JPH11261017A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH11261017A
JPH11261017A JP6509598A JP6509598A JPH11261017A JP H11261017 A JPH11261017 A JP H11261017A JP 6509598 A JP6509598 A JP 6509598A JP 6509598 A JP6509598 A JP 6509598A JP H11261017 A JPH11261017 A JP H11261017A
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Hiroshi Katakura
洋 片倉
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 隣接するビット線の寄生容量を介した影響を
低減してより高速のマルチポートメモリを実現するこ
と。 【解決手段】 複数のメモリセル11,12A-15A,12B-15Bを
配列したメモリセルアレイと、メモリセルアレイの各メ
モリセル内に列方向に伸びる少なくとも相補のライトデ
ータ線31A,32A;31B,32B とリードデータ線33A,33B の組
を有するビット線群とを備える半導体記憶装置であっ
て、リードデータ線33A,33B を挟むように相補のライト
データ線31A,32A;31B,32B が配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体記憶装置に
関し、特にメモリセル内に列方向に伸びる複数のビット
線群を有し、異なるメモリセルを並行してアクセスでき
るマルチポートメモリに関する。
【0002】
【従来の技術】異なるメモリセルに並行してアクセスで
きるマルチポートメモリと呼ばれる半導体記憶装置(メ
モリ)がある。異なるメモリセルに並行してアクセスす
る方式としては、アドレス信号の入力ポートとデータ信
号の入出力ポートを2組有し、異なるメモリセルに対し
てそれぞれ書込み又は読み出し、又は書込みと読み出し
が並行して行える方式や、1組のポートは書込み専用
で、他の組のポートは読み出し専用である方式や、1組
のポートは書込み及び読み出しが可能で、他の組のポー
トは読み出し専用である方式など各種ある。この場合、
同一メモリセルに同時にアクセスすることは禁止されて
いる。また、アドレス信号の入力ポートは1個である
が、書き込んだデータを同時に読み出すことが並行して
行える方式などもある。いずれの方式も、メモリセル内
に列方向に伸びるビット線が複数の独立した群になって
いる。アドレス信号の入力ポートとデータ信号の入出力
ポートを2組有し、異なるメモリセルに対してそれぞれ
書込み又は読み出し、又は書込みと読み出しが並行して
行える方式を例として従来のマルチポートメモリを説明
する。
【0003】図1は、従来のマルチポートメモリのデコ
ーダ部の構成を示すブロック図である。図1に示すよう
に、第1のメモリセル位置を示すアドレスAがAポート
アドレスバッファ1Aに入力され、アドレスAで示され
た第1のメモリセル位置へ書き込む又はそこから読み出
すデータがAポートデータバッファ2Aで入出力され
る。同様に、第2のメモリセル位置を示すアドレスBが
Bポートアドレスバッファ1Bに入力され、アドレスB
で示された第2のメモリセル位置へ書き込む又はそこか
ら読み出すデータがBポートデータバッファ2Bで入出
力される。図示は省略してあるが、書込み時にA、Bポ
ートデータバッファ2A、2Bに入力されたデータはラ
イトアンプに供給され、読み出し時にメモリセルからセ
ンスアンプを介して読み出されたデータはA、Bポート
データバッファ2A、2Bから出力される。
【0004】Aポートアドレスバッファ1Aに入力され
たアドレスAは、アクセス位置の行を示す部分がAポー
トロウデコーダ3Aに供給され、列を示す部分がAポー
トコラムデコーダ4Aに供給される。同様に、Bポート
アドレスバッファ1Bに入力されたアドレスBは、アク
セス位置の行を示す部分がBポートロウデコーダ3Bに
供給され、列を示す部分がBポートコラムデコーダ4B
に供給される。Aポートロウデコーダ3AとBポートロ
ウデコーダ3Bは、それぞれ供給されたアドレスをデコ
ードしてアクセスする行のワード線を活性化する。この
従来例では、図示していない制御信号でアドレスA、B
で示すメモリセルへのアクセスがそれぞれ書込みか読み
出しかが指示され、その指示に応じてAポートロウデコ
ーダ3AとBポートロウデコーダ3Bは、それぞれ読み
出し用のワード線又は書込み用ワード線を活性化する。
Aポートコラムデコーダ4AとBポートコラムデコーダ
4Bは、それぞれ供給されたアドレスをデコードしてア
クセスする列のライトアンプ又はセンスアンプを活性化
する。ライトアンプとセンスアンプのいずれを活性化す
るかは、上記の制御信号で指示される。
【0005】図2は、従来のマルチポートメモリのメモ
リセルの構成と配線を示す図である。各メモリセルは記
憶素子としフリップ・フロップ(FF)11と複数のN
MOSFET12A〜15A、12B〜15Bを有し、
メモリセル部では、このようなメモリセルがアレイ状に
配列されており、横方向を行、縦方向を列と称する。行
毎にワード線群が、列毎にビット線群が設けられてい
る。図2の(1)に示すように、各行には、Aポートか
