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실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체
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비정질 탄소 중합체 막을 개질하는 방법
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딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기
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표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조
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ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
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배기 가스 분석을 포함한 기상 반응기 시스템을 사용하는 방법
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석영 에피택셜 챔버를 세정하는 방법
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(ko)
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
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(en)
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기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법
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실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법
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토폴로지-제어된 비정질 탄소 중합체 막을 형성하는 방법
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实现高掺杂剂掺入的选择性沉积方法
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비스(디에틸아미노)실란을 사용하여 peald에 의해 개선된 품질을 갖는 실리콘 산화물 막을 증착하기 위한 방법
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
칼코지나이드 막 및 상기 막을 포함한 구조체를 증착하기 위한 방법 및 장치
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법
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通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
활성 종을 이용하기 위한 가스 분배 어셈블리를 포함한 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
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막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법
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기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
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도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템
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가스 공급 어셈블리, 이의 구성 요소, 및 이를 포함하는 반응기 시스템
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荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司 |
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고 종횡비 피처를 형성하는 방법
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エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
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Split showerhead cover
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