JPS59201247A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS59201247A JPS59201247A JP7386883A JP7386883A JPS59201247A JP S59201247 A JPS59201247 A JP S59201247A JP 7386883 A JP7386883 A JP 7386883A JP 7386883 A JP7386883 A JP 7386883A JP S59201247 A JPS59201247 A JP S59201247A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- recording medium
- magnetic
- photomagnetic recording
- rotating angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は光磁気ディスク装置に用いられる光磁気記録媒
体に関する。
体に関する。
従来技術
従来、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有する強磁性薄
膜としてはＭｎＢ１に代表される多結晶金属薄膜、Ｇｄ
−Ｃｏ、 Ｇｄ−Ｆｅの非晶質金属薄膜、（）ＩＧに代
表される化合物単結晶薄膜が知られている。これらの薄
膜は棹々の利点を有するが、ＭｎＢ１はキューリ一点が
高いために書き込みに大きなエネルギーを必要としまた
薄膜の作製が技術的に困難であるという欠点がある。−
１だ、Ｉ）ｄ−ＣＯｌＧｄ−Ｆｅの非晶質金属薄膜は室
温における保磁力が小さく （３００〜５０００ｅ）記
録された情報が不安定であるという欠点を有している。
膜としてはＭｎＢ１に代表される多結晶金属薄膜、Ｇｄ
−Ｃｏ、 Ｇｄ−Ｆｅの非晶質金属薄膜、（）ＩＧに代
表される化合物単結晶薄膜が知られている。これらの薄
膜は棹々の利点を有するが、ＭｎＢ１はキューリ一点が
高いために書き込みに大きなエネルギーを必要としまた
薄膜の作製が技術的に困難であるという欠点がある。−
１だ、Ｉ）ｄ−ＣＯｌＧｄ−Ｆｅの非晶質金属薄膜は室
温における保磁力が小さく （３００〜５０００ｅ）記
録された情報が不安定であるという欠点を有している。
そこで、上記のような従来の磁性薄膜記録媒体の欠点を
除去する新しい磁性薄膜記録媒体としてＴｂ−Ｆｅ膜を
使用することが提案されている（例えば、特開昭５２−
３１７０５号公報参照）。Ｔｂ−Ｆｅ膜を含む光磁気記
録媒体は膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有するため高
密度の情報記憶が可能であり且つ室温において数ＫＯｅ
の大きな保磁力を有するため記憶された情報が極めて安
定であるなどの種々の利点を有するものである。
除去する新しい磁性薄膜記録媒体としてＴｂ−Ｆｅ膜を
使用することが提案されている（例えば、特開昭５２−
３１７０５号公報参照）。Ｔｂ−Ｆｅ膜を含む光磁気記
録媒体は膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有するため高
密度の情報記憶が可能であり且つ室温において数ＫＯｅ
の大きな保磁力を有するため記憶された情報が極めて安
定であるなどの種々の利点を有するものである。
しかしながら、磁気光学効果を用いて読出しを行なうと
すると反射タイプの場合はカー回転角が大きいことが必
要となるがＴｂ−Ｆｅ膜ではカー回転角が０．１５ ｃ
ｌｅｇと小さく問題である。そこで、本発明者等はＴｂ
−Ｆｅ膜に少なくとも０．５原子チのコバルトを含有さ
せることによってカー回転角を大きくすることを先に提
案しだが、いまだ充分満足のいく結果は得られなかった
。
すると反射タイプの場合はカー回転角が大きいことが必
要となるがＴｂ−Ｆｅ膜ではカー回転角が０．１５ ｃ
ｌｅｇと小さく問題である。そこで、本発明者等はＴｂ
−Ｆｅ膜に少なくとも０．５原子チのコバルトを含有さ
せることによってカー回転角を大きくすることを先に提
案しだが、いまだ充分満足のいく結果は得られなかった
。
目 的
本発明は従来技術の上記問題に鑑みてなされたものであ
って、その目的は保磁力が大きく且つカー回転角がより
大きな光磁気記録媒体を提供することにある。
って、その目的は保磁力が大きく且つカー回転角がより
大きな光磁気記録媒体を提供することにある。
