JPS62262217A - 磁気記録体及びその製造方法 - Google Patents
磁気記録体及びその製造方法Info
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- JPS62262217A JPS62262217A JP10593086A JP10593086A JPS62262217A JP S62262217 A JPS62262217 A JP S62262217A JP 10593086 A JP10593086 A JP 10593086A JP 10593086 A JP10593086 A JP 10593086A JP S62262217 A JPS62262217 A JP S62262217A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 16
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 abstract description 9
- 230000007704 transition Effects 0.000 abstract description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 229910000684 Cobalt-chrome Inorganic materials 0.000 description 2
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010952 cobalt-chrome Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、磁気記録媒体のうちとくに垂直磁気記録媒体
に関する。
に関する。
（ｉ足来の技術）
磁気記録装置の記録密度の向上は、斯界の変わらぬ趨勢
である。ここに用いられる磁気記録媒体は、従来酸化鉄
微粒子を樹脂に分散させ塗布したいわゆるコーティング
媒体が用いられてきた。近年メッキ法やスパッタ法によ
り作製したＣＯ合金の長手記録（磁化が面内方向）薄膜
媒体では、表面にスジ上の凹凸を形成しスジ方向に異方
性を発生させ磁気特性を改善させて記録密度特性を向上
させている。一方、同じくスパッタ法や蒸着法により作
製したＣｏＣｒ媒体に代表される垂直磁気記録媒体が提
案され、前述の長手記録を越える記録密度が達成されて
いる。
である。ここに用いられる磁気記録媒体は、従来酸化鉄
微粒子を樹脂に分散させ塗布したいわゆるコーティング
媒体が用いられてきた。近年メッキ法やスパッタ法によ
り作製したＣＯ合金の長手記録（磁化が面内方向）薄膜
媒体では、表面にスジ上の凹凸を形成しスジ方向に異方
性を発生させ磁気特性を改善させて記録密度特性を向上
させている。一方、同じくスパッタ法や蒸着法により作
製したＣｏＣｒ媒体に代表される垂直磁気記録媒体が提
案され、前述の長手記録を越える記録密度が達成されて
いる。
この垂直磁気媒体において、本発明者らは第４５回応用
物理学会学術講演会（予稿集Ｐ３７２）にて基板上に表
面粗さＲｍａｘがおよそ１０００Å以上のスジ状凹凸を
形成しスジ方向に面内の容易軸が発生することを報告し
た。
物理学会学術講演会（予稿集Ｐ３７２）にて基板上に表
面粗さＲｍａｘがおよそ１０００Å以上のスジ状凹凸を
形成しスジ方向に面内の容易軸が発生することを報告し
た。
（発明が解決しようとする問題点）
長手記録媒体においては、磁気ヘッドで記録した際に発
生する反磁界によって磁化が乱されることなく急峻な磁
化遷移を達成するには、長子方向に異方性を付与させた
り保磁力を大きくしている。一方、垂直記録媒体におい
ては、良好な垂直異方性を付与して長手方向には反磁界
を発生させないようにし高密度記録を達成している。し
がしながら垂直異方性が比較的小さい場合には、長手成
分の面内磁化が発生し記録密度を劣化させる。
生する反磁界によって磁化が乱されることなく急峻な磁
化遷移を達成するには、長子方向に異方性を付与させた
り保磁力を大きくしている。一方、垂直記録媒体におい
ては、良好な垂直異方性を付与して長手方向には反磁界
を発生させないようにし高密度記録を達成している。し
がしながら垂直異方性が比較的小さい場合には、長手成
分の面内磁化が発生し記録密度を劣化させる。
したがって長手方向に突き合せの磁化を発生させないた
めには長手方向と直角に面内異方性を付与すればよく、
前述の文献のような表面形状を形成すれば面内異方性を
付与できる。しかしながら、記録体の平滑性の観点から
基板上に１０００Å以上の表面粗さがある場合、媒体−
ヘッド間のスペーシングの増大による記録密度特性の劣
化及びヘッドとの摺動により摩擦、摩耗が増大し信頼性
を保証することが難しく、さらに表面粗さが大きくなり
すぎると垂直磁気異方性を劣化させた。また、基板加工
の観点から本目的を達成させるためには、基板上“に円
周方向と直角に凹凸を形成しなければならなく加工上難
