JPH1154373A - 導電性高分子を用いた固体電解コンデンサ及びその製造方法 - Google Patents

導電性高分子を用いた固体電解コンデンサ及びその製造方法

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JPH1154373A
JPH1154373A JP9204877A JP20487797A JPH1154373A JP H1154373 A JPH1154373 A JP H1154373A JP 9204877 A JP9204877 A JP 9204877A JP 20487797 A JP20487797 A JP 20487797A JP H1154373 A JPH1154373 A JP H1154373A
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智次 荒井
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勇治 青木
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Abstract

(57)【要約】 【課題】容量出現率と高周波特性並びに高い耐熱性を同
時に向上させるのは困難である。 【解決手段】弁作用金属の酸化皮膜を誘電体とし、この
酸化皮膜上に第1及び第2の導電性高分子化合物層を順
次形成し固体電解質とする固体電解コンデンサの製造方
法において、前記導電性化合物層を酸化剤を用いた化学
酸化重合法により形成し、かつ前記第1の導電性高分子
化合物層3を前記第2の導電性高分子化合物層4より反
応速度の遅い化合物を用いて形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は導電性高分子化合物
層を固体電解質とする固体電解コンデンサ及びその製造
方法に関する。
【0002】
【従来の技術】科学技術の進歩に伴って電子機器の小型
化及び信頼性の向上が求められている。コンデンサに関
しても高周波数域まで良好な特性を有し、しかも信頼性
に優れた大容量固体電解コンデンサへの要求が高まって
おり、このような要求に応えるための研究開発が活発に
行われている。
【0003】通常固体電解コンデンサは、タンタルある
いはアルミニウムなどの弁作用金属の多孔質成形体を第
1の電極(陽極)とし、その酸化皮膜を誘電体、二酸化
マンガン(MnO2)や7、7’、8、8’−テトラシ
アノキノジメタン(TCNQ)錯塩等の固体電解質を第
2電極(陰極)の一部とする構造を有している。この場
合に、固体電解質には多孔質成形体内部の誘電体全面と
電極リード間を電気的に接続する機能と、誘導体皮膜の
欠陥に起因する電気的短絡を修復する機能とが必要とさ
れる。その結果、導電率は高いが誘電体修復機能のない
金属は固体電解質として使用できず、短絡電流による熱
などによって絶縁体に移転する二酸化マンガン等が用い
られてきた。しかしながら、二酸化マンガンを電極の一
部とするものでは、その導電率が充分でないため、高周
波数域でのインピーダンスが低下しない。また、TCN
Q錯塩を電極の一部とするものではTCNQ錯塩が熱分
解し易いため、耐熱性に劣っている。
【0004】最近、高分子の分野においても新しい材料
の開発が進み、その結果ポリアセチレン、ポリパラフェ
ニレン、ポリピロール、ポリアニリンなどの共役系高分
子に電子供与性や電子吸引性化合物(ドーパント)を添
加(ドーピング)した導電性高分子が開発されている。
特にポリピロール、ポリチオフェン等の複素五員環化合
物やポリアニリンは電解重合により容易に導電性高分子
が得られるので、コンデンサの固体電解質として利用さ
れている(特開昭64−36012号公報、特開平3−
64013号公報)。しかしながらこの方法は絶縁性の
酸化皮膜上に電解重合を行うので均一な導電性高分子膜
を形成することが非常に困難であった。
【0005】そこで導電性プレコート層を形成した後酸
化皮膜上に電解重合で導電性高分子を形成する方法が広
く応用されている(特開昭64−32619号公報、特
開昭64−36012号公報、特開昭64−74712
号公報、特開平1−225110号公報、特開平2−1
17121号公報、特開平3−64013号公報、特開
平5−304055号公報、特開平6−45200号公