らの読み出しアクセスに応じてメモリセルから読み出し
を行うためのワード線(WLRA)21Aと、Bポート
からの読み出しアクセスに応じて読み出しを行うための
ワード線(WLRB)21Bと、Aポートからの書込み
アクセスに応じて書込みを行うためのワード線(WLW
A)22Aと、Bポートからの書込みアクセスに応じて
書込みを行うためのワード線(WLWB)22Bの4本
のワード線が設けられている。また、各列には、Aポー
トからの読み出しアクセスに応じてメモリセルから読み
出したデータが出力されるリードデータ線(RA)33
Aと、Bポートからの読み出しアクセスに応じて読み出
したデータが出力されるリードデータ線(RB)33B
と、Aポートからの書込みアクセスに応じて書込みデー
タに対応した状態になる相補のライトデータ線(WA、
XWA)31A、32Aと、Bポートからの書込みアク
セスに応じて書込みデータに対応した状態になる相補の
ライトデータ線(WB、XWB)31B、32Bの6本
のビット線が設けられている。
【0006】FF11は2つの状態を取りえ、一方の端
子が「高(H)」の時には他方の端子は「低(L)」に
なるので、2つの状態を2つの論理値に対応させる。A
ポートからの書込みアクセスに応じてメモリセルにデー
タを書き込む時には、ライトアンプによりライトデータ
線31A、32Aを書込みデータに応じた状態、例え
ば、ライトデータ線31AがHで32AがLの状態にし
た後、ワード線22Aを活性化する。これにより、NM
OSFET12Aと13Aがオンして、メモリセル11
のFFが書込みデータに応じた状態になる。
【0007】Aポートからの読み出しアクセスに応じて
メモリセル11からデータを読み出す時には、ワード線
21Aを活性化する。これにより、NMOSFET15
Aがオンする。NMOSFET14Aは、メモリセルの
FF11が記憶している状態に応じてオン又はオフして
おり、オンしていればリードデータ線33Aは接地され
て「L」になるが、オフの場合には中間レベルのままで
ある。この差をセンスアンプで検出する。
【0008】各メモリセル毎に設けられるNMOSFE
T14A、15Aの駆動能力を大きくすることは難し
く、記憶されているデータによりリードデータ線33A
に生じる電位の差を短時間で大きくすることは難しい。
そのため、読み出しアクセスにおいては、リードデータ
線33Aの電位が少し変化するとセンスアンプで増幅し
ている。
【0009】Bポートからのアクセスに応じてメモリセ
ル11にデータを書き込む時及び読み出す時も同様であ
る。ただし、NMOSFET14Aと14Bには、それ
ぞれメモリセルのFF11の相補の信号が印加されるた
め、リードデータ線33Aと33Bに読み出されるデー
タは逆であり、センスアンプの後で一方を反転してデー
タを揃えている。このようなことを行うのは、メモリセ
ルのFF11に接続される負荷のバランスをとるためで
ある。
【0010】この従来例では、アドレスAとBに対する
ポートが2組あり、アドレスAとBに対する読み出しと
書込みのためのワード線とビット線の組がそれぞれ設け
られているので、AポートとBポートからそれぞれデー
タの書込みと読み出しが独立に並行して行える。例え
ば、同一の行又は同一の列の2つのメモリセルに対して
並行して読み出し、書込み、又は読み出しと書込みが行
える。但し、同一のメモリセルに対して同時にアクセス
することは禁止されている。
【0011】図2の(2)は、図2の(1)のX−X’
断面でのビット線層の配列を示す図である。このビット
線層の上又は下にワード線層が設けられ、その下にメモ
リセルを構成するNMOSFETが形成される。参照番
号16は絶縁層である。図示のように、両側にVSS電
源線34が配置され、その間にライトデータ線(WA)
31A、ライトデータ線(WB)31B、リードデータ
線(RA)33A、リードデータ線(RB)33B、ラ
イトデータ線(XWB)32B、ライトデータ線(XW
A)32Aの順でビット線が配置される。このような配
置は、バルクレイアウトのしやすさから決められたもの
である。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】図2のような配列で
は、隣接するビット線間に寄生容量が生じる。特に、近
年マルチポートメモリの容量が大きくなり、この寄生容
量が増大して、その影響が無視できなくなってきた。例
えば、Aポートからある列のメモリセルに読み出しアク
セスを行うのと並行してBポートから同じ列のメモリセ
ルに書込みアクセスを行う場合を考えてみる。Aポート
からのアクセスとBポートからのアクセスは全く独立し
ており、クロックも別にできる。リードデータ線(R
A)33Aの電位は、アクセスしたメモリセルのデータ
に応じて変化しようとする。この時に、Bポートからの
書込みアクセスのため、データに応じてライトデータ線
(WB)31Bと(XWB)32Bの一方が「H」に他
方が「L」に大きな振幅で変化すると、リードデータ線
(RA)33Aの電位は、隣接するライトデータ線(W
B)31Bとの間の寄生容量を介して影響を受ける。上
記のように、リードデータ線(RA)33Aの少しの電
位変化がセンスアンプで増幅されるが、この直前にライ
トデータ線(WB)31Bの電位が変化すると、リード
データ線(RA)33Aの電位変化が逆転することがあ
り、読み出しデータと異なる方向に増幅され、異なるデ
ータが出力されるという誤動作を生じる。
