JP2894253B2 - 高機能性薄膜の製造方法 - Google Patents
高機能性薄膜の製造方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高い配向性を有する高機
能性薄膜の製造方法に関するもので、例えば高記録密度
媒体である蒸着テープ、液晶を配向させる機能性薄膜、
あるいは高い交換効率を有することが可能な太陽電池な
ど広い分野で応用される。
能性薄膜の製造方法に関するもので、例えば高記録密度
媒体である蒸着テープ、液晶を配向させる機能性薄膜、
あるいは高い交換効率を有することが可能な太陽電池な
ど広い分野で応用される。
【０００２】
【従来の技術】近年、高機能性薄膜の技術的発展は目ざ
ましく、その応用分野も多岐にわたっている。例えば磁
気記録媒体においては磁気記録密度の向上に見られるよ
うに、その技術的発展はめざましいものがある。従来の
磁気記録媒体の例として、オーディオ、ビデオ用テープ
材料に用いられるγ−Ｆｅ2Ｏ3粉末、ＣｒＯ2粉末、純
鉄粉末等を樹脂等のバインダーとともに高分子フィルム
上に塗着せしめた、いわゆる塗布型の磁気記録媒体があ
る。
ましく、その応用分野も多岐にわたっている。例えば磁
気記録媒体においては磁気記録密度の向上に見られるよ
うに、その技術的発展はめざましいものがある。従来の
磁気記録媒体の例として、オーディオ、ビデオ用テープ
材料に用いられるγ−Ｆｅ2Ｏ3粉末、ＣｒＯ2粉末、純
鉄粉末等を樹脂等のバインダーとともに高分子フィルム
上に塗着せしめた、いわゆる塗布型の磁気記録媒体があ
る。
【０００３】そしてこの塗布型磁気記録媒体より更に記
録密度を高めるために真空蒸着、イオンプレーティン
グ、スパッタリング、クラスターイオンビームなどの方
法で、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ等の磁性金属を単独、も
しくは合金で高分子フィルム基板上に蒸着する金属薄膜
型磁気記録媒体の検討がなされている。また強磁性金属
薄膜型の記録媒体として、斜方入射蒸着法を用いたオー
ディオ用テープが既に実用化されている。真空蒸着法等
による強磁性金属薄膜型テープは高記録密度媒体でビデ
オ用テープとして利用した場合にはノイズの少ない高画
質が得られる。
録密度を高めるために真空蒸着、イオンプレーティン
グ、スパッタリング、クラスターイオンビームなどの方
法で、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ等の磁性金属を単独、も
しくは合金で高分子フィルム基板上に蒸着する金属薄膜
型磁気記録媒体の検討がなされている。また強磁性金属
薄膜型の記録媒体として、斜方入射蒸着法を用いたオー
ディオ用テープが既に実用化されている。真空蒸着法等
による強磁性金属薄膜型テープは高記録密度媒体でビデ
オ用テープとして利用した場合にはノイズの少ない高画
質が得られる。
【０００４】ここで、従来の真空蒸着法により金属薄膜
型テープの製造方法を図２により説明する。巻出軸１２
にセットした高分子フィルム１１を連続的に送り出し
て、冷却ドラム１３を経て、巻取軸１４で巻取る。この
時、下方より電子ビーム１５で強磁性金属１６を溶解
し、蒸発させ、高分子フィルム１１の表面上に蒸着す
る。蒸着時に不用な磁性金属は遮蔽板１７でカットす
る。
型テープの製造方法を図２により説明する。巻出軸１２
にセットした高分子フィルム１１を連続的に送り出し
て、冷却ドラム１３を経て、巻取軸１４で巻取る。この
時、下方より電子ビーム１５で強磁性金属１６を溶解
し、蒸発させ、高分子フィルム１１の表面上に蒸着す
る。蒸着時に不用な磁性金属は遮蔽板１７でカットす
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
製造方法によれば高出力化、低ノイズ化をはかり、高画
質な画面を得るためには蒸着時の最小入射角θを４０度
以上で行い、他は遮蔽しなければ充分に満足な特性を得
られなかった。この時蒸着時の最小入射角が大きい程磁
性金属の付着効率は小さく、入射角４０度の場合、付着
効率はおよそ全体量の７〜８重量％位と非常に悪い。こ
のように真空蒸着法等による金属薄膜テープの場合テー
プとしての機能を充分に果すための製造方法は蒸着時の
付着効率が非常に悪く量産性、工業化への欠点であっ
た。これは金属薄膜テープに限らず、斜方蒸着による配
向性を利用した高機能性薄膜全般についても同様であ
る。
製造方法によれば高出力化、低ノイズ化をはかり、高画