構成
上記目的を達成するために、本発明は従来の希土類遷移
金属膜に比較して本発明者等が先に提案したカー回転角
の大きい少なくとも０．５原子チのコバルトを含むＴｂ
−Ｆｅ磁性膜を使用しさらにこの磁性膜の上に反射膜を
設けることにある。
金属膜に比較して本発明者等が先に提案したカー回転角
の大きい少なくとも０．５原子チのコバルトを含むＴｂ
−Ｆｅ磁性膜を使用しさらにこの磁性膜の上に反射膜を
設けることにある。
本発明の光磁気記録媒体における磁性膜は膜面と垂直な
方向に磁化容易軸を有するＴｂ−Ｆｅ膜に少なくとも０
．５原子係のコバルトを含むものである。本発明におい
てコバルトの含有量を少なくとも０．５原子チと限定す
るのは、大きなカー回転角を得るためであシ、０．５ｗ
、子饅未満では充分なカー回転角が得られず本発明の効
果が達成されない。一方、コバルトの含有量をあまシ大
きくするとキュリ一温度が上が９すぎるので０．５〜２
０原子俤の範囲が好ましい。磁性膜の厚さは７００Ｘ以
下好ましくは１５０〜５００久である。
方向に磁化容易軸を有するＴｂ−Ｆｅ膜に少なくとも０
．５原子係のコバルトを含むものである。本発明におい
てコバルトの含有量を少なくとも０．５原子チと限定す
るのは、大きなカー回転角を得るためであシ、０．５ｗ
、子饅未満では充分なカー回転角が得られず本発明の効
果が達成されない。一方、コバルトの含有量をあまシ大
きくするとキュリ一温度が上が９すぎるので０．５〜２
０原子俤の範囲が好ましい。磁性膜の厚さは７００Ｘ以
下好ましくは１５０〜５００久である。
また、磁性膜の上に設けられる反射膜の材料はｃｕ、
Ａｌ、Ａｇ、 Ａｕなどがら選択される。この場合、反
射膜（例えば、Ｃｕ膜ンが保護膜をも兼ねる場合がある
が、反射膜の上に別途５ｉ０２、Ｓｉｎ。
Ａｌ、Ａｇ、 Ａｕなどがら選択される。この場合、反
射膜（例えば、Ｃｕ膜ンが保護膜をも兼ねる場合がある
が、反射膜の上に別途５ｉ０２、Ｓｉｎ。
Ｓｉ３Ｎ４などの保護膜を設けることもできる。
次に図面について本発明の光磁気記録媒体の構成とその
作製法を説明する。
作製法を説明する。
第１図に示すように、本発明の光磁気記録体は非磁性基
板１の上に磁性膜２と反射膜６を順次設けたものである
。場合により、反射膜６の上にはさらに上述したような
保護膜（図示せず）を設けてもよい。非磁性基板として
はガラス、プラスチック、セラミックなどを使用するこ
とができる。一般的に、本発明の光磁気記録媒体は非磁
性基板上にスパッタ法、蒸着法、イオンブレーティング
法などにより、少なくとも０．５原子チのＣｏを含むＴ
ｂ−Ｆｅ−Ｃｏ膜を形成させ、さらにその上に磁性膜と
同様にス／！！ツタ法、蒸着法、イオンブレーティング
法などにより反射膜を設けて作製される。Ｔｂ−Ｆｅ−
Ｃｏ膜の作製はスパッタ法によって行うのが望ま（−い
。ターゲットはコンポジット法を用い、Ｆｅ円板め上に
ＴｂおよびＣｏテップをのせて構成しそして組成はター
ゲット表面の面積比でコントロールする。Ｔｂ−Ｆｅ膜
の場合、第２図に示すように保磁力（Ｈｃ ）の大きい
組成範囲は１０〜３５原子％Ｔｂのときで補償組成は大
体２１原子％ Ｔｂの付近に存在する。
板１の上に磁性膜２と反射膜６を順次設けたものである
。場合により、反射膜６の上にはさらに上述したような
保護膜（図示せず）を設けてもよい。非磁性基板として
はガラス、プラスチック、セラミックなどを使用するこ
とができる。一般的に、本発明の光磁気記録媒体は非磁
性基板上にスパッタ法、蒸着法、イオンブレーティング
法などにより、少なくとも０．５原子チのＣｏを含むＴ
ｂ−Ｆｅ−Ｃｏ膜を形成させ、さらにその上に磁性膜と
同様にス／！！ツタ法、蒸着法、イオンブレーティング
法などにより反射膜を設けて作製される。Ｔｂ−Ｆｅ−
Ｃｏ膜の作製はスパッタ法によって行うのが望ま（−い
。ターゲットはコンポジット法を用い、Ｆｅ円板め上に
ＴｂおよびＣｏテップをのせて構成しそして組成はター
ゲット表面の面積比でコントロールする。Ｔｂ−Ｆｅ膜
の場合、第２図に示すように保磁力（Ｈｃ ）の大きい
組成範囲は１０〜３５原子％Ｔｂのときで補償組成は大
体２１原子％ Ｔｂの付近に存在する。
１実施例として、本発明の光磁気記録媒体をＴｂ−Ｆｅ
膜中のＦｅの一部をＣＯで置換してすなわち組成式（Ｆ
ｅ １−ｘｃＯｘ） ０．８０Ｔｂ０．２０１ｊＪ中の
Ｘを変化して膜を形成することにより作製した。膜の評
価は基板側からλ＝６５５ｎｍのＨｅ−Ｎｅレーザを照
