JPS60193112A - 磁気ヘツド - Google Patents
磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPS60193112A JPS60193112A JP4986284A JP4986284A JPS60193112A JP S60193112 A JPS60193112 A JP S60193112A JP 4986284 A JP4986284 A JP 4986284A JP 4986284 A JP4986284 A JP 4986284A JP S60193112 A JPS60193112 A JP S60193112A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electric field
- substrate
- magnetic head
- nozzle
- heating filament
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/10—Structure or manufacture of housings or shields for heads
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/255—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features comprising means for protection against wear
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は磁気ヘッドに係り、特に表面にダイヤモンド構
造の薄膜を形成した磁気ヘッドに関するものである。
造の薄膜を形成した磁気ヘッドに関するものである。
（従来技術）
８気記録技術の進歩は大きく、高密度、大容盪化、高速
化に重点が置かれ開発が進んでいる。−このような傾向
の中で記録のために記録媒体に垂直な薄膜、棒状の磁性
材料にコイルを巻いた垂直ヘッドなどが提案されている
。しかし、このような８気ヘッドでも、記録密度を上げ
るためにヘッドの先端は非常に小さくする必要があるが
、ヘッド材だけでは磁気記録媒体による摩耗が大きく、
ヘッドの寿命が短くなるという欠点がある。このように
、磁気ヘッドはその使用条件が厳しく特にその磁気ヘッ
ド先端部は高硬度の材質が要望されている。しかしなが
ら精密かつ複雑な加工が行なわれねばならない上に耐摩
耗性及びコスト上からもその材質は自づと限定されてし
まっているのが現状である。例えば磁気ヘッドについて
はパーマロイ或はフェライトを用いている。、シかし、
これら材料は加工しにくくかつ耐摩耗性土偶つき易い等
の不具合がある。
化に重点が置かれ開発が進んでいる。−このような傾向
の中で記録のために記録媒体に垂直な薄膜、棒状の磁性
材料にコイルを巻いた垂直ヘッドなどが提案されている
。しかし、このような８気ヘッドでも、記録密度を上げ
るためにヘッドの先端は非常に小さくする必要があるが
、ヘッド材だけでは磁気記録媒体による摩耗が大きく、
ヘッドの寿命が短くなるという欠点がある。このように
、磁気ヘッドはその使用条件が厳しく特にその磁気ヘッ
ド先端部は高硬度の材質が要望されている。しかしなが
ら精密かつ複雑な加工が行なわれねばならない上に耐摩
耗性及びコスト上からもその材質は自づと限定されてし
まっているのが現状である。例えば磁気ヘッドについて
はパーマロイ或はフェライトを用いている。、シかし、
これら材料は加工しにくくかつ耐摩耗性土偶つき易い等
の不具合がある。
（発明の目的）
本発明はこれらの欠点を除去し、耐摩耗性及び高硬度が
要望される部分にダイヤモンド構造Ｏ薄膜をコートする
ことによシ従来とは全く異なった良好なる特性をもつ磁
気ヘッドを提供することを目的とする。
要望される部分にダイヤモンド構造Ｏ薄膜をコートする
ことによシ従来とは全く異なった良好なる特性をもつ磁
気ヘッドを提供することを目的とする。
（発明の構成）
以下図面に基いて本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明による磁気ヘッドを製造する装置を示す
説明図、第２図は本発明による磁気ヘッドを示し、（ａ
）は見取図、（ｂ）は主要断面図である。
説明図、第２図は本発明による磁気ヘッドを示し、（ａ
）は見取図、（ｂ）は主要断面図である。
本発明による磁気ヘッドは、たとえば真空低圧中で、ア
ーク放電による炭素化合物気体のイオンを照射しながら
、基材にダイヤモンド構造の炭素を堆積させたものであ
シ、この製造装置を以下に説明する。
ーク放電による炭素化合物気体のイオンを照射しながら
、基材にダイヤモンド構造の炭素を堆積させたものであ
シ、この製造装置を以下に説明する。
第１図において真空ペルジャー１内の上部中央に基板保
持具２が網目グリッド５の上に基板４を乗せた構造であ
シ、この基板４の上部に基板加熱用フィラメント５が設
置されている。底部中央には、蒸発源の気体を吐出する
ためのノズル６の周囲に電磁界コイル７並びにこのノズ
ル６の上部に接近して蒸発源気体が加熱用フィラメント
８が設置されている。又、基板保持具２及びノズル６と
の間にシャッター９が配設されている。
持具２が網目グリッド５の上に基板４を乗せた構造であ
シ、この基板４の上部に基板加熱用フィラメント５が設
置されている。底部中央には、蒸発源の気体を吐出する
ためのノズル６の周囲に電磁界コイル７並びにこのノズ
ル６の上部に接近して蒸発源気体が加熱用フィラメント
８が設置されている。又、基板保持具２及びノズル６と
の間にシャッター９が配設されている。
蒸発源気体メタン、アセチレン等炭素化合物をノズル６
を介して導入され、直流電界１０を加えた電磁界コイル
７による磁界によってイオン化効率を高めながら、交流
電界１２で気体加熱用フィラメント８を加熱し、気体を
熱分解し、かつ気体加熱用フィラメント８と絶縁パイプ
