JPS60177454A - 耐久性にすぐれた光磁気記録媒体 - Google Patents
耐久性にすぐれた光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS60177454A JPS60177454A JP3190184A JP3190184A JPS60177454A JP S60177454 A JPS60177454 A JP S60177454A JP 3190184 A JP3190184 A JP 3190184A JP 3190184 A JP3190184 A JP 3190184A JP S60177454 A JPS60177454 A JP S60177454A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- layer
- substrate
- recording medium
- magnetized film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は光磁気記録媒体に関するものである。
（発明の背景）
近年の情報化社会の進展は目覚ましく、それに伴ない大
容量の記録媒体並びに記録再生方式の必要性が急速に高
まっており、既にレーザービデオディスク、デジタルオ
ーディオディスク等が実用化されている。しかしながら
、実用化された記録媒体は書換えが出来ない欠点があり
、書換え可能な記録媒体並びに記録再生方式が望まれて
いる。
容量の記録媒体並びに記録再生方式の必要性が急速に高
まっており、既にレーザービデオディスク、デジタルオ
ーディオディスク等が実用化されている。しかしながら
、実用化された記録媒体は書換えが出来ない欠点があり
、書換え可能な記録媒体並びに記録再生方式が望まれて
いる。
そして、書換え可能な記録再生方式の１つとして、光磁
気記録再生方式が提案され、試作品も発表されている。
気記録再生方式が提案され、試作品も発表されている。
この光磁気記録再生方式に使用される光磁気記録媒体は
、基本的にはプラスチック基板やガラス基板とその上に
形成された磁性金属の非晶質垂直磁化膜とからなるもの
であり、磁性金属としては、例えばＧｄｌ”ｅ 、Ｇｄ
Ｃｏ 、ＧｄＦｅＣｏ 、ＴｂＦｅ 、ＴｂＣｏ、Ｔｂ
ＦｅＣｏ 、 ＧｄＤｙＦｅ 、 Ｇｄ’Ｉ’ｂＣｏ
、 ＧｄＴｂＦｅＣｏ’。
、基本的にはプラスチック基板やガラス基板とその上に
形成された磁性金属の非晶質垂直磁化膜とからなるもの
であり、磁性金属としては、例えばＧｄｌ”ｅ 、Ｇｄ
Ｃｏ 、ＧｄＦｅＣｏ 、ＴｂＦｅ 、ＴｂＣｏ、Ｔｂ
ＦｅＣｏ 、 ＧｄＤｙＦｅ 、 Ｇｄ’Ｉ’ｂＣｏ
、 ＧｄＴｂＦｅＣｏ’。
ＤｙＦｅ 、 ＤｙＣｏ 、 ＤｙＦｓＣｏ 、 Ｇｄ
ＤｙＦｅ 、 ＧｄＤｙＣｏ。
ＤｙＦｅ 、 ＧｄＤｙＣｏ。
ＧｄＤｙＦｓＣｏ、 ＤｙＴｂＦｅ 、 ＤｙＴｂＣｏ
、 ＤｙＨｏＦｅＣｏ、ＧｄＤｙＴｂＦｅ、 ＧｄＤ
ｙＴｂＦｅ、 ＧｄＤｙＴｂＦｅＣｏ％Ｈｏ１ｅ 。
、 ＤｙＨｏＦｅＣｏ、ＧｄＤｙＴｂＦｅ、 ＧｄＤ
ｙＴｂＦｅ、 ＧｄＤｙＴｂＦｅＣｏ％Ｈｏ１ｅ 。
ＨｏＣｏ 、 ＨｏＦ＠Ｃｏ 、 ＧｄＨｏＦｅ 、
ＧｄＨｏＣｏ、Ｇ４ＨｏＦｅＣｏ％Ｔｂ）ｌｏＦｓ 、
ＴｂＨｏＣｏ 、 Ｔｂ）ｌｏＦｅｃｏ 。
ＧｄＨｏＣｏ、Ｇ４ＨｏＦｅＣｏ％Ｔｂ）ｌｏＦｓ 、
ＴｂＨｏＣｏ 、 Ｔｂ）ｌｏＦｅｃｏ 。
ＤｙＨｏＦｅ 、 ＤｙＨｏＣｏ、１）ｙＨｏＦｅｃｏ
、 ＧｄＴｂＤｙＨｏＦｅ。
、 ＧｄＴｂＤｙＨｏＦｅ。
ＧｄＴｂＤｙＨｏＣｏ 、Ｇｄ’Ｌ’ｂｌ）ｙＨｏＦ’
ｅｃｏなどの希土類−遷移金属多元合金が使用されてい
る。
ｅｃｏなどの希土類−遷移金属多元合金が使用されてい
る。
本発明者らはこのような光磁気記録媒体の耐久性を調べ
るためにザンプルを作成して高温高湿雰囲気中で劣化促
進試験を行ったととる、比較的短期間で光磁気特性が劣
化することが判った。
るためにザンプルを作成して高温高湿雰囲気中で劣化促
進試験を行ったととる、比較的短期間で光磁気特性が劣