射してカー回転角（θｋ）を求めて行った。
膜中のＦｅの一部をＣＯで置換してすなわち組成式（Ｆ
ｅ １−ｘｃＯｘ） ０．８０Ｔｂ０．２０１ｊＪ中の
Ｘを変化して膜を形成することにより作製した。膜の評
価は基板側からλ＝６５５ｎｍのＨｅ−Ｎｅレーザを照
射してカー回転角（θｋ）を求めて行った。
残留ガス圧： ７ Ｘ １０−７ＴｏｒｒＡｒ ガス
圧： ２Ｘ １０−２Ｔｏｒｒ放篭々カニ４００Ｗ プレスパツタ時間：６０ｍ１ｎ メインスパッタ時間：１５ｍｉｎ 上記スパッタ条件でスライドガラス基板上に厚さ約３０
００λのＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏ膜を作製してカー回転角（θ
ｋ）を測定すると第６図に示したようになった。Ｘを増
加させていくとθｋが大きくなり約０．３０ｄｅｇ程度
に達する。そこで、磁性膜としてθにの大きい（Ｆｅｏ
、５７Ｃｏｏ４３） ０．８０ＴｂＯ，２０の組成を選
択し、膜厚をメインスパッタ時間でコントロールして４
００〜７００Ｘ程度とし、その上に以下に示すスパッタ
条件でＣｕ反射膜を作製した。この例ではＣｕ膜が保護
膜をも兼ねるので膜厚を約３００ＯＡにした。
圧： ２Ｘ １０−２Ｔｏｒｒ放篭々カニ４００Ｗ プレスパツタ時間：６０ｍ１ｎ メインスパッタ時間：１５ｍｉｎ 上記スパッタ条件でスライドガラス基板上に厚さ約３０
００λのＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏ膜を作製してカー回転角（θ
ｋ）を測定すると第６図に示したようになった。Ｘを増
加させていくとθｋが大きくなり約０．３０ｄｅｇ程度
に達する。そこで、磁性膜としてθにの大きい（Ｆｅｏ
、５７Ｃｏｏ４３） ０．８０ＴｂＯ，２０の組成を選
択し、膜厚をメインスパッタ時間でコントロールして４
００〜７００Ｘ程度とし、その上に以下に示すスパッタ
条件でＣｕ反射膜を作製した。この例ではＣｕ膜が保護
膜をも兼ねるので膜厚を約３００ＯＡにした。
Ｃｕ反射膜作製条件
ターゲット面積比：１００Ｃｕ
Ａｒガス圧： １０Ｘ １０−２Ｔｏｒｒ放電々カニ４
００Ｗ プレスパツタ時間： ４０ ｍｉｎ メインスパッタ時間： ２ Ｑ ｍｉｎ次に、上述のよ
うにして作製した本発明の光磁気記録媒体についてＴｂ
−Ｆｅ−Ｃｏ膜の膜厚とカー回転角（θｋ）および反射
率（旬との関係を求めると第４図に示したようになった
。この図から、Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃｏ膜の膜厚を小さくする
とカー回転角が大きくなりそして反射率（Ｒ）が小さく
なることがわかる。これは磁性膜の膜厚を小さくすると
カー効果の他に膜中を透過する光（反射膜によシ光が往
復する）によるファラデー効果がプラスされるためと考
えられる。ここでＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏ Ｍの膜厚が７００
Ａ位になると透過光が少なくなることからθには第３図
に示すような単層膜の場合と同じになる。この実施例の
２ノー膜ではθｋが最大０．５４ｄｅｇになった場合第
２図に示・した単層膜（θに＝０．３０ｄｅｇ）と比べ
て１．８倍大きくなった。
００Ｗ プレスパツタ時間： ４０ ｍｉｎ メインスパッタ時間： ２ Ｑ ｍｉｎ次に、上述のよ
うにして作製した本発明の光磁気記録媒体についてＴｂ
−Ｆｅ−Ｃｏ膜の膜厚とカー回転角（θｋ）および反射
率（旬との関係を求めると第４図に示したようになった
。この図から、Ｔｂ−Ｆｅ−Ｃｏ膜の膜厚を小さくする
とカー回転角が大きくなりそして反射率（Ｒ）が小さく
なることがわかる。これは磁性膜の膜厚を小さくすると
カー効果の他に膜中を透過する光（反射膜によシ光が往
復する）によるファラデー効果がプラスされるためと考
えられる。ここでＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏ Ｍの膜厚が７００
Ａ位になると透過光が少なくなることからθには第３図
に示すような単層膜の場合と同じになる。この実施例の
２ノー膜ではθｋが最大０．５４ｄｅｇになった場合第
２図に示・した単層膜（θに＝０．３０ｄｅｇ）と比べ
て１．８倍大きくなった。
反射率（旬は２９係で単層膜（Ｒ＝４３チンの場合の０
．６倍になった。次に、受光紮子としてアバランシェ・
フォトダイオードを用いて再生ＳＡを求めたところ、本
