JPH03500466A - 耐疲労層を有する磁気材料製装置及び記録読取ヘッド及び記録ディスクへの応用 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 耐疲労層を有する磁気材料製装置及び記録読取ヘッド及び記録ディスクへの応用 本発明は耐疲労層を有する磁気材料製装置及びその記録読取ヘッド及び記録読取 ディスクへの応用に関する。

薄膜層としてつくられた磁気ヘッドの技術においては疲労の問題は、特に磁気テ ープを用いる記録読取装置について決定的なものである。

ＶＨＳ型のヘッドはテープの速度を５ｍ／秒とし、２０００時間用いる場合２０ マイクロメートルで疲労する。

これらヘッドを保護するため、例えばカーボン、ＣＳｉまたはＺｒからなる非常 に薄い（数百人）コーティングが付着される。

ヘッドの材料構成の雑多性、フェライト−センタストまたはパーマロイ−Ａ　ｌ 　２０　ｓ−ガラス、により、材料のタイプについては同一付着条件（例えばプ ラズマ）としたとき全表面に接合することは希である。

それ故、疲労に対し良好な耐性を示す材料の層を用いてこれら磁気ヘッドを保護 するとよい。

疲労に対するこの保護に完全に適する材料はカーボンである。しかしながら、カ ーボン薄層（２５０人）はフェライト系の材料には接着することが困難であるこ とがわかった。これはカーボン−フェライトヘッドについての疲労テストを用い て実験的に証明されている。

この問題を解決するための本発明の手段はこのためのものである。

それ数本発明は磁性材料製の装置であってその表面の内の一つと直接に接する少 くとも一種の焼結磁性材料を含み、その一つの表面を疲労に対し保護するカーボ ンを主体とする化合物からなる材料の少くとも１個の保護層を有することを特徴 とする装置に関している。

詳細には、本発明は、焼結材料がフェライトからなる一つの材料であり、保護層 が上記の表面を覆うシリコンを主体とするボンディング層からなり、このボンデ ィング層が、フェライトからなり、この表面を覆うこの材料に対し良好な接着係 数を有する組成物を基本とするものであり、それ自体は上記の表面を疲労に対し 保護するカーボンを主体とした耐疲労層で覆われるようになった装置に関する。

本発明は非磁性材料からなるギャップ層を限定するフェライト材料からなる少く とも二層からなる磁気記録読取ヘッドに関しており、これら三層はヘッドの活性 表面を保護層が覆った上記の装置を適用したヘッドのこの活性記録−読取表面に 密着する。

本発明の種々の目的及び特性は図面に基づく例についての以下の説明に詳細に示 される。

第１図は本発明の装置の一実施例である。

第２図は本発明による磁気記録−読取ヘッドの一実施例である。

第３図は本発明による磁気記録−読取ヘッドの他の実施例である。

第４図は磁気記録ディスクの一実施例である。

第１図においてまず本発明による磁気装置を説明するが、この装置は疲労に対す る保護を行なうべき、フェライトのような磁性材料からなる少くとも１層１を有 する。

実験によればアダマンタイン系のカーボンはシリカ表面に完全に接着することが わかった。さらに、シリカはフェライト系の材料に完全に接着する。

それ数本発明の装置は層１の上に、アダマンタインカーボン層３で覆われたシリ カ（Ｓ　ｉＯ２）層２を有する。

非常に軽いＣの付着（３０人）、すなわち数秒間の付着を行なったものでもシリ カの表面を非常に硬いものにするに充分であることが証明されている。

一般に、層２は基本に接着する材料、詳細にはシリコンを主体とするもの（正確 には、シリカまたはチタンではない）、に基づいている。同様に層３はカーボン を主体とする材料でよい。

一実施例によれば層２と３は１層としてつくることができ、そしてそれらのシリ コンとカーボンの組成は層１に対し良好な接着性を得ると共に疲労に対する良好 な保護を与えるように選ばれる。

第２図は本発明による保護装置を適用した磁気ヘッドの一実施例を示す。

しかしながら、本発明は磁気媒体上の磁界の分布を検出し磁気遷移の光学的な検 出を行なうためのガーネットを主体としたヘッドを含む磁気媒体の読取りを可能 にする任意の形成のヘッドの疲労に対する保護にも適用できる。

この磁気ヘッドはフェライトを主体とした材料のような磁性材料からなる２つの 層４と５を有する。層４と５は非磁性材料のギャップ層６により隔てられている 。さらに第２図に示すような磁気ヘッドではセンダスト系（鉄−シリコン−アル ミニウムの合金）の磁性材料からなる層７と８がギャップ層６と層４．５との間 に設けである。

本発明によれば、疲労を受けるヘッドのすべてがシリコン酸化物（シリカ）Ｓ　 ｉＯ２の層２で覆われる。層２はカーボン層３で覆われている。これら層は磁気 テープのような磁気記録媒体でこすられる磁気ヘッドの活性層を保護する。これ らはまたヘッドのフランク部分も覆うことができる。