報)が、電解重合用の補助電極をコンデンサ素子に近接
して設置しなければならず量産性に著しく欠けるという
欠点があった。
【0006】そこで有機溶媒に可溶な導電性高分子を塗
布乾燥して固体電解質に利用する方法も提案されてい
る。例えば、金属酸化皮膜表面にあらかじめ重合したポ
リアニリンの溶液を塗布し乾燥する方法によって、ポリ
アニリンを形成し固体電解質とする固体電解コンデンサ
が提案されている(特開平3−35516号公報)。し
かしながらこの方法は、ポリアニリン溶液の粘度が非常
に高く、微細な多孔質を有する拡面化した酸化皮膜全体
に浸透せず、その結果容量出現率(設計値に対する実際
の静電容量値)が著しく小さなコンデンサしか製造でき
ないという欠点があった。
【0007】この方法に対してアニリンモノマーを酸化
皮膜上で重合させてポリアニリンを形成する方法もある
が、この場合容量出現率は満足できてもポリアニリン自
身の導電率がポリピロールよりも低いため、得られるコ
ンデンサの高周波領域での特性はポリピロールを使用し
たコンデンサに劣るという欠点があった。
【0008】また、ピロールモノマーを酸化皮膜上で重
合させてポリピロールを形成する方法もあるが、ポリピ
ロールは多孔体中心部に形成しにくいため微細な多孔部
を有する酸化皮膜全体をポリピロールで被覆することが
困難である。その結果容量出現率が低いという欠点があ
った。
【0009】また酸化皮膜上にポリチオフェン誘導体を
形成する方法が提案されている(特開平2−15611
号公報)。この方法で形成したポリマーは収縮が大きく
コンデンサ素子上で剥離を生じやすい。その結果インピ
ーダンスが上昇し、また、剥離を起こした箇所は酸化皮
膜がむき出しになるので外部応力に対し機械的に弱く、
容易に漏れ電流が上昇するため信頼性が確保できない。
【0010】さらに、物性の異なる2層の導電性高分子
化合物を固体電解質とし各々の特性を引き出す方法が提
案されている(特開平7−45481号公報、特開平6
−45199号公報、特開平6−45201号公報)。
すなわち、容量出現率を上げるためには素子内部に比較
的形成容易なポリアセチレンを形成した後にポリピロー
ルを、あるいは、耐熱性を向上させるためには素子内部
に導電率の高いポリピロールを形成した後に耐熱性の高
いポリアニリンを形成させる方法である。前者(ポリア
ニリン/ポリピロール)に対しては容量出現率は高くな
るものの、ポリアセチレンの導電率が低いために高周波
のインピーダンスが十分には下がらない。また、後者
(ポリピロール/ポリアニリン)に対しては、耐熱性は
高くなるが、ポリピロールは素子内部に形成しずらいた
め、容量出現率が低くなる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】上述したように従来の
固体電解コンデンサは、容量出現率と高周波特性並びに
高い耐熱性と信頼性を同時に向上させることが困難であ
った。
【0012】本発明の目的は、耐熱性が高く、かつ容量
出現率と高周波特性の向上した固体電解コンデンサ及び
その製造方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】第1の発明の導電性高分
子を用いた固体電解コンデンサは、 弁作用金属の酸化
皮膜を誘電体とし、この酸化皮膜上に重合反応により順
次形成された第1及び第2の導電性高分子化合物層を固
体電解質とする固体電解コンデンサにおいて、前記第1
の導電性高分子化合物層は前記第2の導電性高分子化合
物層よりも反応速度の遅い化合物から形成されているこ
とを特徴とするものである。
【0014】第2の発明の導電性高分子を用いた固体電
解コンデンサの製造方法は、弁作用金属の酸化皮膜を誘
電体とし、この酸化皮膜上に第1及び第2の導電性高分
子化合物層を順次形成し固体電解質とする固体電解コン
デンサの製造方法において、前記導電性高分子化合物層
を酸化剤を用いた化学酸化重合法により形成し、かつ前
記第1の導電性高分子化合物層を前記第2の導電性高分
子化合物層より反応速度の遅い化合物を用いて形成する
ことを特徴とするものである。
【0015】例えば、反応速度の遅い第1の導電性高分
子化合物にはチオフェンまたはその誘電体モノマーを化
学酸化重合して得られるチオフェンあるいはその誘導体