かしい面があった。
めには長手方向と直角に面内異方性を付与すればよく、
前述の文献のような表面形状を形成すれば面内異方性を
付与できる。しかしながら、記録体の平滑性の観点から
基板上に１０００Å以上の表面粗さがある場合、媒体−
ヘッド間のスペーシングの増大による記録密度特性の劣
化及びヘッドとの摺動により摩擦、摩耗が増大し信頼性
を保証することが難しく、さらに表面粗さが大きくなり
すぎると垂直磁気異方性を劣化させた。また、基板加工
の観点から本目的を達成させるためには、基板上“に円
周方向と直角に凹凸を形成しなければならなく加工上難
かしい面があった。
本発明の目的は、この問題点を解決した磁気記録媒体と
その製造方法を提供することにある。
その製造方法を提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
この発明の要旨とするところは、基板上に垂直磁気異方
性を有する磁性膜を形成した磁気記録体において磁性膜
の膜面内の記録トラックと直角方向に異方性を有する磁
気記録体と、基板上に表面粗さが１０人から８００人の
範囲のミゾもしくはスジ状の凹凸を記録トラック方向に
形成した後、垂直磁気異方性を有する磁性膜を基板上に
形成する磁気記録体の製造方法である。
性を有する磁性膜を形成した磁気記録体において磁性膜
の膜面内の記録トラックと直角方向に異方性を有する磁
気記録体と、基板上に表面粗さが１０人から８００人の
範囲のミゾもしくはスジ状の凹凸を記録トラック方向に
形成した後、垂直磁気異方性を有する磁性膜を基板上に
形成する磁気記録体の製造方法である。
（作用）
本発明は所定の表面粗さのミゾもしくはスジ状の凹凸を
形成することにより従来方法と異なりミゾもしくはスジ
状の方向と直角方向に磁気異方性を発生できることを初
めて見出したことによりなされたものである。
形成することにより従来方法と異なりミゾもしくはスジ
状の方向と直角方向に磁気異方性を発生できることを初
めて見出したことによりなされたものである。
（実施例）
第１図及び第２図にそれぞれ本発明に用いたミゾ及びス
ジ状の凹凸を形成した基板１上に垂直磁気異方性を有し
た磁性膜２を形成した本実施例の構成を示す。
ジ状の凹凸を形成した基板１上に垂直磁気異方性を有し
た磁性膜２を形成した本実施例の構成を示す。
ここで示した基板は、レジストによりパターンを形成し
イオンエツチング法により凹凸を形成したものまたはプ
ラスチック材料を凹凸を形成した金型を用いてインジェ
クションして成形したものが用いられる。
イオンエツチング法により凹凸を形成したものまたはプ
ラスチック材料を凹凸を形成した金型を用いてインジェ
クションして成形したものが用いられる。
第３図は、５ｉ０２基板上にレジストによりパターンを
形成した反応イオンエツチング法により第１図の如く凹
凸を種々の表面粗さｔで形成した基板１上に同一スパッ
タリングにおいてＣｏＣｒ垂直磁気異方性薄膜（０，３
ｐｍ厚）を形成した記録媒体の面内の異方性磁界定数Ｋ
ｕと凹凸の高さｔとの関係を示す。第１図で示す凹凸の
ピッチＡ、Ｂはそれぞれ１．０ｐｍ、１．０ｐｍであっ
た。
形成した反応イオンエツチング法により第１図の如く凹
凸を種々の表面粗さｔで形成した基板１上に同一スパッ
タリングにおいてＣｏＣｒ垂直磁気異方性薄膜（０，３
ｐｍ厚）を形成した記録媒体の面内の異方性磁界定数Ｋ
ｕと凹凸の高さｔとの関係を示す。第１図で示す凹凸の
ピッチＡ、Ｂはそれぞれ１．０ｐｍ、１．０ｐｍであっ
た。
表面粗さｔがおよそ１００ＯＡ以上では、ミゾ方向と磁
界方向が平行のときθ＝０°とすると第４図に示すトル
ク曲線に見られるミゾ方向を容易軸とする面内異方性が
生じる。表面粗さｔが１０人から８００人では第５図に
示すトルク曲線に見られるミゾ方向と直角に容易軸とす
る面内異方性が生じる。
界方向が平行のときθ＝０°とすると第４図に示すトル
ク曲線に見られるミゾ方向を容易軸とする面内異方性が
生じる。表面粗さｔが１０人から８００人では第５図に
示すトルク曲線に見られるミゾ方向と直角に容易軸とす
る面内異方性が生じる。
（発明の効果）
このように、磁気記録媒体として実用に供する表面粗さ
においてミゾもしくはスジ状の凹凸を形成することによ
りミゾ方向に直角に磁気異方性を有する磁気記録が提供
される。これによりミゾ方向と平行に記録トラックを設
定することにより、磁気ヘッドで記録されたビットの磁
化の面内成分は、ビット境界において互いに突き合うこ
となく急峻な磁化遷移が達成され記録密度特性が向上す
る。また基板加工もディスク円板上に同心円状に加工出
来るため加工の観点からも好ましい。
においてミゾもしくはスジ状の凹凸を形成することによ
りミゾ方向に直角に磁気異方性を有する磁気記録が提供
される。これによりミゾ方向と平行に記録トラックを設
定することにより、磁気ヘッドで記録されたビットの磁
化の面内成分は、ビット境界において互いに突き合うこ
となく急峻な磁化遷移が達成され記録密度特性が向上す
る。また基板加工もディスク円板上に同心円状に加工出
