JPS60209927A - 磁気記録媒体及びその製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気記録媒体及びその製造法に係り、特に金属
薄膜型の磁気記録媒体及びその製造法に関するものであ
る。

〔従来技術と問題点〕

磁気記録媒体において、高密度記録が行なえるようにす
るには、磁気記録媒体の磁気特性中保磁力の高いことが
必要である。この為、例えば蒸着法による手段で磁性膜
を構成する金属薄膜型磁気記録媒体の製造に際しては、
磁性粒子の蒸気流が非磁性基材に対して傾いた状態で入
射して着膜されるようにし、これによって高保磁力の磁
性薄膜が形成されるようにしている。

しかし、このような科目蒸着法は、できるだけ高保磁力
の磁性薄膜を得ようとするにはできるだけ前記の傾き角
を大きくしなければならず、このように傾き角を大きく
すると磁性薄膜の成膜能率が著しく低下し、生産性が悪
くなるといった致命的欠点がある。

そこで、小さな入射角（傾き角）でも高保磁力の磁性薄
膜を得ることのできる研究が行なわれ、例えば多層膜化
による手段あるいは蒸着時に酸素ガス導入による手段等
が提案されている。

これらの手段のうち多層膜化による手段は、工程上及び
装置上複雑なものであるが故に低コスト化といった目的
からは問題があり、又、酸素ガス導入法も保磁方向上効
果は約４０チ位のアップにしかならず、かつ入射角が小
さな場合には保磁方向上効果は小さく、さらには酸素ガ
ス導入量が多すぎ石と保磁力は低下するといった問題が
ある。

〔発明の開示〕

本発明者は、磁性粒子の蒸着成膜に際して、磁性材料の
みを蒸発させるのではなく、同時にＭ　ｏＯ３をも蒸発
させると、出来た磁性膜中にはモリブデン酸化物が含ま
れるようになり、このような磁性膜の磁気記録媒体は、
角型比及び保磁力、特に保磁力といった磁気特性が極め
て優れたものであることを見い出した。

すなわち、磁性膜中におけるモリブデン酸化物ＭｏＯｘ
　（但し、Ｘは０　（ｘ≦３の条件を満たす数）成分が
、Ｍｏ量に換算して約４０Ｗｔ　４以内の場合にえばＭ
ｏ換算量が約１２．５ｗｔ％の場合には保磁力が約２倍
にもなるといったように、酸素ガス導入法の場合より格
段に優れている。

又、例えばＭｏ換算量で約１２．５ｗｔ％といった程度
Ｍ　ｏ　Ｏｘを磁性膜中に含んでいても、角型比の低下
は少なく、酸素ガス導入法の場合において生じる低下と
ほとんど同程度にすぎず、角型比といつた磁気特性も良
好である。

さらに、Ｍ　ｏ　０３を磁性材料と共蒸着することによ
って磁性膜を構成し、磁気記録媒体を製造する方法は、
従来のフィルム送シ機構を備えた蒸着装置を用いて実施
でき、すなわち磁気記録媒体製造用の装置を新たに用意
する必要はなく、従って低コストで実施できるものとな
る。

しかも、入射角が小さくても高保磁力の磁性膜が得られ
、すなわち生産性を犠牲にしなくても高保磁力の磁性膜
が得られるようになる。

〔実施例〕

第１図は、本発明に係る磁気記録媒体の製造装置の概略
説明図である。

同図中、１は真空チャンバー、２は、例えばＣｏ　−Ｎ
ｉ　（８’０　：　２０　）合金等の磁性材３をセット
した容器であり、この容器２内の磁性材３は電子ビーム
加熱装置で蒸発させられるようになっており、又、４は
、Ｍｏ　Ｏｓ　５をセットした容器であり、この容器４
内のＭｏ５ｓ　５はボート抵抗加熱によって蒸発させら
れるようになっている。

６は遮蔽板、７は蒸発モニター、８は非磁性の基板材で
あり、磁性材３及びＭ　ｏ　Ｏｓ　５の蒸発粒子が矢印
方向に移動する基板材８面にクーリングキャン上で蒸着
するようになっている。