１１により絶縁されたノズル６との間のアーク電界１３
によりイオン化される。そのイオン化された蒸発物質が
交流電界１４で基板加熱用フィラメント５を加熱して、
それにより予め加熱された基板４上に向かって直流電界
１５を受けて加速される。その時グリッド３によって炭
化水素不純イオンが除去され、炭素イオンのみがグリッ
ド３により増加速されて基板保持具２にある基板４の表
面上にダイヤモンド薄膜が形成される。この場合基板は
低温加熱で充分であり、又短期間に厚いダイヤモンド薄
膜が密着性良く形成される。
を介して導入され、直流電界１０を加えた電磁界コイル
７による磁界によってイオン化効率を高めながら、交流
電界１２で気体加熱用フィラメント８を加熱し、気体を
熱分解し、かつ気体加熱用フィラメント８と絶縁パイプ
１１により絶縁されたノズル６との間のアーク電界１３
によりイオン化される。そのイオン化された蒸発物質が
交流電界１４で基板加熱用フィラメント５を加熱して、
それにより予め加熱された基板４上に向かって直流電界
１５を受けて加速される。その時グリッド３によって炭
化水素不純イオンが除去され、炭素イオンのみがグリッ
ド３により増加速されて基板保持具２にある基板４の表
面上にダイヤモンド薄膜が形成される。この場合基板は
低温加熱で充分であり、又短期間に厚いダイヤモンド薄
膜が密着性良く形成される。
このように、基板表面にメタン、アセチレン等炭素化合
物気体を加熱アーク放電させながら炭素蒸発物質を堆積
することによりダイヤモンド構造の薄膜を形成した磁気
ヘッドが得られる。
物気体を加熱アーク放電させながら炭素蒸発物質を堆積
することによりダイヤモンド構造の薄膜を形成した磁気
ヘッドが得られる。
第２図に示す磁気ヘッドは、パーヤロイ等をプレス、切
削加工することによシ得られ九磁気ヘッドの表面にダイ
ヤモンド＊ｉコート１６が形成されており、第１図に示
す装置を用いて、以下のようにして製造される。
削加工することによシ得られ九磁気ヘッドの表面にダイ
ヤモンド＊ｉコート１６が形成されており、第１図に示
す装置を用いて、以下のようにして製造される。
ステンレス製ペルジャー１の上部Ｋ パーマロイ磁気ヘ
ッドの表面を下にしてセットし予め２００℃に加熱した
。下部蒸発源ノズル６から高純度メタンガスを導入した
。′電磁界コイル７５５ Ｖ １．５Ａ、蒸発源気体加
熱用フイラメン）８ １０Ｖ７５Ａ、７−り放電界１３
５０Ｖ２Ａ”ｔ’（、ｔ７化させ基板直流電界１０
５００Ｖ１０ｍＡ により蒸発堆積させ九〇薄膜形成中
のペルジャー１内部のガス分子圧力の状況をビラニ真空
計によりモニターレＱ、 Ｉ ＴＯｒｒ に維持した。
ッドの表面を下にしてセットし予め２００℃に加熱した
。下部蒸発源ノズル６から高純度メタンガスを導入した
。′電磁界コイル７５５ Ｖ １．５Ａ、蒸発源気体加
熱用フイラメン）８ １０Ｖ７５Ａ、７−り放電界１３
５０Ｖ２Ａ”ｔ’（、ｔ７化させ基板直流電界１０
５００Ｖ１０ｍＡ により蒸発堆積させ九〇薄膜形成中
のペルジャー１内部のガス分子圧力の状況をビラニ真空
計によりモニターレＱ、 Ｉ ＴＯｒｒ に維持した。
この構成で、シャッター９の開閉によシ約３０分間然着
を行なった。得られたパーマロイ磁気ヘッドの表面には
約８０００オングストロームの灰黒色薄膜１６が形成さ
れていた。眠子線回析のパターンではダイヤモンドに相
当しており、又、コランダムパウダーでこすったが全く
傷は認められなかった。−又熱湯の中に投入したが全く
はがれ等も認められなかった。
を行なった。得られたパーマロイ磁気ヘッドの表面には
約８０００オングストロームの灰黒色薄膜１６が形成さ
れていた。眠子線回析のパターンではダイヤモンドに相
当しており、又、コランダムパウダーでこすったが全く
傷は認められなかった。−又熱湯の中に投入したが全く
はがれ等も認められなかった。
なお本発明において、磁気ヘッド上に形成する前述のよ
うな硬質薄膜は５０００〜１００００オングストローム
が望ましい。
うな硬質薄膜は５０００〜１００００オングストローム
が望ましい。
なお、表面にダイヤモンド薄膜を形成する前の磁気ヘッ
ドは、カバー・１７．非凪性枠１Ｂ、ａ１気ヘッド１９
．モールド２０よ多構成されている。
ドは、カバー・１７．非凪性枠１Ｂ、ａ１気ヘッド１９
．モールド２０よ多構成されている。
（発明の効果）
以上述べてきたように、本発明によれば、表面にダイヤ
モンド薄膜が形成されているため、耐摩耗性に優れた長
寿命の磁気ヘッドが提供でき、工業的価値は極めて大き
い。
モンド薄膜が形成されているため、耐摩耗性に優れた長
寿命の磁気ヘッドが提供でき、工業的価値は極めて大き
い。
第１図は本発明による磁気ヘッドを製造する装置を示す
説明図、第２図は本発明の実施例で（ａ）は見取シ図、
（ｂ）は主要断面図である。 １・・・真空ペルジャー ２・・・基板保持具６・・・
グリッド ４・・・基板 ５・・・基板加熱用フィラメント ６・・・ノズル ７・・・電磁界コイル８・・・気体加
熱用フィラメント ９・・・シャッター １０・・・直流電界１１・・・絶
縁パイプ １゛２・・・交流電界１３・・・アーク電界
１４・・・交流電界１５・・・直流電界 １６・・・ダイヤモンド薄膜コート １７・・・カバー １８・・・非磁性枠１９・・・磁気
ヘッド ２０・・・モールド以 上 出願人 セイコー電子工業株式会社 第１図 第２図（４） 第２図（ｂ）
説明図、第２図は本発明の実施例で（ａ）は見取シ図、
（ｂ）は主要断面図である。 １・・・真空ペルジャー ２・・・基板保持具６・・・
グリッド ４・・・基板 ５・・・基板加熱用フィラメント ６・・・ノズル ７・・・電磁界コイル８・・・気体加
熱用フィラメント ９・・・シャッター １０・・・直流電界１１・・・絶
縁パイプ １゛２・・・交流電界１３・・・アーク電界
１４・・・交流電界１５・・・直流電界 １６・・・ダイヤモンド薄膜コート １７・・・カバー １８・・・非磁性枠１９・・・磁気
ヘッド ２０・・・モールド以 上 出願人 セイコー電子工業株式会社 第１図 第２図（４） 第２図（ｂ）