来るため加工の観点からも好ましい。
第１図及び第２図は、本発明の磁気記録体の構成図、図
中の１は基板、２は垂直磁気異方性媒体、第３図は、ミ
ゾの表面粗さと磁気異方性定数の関係を示す図、第４，
５図はトルク曲線を示す図。 、・ゝ Ｓ７
中の１は基板、２は垂直磁気異方性媒体、第３図は、ミ
ゾの表面粗さと磁気異方性定数の関係を示す図、第４，
５図はトルク曲線を示す図。 、・ゝ Ｓ７
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、基板上に、垂直磁気異方性を有する磁性膜を形成し
た磁気記録体において磁性膜の膜面内の記録トラックと
直角方向に異方性を有することを特徴とする磁気記録体
。 ２、基板上に表面粗さが１０Åから８００Åの範囲のミ
ゾもしくはスジ状の凹凸を記録トラック方向に形成した
後、垂直磁気異方性を有する磁性膜を基板上に形成する
ことを特徴とする磁気記録体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61105930A JPH0758538B2 (ja) | 1986-05-08 | 1986-05-08 | 磁気記録体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61105930A JPH0758538B2 (ja) | 1986-05-08 | 1986-05-08 | 磁気記録体及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62262217A true JPS62262217A (ja) | 1987-11-14 |
| JPH0758538B2 JPH0758538B2 (ja) | 1995-06-21 |
Family
ID=14420572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61105930A Expired - Lifetime JPH0758538B2 (ja) | 1986-05-08 | 1986-05-08 | 磁気記録体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0758538B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004086968A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-03-18 | Sharp Corp | 磁気記録媒体 |
| US7249405B2 (en) | 2002-05-22 | 2007-07-31 | Hitachi Global Storage Technologies Japan, Ltd. | Method for manufacturing a magnetic medium |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5924432A (ja) * | 1982-07-29 | 1984-02-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS61182624A (ja) * | 1985-02-07 | 1986-08-15 | Ulvac Corp | 垂直磁気記録体 |
-
1986
- 1986-05-08 JP JP61105930A patent/JPH0758538B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5924432A (ja) * | 1982-07-29 | 1984-02-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS61182624A (ja) * | 1985-02-07 | 1986-08-15 | Ulvac Corp | 垂直磁気記録体 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7249405B2 (en) | 2002-05-22 | 2007-07-31 | Hitachi Global Storage Technologies Japan, Ltd. | Method for manufacturing a magnetic medium |
| JP2004086968A (ja) * | 2002-08-26 | 2004-03-18 | Sharp Corp | 磁気記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0758538B2 (ja) | 1995-06-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
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