JP2008198242A - 半導体記憶装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】メモリセルにおけるデータ保持の安定性を向上させる。
【解決手段】半導体記憶装置は、第1及び第2のインバータ回路と、第1のインバータ回路の出力端子と第2のインバータ回路の入力端子とに接続された第1の記憶ノードと、第1のインバータ回路の入力端子と第2のインバータ回路の出力端子とに接続された第2の記憶ノードとを含む複数のメモリセルMCと、複数のメモリセルMCに接続されたワード線と、複数のメモリセルMCにそれぞれ接続された複数のビット線とを具備する。そして、半導体記憶装置は、データ書き込み時、選択されたメモリセルには入力データを書き込み、非選択のメモリセルにはそれに記憶されたデータを再書き込みする。
【選択図】 図1

Description

本発明は、半導体記憶装置に係り、例えばスタティック型のメモリセルを備えた半導体記憶装置に関する。
半導体記憶装置の一種としてSRAMが知られている。このSRAMを構成するメモリセルには、例えば6個のMOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタから構成されるSRAMセル(6Tr.型SRAMセル)が用いられている。
6Tr.型SRAMセルは、2組のインバータ回路を備え、一方のインバータ回路の出力端子を他方のインバータ回路の入力端子に接続した構造を有する。さらに、データの読み出し時及びデータの書き込み時にインバータ回路のデータ記憶ノードをビット線に接続する2つのトランスファーゲートを備えている。
SRAMの動作マージンを示す指標に、スタティックノイズマージン(SNM:Static Noise Margin)がある。SNMは、ワード線が選択され、かつビット線が電源電圧にプリチャージされた場合の、2つのインバータ回路の入出力特性を重ね合わせたもので、この曲線間に書ける正方形の1辺の長さに相当する。
近年、半導体記憶装置の集積度向上のため、メモリセル等に用いられるトランジスタのサイズが縮小されている。また、電源電圧の低下に対応して、トランジスタの閾値電圧も低下している。これらに伴い、メモリセルを構成するトランジスタの閾値電圧ばらつきが大きくなるという問題が発生している。さらに、メモリセルを構成するトランジスタの閾値電圧ばらつきの影響により、SNMが低下してしまうという問題が発生している。
従って、このSNMが低いためにデータ保持の安定性が低いメモリセルにおいては、メモリセルからデータを読み出す、或いはメモリセルにデータを書き込むためにメモリセルに接続されたワード線を活性化すると、データを記憶したインバータ対の記憶状態が反転し、データが破壊されてしまうという問題がある。
また、この種の関連技術として、データ読み出し時のSNMを大きくすることで、データ保持特性を向上させることができるSRAMが開示されている(非特許文献1参照)。
Leland Chang et al., "Stable SRAM Cell Design for the 32 nm Node and Beyond", 2005 Symposium on VLSI Technology Digest of Technical Papers, pp.128-129
本発明は、メモリセルにおけるデータ保持の安定性を向上させることが可能な半導体記憶装置を提供する。
本発明の一視点に係る半導体記憶装置は、第1及び第2のインバータ回路と、前記第1のインバータ回路の出力端子と前記第2のインバータ回路の入力端子とに接続された第1の記憶ノードと、前記第1のインバータ回路の入力端子と前記第2のインバータ回路の出力端子とに接続された第2の記憶ノードとを含む複数のメモリセルと、前記複数のメモリセルに接続されたワード線と、前記複数のメモリセルにそれぞれ接続された複数のビット線とを具備する。そして、半導体記憶装置は、データ書き込み時、選択されたメモリセルには入力データを書き込み、非選択のメモリセルにはそれに記憶されたデータを再書き込みする。