化することが判った。
（発明の目的）
従って、本発明の目的は、耐久性の向上した光磁、気記
録媒体を提供することにある。
録媒体を提供することにある。
（発明の概要）
本発明者は鋭意研究の結果、垂直磁化膜と基板との間に
金属炭化物の中間層を設けることにより耐久性が向上す
ることを見い出し、本発明を成すに至った。
金属炭化物の中間層を設けることにより耐久性が向上す
ることを見い出し、本発明を成すに至った。
従って、本発明は、基板とその上に形成された磁性金属
の非晶質垂直磁化膜とからなる光磁気記録媒体に於いて
、前記基板と垂直磁化膜との間に、ここに於いて、金属
炭化物としてはＳｉ、Ｗ、Ｃｒ 、Ｍｏ １Ｔａ 、Ｔ
＋ ＳＮｌ、Ｎｂ 、 Ｂ、Ｚｒ又はＨｆなどの炭化物
が使用され、金属炭化物中間層の厚さは、一般に１００
Ａ〜１μ好神しくけ５００Ａ〜１μもあれば十分である
。従って、中間層の形成には、蒸着源又はターゲットと
して金属炭化物の粉末、塊−ｙは粉末焼結物を用いて真
空蒸着、イオングレーティング、スパッタリングなどの
真空薄膜形成技術を利用することが好ましい。
の非晶質垂直磁化膜とからなる光磁気記録媒体に於いて
、前記基板と垂直磁化膜との間に、ここに於いて、金属
炭化物としてはＳｉ、Ｗ、Ｃｒ 、Ｍｏ １Ｔａ 、Ｔ
＋ ＳＮｌ、Ｎｂ 、 Ｂ、Ｚｒ又はＨｆなどの炭化物
が使用され、金属炭化物中間層の厚さは、一般に１００
Ａ〜１μ好神しくけ５００Ａ〜１μもあれば十分である
。従って、中間層の形成には、蒸着源又はターゲットと
して金属炭化物の粉末、塊−ｙは粉末焼結物を用いて真
空蒸着、イオングレーティング、スパッタリングなどの
真空薄膜形成技術を利用することが好ましい。
そのほか場合によってはＣＶ １．） （ｃｈｅｍｉｃ
ａｌｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）を利用するこ
とも可能である。
ａｌｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）を利用するこ
とも可能である。
従って、中間層は基板の上に形成させるが、基板として
はガラス基板でもプラスチック基板でもよい。しかし、
本発明の効果はプラスチック基板に於いて著しい。また
、場合によっては基板は予め他の機能層例えば保護Ｉｆ
！ （別０． Ｓｉｎ、、ＡＩ！２０３、ＺｒＯ２，Ｔ
ｏ０２．１−Ｊｆ０２． ＡＩＮ、ＳＩｓ Ｎ４などの
無機誘電体）やポリシロキサン系塗料やアクリル塗料に
よる硬化膜、その細溝つき樹脂層を形成してあってもよ
い。
はガラス基板でもプラスチック基板でもよい。しかし、
本発明の効果はプラスチック基板に於いて著しい。また
、場合によっては基板は予め他の機能層例えば保護Ｉｆ
！ （別０． Ｓｉｎ、、ＡＩ！２０３、ＺｒＯ２，Ｔ
ｏ０２．１−Ｊｆ０２． ＡＩＮ、ＳＩｓ Ｎ４などの
無機誘電体）やポリシロキサン系塗料やアクリル塗料に
よる硬化膜、その細溝つき樹脂層を形成してあってもよ
い。
他方、垂直磁化膜の形成には、前述のＧｄＦｅ、ＧｄＣ
ｏをはじめＧｄ Ｔ ｂ Ｆ、ｅ Ｃｏその信金ての非
晶質磁性合金が使用される。垂直磁化膜は単層のみなら
ず多層構造でもよく、膜厚としては一般に１００λ〜１
０ （１（１０人好ましくは１００＾〜２０００Ａ位で
ある。
ｏをはじめＧｄ Ｔ ｂ Ｆ、ｅ Ｃｏその信金ての非
晶質磁性合金が使用される。垂直磁化膜は単層のみなら
ず多層構造でもよく、膜厚としては一般に１００λ〜１
０ （１（１０人好ましくは１００＾〜２０００Ａ位で
ある。
垂直磁化膜の上には保護層例えば同じ金属炭化物の保穫
層、反射層（金属層や誘電体多層干渉膜）などを設けて
もよい。
層、反射層（金属層や誘電体多層干渉膜）などを設けて
もよい。
以下、実施例により本発明を具体的に説明する。
（実施例）
厚さ１．２ ｒｎｍ直径３０ ｍｍの円盤上アクリル樹
脂（ＰＭＭＡ）を基板とし、スパッタリングのターゲッ
トとしてＳｉＣ焼結体を用い、Ａｒ ガス圧５ＸｌＯ−
３Ｔｏｒｒ 、膜形成速＃２＾／ｓｅｃ、の条件でスパ