質な画面を得るためには蒸着時の最小入射角θを４０度
以上で行い、他は遮蔽しなければ充分に満足な特性を得
られなかった。この時蒸着時の最小入射角が大きい程磁
性金属の付着効率は小さく、入射角４０度の場合、付着
効率はおよそ全体量の７〜８重量％位と非常に悪い。こ
のように真空蒸着法等による金属薄膜テープの場合テー
プとしての機能を充分に果すための製造方法は蒸着時の
付着効率が非常に悪く量産性、工業化への欠点であっ
た。これは金属薄膜テープに限らず、斜方蒸着による配
向性を利用した高機能性薄膜全般についても同様であ
る。
【０００６】更に詳しくは、従来の金属薄膜型蒸着テー
プは斜方蒸着で高入射角成分から低入射角成分まで連続
的にポリエステルフィルム上に磁性金属を蒸着してい
た。この場合磁性金属は高入射角成分（９０度）から核
成長が始まり、これを中心に連続的に低入射角方向へと
磁性金属は積層されてゆく。しかしビデオ用蒸着テープ
として利用する場合、当然のことながら高画質でなけれ
ばならない。このため金属薄膜の磁性金属の配向性を高
め、電磁変換特性としての高出力化、低ノイズ化をはか
らねばならない。磁性金属の配向性を保ち、高画質を得
るために、従来高入射角成分（９０度）から低入射域
（４０度位）の範囲で連続的に蒸着を行っていた。しか
し蒸着時の蒸気流分布は高入射成分程そのレートは低
く、低入射角域に従って指数関数的に高くなってゆくた
め、実際に蒸着に使用される有効な磁性金属は蒸着前の
ルツボ内の磁性金属量の約７％位と非常に使用効率が悪
い。
プは斜方蒸着で高入射角成分から低入射角成分まで連続
的にポリエステルフィルム上に磁性金属を蒸着してい
た。この場合磁性金属は高入射角成分（９０度）から核
成長が始まり、これを中心に連続的に低入射角方向へと
磁性金属は積層されてゆく。しかしビデオ用蒸着テープ
として利用する場合、当然のことながら高画質でなけれ
ばならない。このため金属薄膜の磁性金属の配向性を高
め、電磁変換特性としての高出力化、低ノイズ化をはか
らねばならない。磁性金属の配向性を保ち、高画質を得
るために、従来高入射角成分（９０度）から低入射域
（４０度位）の範囲で連続的に蒸着を行っていた。しか
し蒸着時の蒸気流分布は高入射成分程そのレートは低
く、低入射角域に従って指数関数的に高くなってゆくた
め、実際に蒸着に使用される有効な磁性金属は蒸着前の
ルツボ内の磁性金属量の約７％位と非常に使用効率が悪
い。
【０００７】本発明は上記問題点に鑑み、強磁性金属の
配向性を保ちながら蒸着時の付着効率が良く、高出力化
ならびに低ノイズ化をはかり高画質の画面を得ることの
できる高機能性薄膜を量産できる工業的方法を提供する
ことを目的とする。
配向性を保ちながら蒸着時の付着効率が良く、高出力化
ならびに低ノイズ化をはかり高画質の画面を得ることの
できる高機能性薄膜を量産できる工業的方法を提供する
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成するため、フィルム面に強磁性金属を斜方蒸着するこ
とにより高機能性薄膜を製造する方法において、前記強
磁性金属の蒸気流の中間入射角成分の入射を阻止して高
入射角成分と低入射角成分を前記フィルム面上に不連続
的に蒸着積層し、前記高入射角成分にイオン化した酸素
ガスを吹きつけることを特徴とする。
成するため、フィルム面に強磁性金属を斜方蒸着するこ
とにより高機能性薄膜を製造する方法において、前記強
磁性金属の蒸気流の中間入射角成分の入射を阻止して高
入射角成分と低入射角成分を前記フィルム面上に不連続
的に蒸着積層し、前記高入射角成分にイオン化した酸素
ガスを吹きつけることを特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明の特徴によれば、まず、高入射角性分が
蒸着されたフィルム面上に直接、レートの高い低入射角
成分を蒸着積層されるので、蒸着レート、蒸着スピード
が大幅に改善されるので、蒸着時の付着効率が向上し、
量産工業化ができる。さらに、高入射角成分にイオン化
した酸素ガスを吹きつけることにより、磁気特性、電気
変換特性は向上する。
蒸着されたフィルム面上に直接、レートの高い低入射角
成分を蒸着積層されるので、蒸着レート、蒸着スピード
が大幅に改善されるので、蒸着時の付着効率が向上し、
量産工業化ができる。さらに、高入射角成分にイオン化
した酸素ガスを吹きつけることにより、磁気特性、電気
変換特性は向上する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例の蒸着テープについ