本発明によれば、メモリセルにおけるデータ保持の安定性を向上させることが可能な半導体記憶装置を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、以下の説明において、同一の機能及び構成を有する要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係るSRAMの構成を示すブロック図である。SRAMは、スタティック型の複数のメモリセルMCが行列状に配置されたメモリセルアレイ11を備えている。メモリセルアレイ11には、それぞれがロウ方向に延在するように複数の書き込みワード線WWL、それぞれがロウ方向に延在するように複数の読み出しワード線RWLが配設されている。また、メモリセルアレイ11には、それぞれがカラム方向に延在するように複数の書き込みビット線対WBL,/WBL、それぞれがカラム方向に延在するように複数の読み出しビット線RBLが配設されている。書き込みワード線WWL、及び読み出しワード線RWLは、ロウデコーダ(図示せず)により選択される。
なお、本実施形態では、4つのメモリセルMC(MC0〜3)を一例として示している。また、図1には、これら4つのメモリセルMCに対応して、1本の書き込みワード線WWL、1本の読み出しワード線RWL、4本の書き込みビット線対WBL0〜3,/WBL0〜3、及び4本の読み出しビット線RBL0〜3を示している。
書き込みビット線対WBL,/WBL、及び読み出しビット線RBLは、カラム選択/リフレッシュ回路12に接続されている。カラム選択/リフレッシュ回路12には、カラムデコーダ(図示せず)からカラム選択信号SEL0〜3、及び制御回路(図示せず)から書き込み信号WRTが入力されている。書き込み信号WRTは、データ書き込み時に活性化(ハイレベル)される。また、カラム選択/リフレッシュ回路12は、データ線DIN、/DINに接続され、これらデータ線DIN、/DINを介して外部回路から相補な入力データDIN、/DINが入力される。
カラム選択/リフレッシュ回路12は、データ書き込み時、選択カラム(カラム選択信号SELがハイレベルのカラム)の書き込みビット線WBL,/WBLに入力データDIN,/DINを転送することで、選択メモリセルに入力データDIN,/DINを書き込む。また、カラム選択/リフレッシュ回路12は、データ書き込み時、非選択カラム(カラム選択信号SELがローレベルのカラム)の書き込みビット線WBL,/WBLにこの非選択カラムの読み出しビット線RBLに転送された読み出しデータを転送することで、非選択メモリセルに記憶データを再書き込み(リフレッシュ)する。
図2は、図1に示したメモリセルMCの構成を示す回路図である。メモリセルMCは、8個のMOSトランジスタから構成される8Tr.型SRAMセルである。
メモリセルMCは、データ保持部13、及び読み出し部14から構成されている。データ保持部13は、インバータ回路INV1、INV2を備えている。インバータ回路INV1は、負荷用PチャネルMOSトランジスタ(PMOSトランジスタ)LD1と駆動用NチャネルMOSトランジスタ(NMOSトランジスタ)DV1とにより構成されている。PMOSトランジスタLD1及びNMOSトランジスタDV1は、電源電圧VDDが供給される電源端子と、接地電圧VSSが供給される接地端子との間に直列に接続されている。
インバータ回路INV2は、負荷用PMOSトランジスタLD2と駆動用NMOSトランジスタDV2とにより構成されている。PMOSトランジスタLD2及びNMOSトランジスタDV2は、電源端子と接地端子との間に直列に接続されている。
具体的には、PMOSトランジスタLD1のソース端子は、電源端子に接続されている。PMOSトランジスタLD1のドレイン端子は、記憶ノードN1を介してNMOSトランジスタDV1のドレイン端子に接続されている。PMOSトランジスタLD1のゲート端子は、NMOSトランジスタDV1のゲート端子に接続されている。NMOSトランジスタDV1のソース端子は、接地されている。
PMOSトランジスタLD2のソース端子は、電源端子に接続されている。PMOSトランジスタLD2のドレイン端子は、記憶ノードN2を介してNMOSトランジスタDV2のドレイン端子に接続されている。PMOSトランジスタLD2のゲート端子は、NMOSトランジスタDV2のゲート端子に接続されている。NMOSトランジスタDV2のソース端子は、接地されている。
PMOSトランジスタLD1のゲート端子は、記憶ノードN2に接続されている。PMOSトランジスタLD2のゲート端子は、記憶ノードN1に接続されている。換言すると、インバータ回路INV1の出力端子はインバータ回路INV2の入力端子に接続され、インバータ回路INV2の出力端子はインバータ回路INV1の入力端子に接続されている。
記憶ノードN1は、NMOSトランジスタからなるトランスファーゲートXF1を介して書き込みビット線/WBLに接続されている。記憶ノードN2は、NMOSトランジスタからなるトランスファーゲートXF2を介して書き込みビット線WBLに接続されている。トランスファーゲートXF2,XF2のゲート端子は、書き込みワード線WWLに接続されている。
