JPS60209918A - 金属薄膜型磁気記録媒体及びその製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、金属薄膜型の磁気記録媒体及びその製造法に
関するものである。

〔従来技術と問題点〕

磁気記録媒体において、高密度記録が行なえるようにす
るには、磁気記録媒体の磁気特性中保磁力の高いことが
必要である。この為、例えば蒸着法による手段で磁性膜
を構成する金属薄膜型磁気記録媒体の製造に際しては、
磁性粒子のξ気流が非磁性基材に対して傾いた状態で入
射して着膜されるようにし、これによって高保磁力の磁
性薄膜が形成されるようにしている。

しかし、このような科目蒸着法は、できるだけ高保磁力
の磁性薄膜を得ようとするにはできるだけ前記の傾き角
を太きくしなければならず、このように傾き角を大きく
すると磁性薄膜の成膜能率が著しく低下し、生産性が悪
くなるといった致命的欠点がある。

そこで、小さな入射角（傾き角）でも高保磁力の磁性薄
膜を得ることのできる研究が行なわれ、例えば多層膜化
による手段あるいは蒸着時に酸素ガス導入による手段等
が提案されている。

これらの手段のうち多層膜化による手段は、工程上及び
装置上複雑なものであるが故に低コスト化といった目的
からは問題があり、又、酸素ガス導入法も保磁方向上効
果は約４０％位のアップにしかならず、かつ入射角が小
さな場合には保磁方向上効果は小さく、さらには酸素ガ
ス導入量が多すぎると保磁力は低下するといった問題が
ある。

〔発明の開示〕

本発明者は、磁性粒子の蒸着成膜に際して、磁性材料の
みを蒸発させるのではなく、同時に周期律表第■族の元
素の酸化物をも蒸発させると、すなわち磁性材料と、例
えばＳ　ｉＯ，、Ｇｅｍ、、ＳｎＯ，、ＰｂＯ等といっ
た酸化物をセットしてペーパーデポジションすることに
より、出来た磁性膜中にはこれらの元素の酸化物が含ま
れるようになり、このような酸化物を含む磁性膜の磁気
記録媒体は、角型比及び保磁力、特に保磁力といった磁
気特性が極めて優れたものであることを見い出した。

伺、上記において述べた磁性材料と共にセットしてペー
パーデポジションする為の周期律表第■Ｃ５０７，０１
２０９等の酸化物は通常には存在しないからであり、そ
してケイ素の安定した酸化物はＳｉｎ。

のみであるからであり、又、ゲルマニウム酸化物として
のＧｅＯとＧｅｍ、とを比べた場合にＧｅｍ、の方が安
定しているからであり、又スズ酸化物としてのＳｎＯと
Ｓ　ｎ　Ｏ！とを比べた場合にＳｎＯ，の方が安定して
いるからであり、又、鉛酸化物としてのＰｂＯとｐ　ｂ
　Ｏｚ　とを比べた場合にＰｂＯの方が安定しているか
らで６Ｄ、又、これらの酸化物は共蒸着させやすいから
である。

すなわち、これらの酸化物例えば二酸化ゲルマニウムを
共蒸着させることによってゲルマニウム酸化物がＧｅ換
算量で約６ｗｔ％含まれていると、保磁力はゲルマニウ
ム酸化物が含まれていない場合の約２．４倍にもなると
いったように、酸素ガス導入法の場合より格段に優れて
いる。

又、Ｇｅ換算量で約６ｗｔ％ゲルマニウム酸化物が含ま
れている磁性膜は、角型比の低下は極めて小さく、はと
んど問題にならない。

さらに、Ｓ　ｉＯ，、Ｇｅｍ、、ＳｎＯ，、ＰｂＯ等の
酸化物を磁性材料と共蒸着することによって磁性膜を構
成し、磁気記録媒体を製造する方法は、従来のフィルム
送り機構を備えた蒸着装置を用いて実施でき、すなわち
磁気記録媒体製造用の装置を新たに用意する必要はなく
、従って低コストで実施できるものとなる。