【0013】また、Aポートからある列のメモリセルに
読み出しアクセスを行うのと並行してBポートから同じ
列のメモリセルに読み出しアクセスを行う場合、リード
データ線(RA)33Aの電位は、アクセスしたメモリ
セルのデータに応じて変化し、少し変化した時点でセン
スアンプで増幅される。ワード線(WLRA)21Aが
活性化されている間、リードデータ線(RA)33Aの
電位はデータに応じて変化し続ける。この間にBポート
からの読み出しアクセスが行われ、リードデータ線(R
B)33Bの電位が記憶されているデータに応じて変化
した場合、リードデータ線(RB)33Bの電位は、隣
接しているリードデータ線(RA)33Aの電位の変化
の影響を受け、誤動作を生じることがある。
【0014】上記のような問題は、メモリの速度が遅
く、メモリセルからのデータの読み出しによりリードデ
ータ線の電位が十分に変化した後にセンスアンプを動作
させて増幅を行うならば、隣接するビット線(ライトデ
ータ線又はリードデータ線)の寄生容量を介した影響は
小さくあまり問題にならかかった。しかし、近年マルチ
ポートメモリの動作速度、特に読み出し速度の高速化が
要求されており、動作速度を向上する上でこのような寄
生容量の影響が無視できなくなってきた。
【0015】また、図2のメモリセルはフリップ・フロ
ップ(FF)で構成されるが、このようなメモリセルは
電源を切ると記憶データも消去される揮発性である。並
行してアクセスが行えるマルチポートメモリについて
も、動作速度が速く、構成が簡単な不揮発性のものが求
められている。本発明は、上記のような問題を解決する
と共に新たな要求に答えるためのもので、第1の目的
は、隣接するビット線の寄生容量を介した影響を低減し
てより高速のマルチポートメモリを実現することであ
り、第2の目的は、動作速度が速く、構成が簡単な不揮
発性のマルチポートメモリを実現することである。
【0016】
【課題を解決するための手段】本発明の第1の態様の半
導体記憶装置は、相補のライトデータ線とリードデータ
線とを有するもので、上記の第1の目的を実現するた
め、リードデータ線を相補のライトデータ線で挟んだ配
置とする。すなわち、本発明の第1の態様の半導体記憶
装置は、複数のメモリセルを配列したメモリセルアレイ
と、メモリセルアレイの各メモリセル内に列方向に伸び
る少なくとも相補のライトデータ線とリードデータ線の
組を有するビット線群とを備える半導体記憶装置であっ
て、リードデータ線を挟むように相補のライトデータ線
が配置されていることを特徴とする。
【0017】本発明の第1の態様は、ポートが2個で、
一方のポートが書込み専用の第1ポートで他方のポート
が読み出し専用の第2ポートで、ビット線群が第1ポー
トに対応した相補のライトデータ線と第2ポートに対応
したリードデータ線を有する半導体記憶装置(メモリ)
にも適用できる。その場合、相補のライトデータ線がシ
ールド線として機能して、リードデータ線への雑音の影
響を低減する。第1ポートと第2ポートで同じ列にアク
セスする場合、メモリセルのデータがリードデータ線に
読み出されるのと同時に相補のライトデータ線の電位が
変化することが起こり得るが、相補のライトデータ線の
電位は一方が「H」に他方が「L」に変化するためリー
ドデータ線への影響は相殺され、影響が低減される。
【0018】また、本発明の第1の態様は、図2に示し
たポートが2個で、相補のライトデータ線とリードデー
タ線のビット線群を2組有するメモリにも当然適用でき
る。この場合には、組毎にリードデータ線を挟むように
相補のライトデータ線を配置する。この場合には、同じ
組のライトデータ線とリードデータ線が同時に使用され
ることはなく、リードデータ線の電位がメモリセルのデ
ータに応じて変化する場合には、両側のライトデータ線
の電位は、例えば「H」と「L」又は中間レベルなどに
固定されるので、両側のライトデータ線はシールド線と
して働き、リードデータ線への雑音の影響を低減する。
なお、一方のポートのみに対応して相補のライトデータ
線とリードデータ線が設けられている場合には、一方の
みに適用すればよい。
【0019】本発明の第2の態様の半導体記憶装置は、
並行して使用される複数組のビット線群を備えるもの
で、上記第2の目的を実現するため、ビット線群を各組
毎に分離するように電源線を配置する。すなわち、本発
明の第2の態様の半導体記憶装置は、複数のメモリセル
を配列したメモリセルアレイと、メモリセルアレイの各
メモリセル内に列方向に伸びる複数組のビット線群とを
備える半導体記憶装置であって、ビット線群を各組毎に
分離するように設けられた電源線を備えることを特徴と
する。
【0020】本発明の第2の態様によれば、ビット線は
ポートに対応した群毎に電源線で分離されるため、電源
線がシールドとして働き、異なるポートのアクセスによ
るビット線の電位の変化が遮断されるので、雑音が低下
して誤動作が防止できる。更に、リードデータ線の上下
の少なくとも一方にシールドとして機能する電源配線を
設けることが望ましい。
【0021】なお、第2の態様の構成は第1の態様の半
導体記憶装置に適用可能である。本発明の第3の態様の
半導体記憶装置は、上記第2の目的を実現するため、メ
モリセルを強誘電体容量とNMOSFETで構成する。
すなわち、本発明の第3の態様の半導体記憶装置は、複
数のメモリセルを配列したメモリセルアレイと、メモリ
セルアレイの各メモリセル内に列方向に伸び、メモリセ
ルアレイの異なるメモリセルを並行してアクセスするた