層２は層４と５のフェライト及び層７と８（センダスト）への能率のよい接合を 可能にする。その厚さは１００−２００人でよい。

層３は層２に良く接合し、そして疲労に対する有効な保護を与える。その厚さは 得ようとする有効寿命により、例えば、２０−５０人である。

第３図は磁気ヘッドを示しており、そのギャップ６はガラス形の絶縁材１０によ り分離されたフェライトからなる２つの部分４と５の上に平らに置かれたセンダ ストからなる２つの層７と８により与えられる。層７と８はこのヘッドの活性表 面の部分を形成する。第２図の磁気ヘッドと同様に、Ｎ３図の磁気ヘッドはシリ コン酸化物（Ｓ　ｉ０２　）からなるボンディング層２とアダマンタインカーボ ンからなる耐疲労層３からなる。これら層の厚さは第２図の磁気ヘッドについて 述べたものでよい。

第４図は情報処理データを記録するための、いわゆるハードディスクである磁気 ディスクを示す。これは活性表面１９をボンディング層２（シリコン酸化物、多 結晶または単結晶非晶質シリコンからなる）で覆われた磁気ディスクプルバーか らなり、層２は耐疲労層３（アダマンタインカーボンからなる）で覆われている 。例えば、このボンディング層の厚さは１００−２００Ａであり、耐疲労層３の 厚さは２０−５０人である。

そのような保護層をつくるために、プラズマ形の付着を考えた場合には、保護さ れるべき磁気ヘッドのような装置を容器内に入れてシランのようなガスによりシ リコン付着しあるいはシランと酸素を用いてシリカを付着させる。付着条件は与 えられたシリカの形を得るように調整できる。この付着では約２００人の厚さの ものを得ることができる。

次にこの容器内の真空度を損なうことなくアダマンタインカーボン層を非常に短 時間（数秒）付着する。

この方法はスパッタリング（陰極スプレー）にも適用される。適当なシリコンと グラフフィトのターゲットを配置するだけでよい。これは付着段階において行な われる。

この付着は他のエピタキシャル付着を用いても行なうことができる。

２つの成分（シリコンとカーボン）の混合は２重イオンビームスパッタリング（ Ｓｉターゲットに１本とＣターゲット１本）を用いても行なうこともできる。

以上の説明は一例にすぎないことは明らかである。他の形式を本発明の範囲をは ずれることなく考えうるちのである。特に、数値的な例は説明の便宜のために与 えたものである。

国際調査報告 一一一１−−−ｍ、　ＫＴ／ｒＲ８９１００３４６−’＞−国際調査報告 Ｐ口τ／ｒＲ８９／Ｃ１０３４６

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. １．装置の表面（１０）の内の一つに密着する少くとも一つの焼結磁性材料（１ ）を有し、この一つの面を疲労に対して保護するカーボン化合物を主体とする材 料からなる少くとも１層の保護層を有することを特徴とする磁性材料製装置。
2. ２．前記燒結磁性材料（１）はフェライトであり、前記保護層はこのフェライト からなる材料に対し良好な接着係数を有する組成を主体としそして前記表面を覆 うボンディング層を含み、このボンディング層自体は上記表面を疲労に対し保護 するカーボンを主体とした耐疲労層３で覆われることを特徴とする請求項１に記 載の磁性材料からなる装置。
3. ３．前記ボンディング層の接着組成はチタニウムであることを特徴とする請求項 ２記載の磁性材料からなる装置。
4. ４．前記シリコンを主体とする層▽はシリカ（ＳｉＯ２またはＳｉＯｘ）である ことを特徴とする請求項３記載の磁性材料からなる装置。
5. ５．前記カーボンを主体とする耐疲労層３はアダマンタインカーボンまたはダイ アモンド構造を有するカーボンからなる、請求項２記載の磁性材料からなる装置 。
6. ６．非磁性材料からなるギャップ層６を限定する２個のフェライト材料からなる 層４，５を有し、その活性記録−読取面１０にこれら３層が密着するようになっ ており、前記保護層がこの活性面１０を覆うことを特徴とする、請求項１乃至５ に１に記載する装置を用いた磁気記録−読取ヘッド。
7. ７．前記保護層は前記ヘッドの活性面１０を覆う、シリコンを主体とするボンデ ィング層と、このボンディング層を覆う、カーボンを主体とする耐疲労層３とか らなることを特徴とする請求項６記載の磁気記録−読取ヘッド。
8. ８．前記ヘッドの活性面１０に密着して、フェライトを主体とする材料からなる 各層４，５と前記ギャップ層６との間に配置される金属材料７，８を含むことを 特徴とする請求項６記載の磁気記録−読取ヘッド。