しかも、製造に際して蒸気流の入射角が小さくても高保
磁力の磁性膜が得られ、すなわち生産性を犠牲にしなく
ても高保磁力の磁性膜が得られ、高性能の磁気記録媒体
を低コストで提供できる。

〔実施例１〕 第１図は、本発明に係る金属薄膜型磁気記録媒体の製造
装置の概略説明図である。

同図中、１は真空チャンバー、２は、例えばＣｏ−Ｎ１
（８０：２０）合金等の磁性材３をセットした容器であ
り、この容器２内の磁性材３は電子ビーム加熱装置で蒸
発させられるようになっており、又、４は二酸化ゲルマ
ニウム材５をセットしたポートであり、この二酸化ゲル
マニウム材５は抵抗加熱によって蒸発させられるように
なっている。

６は遮蔽板、７は蒸発モニター、８は非磁性の基板材で
あり、磁性材３及び二酸化ゲルマニウム材５の蒸発粒子
が矢印方向に移動する基板材８面にクーリングキャント
ｆ慕蓄ナスよらに浄つイいる。

このような装置を用いて、真空チャンバー１内を５　Ｘ
　１Ｏ−５ｔｏｒｒ以下に保持し、そしてＣｏ−Ｎｉ磁
性合金材を、例えば１８００〜２０００℃に加熱し、５
０〜１００ＯＡ／ｓの蒸発速度でＣｏ−Ｎｉ磁性合金を
蒸発させると共に、二酸化ゲルマニウム材を、例えば９
００−１５００℃に加熱し、１０〜１５０　Ａ／　ｓの
蒸発速度で二酸化ゲルマニウムを蒸発させ、９０°から
始まって４５°で終る入射角で入射する蒸気流の着膜に
よって、磁性膜を基材上に、例えば１００ＯＡ厚構成す
る。

上記のようにして製造された磁気記録媒体の保磁力Ｈｅ
及び角型比Ｒｓが磁性膜中のゲルマニウム酸化物の量（
二酸化ゲルマニウムに対する加熱源［（７）コントロー
ルにより二酸化ゲルマニウムノ蒸発速度が変化し、従っ
て磁性膜中のＣｏ−Ｎｉ合金とゲルマニウム酸化物との
割合を調整）によってどのようになるかをめると、第２
図及び第３図において一Δ−印で示す通りである。伺、
これらのグラフにおいては、　Ｈｃ及びＲｓ共にゲルマ
ニウム酸化物の含有割合で直接示したものではなく、酸
化物のＧｅ換算で示したものである。

これによれば、金属薄膜型磁気記録媒体の製造に際して
、金属磁性材のみを蒸発させるのではなく、同時に二酸
化ゲルマニウムをも蒸発させ、共蒸着させることによっ
て磁性膜中にゲルマニウム酸化物を含ませていると、保
磁力の著しい向上が図れ、そして保磁力が向上しても角
型比の低下は極めて小さい。

伺、第２図及び第３図かられかるように、磁性膜中にゲ
ルマニウム酸化物が含まれる割合は、Ｇｅ換算で約３５
ｗｔ％以内、望ましくは約３〜３０Ｗｔチ、最も望まし
くは約６ｗｔ％前後であることが好ましい。

父、上記実施例では科目蒸着の場合で説明しているが、
平面（入射角０°）蒸着の場合でも保磁方向上の効果は
認められる。

〔実施例２〕 前記実施例１において、ボートにセットした二酸化ゲル
マニウム材の代りにアルミナルツボにセットした二酸化
スズ材を用い、そして二酸化スズ材を、例えば６００〜
１０００℃に加熱し、１０〜１５０Ａ／Ｓ　の蒸発速度
で二酸化スズを蒸発させ、その他は前記実施例１と同様
にして共蒸着による磁性膜厚が約１００ＯＡの金属薄膜
型磁気記録媒体を構成する。

