JPS58125084A - 液晶表示装置およびその製造方法 - Google Patents

液晶表示装置およびその製造方法

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JPS58125084A
JPS58125084A JP57007923A JP792382A JPS58125084A JP S58125084 A JPS58125084 A JP S58125084A JP 57007923 A JP57007923 A JP 57007923A JP 792382 A JP792382 A JP 792382A JP S58125084 A JPS58125084 A JP S58125084A
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小松原 吉明
宗方 英子
井出 恭三
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Toshiba Corp
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Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野」 本発明は反射型の液晶表示装置およびその製造方法に関
する。
〔発明の技術的背景」 近年、表示装置の進歩は目ざましいものがあるが、なか
でも液晶を用いた表示装置は低電力、薄型、長寿命とい
う点で優れておシ、最近では液晶を用いたテレビが発表
されている。
現在、液晶テレビには、消費電力が小さい、視野角が広
い等の理由から、主にネマチック液晶に2色性色素を混
合したいわゆるダスト・ホスト型液晶が用いられている
。このダスト・ホスト型液晶を用いて反射型の表示装置
を構成し、高いコントラストを得るためには、下地反射
膜が白く明るい散乱面であることが必要である。
このような白楓散乱面を得るため、従来は例えはアルミ
ニウム等の白色金属膜の表面に細かい凹凸をつけること
が行われている。アルミニウム膜等に凹凸をつける方法
としては、例えば特開昭55−9517号公報に開示は
れているように、(1)  温度等の条件を制御した雰
囲気中でス・母ツタ蒸着する方法、■ 白色金属膜表面
をエツチングによシ粗面にする方法、■ 白色金属膜表
面をショツトブラスト等によシ粗面とする方法、などが
知られている。
(背景技術の問題点J しかしながら、上述の如き白色散乱面を得る方法には、
次のような問題があった。すなわち上述の方法は、いず
れも反射膜自体に小さい凹凸を作るため、鋭角の凹部が
できる。このような場所では多重反射が起シ、光が吸収
されてしまう。したがって、表面全体を見た場合、暗い
表面となってしまう。
〔発明の目的] 本発明は上記の如き欠点を解決して、明るくコントラス
トの高い反射型の液晶表示装置とその製造方法を提供す
ることを目的とする。
[発明の概要] 本発明は、反射膜として、なめらかな凹凸を有する高分
子樹脂層の表面に被着した金属膜を用いることにより、
上記目的を達成するものである。また本発明は、高分子
樹脂層表面になめらかな凹凸を形成するため、所定のレ
ジストパターンを用いて高分子樹脂層表面を例えば2〜
3μmエツチングし、レジストパターンを剥離して熱処
理をすることを特徴とする。
〔発明の効果〕
本発明によれば、多重反射による光の吸収が起るような
場所はなく、入射した光は反射膜に用いた金属の反射率
によって決る量反射されるので非常に明るい□゛白色散
乱面を得ることができる。
U発明の実施例〕 本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第1図は一実施例を示す断面概略図であシ、1画素分を
示しである。ここで半導体基板1はトランジスタ、抵抗
、コンデンサ等の液晶駆動用素子が集積されておシ、金
属配線2により各素子間が相互配線されている。この半
導体基板1上に高分子樹脂としてポリイミド樹脂層3を
介して、反射膜を兼ねるアルミニウムからなる表示電極
4が被着形成されている。ポリイミド樹脂層3は表面に
なめらかな凹凸があり、表示室・極4はその凹凸を反勢
して白色散乱面となっている。このような表示電極4が
形成された半導体基板1と、透明導電膜5が全面に被着
された透明基板6との間にダスト・ホスト型液晶!7を
挾持して液晶表示装置が構成式れている。
表示電極4の表面を良好な白色散乱面とするだめの工程
は次のとおシである。ポリイミド樹脂として例えばトレ
ニース5P−510(東しく株)製)を用や、これを素
子が形成場れた半専体基5− 板上に3000 rpmで30秒間スピンコードする。
そして100℃、250℃と段階的に熱処理をした後、
その表面にネガ型レジストを用いて凹凸を作るだめのレ
ジストパターンを形成する。この状態の平面図を第2図
に示す。レジストパターン8は円形をなして高い密度(
ピッチ1〜50μm)で配列される。次いでこのレジス
トパターンをマスクとしてポリイミド樹脂層3をエツチ
ングする。工、チング深さは光学的反射特性から決めら
れるが、典形的には2〜3μmである。工、チング後は
第3図に示す断面図の如くテーノ4がついたすシばち状
となる。セしてレジス)ノfターン8を剥離後、350
℃で熱処理を行うと、角がとれてなめらかな凹凸面とな
る。その後、もう一度写真蝕刻法によ如所定の部分に開
孔し、表示電極4として用いるAlまたはk1合金等の
金属膜を真空蒸着法によシ約2000久被着する。この
金属膜を写真蝕刻法によシ画素パターンに分離して表示
電極4とする。
このようにして作られた表示電極4の表面は、6− ポリイミド樹脂N3の表面に小さな凹凸があるため白色
面と′fr、シ、しかも凹凸がなめらかであるため、多
重反射がなく非常に明るい反射面となる。
尚、上記実施例では高分子樹脂としてトレニース5P−
510を用いたが、これに限られるものではない。また
液晶セルの一方の基板として駆動用素子を集積形成した
半導体基板を用いたが、これもガラス等の絶縁基板であ
ってもよい。
また第1図において、表示電極4の表面を四に薄いポリ
イミド等の樹脂層でおおうことも可である。更に本発明
は、表示電極とは別個に反射膜を用意して反射型の液晶
表示装置を構成する場合にも同様に適用することが可能
である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す断面図、第2図および
第3図はその表示電極を白色散乱面とするだめの工程を
説明するための図である。 1・・・半導体基板、2・・・金属配線、3・・・ポリ
イミド樹脂層、4・・・表示電極、5・・・透明導電膜
、6・・・透明基板、7・・・液晶層、8・・・レジス
トパターン。 出願人代理人  弁理士 鈴 江 武 彦言r)?−−
cv1−

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)  少くとも一方が透明な二枚の基板間に液晶層
    を挾持して構成される反射型の液晶表示装置において、
    反射膜として、表面になめらかな凹凸を有する高分子樹
    脂層の表面に被着された金属膜を用いたことを特徴とす
    る液晶表示装置。
  2. (2)高分子樹脂層は?リイミド樹脂である特許請求の
    範囲第1項記載の液晶表示装置。
  3. (3)反射膜は一方の基板の表示電極を兼ねている特許
    請求の範囲第1項記載の液晶表示装置。
  4. (4)少くとも一方が透明な二枚の基板間に液晶層を挾
    持して構成される反射型の液晶表示装置を製造するに際
    し、一方の基板上に高分子樹脂層を形成し、その表面に
    凹凸を作るだめのレジストパターンを形成し、このレジ
    ストノ母ターンをマスクとして前記高分子樹脂層の表面
    をエツチングしてレジストノリ−ンを剥離後、熱処1− 理をしてなめらかな凹凸面を形成し、その上に反射膜と
    なる金属膜を被着するようにしたことを特徴とする液晶
    表示装置の製造方法。
  5. (5)高分子樹脂層表面の工、チング深さが2〜3続で
    ある特許請求の範囲第4項記載の液晶表示装置の製造方
    法。
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