の重合体を用い、より導電率が高い導電性高分子化合物
にはピロールやその誘導体の重合体を、あるいは耐熱性
の高い導電性高分子化合物にはアニリンやその誘導体の
重合体をその外周に形成する。
【0016】
【発明の実施の形態】次に本発明を図面を用いて説明す
る。図1は本発明の実施の形態の固体電解コンデンサの
断面図である。
【0017】陽極となる弁作用金属(タンタル又はアル
ミニウム)の多孔質成形体1の細孔表面は非常に微細化
されておりその表面積を大きくしてある。この細孔壁面
に沿って金属酸化物の誘電体膜2を形成する。この誘電
体膜2の表面に固体電解質である、第1及び第2の導電
性高分子化合物層3,4をその細孔の奥深くまでは入り
込むように順次形成する。なお、導電性高分子化合物の
反応速度は、置換基の種類・位置あるいは酸化還元方法
により異なるが、定性的にはポリピロール>ポリチオフ
ェン>ポリアニリンの順になる。第1の導電性高分子化
合物層3には第2の導電性高分子化合物層4より反応速
度の遅い化合物を用いる。
【0018】また、導電率はドーパント種・重合度・置
換基に左右されるが、定性的にはポリピロール>ポリチ
オフェン>ポリアニリンの順になる。この導電性高分子
化合物層4の表面に陰極となる電極引き出し層6を形成
する。電極引き出し層6と第2の導電性高分子化合物層
4との間には電気的接触を良好に保持するためにグラフ
ァイト層5を用いることもできる。更に成形体1に植立
された金属棒には陽極リード7が、そして電極引き出し
層6には導電性ペースト層9を介して陰極リード8が取
り付けられる。
【0019】以下、図1を用い実施例を挙げて本発明を
具体的に説明するが、本発明はこれら実施例にのみ限定
されるものではない。
【0020】(実施例1)多孔質成形体として1辺が1
mmの直方体のタンタル微粉末焼結体ペレット1を0.
1重量%硝酸水溶液中で33Vで陽極酸化してその表面
に誘電体膜2を形成した。
【0021】次に、メタノール中にチオフェンモノマー
とp−トルエンスルホン酸第二鉄とが1:2になるよう
に混合した溶液を調整した。そしてこの溶液を−30℃
に保持しながら誘電体膜2が形成された焼結体ペレット
1を1分間浸漬後、焼結体ペレット1を取り出し室温で
30分間保持して重合を行う工程を3回繰り返し、その
後にブタノールで30分間洗浄し、黒色のポリチオフェ
ンを第1の導電性高分子化合物層3として誘電体膜2上
に形成した。
【0022】次いでメタノール中に、ピロールとp−ト
ルエンスルホン酸第二鉄とが、1:2になるように混合
したピロール溶液を調整した。そしてこのピロール溶液
を、−30℃に保持しながら焼結体ペレット1を1分間
浸漬後、焼結体ペレット1を取り出し室温で30分間保
持して重合を行う工程を4回繰り返し、第1の導電性高
分子化合物層3上に黒色のポリピロールを第2の導電性
高分子化合物層4として形成した。更にカーボンペース
ト、銀ペーストを順次塗布乾燥し、グラファイト層5及
び電極引き出し層6を形成した。最後に陽極リード7及
び陰極リード8を引き出し、エポキシ樹脂10で封止し
てコンデンサを完成した。
【0023】(実施例2)実施例1の第2の導電性高分
子化合物層4(ポリピロール)をポリアニリンに変更し
た以外は実施例1と同様な方法でコンデンサを完成させ
た。
【0024】すなわち、第1の導電性高分子化合物層3
を形成後、メタノール70重量%、水30重量%の混合
溶媒に、アニリンとp−トルエンスルホン酸とが等モル
で溶媒重量に対して15重量%となるように混合してア
ニリン溶液を調整した。このアニリン溶液を0℃に保持
しながら焼結体ペレット1を30秒間浸漬後、0℃25
重量%のペルオキソ二硫酸アンモニウム水溶液に30秒
間浸漬後、焼結体ペレット1を取り出し室温で30分間
保持して重合を行う工程を5回繰り返し、黒色のポリア
ニリンを第2の導電性高分子化合物層4として形成し
た。
【0025】(実施例3)実施例1の第1の導電性高分
子化合物層3(ポリチオフェン)の形成方法を変更した
以外は実施例1と同様な方法でコンデンサを完成させ
た。
【0026】すなわち、チオフェンモノマーに焼結体ペ
レット1を1分間浸漬後、室温にて5分間保持し、次い
で、50重量%のpートルエンスルホン酸ブタノール溶
液に10分間浸漬後、30分間保持して重合を行う工程
を3回繰り返した。その後、ブタノール中で30分間洗
