JPS59127214A - 磁気ヘツド - Google Patents
磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS59127214A JPS59127214A JP245283A JP245283A JPS59127214A JP S59127214 A JPS59127214 A JP S59127214A JP 245283 A JP245283 A JP 245283A JP 245283 A JP245283 A JP 245283A JP S59127214 A JPS59127214 A JP S59127214A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sliding surface
- diamond structure
- medium
- head
- carbon film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/10—Structure or manufacture of housings or shields for heads
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は媒体摺動面にダイヤモンド侶造を含む。
カーボン薄膜を形成して信頼性を高めた＄気記録再生ヘ
ッドに関する。
ッドに関する。
近年情報処理機器、画像記録装置例えばＶＴＦｔや磁気
ディスク装置等は記録密度のｆｆｌ犬が要求され、媒体
及び卵炉ヘッドの性能の向上がはかられている、ｒ＠密
度の増大にともない媒体及び磁気ヘッドの微小欠陥がそ
の信書処理に大きな影響を与えろよらになってきた。又
高性能を：＋１求プねるために例えば記録媒体はメタル
テープになってより硬い材質となってきており、［８’
／ ’５ヘッドの強度は１すます要望がつよくなってき
ている。
ディスク装置等は記録密度のｆｆｌ犬が要求され、媒体
及び卵炉ヘッドの性能の向上がはかられている、ｒ＠密
度の増大にともない媒体及び磁気ヘッドの微小欠陥がそ
の信書処理に大きな影響を与えろよらになってきた。又
高性能を：＋１求プねるために例えば記録媒体はメタル
テープになってより硬い材質となってきており、［８’
／ ’５ヘッドの強度は１すます要望がつよくなってき
ている。
本発明は硝幼ヘッドの媒体との摺動面にダイヤモンド′
構造を含むカーボン薄ｊμを形＋ｆｆして磁気ヘッドの
信頼性を飛躍的に向上させたものである、本発明の目的
は信頼性の高い碇・クヘッドを提供することにある、
゛ カーボンはその［σ１素体としてグラファイトとダイヤ
モンド゛がある７特にダイヤモンドは硬度が硬いことは
周知であシ、グラファイトは潤滑性能にすぐねているこ
とも周知である。
構造を含むカーボン薄ｊμを形＋ｆｆして磁気ヘッドの
信頼性を飛躍的に向上させたものである、本発明の目的
は信頼性の高い碇・クヘッドを提供することにある、
゛ カーボンはその［σ１素体としてグラファイトとダイヤ
モンド゛がある７特にダイヤモンドは硬度が硬いことは
周知であシ、グラファイトは潤滑性能にすぐねているこ
とも周知である。
ダイヤモンド構造を含んだ薄膜はイオンビームスパッタ
やプラズマＣｖＤ、レーザー蒸着等により彫成さねる。
やプラズマＣｖＤ、レーザー蒸着等により彫成さねる。
本発明は磁気ヘッドの媒体との摺りハ電にこのダイヤモ
ンド゛構造を含むカーボンの薄膜を形５ソすることによ
り信頼性全飛躍的に向上ζせたものである。ダイヤモン
ド゛構造を含むカーボン薄）漠の厚みは１０００オング
ストロームＪＭ下ｆも充分その効果を示した、又カーボ
ン薄膜中にダイヤモンド゛構造以外のグラファイト構造
を含んでいる場合には硬度と潤滑性能との相乗効果によ
り更に信頼性は向上し７た、 以下に実施例について本発明を説明する。
ンド゛構造を含むカーボンの薄膜を形５ソすることによ
り信頼性全飛躍的に向上ζせたものである。ダイヤモン
ド゛構造を含むカーボン薄）漠の厚みは１０００オング
ストロームＪＭ下ｆも充分その効果を示した、又カーボ
ン薄膜中にダイヤモンド゛構造以外のグラファイト構造
を含んでいる場合には硬度と潤滑性能との相乗効果によ
り更に信頼性は向上し７た、 以下に実施例について本発明を説明する。
実施例
第１図は本発明をＭ ｎ −Ｚ ｎフェライト単結晶製
ＵＴＦＩヘッドに応用した例である。、Ｍｎ−Ｚｎフェ
ライトコア１の媒体との摺動面２にギャップ部３が形成
されている、更にギャップ部６の横は（ ガラス４で充填されている。、摺動面２上にメタンガス
を用いた高周波プラズマによりダイヤモンド構造とガラ
ファイト構造を含むカーボン薄膜５を１０００オングス
トローム形成し、だ。メタルテープに対し３０００１１
１１％間以上摺動啓せても損傷はみら乃なかったｎ Ｍ
ｎ Ｚ ｎフェライト単結晶は結晶方位により硬度
が異なり、良好な碍気特性を示す方位とは必ずしも一致
しないが１本実施例により硬気特性の良好な方位を自由
に選択できたために高感度で再生出力の大なるヘッドが
完成した、実施例２ 第２図について本実施例を説明する。
ＵＴＦＩヘッドに応用した例である。、Ｍｎ−Ｚｎフェ
ライトコア１の媒体との摺動面２にギャップ部３が形成
されている、更にギャップ部６の横は（ ガラス４で充填されている。、摺動面２上にメタンガス
を用いた高周波プラズマによりダイヤモンド構造とガラ
ファイト構造を含むカーボン薄膜５を１０００オングス
トローム形成し、だ。メタルテープに対し３０００１１
１１％間以上摺動啓せても損傷はみら乃なかったｎ Ｍ
ｎ Ｚ ｎフェライト単結晶は結晶方位により硬度
が異なり、良好な碍気特性を示す方位とは必ずしも一致
しないが１本実施例により硬気特性の良好な方位を自由
に選択できたために高感度で再生出力の大なるヘッドが
完成した、実施例２ 第２図について本実施例を説明する。
センダスト製コア６の両仙１を補強ガラスコア゛７゜８