ッタリングにより膜厚６００ＡのＳｉＣ中間層を形成さ
せた。
脂（ＰＭＭＡ）を基板とし、スパッタリングのターゲッ
トとしてＳｉＣ焼結体を用い、Ａｒ ガス圧５ＸｌＯ−
３Ｔｏｒｒ 、膜形成速＃２＾／ｓｅｃ、の条件でスパ
ッタリングにより膜厚６００ＡのＳｉＣ中間層を形成さ
せた。
次いで蒸着源としてＴｂ及びＦ ｅ金属塊を用い、真空
度１〜２ Ｘ Ｉ Ｑ’Ｔｏｒ ｒ、蒸着速度３．５
Ａ ／ ｓｅｅ。
度１〜２ Ｘ Ｉ Ｑ’Ｔｏｒ ｒ、蒸着速度３．５
Ａ ／ ｓｅｅ。
の条件で２元真空蒸着法により膜厚的５０θＡのＴｂＬ
’ｅ （’、Ｕｂ ： ３ （＋ ’ａｔｏｍ％Ｆｅ
： ７０ ａｔｏｍ％）垂直磁化膜を形成した、。
’ｅ （’、Ｕｂ ： ３ （＋ ’ａｔｏｍ％Ｆｅ
： ７０ ａｔｏｍ％）垂直磁化膜を形成した、。
史に磁化膜の上に保護膜として下記第１表記載の条件で
真空、ｆＬ：着法により膜厚５００ 人のＡ／、唄に形
成させることによシ、記録媒体を完成させた。
真空、ｆＬ：着法により膜厚５００ 人のＡ／、唄に形
成させることによシ、記録媒体を完成させた。
第１表
（比較例１）
ＳｉＣ中間層を形成しない点を除いて実施例と全く同様
に記録媒体を作製した。
に記録媒体を作製した。
（比較例２）
実施例に於いて、ＳｉＣの代りに、蒸着源としてＳ＋０
２を用い具窒１！−２Ｘ １０−”■’ｏｒｒ、蒸着速
度１０Ａ／ｓｅｃの条件で真空蒸着法により膜厚１００
０ＡのＳｉＯ井間層を形成させたほかは、実施例と全く
同様にして記録媒体を作製した。
２を用い具窒１！−２Ｘ １０−”■’ｏｒｒ、蒸着速
度１０Ａ／ｓｅｃの条件で真空蒸着法により膜厚１００
０ＡのＳｉＯ井間層を形成させたほかは、実施例と全く
同様にして記録媒体を作製した。
（劣化促進試験）
実施例及び比較例で作製した記録媒体を劣化促進のため
６０°０８０％の恒温恒湿試験槽内に１５日間入れてお
き、保磁力の変化音調べた。
６０°０８０％の恒温恒湿試験槽内に１５日間入れてお
き、保磁力の変化音調べた。
試験前の保磁力をＨＣ１試験中の保磁力を）−Ｉｃ’と
してめたＨｃ’／目Ｃの経時変化を第１図に示す。この
変化の少ないものほど耐久性の秀れた媒体と首えるが、
第１図によれば、実線（イ）で示す実施例のものが最も
変化が少なく耐久性に秀れ 。
してめたＨｃ’／目Ｃの経時変化を第１図に示す。この
変化の少ないものほど耐久性の秀れた媒体と首えるが、
第１図によれば、実線（イ）で示す実施例のものが最も
変化が少なく耐久性に秀れ 。
ていることが判る。
（発明の効果）
以上の通り、本発明によれば光磁気特性の劣化の少女い
耐久性に秀れた光磁気記録媒体が得られる。
耐久性に秀れた光磁気記録媒体が得られる。
第１図は保磁力の経時変化を表わすグラフである。実線
（イ）は実施例のもの、破線（ロ）は比較例■のもの、
一点鎖線（・・）は比較例２のものを示す。 第１し１ 手続補正書（自発） 昭和６０年 ２月２０日 昭和５９年特許願第３１９０１号 ２、発明の名称 耐久性にすぐれた光磁気記録媒体 ３、補正をする者８、 事件との関係 特許出願人 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 （４１１）日本光学工業株式会社 ◎１４０東京部品川区西大井１丁目６番３号５、補正の
対象 ６、補正の内容 明細書第４真下から第１０行と第１１行との間に、「な
お、金属炭化物中間層を厚く形成しておき、その膜厚よ
りも浅いガイド溝その他の溝を、ホトエツチングにより
形成してもよい」を挿入する。 以 上
（イ）は実施例のもの、破線（ロ）は比較例■のもの、
一点鎖線（・・）は比較例２のものを示す。 第１し１ 手続補正書（自発） 昭和６０年 ２月２０日 昭和５９年特許願第３１９０１号 ２、発明の名称 耐久性にすぐれた光磁気記録媒体 ３、補正をする者８、 事件との関係 特許出願人 東京都千代田区丸の内３丁目２番３号 （４１１）日本光学工業株式会社 ◎１４０東京部品川区西大井１丁目６番３号５、補正の
対象 ６、補正の内容 明細書第４真下から第１０行と第１１行との間に、「な
お、金属炭化物中間層を厚く形成しておき、その膜厚よ