て、図面を参照しながら説明する。
て、図面を参照しながら説明する。
【００１１】（実施例）図１は本発明の実施例でポリエ
ステルフィルム１をセットし、冷却回転ドラム２を経て
巻取られる。強磁性金属Ｃｏ−Ｎｉ合金３を電子ビーム
４で溶解し、下方より斜方蒸着で蒸着する。この時蒸着
の遮蔽板５は高入射角成分６（７０度以上）と、低入射
角成分７（６０度から４０度）が蒸着され、中間の６０
度から７０度の中間入射角成分域は遮蔽板５によってカ
ットする。
ステルフィルム１をセットし、冷却回転ドラム２を経て
巻取られる。強磁性金属Ｃｏ−Ｎｉ合金３を電子ビーム
４で溶解し、下方より斜方蒸着で蒸着する。この時蒸着
の遮蔽板５は高入射角成分６（７０度以上）と、低入射
角成分７（６０度から４０度）が蒸着され、中間の６０
度から７０度の中間入射角成分域は遮蔽板５によってカ
ットする。
【００１２】このように高入射角成分と低入射角成分を
不連続的に蒸着し、この時高入射角成分にイオン化した
酸素ガスを吹きつける。このために、高入射角の左方遮
蔽板８の酸素ガス導入口９から酸素を導入し、イオン源
１０から導入酸素ガスと金属蒸気流をイオン化して薄膜
を作成した。
不連続的に蒸着し、この時高入射角成分にイオン化した
酸素ガスを吹きつける。このために、高入射角の左方遮
蔽板８の酸素ガス導入口９から酸素を導入し、イオン源
１０から導入酸素ガスと金属蒸気流をイオン化して薄膜
を作成した。
【００１３】（比較例）イオン化した酸素ガスを導入し
ないこと以外は実施例と同様の方法で薄膜を形成した。
ないこと以外は実施例と同様の方法で薄膜を形成した。
【００１４】以上のような方法で作った高機能性薄膜の
諸性能と効果について述べる。斜方蒸着による金属薄膜
の評価方法は、ＶＳＭによる静的な磁気特性と市販の８
ｍｍデッキを用いて電磁変換特性を調べた。その結果を
（表１）に示す。
諸性能と効果について述べる。斜方蒸着による金属薄膜
の評価方法は、ＶＳＭによる静的な磁気特性と市販の８
ｍｍデッキを用いて電磁変換特性を調べた。その結果を
（表１）に示す。
【００１５】
【表１】
【００１６】磁気特性における保磁力、残留磁束密度は
従来例を１として、その相対値で示した。また電磁変換
特性は従来例の出力値を０ｄＢとし、その相対値を示し
た。蒸着レートは、蒸着時のフィルム速度とその時の膜
厚からレートを換算し、従来例に対する相対値で示し
た。
従来例を１として、その相対値で示した。また電磁変換
特性は従来例の出力値を０ｄＢとし、その相対値を示し
た。蒸着レートは、蒸着時のフィルム速度とその時の膜
厚からレートを換算し、従来例に対する相対値で示し
た。
【００１７】蒸着レートの高い低入射成分を従来例と同
じ４０度以上とし、中間成分６０〜７０度をカットした
にもかかわらず、本発明の実施例と比較例は共に従来例
の４０〜９０度と同等の蒸着レートである。これは、蒸
気流の高入射成分をイオン化しているため、９０度以上
の成分も蒸着するためと考えられる。
じ４０度以上とし、中間成分６０〜７０度をカットした
にもかかわらず、本発明の実施例と比較例は共に従来例
の４０〜９０度と同等の蒸着レートである。これは、蒸
気流の高入射成分をイオン化しているため、９０度以上
の成分も蒸着するためと考えられる。
【００１８】本発明により作成した薄膜の電磁変換特性
は従来例に比して＋３ｄＢ、比較例に比して＋２．３ｄ
Ｂ向上し、保磁力、残留磁束密度も改善している。これ
は、イオン化した酸素の導入によると考えられる。
は従来例に比して＋３ｄＢ、比較例に比して＋２．３ｄ
Ｂ向上し、保磁力、残留磁束密度も改善している。これ
は、イオン化した酸素の導入によると考えられる。
【００１９】以上、本発明の実施例のように、斜方蒸着
時の途中に遮蔽板を設けることで、高入射角成分と低入
射角成分を不連続的に蒸着積層し、さらに高入射角成分
にイオン化したガスを吹きつけることで、蒸着レート、
スピードが大幅に改善でき、磁気特性は大幅に改善され
る。
時の途中に遮蔽板を設けることで、高入射角成分と低入
射角成分を不連続的に蒸着積層し、さらに高入射角成分
にイオン化したガスを吹きつけることで、蒸着レート、
スピードが大幅に改善でき、磁気特性は大幅に改善され
る。
【００２０】なお、本発明は上記実施例に限定されるこ
となく他の方法も効果がある。例えば上記実施例では斜
方蒸着による金属薄膜型磁気記録媒体について示した
が、ＳｉＯ等を蒸着する液晶配向膜、Ｃｕ−Ｉｎ−Ｓｅ