読み出し部14は、NMOSトランジスタからなる読み出し用駆動トランジスタRD、及びNMOSトランジスタからなる読み出し用トランスファーゲートRTから構成されている。駆動トランジスタRDのゲート端子は、記憶ノードN1に接続されている。駆動トランジスタRDのソース端子は、接地されている。駆動トランジスタRDのドレイン端子は、読み出し用トランスファーゲートRTを介して読み出しビット線RBLに接続されている。読み出し用トランスファーゲートRTのゲート端子は、読み出しワード線RWLに接続されている。
このように構成されたメモリセルMCにおいて、データ読み出し時には、読み出しワード線RWLが活性化(ハイレベル)され、書き込みワード線WWLは非活性化(ローレベル)のままである。これにより、読み出し用トランスファーゲートRTがオンし、記憶ノードN1のデータに応じて読み出しビット線RBLの電位が変化する。
具体的には、記憶ノードN1にデータ“1”(記憶ノードN2にデータ“0”)が記憶されている場合、駆動トランジスタRDがオンし、読み出しビット線RBLはローレベル電圧に設定される(読み出しビット線RBLにデータ“0”が転送される)。これは、記憶ノードN2のデータが読み出しビット線RBLに読み出されたのと同じである。
一方、記憶ノードN1にデータ“0”(記憶ノードN2にデータ“1”)が記憶されている場合、駆動トランジスタRDがオフし、読み出しビット線RBLはハイレベル電圧のままである。よって、読み出しビット線RBLには、記憶ノードN2のデータが読み出される。
図2に示したメモリセルMCでは、データ読み出し時、トランスファーゲートXF1、XF2に接続された書き込みワード線WWLが活性化されないため、記憶ノードN1、N2の電位はワード線活性化による影響を受けない。従って、メモリセルMCのSNMが大きくなり、データ保持の安定性が高いという長所がある。
次に、カラム選択/リフレッシュ回路12の構成の一例について説明する。図3は、カラム選択/リフレッシュ回路12の回路図である。なお、図3には、カラム選択/リフレッシュ回路12のうち1つのカラム(カラム0)に対応する部分を示している。カラム選択/リフレッシュ回路12に含まれる他のカラムについても図3と同じ構成である。
カラム選択/リフレッシュ回路12は、4つのNAND回路12−1〜12−4、2つのインバータ回路12−5、12−6、及び2つのトランスファーゲート12−7、12−8から構成されている。トランスファーゲート12−7、12−8は、例えばNMOSトランジスタとPMOSトランジスタとが並列に接続されて構成されている。
データ線/DIN及びDINはそれぞれ、NAND回路12−1及び12−2の入力端子に接続されている。カラム選択信号SEL0は0番地のカラム選択信号であり、0番地が選択された場合にハイレベル、0番地が非選択の場合にローレベルになる。このカラム選択信号SEL0は、NAND回路12−1及び12−2の入力端子に入力されている。
NAND回路12−3の2つの入力端子にはそれぞれ、NAND回路12−1の出力端子及び読み出しビット線RBL0が接続されている。NAND回路12−4の2つの入力端子にはそれぞれ、NAND回路12−2の出力端子及びNAND回路12−3の出力端子が接続されている。
NAND回路12−4の出力端子は、インバータ回路12−5の入力端子に接続されている。インバータ回路12−5の出力端子は、トランスファーゲート12−7を介して書き込みビット線/WBL0に接続されている。また、NAND回路12−4の出力端子は、トランスファーゲート12−8を介して書き込みビット線WBL0に接続されている。
書き込み信号WRTは、メモリセルMCへのデータ書き込み時にハイレベルとなり、それ以外ではローレベルとなる。書き込み信号WRT、及び書き込み信号WRTがインバータ回路12−6により反転された反転信号は、トランスファーゲート12−7及び12−8のゲート端子に供給されている。トランスファーゲート12−7及び12−8は、書き込み信号WRTがハイレベルの場合に導通状態になる。
このように構成されたカラム選択/リフレッシュ回路12によって、選択カラム(カラム選択信号SELがハイレベルのカラム)では、入力データDIN,/DINが書き込みビット線対WBL,/WBLに転送される。一方、非選択カラム(カラム選択信号SELがローレベルのカラム)では、読み出しビット線RBLに読み出されたデータが書き込みビット線WBLに転送され、このデータの反転データが書き込みビット線/WBLに転送される。すなわち、非選択カラムでは、任意のメモリセルMCから読み出しビット線RBLに読み出されたデータが、この任意のメモリセルMCに書き戻される。