りも浅いガイド溝その他の溝を、ホトエツチングにより
形成してもよい」を挿入する。 以 上
Claims (1)
- １ 基板とその上に形成された磁性金属の非晶質垂直磁
化膜とからなる光磁気記録媒体に於いて、前記基板と垂
直磁化膜との間に、金属炭化２ 前記金属炭化物が８１
、 Ｗ、Ｃｒ 、Ｍｏ、Ｔａ、ＴＩ １Ｎｉ、Ｎｂ、
Ｈｆ 、 Ｂ又はＺｒの炭化物であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3190184A JPS60177454A (ja) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | 耐久性にすぐれた光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3190184A JPS60177454A (ja) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | 耐久性にすぐれた光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60177454A true JPS60177454A (ja) | 1985-09-11 |
Family
ID=12343903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3190184A Pending JPS60177454A (ja) | 1984-02-22 | 1984-02-22 | 耐久性にすぐれた光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60177454A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60231937A (ja) * | 1984-05-01 | 1985-11-18 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS6180639A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-04-24 | Canon Inc | 光学的記録媒体 |
| US11804322B1 (en) | 2023-07-03 | 2023-10-31 | King Faisal University | Ultra-density nanostructure GdFe thin film with large perpendicular magnetic anisotropy for a new generation of spintronic device |
-
1984
- 1984-02-22 JP JP3190184A patent/JPS60177454A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60231937A (ja) * | 1984-05-01 | 1985-11-18 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS6180639A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-04-24 | Canon Inc | 光学的記録媒体 |
| US11804322B1 (en) | 2023-07-03 | 2023-10-31 | King Faisal University | Ultra-density nanostructure GdFe thin film with large perpendicular magnetic anisotropy for a new generation of spintronic device |
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