めの複数組のビット線群とを備えるマルチポートメモリ
であって、メモリセルは、強誘電体容量とNMOSFE
Tとを備えることを特徴とする。
【0022】本発明の第3の態様によれば、メモリセル
が強誘電体容量を有するため、電源を切っても記憶され
たデータは保持される。従って、不揮発性メモリが実現
できる。これまで、メモリセルに強誘電体容量を設けて
不揮発性メモリを実現することは知られていたが、メモ
リセルに強誘電体容量を設けて不揮発性マルチポートメ
モリを実現することについては知られていなかった。
【0023】本発明の構成はどのようなマルチポートメ
モリにも適用可能である。複数のポートを備えるメモリ
については、複数のポートに対応して複数組のビット線
群を設ける。各メモリセルには1個又は2個の強誘電体
容量を設ける。1個の強誘電体容量を設ける場合には少
なくとも2個のNMOSFETでメモリセルを構成し、
2個の強誘電体容量を設ける場合には少なくとも4個の
NMOSFETでメモリセルを構成する。センスアンプ
としてインバータを使用すると動作速度が速いが精度の
維持が難しくなるので、その場合にはメモリセルと同一
構成のリファレンスセルを設け、その基準電位と各メモ
リセルから読み出した電位を比較するようにする。
【0024】
【発明の実施の形態】第1実施例は、図2に示した従来
例の構成に本発明を適用したものである。図3は、本発
明の第1実施例のマルチポートメモリの構成を示す図で
あり、(1)が各メモリセル回路の構成を示し、(2)
がX−X’断面におけるビット線の配列を示す。また、
図4は第1実施例におけるライトアンプ7とセンスアン
プ8の構成を示す図である。
【0025】図3に示すように、メモリセルはCMOS
構造のフリップ・フロップ(FF)11と複数のNMO
SFET12A〜15A、12B〜15Bを有する。ま
た、図4に示すように、ライトアンプ7は、ライトデー
タ線31A、31B、32A、32Bに接続された駆動
ユニット71A、71B、72A、72Bと、駆動ユニ
ット71Aと71Bに印加する信号を反転してアンプユ
ニット72Aと72Bに印加するためのインバータ73
とを有する。駆動ユニット71Aは図示のような構成を
有し、ライトデータ線31Aを「H」にする時にはPM
OSFET711をオンしてNMOSFET712をオ
フする信号が印加され、ライトデータ線31Aを「L」
にする時にはPMOSFET711をオフしてNMOS
FET712をオンする信号が印加され、その列を選択
しない時にはPMOSFET711とNMOSFET7
12の両方をオフする信号が印加される。
【0026】Aポートから書込みアクセスすると、Aポ
ートコラムデコーダ4Aから出力される列選択信号とA
ポートデータバッファ2Aの出力する書込みデータに応
じてライトアンプ駆動信号が生成され、対応する列の駆
動ユニット71Aに印加されると共に、インバータ73
を介して駆動ユニット72Aに印加される。これによ
り、Aポート用の相補のライトデータ線31Aと32A
に、書込みデータに対応した相補の信号が印加される。
ロウアドレスについては、図2で説明したように、Aポ
ートロウデコーダから行選択信号が対応する行のワード
線(WLWA)22Aに印加される。従って、選択され
たワード線(WLWA)22Aと選択された相補のライ
トデータ線31Aと32Aに接続されるメモリセルに書
込みが行われる。Bポートから書込みアクセスする場合
も同様である。
【0027】図4に示すように、センスンプ8は、リー
ドデータ線33A、33Bに接続される単一リード形の
センスアンプ81A、82Bを有する。センスアンプ8
1A、82Bがセンスアンプ駆動信号により選択的に活
性化できるようになっている。Aポートから読み出しア
クセスすると、ロウアドレスについては、図2で説明し
たように、Aポートロウデコーダから行選択信号が対応
する行のワード線(WLRA)21Aに印加される。こ
れに応じてすべてのリードデータ線33Aはアクセスし
た行のメモリセルに記憶されたデータに対応した状態に
変化を始める。所定時間経過してリードデータ線33A
の電位がある程度変化した状態で、センスアンプ駆動信
号により選択した列のセンスアンプ81Aが活性化さ
れ、それに接続されるリードデータ線33Aの状態、す
なわち記憶されたデータがセンスアンプ81Aから出力
される。Bポートから読み出しアクセスする場合も同様
である。
【0028】以上説明した構成は従来例と同じである。
第1実施例のマルチポートメモリが図2に示した従来例
と異なるのは、図示のように、両側にVSS電源線34
が配置され、その間にライトデータ線(WA)31A、
リードデータ線(RA)33A、ライトデータ線(XW
A)32A、ライトデータ線(WB)31B、リードデ
ータ線(RB)33B、ライトデータ線(XWB)32
Bの順でビット線が配置されている点である。
【0029】第1実施例では、図3に示すように、リー
ドデータ線33Aはライトデータ線31Aと32Aに挟
まれ、リードデータ線33Bはライトデータ線31Bと
32Bに挟まれている。Aポートで読み出しを行う時に
は、ライトデータ線31Aと32Aには信号は印加され
ないため、リードデータ線33Aがメモリセルの記憶デ
ータに応じて変化する時に、ライトデータ線31Aと3
2Aの電位が変化して、その間の寄生容量を介してリー
ドデータ線33Aの電位に影響することはない。これは
リードデータ線33Bについても同様である。