ではさんだヘッドのギヤツブ部？側に媒体摺動面１０が
あるＶＴＲヘッドの媒体摺動面１０上に真空中でイオン
ガン中にメタンガスを涛入【てイオン化させてダイヤモ
ンド構造を含有するカーボン膜１１を８００オングスト
ローム形戚、 １．− ＊。
ではさんだヘッドのギヤツブ部？側に媒体摺動面１０が
あるＶＴＲヘッドの媒体摺動面１０上に真空中でイオン
ガン中にメタンガスを涛入【てイオン化させてダイヤモ
ンド構造を含有するカーボン膜１１を８００オングスト
ローム形戚、 １．− ＊。
５０００時間以上の信頼性を示［だ。
実〆ｊｆｊ＋３
Ｗ 跨ｆ１１２のセンダスト製コアの替りにアモルファ
ス沖帯のコアを用い７’ＣＶ Ｔ Ｅヘッドの媒体摺動
面士にグラファイトターゲットにイオンビーム傅射［２
で得らねたダイヤモンド構造カーボン薄膜を１０００オ
ングストローム彫成１７’ｖ、−３ｏｏｏ時間以上メタ
ル子−プに摺動してもキャップ部等に損傷は見ら）］な
７１λつだ、 実施例１４ 第６図はウィンチェスタ−タイプハードディスク磁気テ
イスク装置に用いらねる浮上型ヘッドである。浮上スラ
イダー１２を備えた基鈑１３の媒体流出側端面に薄膜で
コイル１２が形成されている・コイル１４の先端には同
様に薄膜でコアー１５が形成されている。スライダー面
１２上に真空中でダイヤモンド゛微粒子にレーザーを照
Ｑ＝ｌ して昇華してくる酸分を付着せ［７めた。はと
んどダイヤモンド構造のカーボン乙ネ膜１６で５００で
ングストロームの厚きであった。このヘッドは２万［ｉ
１以上のＣＰＳに付しても何ら損傷もなく、またディス
クに対しても損傷を与えなかった。
ス沖帯のコアを用い７’ＣＶ Ｔ Ｅヘッドの媒体摺動
面士にグラファイトターゲットにイオンビーム傅射［２
で得らねたダイヤモンド構造カーボン薄膜を１０００オ
ングストローム彫成１７’ｖ、−３ｏｏｏ時間以上メタ
ル子−プに摺動してもキャップ部等に損傷は見ら）］な
７１λつだ、 実施例１４ 第６図はウィンチェスタ−タイプハードディスク磁気テ
イスク装置に用いらねる浮上型ヘッドである。浮上スラ
イダー１２を備えた基鈑１３の媒体流出側端面に薄膜で
コイル１２が形成されている・コイル１４の先端には同
様に薄膜でコアー１５が形成されている。スライダー面
１２上に真空中でダイヤモンド゛微粒子にレーザーを照
Ｑ＝ｌ して昇華してくる酸分を付着せ［７めた。はと
んどダイヤモンド構造のカーボン乙ネ膜１６で５００で
ングストロームの厚きであった。このヘッドは２万［ｉ
１以上のＣＰＳに付しても何ら損傷もなく、またディス
クに対しても損傷を与えなかった。
本発明の主旨はこ力らの芙ＩＸ５ ′ｖ２１’以外の磁
気ヘッドに適用されることはいう丑でもない。
気ヘッドに適用されることはいう丑でもない。
第１図、第２図。第６図は本発明の笑が１例を説明する
図である、 １・・・・・・フェライトコア ２・・・・・・摺動面 ６・・・・・・ギャップ部 ４・・・・・・ガラス ５・・・・・・カーボン薄膜 ６・・・・・・センダストコア ７・・・・・・補強ガラスコア ８・・・・・・補強力゛ラスコア ９・・・・・・キャップ部 １０・・・・・・奴９体摺動面 １１・・・・・・カーボン薄板 １２・・・・・・流上スライダー １３・・・・・基 版 １４・・・・・・薄ｎＩスコイル １５・・・・・・渣１；改コア １６・・・・・・カーボン抽Ｂ９ 以上 出願人 株式会社 諏訪ギは工合 第１図 第２図 第３図
図である、 １・・・・・・フェライトコア ２・・・・・・摺動面 ６・・・・・・ギャップ部 ４・・・・・・ガラス ５・・・・・・カーボン薄膜 ６・・・・・・センダストコア ７・・・・・・補強ガラスコア ８・・・・・・補強力゛ラスコア ９・・・・・・キャップ部 １０・・・・・・奴９体摺動面 １１・・・・・・カーボン薄板 １２・・・・・・流上スライダー １３・・・・・基 版 １４・・・・・・薄ｎＩスコイル １５・・・・・・渣１；改コア １６・・・・・・カーボン抽Ｂ９ 以上 出願人 株式会社 諏訪ギは工合 第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 媒体との摺動面にダイヤモンド構造を含むカーボンの薄
膜を形成しまたことを特徴とする磁気ヘッド、
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP245283A JPS59127214A (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | 磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP245283A JPS59127214A (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | 磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59127214A true JPS59127214A (ja) | 1984-07-23 |
Family
ID=11529672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP245283A Pending JPS59127214A (ja) | 1983-01-11 | 1983-01-11 | 磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59127214A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6070178A (ja) * | 1983-09-26 | 1985-04-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 硬質カ−ボン膜被覆工具 |
| JPS61250880A (ja) * | 1985-04-27 | 1986-11-07 | Fujitsu Ltd | 浮上型磁気ヘツド |