以下に、SRAMの動作について説明する。図4は、データ書き込み時のデータの流れを説明する図である。図5は、データ書き込み時のSRAMのタイミングチャートである。図4に示すように、メモリセルMC1が含まれるカラム1が選択され、それ以外のカラム(カラム0、2、3)が非選択である場合について説明する。図5には、選択カラム(カラム1)、及び非選択カラム(カラム0)についてのタイミングチャートを示している。例えば、入力データDINが“1”、入力データ/DINが“0”である。非選択のメモリセルMC0の記憶ノードN1にはデータ“1”、記憶ノードN2にはデータ“0”が記憶されているものとする。
データ書き込みでは、まず、読み出しワード線RWLがハイレベルになり、選択/非選択のカラムすべてについて、読み出しビット線RBLにセルデータが読み出される。次に、書き込み信号WRTがハイレベルになり、選択カラムの書き込みビット線対WBL1,/WBL1にはそれぞれ、入力データDIN,/DINが転送される。一方、非選択カラムの書き込みビット線対WBL,/WBLには、読み出しビット線RBLに読み出されたセルデータが転送される。
そして、書き込みワード線WWLがハイレベルになると、選択/非選択のカラムすべてについて、書き込みビット線対WBL,/WBLのデータがメモリセルMCに書き込まれる。すなわち、選択カラムでは、入力データDIN,/DINがメモリセルMC1に書き込まれる。一方、非選択カラムでは、メモリセルMCに記憶されたデータが書き戻される。
以上詳述したように本実施形態では、まずデータ書き込み時に、読み出しワード線RWLをハイレベルにして全カラムのセルデータを読み出しビット線RBLに読み出し、次に書き込みワード線WWLをハイレベルにして、選択セルには外部入力データを書き込み、非選択セルには先に読み出しビット線RBLに読み出したセルデータを再書き込み(リフレッシュ)するようにしている。
従って本実施形態によれば、データ書き込み時に、書き込みワード線WWLが活性化されることによるライト・ディスターブを防ぐことができる。これにより、データ書き込み時に、SNMの低下を招くことがなく、データ保持の安定性が高いSRAMを構成することができる。
また、データ読み出し時に、トランスファーゲートXF1、XF2のゲート端子に接続された書き込みワード線WWLが活性化されない。これにより、データ読み出し時でのSNMの低下を防ぐことができる。
(第2の実施形態)
第2の実施形態は、読み出しビット線RBLと書き込みビット線WBLとを読み出し/書き込みビット線RWBLとして共通化するようにしている。
図6は、本発明の第2の実施形態に係るSRAMの構成を示すブロック図である。メモリセルアレイ11には、それぞれがロウ方向に延在するように複数の書き込みワード線WWL、それぞれがロウ方向に延在するように複数の読み出しワード線RWLが配設されている。また、メモリセルアレイ11には、それぞれがカラム方向に延在するように複数の書き込みビット線/WBL、それぞれがカラム方向に延在するように複数の読み出し/書き込みビット線RWBLが配設されている。
なお、本実施形態では、4つのメモリセルMC(MC0〜3)を一例として示している。また、図6には、これら4つのメモリセルMCに対応して、1本の書き込みワード線WWL、1本の読み出しワード線RWL、4本の書き込みビット線/WBL0〜3、及び4本の読み出し/書き込みビット線RWBL0〜3を示している。
図7は、図6に示したメモリセルMCの構成を示す回路図である。記憶ノードN2は、トランスファーゲートXF2を介して読み出し/書き込みビット線RWBLに接続されている。また、駆動トランジスタRDのドレイン端子は、読み出し用トランスファーゲートRTを介して読み出し/書き込みビット線RWBLに接続されている。その他の構成は、図2に示したメモリセルMCと同じである。
図8は、図6に示したカラム選択/リフレッシュ回路12の回路図である。なお、図8には、カラム選択/リフレッシュ回路12のうち1つのカラム(カラム0)に対応する部分を示している。カラム選択/リフレッシュ回路12に含まれる他のカラムについても図8と同じ構成である。
NAND回路12−3の一方の入力端子は、読み出し/書き込みビット線RWBL0に接続されている。NAND回路12−4の出力端子は、トランスファーゲート12−8を介して読み出し/書き込みビット線RWBL0に接続されている。その他の構成は、第1の実施形態で示したカラム選択/リフレッシュ回路12と同じである。
このように構成されたカラム選択/リフレッシュ回路12によって、選択カラムでは、入力データ/DINが書き込みビット線/WBLに転送され、入力データDINが読み出し/書き込みビット線RWBLに転送される。一方、非選択カラムでは、読み出し/書き込みビット線RWBLに読み出されたデータが再度読み出し/書き込みビット線RWBLに転送され、このデータの反転データが書き込みビット線/WBLに転送される。
以下に、SRAMの動作について説明する。図9は、データ書き込み時のデータの流れを説明する図である。図10は、データ書き込み時のSRAMのタイミングチャートである。図9に示すように、メモリセルMC1が含まれるカラム1が選択され、それ以外のカラム(カラム0、2、3)が非選択である場合について説明する。図10には、選択カラム(カラム1)、及び非選択カラム(カラム0)についてのタイミングチャートを示している。例えば、入力データDINが“1”、入力データ/DINが“0”である。非選択のメモリセルMC0の記憶ノードN1にはデータ“1”、記憶ノードN2にはデータ“0”が記憶されているものとする。
本実施形態では、読み出し/書き込みビット線RWBLが読み出しビット線及び書き込みビット線を兼ねるため、選択メモリセルでは読み出し/書き込みビット線RWBLに読み出されたセルデータを入力データDIN、/DINでオーバーライトする形で書き込みが行われる。また、非選択のメモリセルでは、読み出し/書き込みビット線RWBLに読み出されたセルデータがカラム選択/リフレッシュ回路12によりラッチされ、このラッチされたデータがメモリセルに書き戻される。
具体的には、データ書き込みでは、まず、読み出しワード線RWLがハイレベルになり、選択/非選択のカラムすべてについて、読み出し/書き込みビット線RWBLにセルデータが読み出される。次に、書き込み信号WRTがハイレベルになり、選択カラムの読み出し/書き込みビット線RWBL1及び書き込みビット線/WBL1にはそれぞれ、入力データDIN,/DINが転送される。一方、非選択カラムの読み出し/書き込みビット線RWBL及び書き込みビット線/WBLには、読み出し/書き込みビット線RWBLに読み出されたセルデータが転送される。
そして、書き込みワード線WWLがハイレベルになると、選択/非選択のカラムすべてについて、読み出し/書き込みビット線RWBL及び書き込みビット線/WBLのデータがメモリセルMCに書き込まれる。すなわち、選択カラムでは、入力データDIN,/DINがメモリセルMC1に書き込まれる。一方、非選択カラムでは、メモリセルMCに記憶されたデータが書き戻される。
以上詳述したように本実施形態によれば、読み出しビット線RBLと書き込みビット線WBLとを読み出し/書き込みビット線RWBLとして共通化しているため、第1の実施形態と比べて、メモリセルあたりのビット線本数を3本から2本に減らすことができる。これにより、セル面積の縮小が可能となり、さらにビット線ピッチの緩和によるビット線容量の低減が可能になる。その他の効果は、第1の実施形態と同じである。
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で、構成要素を変形して具体化できる。また、実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を構成することができる。例えば、実施形態に開示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよいし、異なる実施形態の構成要素を適宜組み合わせてもよい。
本発明の第1の実施形態に係るSRAMの構成を示すブロック図。 図1に示したメモリセルMCの構成を示す回路図。 図1に示したカラム選択/リフレッシュ回路12の回路図。 第1の実施形態に係るデータ書き込み時のデータの流れを説明する図。 第1の実施形態に係るデータ書き込み時のSRAMのタイミングチャート。 本発明の第2の実施形態に係るSRAMの構成を示すブロック図。 図6に示したメモリセルMCの構成を示す回路図。 図6に示したカラム選択/リフレッシュ回路12の回路図。 第2の実施形態に係るデータ書き込み時のデータの流れを説明する図。 第2の実施形態に係るデータ書き込み時のSRAMのタイミングチャート。
符号の説明
WWL…書き込みワード線、RWL…読み出しワード線、WBL…書き込みビット線、RBL…読み出しビット線、RWBL…読み出し/書き込みビット線、DIN…データ線、MC…メモリセル、13…データ保持部、14…読み出し部、INV1,INV2…インバータ回路、LD1,LD2…負荷用PMOSトランジスタ、DV1,DV2…駆動用NMOSトランジスタ、N1,N2…記憶ノード、XF1,XF2…トランスファーゲート、RD…読み出し用駆動トランジスタ、RT…読み出し用トランスファーゲート、SEL…カラム選択信号、WRT…書き込み信号、11…メモリセルアレイ、12…カラム選択/リフレッシュ回路、12−1〜12−4…NAND回路、12−5,12−6…インバータ回路、12−7,12−8…トランスファーゲート。

Claims (5)

  1. 第1及び第2のインバータ回路と、前記第1のインバータ回路の出力端子と前記第2のインバータ回路の入力端子とに接続された第1の記憶ノードと、前記第1のインバータ回路の入力端子と前記第2のインバータ回路の出力端子とに接続された第2の記憶ノードとを含む複数のメモリセルと、
    前記複数のメモリセルに接続されたワード線と、
    前記複数のメモリセルにそれぞれ接続された複数のビット線と、
    を具備し、
    データ書き込み時、選択されたメモリセルには入力データを書き込み、非選択のメモリセルにはそれに記憶されたデータを再書き込みすることを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 前記ワード線は、書き込みワード線、及び読み出しワード線からなり、
    前記ビット線は、第1の書き込みビット線、第2の書き込みビット線、及び読み出しビット線からなり、
    前記メモリセルは、
    前記第1の記憶ノードと前記第1の書き込みビット線との間に接続され、かつゲート端子が前記書き込みワード線に接続された第1のトランスファーゲートと、
    前記第2の記憶ノードと前記第2の書き込みビット線との間に接続され、かつゲート端子が前記書き込みワード線に接続された第2のトランスファーゲートと、
    ゲート端子が前記第1の記憶ノードに接続され、かつソース端子が電源に接続された駆動トランジスタと、
    前記駆動トランジスタのドレイン端子と前記読み出しビット線との間に接続され、かつゲート端子が前記読み出しワード線に接続された第3のトランスファーゲートと、
    を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
  3. データ書き込み時、前記選択されたメモリセルに接続された書き込みビット線に前記入力データを転送し、前記非選択のメモリセルに接続された書き込みビット線にこの非選択のメモリセルから読み出されたデータを転送するリフレッシュ回路をさらに具備し、
    前記書き込みワード線及び前記読み出しワード線はそれぞれ、データ書き込み時に活性化されることを特徴とする請求項2に記載の半導体記憶装置。
  4. 前記ワード線は、書き込みワード線、及び読み出しワード線からなり、
    前記ビット線は、第1及び第2のビット線からなり、
    前記メモリセルは、
    前記第1の記憶ノードと前記第1のビット線との間に接続され、かつゲート端子が前記書き込みワード線に接続された第1のトランスファーゲートと、
    前記第2の記憶ノードと前記第2のビット線との間に接続され、かつゲート端子が前記書き込みワード線に接続された第2のトランスファーゲートと、
    ゲート端子が前記第1の記憶ノードに接続され、かつソース端子が電源に接続された駆動トランジスタと、
    前記駆動トランジスタのドレイン端子と前記第2のビット線との間に接続され、かつゲート端子が前記読み出しワード線に接続された第3のトランスファーゲートと、
    を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体記憶装置。
  5. データ書き込み時、前記選択されたメモリセルに接続されたビット線に前記入力データを転送し、前記非選択のメモリセルに接続されたビット線にこの非選択のメモリセルから読み出されたデータを転送するリフレッシュ回路をさらに具備し、
    前記書き込みワード線及び前記読み出しワード線はそれぞれ、データ書き込み時に活性化されることを特徴とする請求項4に記載の半導体記憶装置。
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