【0030】Bポート用のビット線群であるライトデー
タ線31B、リードデータ線33B、ライトデータ線3
2Bとリードデータ線33Aとの間にも寄生容量はある
が、隣接していないため容量は小さく、リードデータ線
33Aの電位がメモリセルの記憶データに応じて変化す
る時に、Bポート用のビット線群の電位が大きく変化し
ても影響は小さく問題はない。従って、図2の従来例で
問題になった、リードデータ線33Aと33Bの間の寄
生容量により、一方のリードデータ線の電位が大きく変
化する時の他方のリードデータ線への影響は低減され、
問題にならない。
【0031】以上説明したように、第1実施例のビット
線の配置であれば、リードデータ線の電位がメモリセル
の記憶データに応じて変化する時の他のビット線からの
影響が大幅に低減されるので、誤動作の発生がなくな
る。なお、第1実施例の構成において、後述するよう
に、リードデータ線33Aと33Bの上又は下又は両方
に電源線を設ければ、隣接しない他の群のビット線との
寄生容量が低減されるので、他の群のビット線の電位変
化による雑音を一層低減できる。
【0032】図5は、第2実施例のマルチポートメモリ
の構成を示す図であり、(1)はメモリセル部分の回路
を、(2)は(1)のX−X’断面におけるビット線層
における配置を示す。第2実施例は、1個のポートは書
込み専用で、他方のポートは読み出し専用のマルチポー
トメモリである。第2実施例の構成は、第1実施例のワ
ード線21A、22B、ビット線31B、32B、33
Aを除き、ビット線33Bを31Aと32Aの間に配置
した構成である。
【0033】第2実施例においても、リードデータ線3
3Bは相補のライトデータ線31Aと32Aに挟まれて
いる。従って、相補のライトデータ線31Aと32Aが
シールドとして働いて、リードデータ線33Aへの雑音
の影響を低減する。なお、2つのポートから同時に同じ
列の別のメモリセルに書込みと読み出しでアクセスする
場合、メモリセルのデータがリードデータ線33Bに読
み出されるのと同時に相補のライトデータ線31Aと3
2Aの電位が変化するが、相補のライトデータ線の電位
は一方が「H」に他方が「L」に変化するためリードデ
ータ線への影響は相殺され、リードデータ線に生じる雑
音は小さい。
【0034】図6は、第3実施例のマルチポートメモリ
のビット線の配置を示す図である。この実施例は、第2
実施例の構成において、リードデータ線33Bの上に絶
縁層38を介して電源線VDD又はVSSを配置したも
ので、他の部分、例えば信号線40などからのリードデ
ータ線33Aへの影響を一層低減できる。図7は、第4
実施例のマルチポートメモリの構成を示す図であり、
(1)はメモリセル部分の回路を、(2)は(1)のX
−X’断面におけるビット線層における配置を示す。第
4実施例は、Aポートは書込みと読み出し兼用で、Bポ
ートは読み出し専用のマルチポートメモリである。Aポ
ートからのアクセスは、ワード線(WLA)23を活性
化して、NMOSFET12Aと13Aをオンさせるこ
とで行われる。書込み時には、ライトアンプで相補のリ
ードライトデータ線36Aと37Aを書込みデータに応
じた状態にする。読み出し時には、リードライトデータ
線36Aと37Aがメモリセル11に記憶された状態に
応じて電位差を生じるように変化するので、その電位差
を図8に示すような相補形のセンスアンプ81で増幅す
る。このような相補形のセンスアンプ81については公
知であるので、ここでは説明を省略する。Bポートから
のアクセスは、ワード線(WLB)24を活性化して、
NMOSFET15Bをオンさせることで行われ、第1
実施例と同様に、単一リード形のセンスアンプ81Bを
介して出力される。
【0035】第4実施例の構成が従来と異なるのは、図
7の(1)と(2)に示すように、ビット線層におい
て、Aポート用のリードライトデータ線36Aと37A
を隣接して配置し、それらとBポート用のリードデータ
線36Bの間に電源線VDD35を配置し、更に両側に
電源線VSS34を配置している点である。図7に示す
ような第4実施例のビット線の配置により、Aポート用
のリードライトデータ線36A、37AとBポート用の
リードデータ線36Bは、電源線VDD35によってシ
ールドされるので、一方のポートでアクセスしている
時、特に読み出しアクセスを行っている時に、他方のポ
ート用のリードライトデータ線で電位が変化しても、そ
の変化による雑音の影響が低減される。
【0036】図9は、第5実施例のマルチポートメモリ
の構成を示す図であり、(1)はメモリセル部分の回路
を、(2)はビット線の配置を示す。第5実施例は、A
ポートは書込みと読み出し兼用で、Bポートは読み出し
専用のマルチポートメモリであり、Aポートによる書込
みと読み出しアクセスは、別のワード線とビット線を利
用して行われる。第5実施例の構成は、第1実施例の構
成で、Bポートによる書込みのためのワード線と相補の
ビットを除いた構成に相当する。
【0037】第5実施例では、図示のように、Aポート
用の相補のライトデータ線31Aと32A及びリードデ
ータ線33Aを左側に、Bポート用のリードデータ線3
3Bを右側に配置し、その間に第4実施例と同様に電源
線VDD35を配置し、更に右側ではリードデータ線3
3Aを挟むように相補のライトデータ線31Aと32A
を配置する。これにより、第1実施例及び第4実施例で
説明した効果が得られる。なお、第5実施例では読み出
し用のNMOSFET14Aと14BをメモリセルのF
F11の同じ側に接続している。このようにすること
で、FF11の負荷バランスが若干不釣り合いになる
が、動作上は特に問題はなく、リードデータ線33Aと
33Bには同じ極性のデータが読み出される。
【0038】図10は、第6実施例のマルチポートメモ
リの構成を示す図であり、(1)はメモリセルの配置と
ワード線及びビット線の配置を、(2)はメモリセル部
分の構成を示す。図10の(1)に示すように、従来の
マルチポートメモリのワード線及びビット線に加えて、
所定の中間電位の共通ラインが設けられている。図10
の(2)に示すように、各メモリセルは、強誘電体材料
で作られた2個の容量(キャパシタ)111と112を
直列に接続し、その接続部分を共通ライン41に接続し
た記憶素子を有している。キャパシタ111と112
は、強誘電体材料で作られており、電圧を印加すると分
極し、電圧の印加を停止してもその分極が維持されるの
で、不揮発性記憶素子として動作する。
【0039】Aポートを利用した書込みは、ワード線
(WLA)23に行選択信号を印加してNMOSFET
12Aと13Aをオンする。この状態で、ライトアンプ
により相補リードライトデータ線(BLA,XBLA)
36Aと37Aの電位を書込みデータに応じて一方を
「H」に他方を「L」にすると、キャパシタ111と1
12に電圧が印加されてキャパシタ111と112の両
端に電圧が保持される。読み出しを行う時には、同様に
ワード線23に行選択信号を印加してNMOSFET1
2Aと13Aをオンする。これにより、キャパシタ11
1と112の両端は相補リードライトデータ線36Aと
37Aに接続され、相補リードライトデータ線36Aと
37A間にキャパシタ111と112の両端に保持され
た電荷量に応じた電圧が生じる。これを図8に示した相
補形のセンスアンプで増幅して出力することにより記憶
したデータが読み出せる。Bポートを利用したアクセス
についても同様であり、Aポートを利用したアクセスと
並行して行える。
【0040】ただし、第6実施例のマルチポートメモリ
では、読み出し時にキャパシタ111と112に保持さ
れた電荷量で相補リードライトデータ線36Aと37A
間に電圧を生じる。センスアンプで増幅する時に誤動作
しないようにするには、相補リードライトデータ線36
Aと37A間に生じる電圧をある程度大きくする必要が
あり、そのためにはキャパシタ111と112の容量を
大きくする必要がある。特に、高速の読み出し動作を行
うためには短時間で相補リードライトデータ線36Aと
37A間に所定量以上の電圧を生じさせる必要があり、
読み出し速度が速い時に問題になる。次に説明する第7
実施例ではこのような問題を解決する。
【0041】図11は、第7実施例のマルチポートメモ
リの構成を示す図であり、メモリセル部分の構成とワー
ド線及びビット線の配置を示す。第7実施例のマルチポ
ートメモリは、図7に示した第4実施例のマルチポート
メモリにおいて、メモリセル11を2個の強誘電体容量
111、112で構成したものである。従って、Aポー
トは読み出しと書込み兼用で、Bポートは読み出し専用
であり、センスアンプは図8に示した相補形が使用され
る。電源を切っても記憶したデータが維持される不揮発
性メモリである点を除けば、第4実施例のマルチポート
メモリと同じ動作をする。第7実施例のマルチポートメ
モリでは、相補リードライトデータ線36Aと37A間
に電圧を生じさせるのはNMOSFET14B又は16
Bが行い、キャパシタ111と112に保持された電圧
はNMOSFET14B又は16Bを駆動するだけであ
り、大きな電流を必要としない。従って、キャパシタ1
11と112の容量を小さくでき、メモリセルを小さく
できるので高集積化が可能である。
【0042】図10及び図11に示した第6及び第7実
施例のマルチポートメモリでは、強誘電体材料で作られ
た2個のキャパシタを使用し、相補のライトデータ線及
びリードデータ線を設け、相補形のセンスアンプを使用
した。半導体メモリでは一層の高集積化が求められてお
り、次に説明する第8及び第9実施例は、第6及び第7
実施例のマルチポートメモリを高集積化したものであ
る。
【0043】図12は、第8実施例のマルチポートメモ
リの構成を示す図であり、(1)はメモリセル部分の構
成を示し、(2)はメモリセルの配置とワード線及びビ
ット線の配置を示す。図12の(1)に示すように、第
8実施例のマルチポートメモリは、図10に示した第6
実施例のマルチポートメモリにおいて、キャパシタ11
2、NMOSFET13A、13B、及び相補のリード
ライトデータ線の一方37Aと37Bを除いたものであ
る。第8実施例のマルチポートメモリの動作は第6実施
例のものとほぼ同じであるが、リードライトデータ線が
相補形でない。そのため、相補形のセンスアンプを使用
する時には、図12の(2)に示すように、各列にメモ
リセルと同じ構成の比較用メモリセル42を設け、比較
用メモリセル42の出力する基準電位とリードライトデ
ータ線36Aと36Bの電位差を増幅する。また、図4
に示したような単一リード形のセンスアンプを使用す
る。
【0044】図13は、第9実施例のマルチポートメモ
リのメモリセル部分の構成及びワード線及びビット線の
配置を示す図である。第9実施例のマルチポートメモリ
は、図11に示した第7実施例のマルチポートメモリに
おいて、キャパシタ112、NMOSFET13A、1
6B、17B、及び相補のリードライトデータ線の一方