浄し、黒色のポリチオフェンを第1の導電性高分子化合
物層3として形成した。次いで実施例1と同様にしてポ
リピロールからなる第2の導電性高分子化合物層を形成
した。
【0027】(実施例4)実施例1の第1の導電性高分
子化合物層3をポリチオフェンからポリ(3,4−エチ
レンジオキシチオフェン)に変更した以外は実施例1と
同様な方法でコンデンサを完成させた。
【0028】すなわち、ブタノール中に、3,4−エチ
レンジオキシチオフェンとp−トルエンスルホン酸第二
鉄とが1:2になるように混合した溶液を調整した。こ
の溶液を−30℃に保持しながら焼結体ペレット1を1
分間浸漬後、焼結体ペレットを取り出し室温で30分間
保持して重合を行う工程を3回繰り返し、その後ブタノ
ールにて15分洗浄を行い、黒色のポリ(3,4−エチ
レンジオキシチオフェン)を第1の導電性高分子化合物
層3として形成した。次いで実施例1と同様にしてポリ
ピロールからなる第2の導電性高分子化合物層を形成し
た。
【0029】(実施例5)実施例2の、第1の導電性高
分子化合物層3およびその形式方法を変更しただけでコ
ンデンサを完成させた。
【0030】すなわち、ブタノール中に、3,4−エチ
レンジオキシチオフェンとp−トルエンスルホン酸第二
鉄とが1:2になるように混合した溶液を調整した。こ
の溶液を、−30℃に保持しながら焼結体ペレット1を
1分間浸漬後、焼結体ペレットを取り出し室温で30分
間保持して重合を行う工程を3回繰り返し、その後ブタ
ノールにて15分洗浄を行い、黒色のポリ(3,4−エ
チレンジオキシチオフェン)を第1の導電性高分子化合
物層3として形成した。次いで実施例2と同様にしてポ
リアニリンからなる第2の導電性高分子化合物層を形成
した。
【0031】(実施例6)実施例4の、第2の導電性高
分子化合物層4(ポリピロール)の形成方法を変更した
だけでコンデンサを完成させた。
【0032】すなわち、ポリ(3,4−エチレンジオキ
シチオフェン)を第1の導電性高分子化合物層3として
形成した後、焼結体ペレット1をピロールモノマーに1
分間浸漬後、室温にて5分間保持し、次いで、50重量
%のドデシルベンゼンスルホン酸メタノール溶液に10
分間浸漬後、15分間保持して重合を行う工程を4回繰
り返した。その後にメタノールで30分間洗浄し、黒色
のポリピロールロールを第2の導電性高分子化合物層4
として形成した。
【0033】(実施例7)実施例1の、第2の導電性高
分子化合物層4(ポリピロール)を形成する際にp−ト
ルエンスルホン酸の代わりにドデシルベンゼンスルホン
酸を用いただけで後は同様にしてコンデンサを完成させ
た。
【0034】(実施例8)実施例1の、第2の導電性化
合物層4(ポリピロール)を形成する際にp−トルエン
スルホン酸の代わりにナフタレンスルホン酸を用いただ
けで後は同様にしてコンデンサを完成させた。
【0035】(実施例9)実施例1の第2の導電性高分
子化合物層4を形成する際にピロールの代わりに3,4
−ジメチルピロールを用いた以外は実施例1と同様にし
てコンデンサを完成させた。
【0036】(比較例1)実施例1で用いたタンタル微
粉末焼結体ペレットを0.1重量%硝酸水溶液中で33
Vで陽極酸化し、誘電体膜2を形成した。
【0037】次いでエタノール70wt%、水30wt
%の混合溶媒に、アニリンとp−トルエンスルホン酸と
が等モルで溶媒重量に対して10wt%となるように混
合してアニリン溶液を調整した。このアニリン溶液を0
℃に保持しながら焼結体ペレット1を30秒間浸漬後、
0℃ 25wt%ペルオキソ二硫酸アンモニウム水溶液
に30秒間浸漬後、焼結体ペレットを取り出し室温で3
0分間保持して重合を行う工程を2回繰り返し、黒色の
ポリアニリンを第1の導電性高分子化合物層3として誘
電体膜2上に形成した。
【0038】次いでメタノール中に、ピロールとドデシ
ルベンゼンスルホン酸第二鉄とが1:2になるように混
合したピロール溶液を調整した。このピロール溶液を、
−30℃に保持しながら焼結体ペレット1を1分間浸漬
後、焼結体ペレットを取り出し室温で30分間保持して
重合を行う工程を4回繰り返し、黒色のポリピロールを
第2の導電性高分子化合物層4として形成した。更にカ
ーボンペースト、銀ペーストを順次塗布乾燥し、グラフ
ァイト層5電極6を形成した。最後に陽極リード7及び