系薄膜を形成する太陽電池薄膜、あるいはＥＬ、超伝導
薄膜など斜方蒸着による配向性を用いた高機能性薄膜に
利用できる。また蒸着は金属、合金等の無機物質に限ら
ず、有機蒸着による配向膜も可能である。蒸着時のマス
ク位置、また本発明を実施する場合、酸素、窒素、水
素、オゾン、アルゴン等のガスあるいは反応性ガスを用
いた反応蒸着法を用いても同様の効果がある。
となく他の方法も効果がある。例えば上記実施例では斜
方蒸着による金属薄膜型磁気記録媒体について示した
が、ＳｉＯ等を蒸着する液晶配向膜、Ｃｕ−Ｉｎ−Ｓｅ
系薄膜を形成する太陽電池薄膜、あるいはＥＬ、超伝導
薄膜など斜方蒸着による配向性を用いた高機能性薄膜に
利用できる。また蒸着は金属、合金等の無機物質に限ら
ず、有機蒸着による配向膜も可能である。蒸着時のマス
ク位置、また本発明を実施する場合、酸素、窒素、水
素、オゾン、アルゴン等のガスあるいは反応性ガスを用
いた反応蒸着法を用いても同様の効果がある。
【００２１】
【発明の効果】本発明により、付着効率の高く、量産性
にすぐれ、かつ高性能な配向膜を得ることができる。
にすぐれ、かつ高性能な配向膜を得ることができる。
【図１】本発明の一実施例を示す工程図
【図２】従来の斜方蒸着法による高機能性薄膜の製造を
示す工程図
示す工程図
１ ポリエステルフィルム ３ 強磁性金属 ４ 電子ビーム ５ 遮蔽板 ６ 高入射角成分 ７ 低入射角成分 ８ 左方遮蔽板 ９ 酸素ガス導入口 １０ イオン源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C23C 14/00 - 14/58 G11B 5/85 H01F 41/20
Claims (1)
- 【請求項１】フィルム面に強磁性金属を一方向に斜方蒸
着することにより高機能性薄膜を製造する方法であっ
て、前記強磁性金属の蒸気流の中間入射角成分の入射を
阻止して高入射角成分と低入射角成分を前記フィルム面
上に不連続的に蒸着積層し、前記高入射角成分にイオン
化した酸素ガスを吹きつけることを特徴とする高機能性
薄膜の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23087995A JP2894253B2 (ja) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | 高機能性薄膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23087995A JP2894253B2 (ja) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | 高機能性薄膜の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28079088A Division JPH02129362A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 高機能性薄膜の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0853755A JPH0853755A (ja) | 1996-02-27 |
| JP2894253B2 true JP2894253B2 (ja) | 1999-05-24 |
Family
ID=16914745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23087995A Expired - Fee Related JP2894253B2 (ja) | 1995-09-08 | 1995-09-08 | 高機能性薄膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2894253B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006119403A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器 |
-
1995
- 1995-09-08 JP JP23087995A patent/JP2894253B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0853755A (ja) | 1996-02-27 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |