JPH1117U - 耐磨耗層を有する磁気記録再生ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磨耗に対し良好な耐性を示す材料の層を用い
て、これら磁気ヘッドを保護するようにした磁気記録再
生ヘッドを提供すること。 【解決手段】 非磁性材により構成されたギャップ層
（６）により分離され、かつ絶縁材料（１０）により分
離されたフェライト製の２部材上に水平に置かれた、
鉄、アルミニウムおよびシリコン合金（センダスト）に
より形成されてなる２つの薄い層（７，８）をそなえ、
前記薄い層は、炭素ベースの保護層（３）によって覆わ
れたシリコン酸化物（ＳｉＯ2 ）の接着層（２）により
覆われた前記ヘッドの本質的な能動部分を構成する磁気
記録再生ヘッド。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考案は、耐磨耗層を有する磁気記録再生ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】

薄膜層として造られた磁気ヘッドの技術においては、磨耗の問題は、特に磁気 テープを用いる記録再生装置について決定的なものである。

【０００３】 ＶＨＳ型のヘッドは、テープの速度を５ｍ／秒とし、２０００時間用いる場合 に２０マイクロメートルだけ磨耗する。

【０００４】 これらヘッドを保護するため、例えばカーボン、ＣＳｉまたはＺｒからなる非 常に薄い（数１００オングストローム）コーティングが付着される。

【０００５】 ヘッドの材料構成の雑多性、フェライト−センダストまたはパーマロイ−Ａｌ 2 Ｏ3 −ガラスにより、材料のタイプについては同一付着条件（例えばプラズマ ）としたとき全表面に接合することは希である。

【０００６】 したがって、磨耗に対し良好な耐性を示す材料の層を用いて、これら磁気ヘッ ドを保護するとよい。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

磨耗に対するこの保護に完全に適する材料は、カーボンである。しかしながら 、カーボン薄層（２５０オングストローム）は、フェライト系の材料には接着す ることが困難であることが分かった。これは、カーボン−フェライトヘッドにつ いての磨耗テストを用いて実験的に証明されている。

【０００８】 この問題を解決するための本考案の手段は、このためのものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

したがって、本考案は、磁性材料製の装置であってその表面の内の一つと直接 に接する少くとも一種の焼結磁性材料を含み、その一つの表面を磨耗に対し保護 するカーボンを主体とする化合物からなる材料の少くとも１個の保護層を有する ことを特徴とする。

【００１０】

【考案の実施の形態】

詳細には、本考案は、焼結材料がフェライトからなる一つの材料であり、保護 層が上記の表面を覆うシリコンを主体とするボンディング層からなり、このボン ディング層がフェライトからなり、この表面を覆うこの材料に対し良好な接着係 数を有する組成物を基本とするものであり、それ自体は上記の表面を磨耗に対し 保護するカーボンを主体とした耐磨耗層で覆われるようになった装置に関する。

【００１１】 本考案は、非磁性材料からなるギャップ層を限定するフェライト材料からなる 少くとも二層からなる磁気記録再生ヘッドに関しており、これら三層はヘッドの 活性表面を保護層が覆った上記の装置を適用したヘッドのこの活性記録−再生表 面に密着する。

【００１２】 図１において、まず本考案による磁気装置を説明するが、この装置は磨耗に対 する保護を行なうべき、フェライトのような磁性材料からなる少くとも１層１を 有する。

【００１３】 実験によれば、アダマンタイン系のカーボンは、シリカ表面に完全に接着する ことが分かった。さらに、シリカは、フェライト系の材料に完全に接着する。

【００１４】 したがって、本考案の装置は、層１の上にアダマンタインカーボン層３で覆わ れたシリカ（ＳｉＯ2 ）層２を有する。

【００１５】 非常に軽いＣの付着（３０オングストローム）、すなわち数秒間の付着を行な ったものでも、シリカの表面を非常に硬いものにするのに充分であることが証明 されている。

【００１６】 一般に、層２は、基本的に接着する材料、詳細にはシリコンを主体とするもの （正確には、シリカまたはチタンではない）に基づいている。同様に、層３は、 カーボンを主体とする材料でよい。

【００１７】 一実施例によれば、層２と３は１層として造ることができ、そしてそれらのシ リコンとカーボンの組成は、層１に対し良好な接着性を得ると共に、磨耗に対す る良好な保護を与えるように選ばれる。

【００１８】 図２は、本考案による保護装置を適用した磁気ヘッドの一実施例を示す。

【００１９】 しかしながら、本考案は、磁気媒体上の磁界の分布を検出し磁気遷移の光学的 な検出を行なうための、ガーネットを主体としたヘッドを含む磁気媒体の再生を 可能にする、任意の形成のヘッドの磨耗に対する保護にも適用できる。

【００２０】 この磁気ヘッドは、フェライトを主体とした材料のような磁性材料からなる２ つの層４と５を有する。層４と５は、非磁性材料のギャップ層６により隔てられ ている。さらに、図２に示すような磁気ヘッドでは、センダスト系（鉄−シリコ ン−アルミニウムの合金）の磁性材料からなる層７と８が、ギャップ層６と層４ ，５との間に設けてある。

【００２１】 本考案によれば、磨耗を受けるヘッドのすべてがシリコン酸化物（シリカ）Ｓ ｉＯ2 の層２で覆われる。層２は、カーボン層３で覆われている。これらの層は 、磁気テープのような磁気記録媒体でこすられる磁気ヘッドの活性層を保護する 。これらはまた、ヘッドの側面部分も覆うことができる。

【００２２】 層２は、層４と５のフェライトおよび層７と８（センダスト）への能率のよい 接合を可能にする。その厚さは、１００−２００オングストロームでよい。

【００２３】 層３は層２に良く接合し、そして磨耗に対する有効な保護を与える。その厚さ は得ようとする有効寿命により、例えば、２０−５０オングストロームである。 図３は磁気ヘッドを示しており、そのギャップ６はガラス形の絶縁材１０によ り分離されたフェライトからなる２つの部分４と５の上に平らに置かれたセンダ ストからなる２つの層７と８により与えられる。層７と８は、このヘッドの活性 表面の部分を形成する。図２の磁気ヘッドと同様に、図３の磁気ヘッドはシリコ ン酸化物（ＳｉＯ2 ）からなるボンディング層２とアダマンタインカーボンから なる耐磨耗層３とにより構成される。これら層の厚さは、図２の磁気ヘッドにつ いて述べたものでよい。

【００２４】 図４は、情報処理データを記録するための、いわゆるハードディスクである磁 気ディスクを示す。これは、活性表面１９をボンディング層２（シリコン酸化物 、多結晶または単結晶非晶質シリコンからなる）で覆われた磁気ディスクプルパ ーからなり、層２は、耐磨耗層３（アダマンタインカーボンからなる）で覆われ ている。例えば、このボンディング層の厚さは１００−２００オングストローム であり、耐磨耗層３の厚さは２０−５０オングストロームである。

【００２５】 そのような保護層を造るために、プラズマ形の付着を考えた場合には、保護さ れるべき磁気ヘッドのような装置を容器内に入れて、シランのようなガスにより シリコン付着するか、あるいはシランと酸素を用いてシリカを付着させる。付着 条件は、与えられたシリカの形を得るように調整できる。この付着では、約２０ ０オングストロームの厚さのものを得ることができる。

【００２６】 次に、この容器内の真空度を損なうことなくアダマンタインカーボン層を非常 に短時間（数秒）付着する。

【００２７】 この方法は、スパッタリング（陰極スプレー）にも適用される。適当なシリコ ンとグラファイトのターゲットを配置するだけでよい。これは、付着段階におい て行なわれる。

【００２８】 この付着は、他のエピタキシャル付着を用いても行なうことができる。

【００２９】 ２つの成分（シリコンとカーボン）の混合は、２重イオンビームスパッタリン グ（Ｓｉターゲットに１本とＣターゲット１本）を用いても行なうこともできる 。

【００３０】 以上の説明は、一例に過ぎないことは明らかである。他の形式を本考案の範囲 を外れることなく考えうるものである。特に、数値的な例は、説明の便宜のため に与えたものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の装置の一実施例を示す図。

【図２】本考案による磁気記録−再生ヘッドの一実施例
を示す図。

【図３】本考案による磁気記録−再生ヘッドの他の実施
例を示す図。

【図４】磁気記録ディスクの一実施例を示す図。

【符号の説明】

１ 磁性材料層 ２ 接着剤層 ３ アダマンタインカーボン層（耐磨耗層） ４，５ 磁性材料層 ６ ギャップ層 ７，８ 磁性材料層 １９ 活性表面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 ラゼギ，マニエ フランス国ジフ、ジュール、イベット レ ジダンス、デ、ジャルダン、ド、クルセル 171−183 (72)考案者 マコウスキ，ジャン‐マリー フランス国ビラールバンヌ、アブニュ、ア ルベルト、アインシュタイン、41

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】非磁性材により構成されたギャップ層
   （６）により分離され、かつ絶縁材料（１０）により分
   離されたフェライト製の２部材上に水平に置かれた、
   鉄、アルミニウムおよびシリコン合金（センダスト）に
   より形成されてなる２つの薄い層（７，８）をそなえ、 前記薄い層は、炭素ベースの保護層（３）によって覆わ
   れたシリコン酸化物（ＳｉＯ２）の接着層（２）により
   覆われた前記ヘッドの本質的な能動部分を構成する磁気
   記録再生ヘッド。
2. 【請求項２】請求項１記載の磁気記録再生ヘッドにおい
   て、 前記接着層（２）は、１０ないし２０ｎｍの間の厚みを
   有する磁気記録再生ヘッド。
3. 【請求項３】請求項１記載の磁気記録再生ヘッドにおい
   て、 前記保護層（３）は、２ないし５ｎｍの厚みを有する磁
   気記録再生ヘッド。