このようにして製造された磁気記録媒体の保磁力Ｈｃ及
びＡ型比Ｒｓが磁性膜中のスズ酸化物によってどのよう
になるかをめると、第２図及び第３図において一〇−印
で示す通りである。同、これらのグラフにおいては、Ｈ
ｃ及びＲｓ共にスズ酸化物の含有割合で直接示したもの
ではなく、酸化物のＳｎ換算で示したものである。

これによれば、ゲルマニウム酸化物の場合はど特性向上
はないものの、例えばＳｎ換算で約１１Ｗｔチスズ酸化
物を磁性膜中に含んでいる場合には、保磁力が約１００
％も向上し、そして角型比の低下はほとんど認められな
いものである。

〔実施例３〕 前記実施例１において、ボートにセットした二酸化ゲル
マニウム材の代りにアルミナルツボにセットした一酸化
鉛材を用い、そして−酸化鉛材を、例えば６００〜１０
００℃に加熱し、１０〜１５０　Ａ／　ｓの蒸発速度で
一酸化鉛を蒸発させ、その他は前記実施例１と同様にし
て共蒸着による磁性膜厚が約１００ＯＡの金属薄膜型磁
気記録媒体を構成する。

このようにして製造された磁気記録媒体の保磁力Ｈｃ及
び角型比Ｒｓをめると、第２図及び第３図中口印で示す
通りである。同、これらのグラフにおいては、Ｈｃ及び
Ｒｓ共に鉛酸化物の含有割合で直接示したものではなく
、酸化物のＰｂ換算で示したものである。

これによれば、保磁力の向上が図れており、特に酸素ガ
ス導入法によって保磁力の向上を図るよりもよい成績を
示しておシ、又、角型比の低下も小さい。

〔実施例４〕 前記実施例１において、ボートにセットした二酸化ゲル
マニウム材の代シに二酸化ケイ素材を用い、そして二酸
化ケイ素材を、例えば１２００〜２０００℃に加熱し、
１０〜１５０　Ａ／　ｓの蒸発速度で二酸化ケイ素を蒸
発させ、その他は前記実施例１と同様にして共蒸着によ
る磁性膜厚が約１００ＯＡの金属薄膜型磁気記録媒体を
構成する。

このようにして製造された磁気記録媒体の保磁力Ｈｃ及
び角型比Ｒｓをめると、第２図及び第３図中・印で示す
通シである。伺、これらのグラフにおいては、Ｈｃ及び
Ｒｓ共にケイ素酸化物の含有割合で直接示したものでは
なく、酸化物のＳｉ換算で示したものである。

これによれば、保持力の向上が図れておシ、特に酸素ガ
ス導入法によって保磁力の向上を図るよシもよい成績を
示しており、又角型比の低下も小さい。

〔効果〕

周期律表第■族の元素σ酸化物を含む金属薄膜型磁気記
録媒体は、保磁力といった磁気特性が著しく向上し、高
密度記録に適している。

周期律表第■族の元素の酸化物を共蒸着させる磁気記録
媒体製造法は、従来の製造装置の大巾な改変なくして実
施でき、それだけ低コストで行なえる。

又、蒸着に際しての蒸気流の入射角が低い場合でも保磁
方向上効果は大きく、比較的低い入射角でも充分であり
、従って生産性も良い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る磁気記録媒体の製造装置の概略説
明図、第２図及び第３図は本発明に係る磁気記録媒体の
特性を示すグラフである。 ３・・・磁性材、５・・・二酸化ゲルマニウム材。 特許出願人　日本ビクター株式会社 第１図 第２図 ｏｅ　（Ｓｎ、　Ｐｂ、　８１．　’　ｗｔ　％）第３
図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ■　磁性膜中に周期律表第■族の元素の酸化物を含むこ
   とを特徴とする金属薄膜型磁気記録媒体。 ■　蒸発源に磁性材と周期律表第■族の元素の酸化物と
   をセットしてペーパーデポジションすることを特徴とす
   る金属薄膜型磁気記録媒体製造法。