技術、例えば真空蒸着、スパッタリン
グ、イオンブレーティング等によって前記基板上に被着
させ4ことができ2゜ 本実施例においては前記記録薄膜は真空蒸着法にて基板
上に被着させた。真空蒸着法にょシG%−エ5nxTe
 (以下Ge8nTeと記載する場合もあ4)合金薄膜
全作製す4にはGe5nTe合金を蒸発源とする一元蒸
発法あ2いはGeTe 、5nTe ′t−蒸発源とす
る二元”一時蒸着法を用い2ことができ本発明にはいず
九も有効であった。
一元蒸発法に用いられ2合金は以下のように作゛製した
純度99.99−以上のGo 、・Sn及びTel所望
の合金組成となるよう秤量し、石英ガラス管内に入れ真
空封止を行った0この石英ガラス管f 1000 oC
s5時間加熱の後急冷してGe5nTe合金會得た。G
e5nTe合金は、抵抗加熱法、電子ビーム加熱法いず
れの方法によっても蒸発させることができ40なお蒸発
源合金組成と薄膜合金組成との差異は抵抗加熱法におい
て少し認められたので、このことを考慮して前記合金組
成を変化させふことにより所望の合金組成を持つGe5
nTe薄膜t ajことがで′#z。
一方電子ビーム加熱法においては蒸発源合金組成と薄膜
合金組成との差異は認められなかった。
次に第1図は二元同時蒸発法を示す図で真空槽11の中
に回転すこ基板ホルダー12が設けられておシその下方
に基板13t−取シ付けふ。基板13の下方には蒸発源
14および15があシそれ、ぞ隻にGeTeおよび5n
Teが斜線の如、、<充填され乙。蔓発源14および1
5!i独立に制御可能な電源16および17j有し、−
発源、14セよび県5に供給される電力を変化さ1″ふ
員に19・作製さtするG″棹=薄膜中のGeとSnO
比全変化させ所望の合金組成、をもつGe5nTe薄膜
を得た・なお合金組成定量は竺光X線分析装置を使用し
て行、つた。
第2図実+1!21は、Ge z xsxTe合金薄膜
瞥おいて種々のXの値の薄膜を作製し非結晶−結晶、、
転、移点を測定した結果である。測定はガラ、ス基板上
にG。
8nTe合金薄膜を被着させた試料、全加熱、シ1.薄
2膜の反射率あ2いは透過率の光学的性質が大きく変化
する点上転移点とした。又、第2図実線22は洲板上に
被着されたGe、−x8nxTe薄膜にμ長λ= 83
0 nmの半導体レーザー光を200 na間照射した
時、該Ge 1−x”nx’re薄膜のレーザー光被照
射部の反射率ζ大きく変化させ、るに必要なレーザーパ
ワーの相対値を示す。第2図に見られ4ごと<Ge5n
xTo # dはGeTe薄膜に比較するならば、Ge
、 XSnxTe薄膜中のXの値が大きくなゐにつれ非
結晶−結晶転移点が下が東例えばx = 0.2で41
.0°に1x = 0.5で350°にとなυ、情報音
記録す2に必要な′:′:二”9−’t”: !6 、
:。;゛:=ニニニ6.fb、、 、゛ユ°゛:41、
、41%、の光エネヶギーを節約下きえ。
、本実施例におい又はGe8nTe合金薄膜は真空蔓着
法にて作製され、だが、該Ge5nTe薄膜は真空蒸着
法に限らず公知の技術であえスパッタリング法で作製し
ても同様の結果が得られた。ただし、−の場合Ge5n
Te薄膜の非結晶−結晶転移点は、真空蒸着 、法に比
してG、e、−XSnxTe薄膜中のXの値にか\わら
−7”20〜407に高くなった。しかしスパン、り法
により作製したGeTe $膜の転移点は480°にで
あったので、Ge z xsnxTe薄膜の転移点はX
の竺にか\わらずGeTe 4膜の転移点よシ低く、予
の値の門人と共実施例と同、じであった。又、前記実施
例は元ビームとして半導体レーザー食用いたが元ビーム
は半導体レーザーに限定され4ことな(He −Neレ
ーf −、Arレーサー等のレーザー光、キセノンラン
プ、タングステンランプを用いることができふ。
なぜならGe5nTe薄膜はGeTe薄膜と同様に光学
的性質の波長依存性がゆえやかで、該薄膜の膜厚を記録
光ビーム波長に応じて最適化でき乙からである0 本発明においてGe1−エ5nxTe合金薄膜の組成を
0〈X≦0,7とした理由は以下の通シであえ。Ge□
1SnxTe合金薄膜においてXが大きくなえにつれ該
薄膜の非結晶−結晶転移温度は低くなりx = 0.7
のときには該転移点は300°にとなシ室温よシわずか
に褐いが、x)0.7のときは、作製した上記合金薄膜
は室温にてすでに結晶質に転移していることになシ、情
報を記録す2ことができ々くなZからである。従って周
囲温度が室温よシも高くなえ可能性があえ場合は、転移
温度を例えば350°に@度に設定すればよく、この為
には0 (x≦0.5とすnばよい。
以上詳述したように、基体と該基体上に形成された薄膜
を有し、該薄膜へ元ビームを照射し情報全記録すゐ光情
報記録媒体において、上記薄膜がGe、Sn及びTei
主成分とする薄膜であり、該GeSn、Teは、Ge1
−X5nXTe (0(x≦0.7)なこ組成であ芝こ
とを特徴とす4光情報記録媒体は小さな光エネルギーに
て情報全記録すとことができ、安価な記録再生装置にて
高感度記録全実現することができえ。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明元情報記録媒体を作製する装置の1例を
示し、第2図は本発明によ芝記録媒体の組成と非晶質−
結晶質転移点及び記録光エネルギーの関係を示す図であ
え。 11・・・真空槽 13・・・基板 14.15・・・蒸発源

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 基体と該基体上に形成された薄膜を有し、該薄膜へ光ビ
    ームを照射し情報を記脅す底光情報記録媒体において、
    上記薄膜がゲルマニウム、錫、テルルを主成分としGe
    1−xSnxTe(0<x≦0.7)なる組成であるこ
    とを特徴とする光情報記録媒体。
JP59076257A 1984-04-16 1984-04-16 光情報記録媒体 Granted JPS60219646A (ja)

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JPH0327974B2 JPH0327974B2 (ja) 1991-04-17

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