このような装置を用いて、真空チャンバー１内を５　Ｘ
　１Ｏ−５ｔｏｒｒ以下に保持し、そしてＣｏ−Ｎｉ磁
性合金を、例えば約１８００〜２０００℃に加熱し、５
０〜１００ＯＡ／ｓの蒸発速度でＣｏ−Ｎｉ磁性合金を
蒸発させると共に、Ｍｏｂ３を、例えば７００〜１５０
０℃に加熱し、１０〜１５０Ａ／ｓの蒸発速度でＭｏｂ
、を蒸発させ、９０°から始まって４５°で終る入射角
で入射する蒸気流の着膜によって磁性膜を基板材上に、
例えば約１１）ＯＯＡ厚構成する。

上記のようにして製造された磁気記録媒体の保磁力Ｈｅ
及び角型比Ｒｓが磁性膜中のＭｏＯｘの量（ＭｏＯ３に
対する加熱温度のコントロールによりＭｏＯ３の蒸発速
度が変化し、従ってＣｏ−Ｎｉ合金とＭ　ｏ　Ｏｘとの
割合を調整）によってどのようになるかをめると、第２
図及び第３図に示す通シである。同、これらのグラフに
おいては、Ｈｃ及びＲｓ共に、Ｍ　ｏ　Ｏｘの含有割合
で直接示したもＳｉなく、Ｍ　ｏ　ＯｘのＭｏ換算で示
す。

これによれば、金属薄膜型磁気記録媒体の製造に際して
、金属磁性材のみを蒸発させるのではなく、同時にＭｏ
Ｏ３をも蒸発させ、共蒸着させ、磁性膜中にＭｏＯｘ　
（Ｍｏ５ｓの形のものがほとんどである）を含ませるこ
とによって、保磁力の著しい向上を得ることがわかる。

同、第２図及び第３図かられかるように、磁性膜中にＭ
　ｏ　Ｏｘが含まれる割合は、Ｍｏ換算で約４０ｗｔ％
以内、望ましくは約３〜３０ｗｔ％、最も望ましくは約
１２．５ｗｔ％前後であることが好ましい。

伺、上記実施例では科目蒸着の場合で説明しているが、
Ｍｏ５ｓを用いて共蒸着させることによる保磁方向上は
、科目蒸着ではなく平面（入射角００）蒸着の場合でも
認められる。すなわち、平面蒸着において、Ｍｏ０ｓを
用いない場合にはＨｃが約５０〜１００エルステツドに
すぎないのが、ＭｏＯ３を用いることによってＨｅが約
２００〜３００エルステツドにもなる。

〔効果〕

モリブデン酸化物を含む磁気記録媒体は、保磁力といっ
た磁気特性が著しく向上し、高密度記録に適している。

ＭｏＯ３を共蒸着させる磁気記録媒体製造法は、従来の
製造装置の大巾な改変なくして実施でき、それだけ低コ
ストで行なえる。

又、蒸着に際しての蒸気流の入射角が低い場合でも保磁
方向上効果は大きく、比較的低い入射角でも充分であり
、従って生産性も良い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る磁気記録媒体の製造装置の概略説
明図、第２図及び第３図は本発明に係る磁気記録媒体の
特性を示すグラフである。 ３・・・磁性材、５・・・ＭｏＯ３。 第１図 第２図 １ 保 Ｍｏ　（ｗｔ　％） 第３図 ＭＯ（ｗｔ％） 手続補正書 昭和６０年３月Ｓ日 特許庁長官殿 １事件の表示 特願昭５９−６５１３９号 ２、発明の名称 磁気記録媒体及びその製造法 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 日不ビクター株式会社 ４、代理人 （１）発明の詳細な説明 ６、補正の内容 （１）明細書第６頁第６〜７行目［（Ｍｏ・・・・・・
る）」を削除する。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ■　磁性膜中にモリブデン酸化物を含むことを特徴とす
   る磁気記録媒体。 ■　蒸発源に磁性材とＭｏＯ２とをセットしてペーパー
   デポジションすることを特徴とする磁気記録媒体製造法
   。