37Aと37Bを除いたものであり、高集積化が可能で
ある。これ以上の説明は省略する。
【0045】以上、いくつかのマルチポートメモリを例
として本発明の実施例を説明したが、マルチポートメモ
リには他にも各種の方式があり、それらにも本発明は適
用可能である。また、メモリセルの構成も各種考えられ
るが、同様に本発明が適用可能である。
【0046】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
読み出し時のリードデータ線への雑音の影響が低減され
るのでセンスアンプによる増幅時の誤動作がなくなり、
半導体メモリの信頼性を向上させることができる。更
に、読み出し時のリードデータ線への雑音の影響が低減
されるので、読み出した後直ちにセンスアンプによる増
幅を開始することができるので、半導体メモリの読み出
し速度を向上できる。
【0047】また、本発明によれば、不揮発性のマルチ
ポートメモリが実現される。
【図面の簡単な説明】
【図1】マルチポートメモリのデコーダ部の構成を示す
ブロック図である。
【図2】従来のマルチポートメモリのメモリセルの構成
とワード線及びビット線の配置を示す図である。
【図3】第1実施例のマルチポートメモリのメモリセル
の構成とワード線及びビット線の配置を示す図である。
【図4】第1実施例のマルチポートメモリのライトアン
プとセンスアンプの構成を示す図である。
【図5】第2実施例のマルチポートメモリのメモリセル
の構成とワード線及びビット線の配置を示す図である。
【図6】第3実施例のマルチポートメモリのビット線の
配置を示す図である。
【図7】第4実施例のマルチポートメモリのメモリセル
の構成とワード線及びビット線の配置を示す図である。
【図8】第4実施例のマルチポートメモリのセンスアン
プの構成を示す図である。
【図9】第5実施例のマルチポートメモリのメモリセル
の構成とワード線及びビット線の配置を示す図である。
【図10】第6実施例のマルチポートメモリのメモリセ
ルの配置とその構成とワード線及びビット線の配置とを
示す図である。
【図11】第7実施例のマルチポートメモリのメモリセ
ルの構成とワード線及びビット線の配置を示す図であ
る。
【図12】第8実施例のマルチポートメモリのメモリセ
ルの配置とその構成とワード線及びビット線の配置とを
示す図である。
【図13】第9実施例のマルチポートメモリのメモリセ
ルの構成とワード線及びビット線の配置を示す図であ
る。
【符号の説明】
1A…Aポートアドレスバッファ 1B…Bポートアドレスバッファ 2A…Aポートデータバッファ 2B…Bポートデータバッファ 3A…Aポートロウデコーダ 3B…Bポートロウデコーダ 4A…Aポートコラムデコーダ 4B…Bポートコラムデコーダ 11…メモリ素子(フリップフロップ) 12A〜15A、12B〜15B…NMOSFET 21A…ワード線(WLRA) 21B…ワード線(WLRB) 22A…ワード線(WLWA) 22B…ワード線(WLWB) 31A、31B、32A、32B…ライトデータ線 33A、33B…リードデータ線

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のメモリセルを配列したメモリセル
    アレイと、 該メモリセルアレイの各メモリセル内に列方向に伸びる
    少なくとも相補のライトデータ線とリードデータ線の組
    を有するビット線群とを備える半導体記憶装置であっ
    て、 前記リードデータ線を挟むように前記相補のライトデー
    タ線が配置されていることを特徴とする半導体記憶装
    置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の半導体記憶装置であっ
    て、 前記メモリセルアレイの異なるメモリセルを並行してア
    クセスするための複数のポートを備え、 前記ビット線群は、前記複数のポートに対応した複数組
    に分けられる半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載の半導体記憶装置であっ
    て、 前記複数のポートの1つは書込み専用の第1ポートであ
    り、前記複数のポートの他の1つは読み出し専用の第2
    ポートであり、 前記ビット線群は、前記第1ポートに対応した相補のラ
    イトデータ線と、前記第2ポートに対応したリードデー
    タ線とを備え、該第2ポートに対応したリードデータ線
    は前記第1ポートに対応した相補のライトデータ線に挟
    まれている半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 請求項2に記載の半導体記憶装置であっ
    て、 前記ビット線群の複数組の少なくとも1組は、相補のラ
    イトデータ線と該相補のライトデータ線に挟まれたリー
    ドデータ線とを備える半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載の半導体記憶装置であっ
    て、 前記複数のポートの1つは読み出し及び書込み用の第1
    ポートであり、前記複数のポートの他の1つは読み出し
    及び書込み用の第2ポートであり、 前記ビット線群は、前記第1ポートに対応した第1の相
    補のライトデータ線と該第1の相補のライトデータ線に
    挟まれた第1のリードデータ線とを有する第1ポート用