Claims (1)
- 少なくとも表面にダイヤモンド構造の薄膜を形成したこ
とを特徴とする磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4986284A JPS60193112A (ja) | 1984-03-15 | 1984-03-15 | 磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4986284A JPS60193112A (ja) | 1984-03-15 | 1984-03-15 | 磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60193112A true JPS60193112A (ja) | 1985-10-01 |
Family
ID=12842859
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4986284A Pending JPS60193112A (ja) | 1984-03-15 | 1984-03-15 | 磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60193112A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2597247A1 (fr) * | 1986-04-11 | 1987-10-16 | Thomson Csf | Procede de realisation d'une couche de protection mecanique pour tete magnetique d'enregistrement/lecture et tete magnetique d'enregistrement/lecture mettant en oeuvre ce procede |
| FR2611970A1 (fr) * | 1987-03-06 | 1988-09-09 | Thomson Csf | Procede de realisation d'une tete magnetique en couches minces et application a une tete d'enretistrement/lecture |
| EP0289259A2 (en) * | 1987-04-30 | 1988-11-02 | International Business Machines Corporation | High speed magnetisable disk contact recording and reading system |
| FR2634051A1 (fr) * | 1988-07-05 | 1990-01-12 | Thomson Csf | Dispositif en materiau magnetique a couche anti-usure et applications a une tete d'enregistrement-lecture et a un disque d'enregistrement |
-
1984
- 1984-03-15 JP JP4986284A patent/JPS60193112A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2597247A1 (fr) * | 1986-04-11 | 1987-10-16 | Thomson Csf | Procede de realisation d'une couche de protection mecanique pour tete magnetique d'enregistrement/lecture et tete magnetique d'enregistrement/lecture mettant en oeuvre ce procede |
| US4849842A (en) * | 1986-04-11 | 1989-07-18 | Thomson-Csf | Method for the manufacture of a mechanically shielding layer for a magnetic read/write head, and magnetic read/write head using this method |
| FR2611970A1 (fr) * | 1987-03-06 | 1988-09-09 | Thomson Csf | Procede de realisation d'une tete magnetique en couches minces et application a une tete d'enretistrement/lecture |
| EP0289259A2 (en) * | 1987-04-30 | 1988-11-02 | International Business Machines Corporation | High speed magnetisable disk contact recording and reading system |
| FR2634051A1 (fr) * | 1988-07-05 | 1990-01-12 | Thomson Csf | Dispositif en materiau magnetique a couche anti-usure et applications a une tete d'enregistrement-lecture et a un disque d'enregistrement |
| JPH03500466A (ja) * | 1988-07-05 | 1991-01-31 | トムソン‐セーエスエフ | 耐疲労層を有する磁気材料製装置及び記録読取ヘッド及び記録ディスクへの応用 |
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