発明のＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏ反射構造膜にした場合はＴｂ−
Ｆｓ−Ｃｏ単層膜に比べてｓ／Ｎα４−・θに＝１．４
７倍となシ有効でめることがわかった。
．６倍になった。次に、受光紮子としてアバランシェ・
フォトダイオードを用いて再生ＳＡを求めたところ、本
発明のＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏ反射構造膜にした場合はＴｂ−
Ｆｓ−Ｃｏ単層膜に比べてｓ／Ｎα４−・θに＝１．４
７倍となシ有効でめることがわかった。
効 果
上述したようにして構成される本発明の光磁気記録媒体
はＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏ単層膜からなる記録媒体に比しカー
回転角がより犬きくなる。
はＴｂ−Ｆｅ−Ｃｏ単層膜からなる記録媒体に比しカー
回転角がより犬きくなる。
第１図は本発明の光磁気記録媒体の構成を示す断面図で
あり、第２図はＴｂ含有針と保磁力（Ｈｃ ）との相関
関係を示すグラフであり、第６図は組成式（Ｆｅ１−Ｘ
ＣＯＸ） ０．８０Ｔｂ０．２０を有する磁性単層膜に
おいてｘ（Ｃｏ原子チ）を変化したときのカー回転角（
θｋ）の変化を示す図でありそして第４図は組成式（Ｆ
ｅｏ８ｙＣＯｏ、１３） ０，８０Ｔｂ０．２０を有す
る本発明の好適な磁性膜に反射膜を設けた場合の磁性膜
の膜厚とカー回転角（θｋ）および反射率（刊との関係
を示す図であるｃｌ １・・・非磁性基板、２・・・磁性膜、６・・・反射膜
。 特許出願人 株式会社 リ コ −第３図
あり、第２図はＴｂ含有針と保磁力（Ｈｃ ）との相関
関係を示すグラフであり、第６図は組成式（Ｆｅ１−Ｘ
ＣＯＸ） ０．８０Ｔｂ０．２０を有する磁性単層膜に
おいてｘ（Ｃｏ原子チ）を変化したときのカー回転角（
θｋ）の変化を示す図でありそして第４図は組成式（Ｆ
ｅｏ８ｙＣＯｏ、１３） ０，８０Ｔｂ０．２０を有す
る本発明の好適な磁性膜に反射膜を設けた場合の磁性膜
の膜厚とカー回転角（θｋ）および反射率（刊との関係
を示す図であるｃｌ １・・・非磁性基板、２・・・磁性膜、６・・・反射膜
。 特許出願人 株式会社 リ コ −第３図
Claims (1)
- 膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有するＴｂ−Ｆｅ膜に
少なくとも０．５原子係のコノシルトを含む磁性膜の上
に反射膜を設けたことを特徴とする、光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7386883A JPS59201247A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7386883A JPS59201247A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59201247A true JPS59201247A (ja) | 1984-11-14 |
Family
ID=13530589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7386883A Pending JPS59201247A (ja) | 1983-04-28 | 1983-04-28 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59201247A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01112549A (ja) * | 1987-10-26 | 1989-05-01 | Fuji Electric Co Ltd | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| US4837118A (en) * | 1986-05-12 | 1989-06-06 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Magneto-optical recording medium |
| JPH01315051A (ja) * | 1988-03-07 | 1989-12-20 | Mitsubishi Kasei Corp | 光磁気記録媒体 |