陰極リード8を引き出し、エポキシ樹脂10で封止して
コンデンサを完成した。
【0039】(比較例2)実施例1で用いたタンタル微
粉末焼結体ペレットを0.1重量%硝酸水溶液中で33
Vで陽極酸化し、誘電体2を形成した。
【0040】次いでメタノール中に、ピロールとドデシ
ルベンゼンスルホン酸第二鉄とが1:2になるように混
合したピロール溶液を調整した。このピロール溶液を、
−30℃に保持しながら焼結体ペレット1を1分間浸漬
後、焼結体ペレットを取り出し室温で30分間保持して
重合を行う工程を3回繰り返し、黒色のポリピロールを
第1の導電性高分子化合物層3として誘電体膜2上に形
成した。
【0041】次いでメタノール70wt%、水30wt
%の混合溶媒に、アニリンとp−トルエンスルホン酸と
が等モルで溶媒重量に対して15wt%となるように混
合してアニリン溶液を調整した。このアニリン溶液を0
℃に保持しながら焼結体ペレット1を30秒間浸漬後、
0℃ 25wt%ペルオキソ二硫酸アンモニウム水溶液
に30秒間浸漬後、焼結体ペレットを取り出し室温で3
0分間保持して重合を行う工程を5回繰り返し、黒色の
ポリアニリンを第2の導電性高分子化合物層4として形
成した。これ以外は実施例1と同様な方法でリードを引
き出してコンデンサを完成させた。
【0042】(比較例3)実施例1で用いたタンタル微
粉末焼結体ペレットを0.1重量%硝酸水溶液中で33
Vで陽極酸化し、誘電体膜2を形成した。
【0043】次いでブタノール中に、3,4−エチレン
ジオキシチオフェンとp−トルエンスルホン酸第二鉄と
が1:2になるように混合した溶液を調整した。この溶
液を、−30℃に保持しながら焼結体ペレット1を1分
間浸漬後、焼結体ペレットを取り出し室温で30分間保
持して重合を行う工程を6回繰り返し、その後ブタノー
ルにて15分洗浄を行い、黒色のポリ(3,4−エチレ
ンジオキシチオフェン)を導電性高分子化合物層として
形成した。
【0044】以上の実施例及び比較例における固体電解
コンデンサに使用した導電性高分子化合物層の種類、容
量出現率(C/Co、電解質溶液中における容量をCo
とする)、高温放置試験(150℃、500時間)前後
での漏れ電流(LC)及び共振周波数インピーダンス
(Z)を表1に示す。
【0045】
【表1】
【0046】表1に示した通り本発明の実施例のコンデ
ンサは、非常に拡面化したコンデンサ素子においても容
量出現率が高くかつインピーダンスが小さく周波数特性
に優れていること、更に周波数特性に優れかつ耐熱性に
優れていることが認められた。
【0047】なお、本実施例においては第1の導電性高
分子化合物層と第2の導電性高分子化合物層の組み合わ
せが、ポリチオフェン/ポリピロール、ポリチオフェン
/ポリアニリン、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオ
フェン)/ポリピロール、ポリ(3,4−エチレンジオ
キシチオフェン)/ポリアニリン、ポリ(3,4−エチ
レンジオキシチオフェン)/ポリ(3,4−ジメチルピ
ロール)となっているが、この組み合わせはこれらに限
らない。
【0048】また、ドーパントとしてドデシルベンゼン
スルホン酸、p−トルエンスルホン酸、ベンゼンジスル
ホン酸、ナフタレンスルホン酸を用いているがこれらに
限らない。例えば、スルホ安息香酸などの芳香族スルホ
ン酸等が挙げられる。
【0049】
【発明の効果】第1の効果は、微細な多孔質を有し非常
に拡面化されたコンデンサ素子において容量出現率が高
くできたことである。
【0050】第2の効果は、良好な周波数特性を有した
固体電解コンデンサを製造できたことである。
【0051】第3の効果は、耐熱性に優れた信頼性の高
い固体電解コンデンサ及びその製造方法を提供できたこ
とである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例により製作される固体電解コン
デンサの断面図。
【符号の説明】 1 多孔質成形体(焼結体ペレット) 2 誘電体膜 3 第1の導電性高分子化合物層 4 第2の導電性高分子化合物層 5 グラファイト層 6 電極引き出し層 7 陽極リード 8 陰極リード 9 導電性ペースト層 10 エポキシ樹脂