    ビット線群と、前記第2ポートに対応した第2の相補の
    ライトデータ線と該第2の相補のライトデータ線に挟ま
    れた第2のリードデータ線とを有する第2ポート用ビッ
    ト線群とを備える半導体記憶装置。
  6. 【請求項6】 請求項4に記載の半導体記憶装置であっ
    て、 前記複数のポートの1つは読み出しと書込み用の第1ポ
    ートであり、前記複数のポートの他の1つは読み出し専
    用の第2ポートであり、 前記ビット線群は、前記第1ポートに対応した第1の相
    補のライトデータ線と該第1の相補のライトデータ線に
    挟まれた第1のリードデータ線とを有する第1ポート用
    ビット線群と、前記第2ポートに対応した第2のリード
    データ線とを備える半導体記憶装置。
  7. 【請求項7】 請求項2から6のいずれか1項に記載の
    半導体記憶装置であって、 前記ビット線群を各組毎に分離するように設けられた電
    源線を備える半導体記憶装置。
  8. 【請求項8】 請求項2から7のいずれか1項に記載の
    半導体記憶装置であって、前記リードデータ線の上下の
    少なくとも一方に設けられた電源配線を備える半導体記
    憶装置。
  9. 【請求項9】 複数のメモリセルを配列したメモリセル
    アレイと、 該メモリセルアレイの各メモリセル内に列方向に伸びる
    複数組のビット線群とを備える半導体記憶装置であっ
    て、 前記ビット線群を各組毎に分離するように設けられた電
    源線を備えることを特徴とする半導体記憶装置。
  10. 【請求項10】 請求項9に記載の半導体記憶装置であ
    って、 前記メモリセルアレイの異なるメモリセルを並行してア
    クセスするための複数のポートを備え、 前記ビット線群は、前記複数のポートに対応した複数組
    に分けられ、 前記複数のポートの1つは読み出しと書込み用の第1ポ
    ートであり、前記複数のポートの他の1つは読み出し専
    用の第2ポートであり、 前記ビット線群は、前記第1ポートに対応した第1の相
    補のリードライトデータ線と、前記第2ポートに対応し
    た第2のリードデータ線とを備え、 前記第1の相補のリードライトデータ線と前記第2のリ
    ードデータ線の間には、電源線が配置されている半導体
    記憶装置。
  11. 【請求項11】 請求項9に記載の半導体記憶装置であ
    って、前記リードデータ線の上下の少なくとも一方に設
    けられた電源配線を備える半導体記憶装置。
  12. 【請求項12】 請求項1から11のいずれか1項に記
    載の半導体記憶装置であって、 前記メモリセルは、強誘電体容量とNMOSFETとを
    備える半導体記憶装置。
  13. 【請求項13】 複数のメモリセルを配列したメモリセ
    ルアレイと、 前記メモリセルアレイの各メモリセル内に列方向に伸
    び、前記メモリセルアレイの異なるメモリセルを並行し
    てアクセスするための複数組のビット線群とを備えるマ
    ルチポートメモリであって、 前記メモリセルは、強誘電体容量とNMOSFETとを
    備えることを特徴とするマルチポートメモリ。
  14. 【請求項14】 請求項8に記載のマルチポートメモリ
    であって、 該メモリセルアレイの異なるメモリセルを並行してアク
    セスするための複数のポートを備え、 前記複数組のビット線群は、前記複数のポートに対応し
    ているマルチポートメモリ。
  15. 【請求項15】 請求項13に記載のマルチポートメモ
    リであって、 前記複数組のビット線群は、2組の相補のリードライト
    データ線を備え、 前記メモリセルは、2個の直列に接続された強誘電体容
    量と、4個以上のNMOSFETとを備えるマルチポー
    トメモリ。
  16. 【請求項16】 請求項13に記載のマルチポートメモ
    リであって、 前記複数組のビット線群は、1組の相補のリードライト
    データ線と、1組の相補のリード専用データ線とを備
    え、 前記メモリセルは、2個の直列に接続された強誘電体容
    量と、6個以上のNMOSFETとを備えるマルチポー
    トメモリ。
  17. 【請求項17】 請求項13に記載のマルチポートメモ
    リであって、 前記複数組のビット線群は、2本のリードライトデータ
    線を備え、 前記メモリセルは、1個の強誘電体容量と、2個以上の
    NMOSFETとを備え、 前記メモリセルから前記リードライトデータ線に読み出
    した信号と比較するための基準信号を出力する前記メモ
    リセルと同一構成のリファレンスセルを備えるマルチポ
    ートメモリ。
  18. 【請求項18】 請求項13に記載のマルチポートメモ
    リであって、 前記複数組のビット線群は、1本のリードライトデータ
    線と、1本のリード専用データ線とを備え、 前記メモリセルは、1個の強誘電体容量と、3個以上の
    NMOSFETとを備え、 前記メモリセルから前記リードライトデータ線又はリー
    ド専用データ線に読み出した信号と比較するための基準
    信号を出力する前記メモリセルと同一構成のリファレン
    スセルを備えるマルチポートメモリ。
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