| JPS63275017A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-11 | インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン | 磁気デイスク記録装置 |
| JPS63279409A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-11-16 | トムソン−セーエスエフ | 薄膜磁気ヘッドの製造方法とその方法により製造されたライト／リードヘッド |
| JPH01189019A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-28 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 炭素膜がコートされた磁気部材の作製方法 |
| EP0332784A2 (en) * | 1988-03-10 | 1989-09-20 | Seagate Technology International | A process of treating magnetic recording media |
| JPH0310309U (ja) * | 1989-06-12 | 1991-01-31 | ||
| JPH03500466A (ja) * | 1988-07-05 | 1991-01-31 | トムソン‐セーエスエフ | 耐疲労層を有する磁気材料製装置及び記録読取ヘッド及び記録ディスクへの応用 |
| JPH06150599A (ja) * | 1992-11-12 | 1994-05-31 | Nec Corp | 磁気ヘッドスライダ |
| US5384195A (en) * | 1992-05-22 | 1995-01-24 | U.S. Philips Corporation | Antifriction body having an antifriction layer |
| JPH087258A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-01-12 | Nec Corp | 磁気ディスク装置 |
-
1983
- 1983-01-11 JP JP245283A patent/JPS59127214A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6070178A (ja) * | 1983-09-26 | 1985-04-20 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 硬質カ−ボン膜被覆工具 |
| JPS6147903B2 (ja) * | 1983-09-26 | 1986-10-21 | Nippon Telegraph & Telephone | |
| JPS61250880A (ja) * | 1985-04-27 | 1986-11-07 | Fujitsu Ltd | 浮上型磁気ヘツド |
| JPS63279409A (ja) * | 1987-03-06 | 1988-11-16 | トムソン−セーエスエフ | 薄膜磁気ヘッドの製造方法とその方法により製造されたライト／リードヘッド |
| JPS63275017A (ja) * | 1987-04-30 | 1988-11-11 | インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン | 磁気デイスク記録装置 |
| JPH0610853B2 (ja) * | 1988-01-22 | 1994-02-09 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 炭素膜がコートされた磁気部材の作製方法 |
| JPH01189019A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-28 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 炭素膜がコートされた磁気部材の作製方法 |
| EP0332784A2 (en) * | 1988-03-10 | 1989-09-20 | Seagate Technology International | A process of treating magnetic recording media |
| EP0680036A1 (en) * | 1988-03-10 | 1995-11-02 | Seagate Technology International | A process of treating slider bodies |
| JPH03500466A (ja) * | 1988-07-05 | 1991-01-31 | トムソン‐セーエスエフ | 耐疲労層を有する磁気材料製装置及び記録読取ヘッド及び記録ディスクへの応用 |
| JPH0310309U (ja) * | 1989-06-12 | 1991-01-31 | ||
| US5384195A (en) * | 1992-05-22 | 1995-01-24 | U.S. Philips Corporation | Antifriction body having an antifriction layer |
| JPH06150599A (ja) * | 1992-11-12 | 1994-05-31 | Nec Corp | 磁気ヘッドスライダ |
| JPH087258A (ja) * | 1994-06-24 | 1996-01-12 | Nec Corp | 磁気ディスク装置 |
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