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 青木 勇治 富山県下新川郡入善町入膳560番地 富山 日本電気株式会社内 (72)発明者 高橋 健一 富山県下新川郡入善町入膳560番地 富山 日本電気株式会社内

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 弁作用金属の酸化皮膜を誘電体とし、こ
    の酸化皮膜上に重合反応により順次形成された第1及び
    第2の導電性高分子化合物層を固体電解質とする固体電
    解コンデンサにおいて、前記第1の導電性高分子化合物
    層は前記第2の導電性高分子化合物層よりも反応速度の
    遅い化合物から形成されていることを特徴とする固体電
    解コンデンサ。
  2. 【請求項2】 重合反応は酸化剤を用いる化学酸化重合
    であり、かつ第1,第2の導電性高分子化合物がアニリ
    ン、ピロール、チオフェンまたはそれら誘導体の重合体
    のいずれかであることを特徴とする請求項1記載の固体
    電解コンデンサ。
  3. 【請求項3】 第1の導電性高分子化合物層がチオフェ
    ンまたはその誘導体の重合体であり、第2の導電性高分
    子化合物層がアニリンまたはその誘導体の重合体である
    ことを特徴とする請求項1記載の固体電解コンデンサ。
  4. 【請求項4】 第1の導電性高分子化合物層がチオフェ
    ンまたはその誘導体の重合体であり、第2の導電性高分
    子化合物層化がピロールまたはその誘導体の重合体であ
    ることを特徴とする請求項1記載の固体電解コンデン
    サ。
  5. 【請求項5】 第1の導電性高分子化合物層が3,4−
    エチレンジオキシチオフェンの重合体であり、第2の導
    電性高分子化合物層がアニリンまたはその誘導体の重合
    体であることを特徴とする請求項1記載の固体電解コン
    デンサ。
  6. 【請求項6】 第1の導電性高分子化合物層が3,4−
    エチレンジオキシチオフェンの重合体であり、第2の導
    電性高分子化合物層がピロールまたはその誘導体の重合
    体であることを特徴とする請求項1記載の固体電解コン
    デンサ。
  7. 【請求項7】 弁作用金属の酸化皮膜を誘電体とし、こ
    の酸化皮膜上に第1及び第2の導電性高分子化合物層を
    順次形成し固体電解質とする固体電解コンデンサの製造
    方法において、前記導電性高分子化合物層を酸化剤を用
    いた化学酸化重合法により形成し、かつ前記第1の導電
    性高分子化合物層を前記第2の導電性高分子化合物層よ
    り反応速度の遅い化合物を用いて形成することを特徴と
    する固体電解コンデンサの製造方法。
  8. 【請求項8】 第1の導電性高分子化合物層としてチオ
    フェンまたはその誘導体の重合体を、および第2の導電
    性高分子化合物層としてアニリンまたはその誘導体の重
    合体を、それぞれ酸化剤を用いた化学酸化重合法で形成
    することを特徴とする請求項7記載の固体電解コンデン
    サの製造方法。
  9. 【請求項9】 第1の導電性高分子化合物層としてチオ
    フェンまたはその誘導体の重合体を、および第2の導電
    性高分子化合物層としてピロールまたはその誘導体の重
    合体を、それぞれ酸化剤を用いた化学酸化重合法で形成
    することを特徴とする請求項7記載の固体電解コンデン
    サの製造方法。
  10. 【請求項10】 第1の導電性高分子化合物層として
    3,4−エチレンジオキシチオフェンの重合体を、およ
    び第2の導電性高分子化合物層としてアニリンまたはそ
    の誘導体の重合体を、それぞれ酸化剤を用いた化学酸化
    重合法で形成することを特徴とする請求項7記載の固体
    電解コンデンサの製造方法。
  11. 【請求項11】 第1の導電性高分子化合物層として
    3,4−エチレンジオキシチオフェンの重合体を、およ
    び第2の導電性高分子化合物層としてピロールまたはそ
    の誘導体の重合体を、それぞれ酸化剤を用いた化学酸化
    重合法で形成することを特徴とする請求項7記載の固体
    電解コンデンサの製造方法。
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