| EP0415443A2 (en) * | 1989-08-31 | 1991-03-06 | Daicel Chemical Industries, Ltd. | Composite magneto-optical information recording media |
| US5058098A (en) * | 1988-02-17 | 1991-10-15 | Victor Company Of Japan, Ltd. | Optical record medium having an improved reflection thin film |
| US5552237A (en) * | 1992-09-30 | 1996-09-03 | Tdk Corporation | Magnetooptical recording medium |
| US5595805A (en) * | 1991-07-08 | 1997-01-21 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magneto-optical recording medium |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5873746A (ja) * | 1981-10-27 | 1983-05-04 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | 光磁気記録媒体 |
-
1983
- 1983-04-28 JP JP7386883A patent/JPS59201247A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5873746A (ja) * | 1981-10-27 | 1983-05-04 | Kokusai Denshin Denwa Co Ltd <Kdd> | 光磁気記録媒体 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4837118A (en) * | 1986-05-12 | 1989-06-06 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Magneto-optical recording medium |
| JPH01112549A (ja) * | 1987-10-26 | 1989-05-01 | Fuji Electric Co Ltd | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| US5058098A (en) * | 1988-02-17 | 1991-10-15 | Victor Company Of Japan, Ltd. | Optical record medium having an improved reflection thin film |
| JPH01315051A (ja) * | 1988-03-07 | 1989-12-20 | Mitsubishi Kasei Corp | 光磁気記録媒体 |
| EP0415443A2 (en) * | 1989-08-31 | 1991-03-06 | Daicel Chemical Industries, Ltd. | Composite magneto-optical information recording media |
| US5700565A (en) * | 1989-08-31 | 1997-12-23 | Daicel Chemical Industries, Ltd. | Composite magneto-optical information recording media |
| US5595805A (en) * | 1991-07-08 | 1997-01-21 | Sharp Kabushiki Kaisha | Magneto-optical recording medium |
| US5552237A (en) * | 1992-09-30 | 1996-09-03 | Tdk Corporation | Magnetooptical recording medium |
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