JPS60231937A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS60231937A JPS60231937A JP8807984A JP8807984A JPS60231937A JP S60231937 A JPS60231937 A JP S60231937A JP 8807984 A JP8807984 A JP 8807984A JP 8807984 A JP8807984 A JP 8807984A JP S60231937 A JPS60231937 A JP S60231937A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- film
- protective film
- magneto
- optical recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明はレーザー光によル高密度の記録及び再生が可能
な光磁気記録媒体に関する。
な光磁気記録媒体に関する。
従来技術
レーザー光によシ磁気光学的に記録、再生を行なうため
に各種の光磁気記録媒体が研究されているが、その基本
構成はガラス板のような透明基板上に希土類金属〜遷移
金属非晶質合金、多結晶合金等からなる、膜面に対し垂
直方向に磁化容易軸を有する磁性膜を設けたものである
。しかし以上のような材料からなる磁性膜、特に非晶質
合金磁性膜は空気中の酸素や水分によって酸化腐食を受
け易く。
に各種の光磁気記録媒体が研究されているが、その基本
構成はガラス板のような透明基板上に希土類金属〜遷移
金属非晶質合金、多結晶合金等からなる、膜面に対し垂
直方向に磁化容易軸を有する磁性膜を設けたものである
。しかし以上のような材料からなる磁性膜、特に非晶質
合金磁性膜は空気中の酸素や水分によって酸化腐食を受
け易く。
このため保存中、ピンホールが多[K発生する上、磁気
光学特性(例えば保磁力)が劣化して使用に耐えなくな
る。そこでこのような酸化劣化を防止するため、通常、
磁性膜上には通ぎ、810.8i0. 等の保護膜が設
けられている。しかし従来の保護膜#′i酸化劣化防止
効果が未だ不充分である。
光学特性(例えば保磁力)が劣化して使用に耐えなくな
る。そこでこのような酸化劣化を防止するため、通常、
磁性膜上には通ぎ、810.8i0. 等の保護膜が設
けられている。しかし従来の保護膜#′i酸化劣化防止
効果が未だ不充分である。
目 的
本発明の目的は保護膜に酸化劣化防止効果の大きい材料
を用いることによ如、磁性膜の酸化腐食を防止した光磁
気記録媒体を提供することである。
を用いることによ如、磁性膜の酸化腐食を防止した光磁
気記録媒体を提供することである。
構成
本発明の光磁気記録媒体は基板上に膜面に対し垂直方向
に磁化容易軸を有する磁性膜及びその上に保護膜を有す
る光磁気記録媒体において、前記保護膜が炭化珪素よシ
なることを特徴とするものである。
に磁化容易軸を有する磁性膜及びその上に保護膜を有す
る光磁気記録媒体において、前記保護膜が炭化珪素よシ
なることを特徴とするものである。
本発明の光磁気記録媒体の基本構成は第1図(図中、1
は基板、2け磁性膜、3は保護膜を表わす、)に示す通
シであるが、基板としてアクリル樹脂のよう々透湿性の
ものを用いた場合には基板側からの水分や酸素の侵入を
防ぐため、第2図に示すように基板と磁性膜との曲に更
に同様浸炭化珪素保護膜3′を設けるととができる。
は基板、2け磁性膜、3は保護膜を表わす、)に示す通
シであるが、基板としてアクリル樹脂のよう々透湿性の
ものを用いた場合には基板側からの水分や酸素の侵入を
防ぐため、第2図に示すように基板と磁性膜との曲に更
に同様浸炭化珪素保護膜3′を設けるととができる。
本発明の磁性膜は従来と同じ(TbFe0o、 TbF
e。
e。
GdTbFe、 Gd0o @の希土類金属〜遷移金属
非晶質合金やMnB i、 Mn0uBi 等の多結晶
合金が使用できる、成膜法としてけE、fスノぐツタリ
ング法、高温又は低温マグネトロンスノ臂ツタリング法
、反応性スパッタリング法、光OVD法、プラズマOV
D法等が採用できる。但し、いずれの方法においても実
際に成膜を行なう前に、予め基板面、材料(ターゲット
材料)等に付着又は吸着した酸化性成分やゴミ等を除く
ため、・例えばスパッタリング法の場合のプレス、eツ
タリング工程(ターゲット材料上のシャッターを閉じた
ま\装置内を一定時間、成膜条件に維持する工程)のよ
うな適当な除去手段を講じることが好ましい。
非晶質合金やMnB i、 Mn0uBi 等の多結晶
合金が使用できる、成膜法としてけE、fスノぐツタリ
ング法、高温又は低温マグネトロンスノ臂ツタリング法
、反応性スパッタリング法、光OVD法、プラズマOV
D法等が採用できる。但し、いずれの方法においても実
際に成膜を行なう前に、予め基板面、材料(ターゲット
材料)等に付着又は吸着した酸化性成分やゴミ等を除く
ため、・例えばスパッタリング法の場合のプレス、eツ
タリング工程(ターゲット材料上のシャッターを閉じた
ま\装置内を一定時間、成膜条件に維持する工程)のよ
うな適当な除去手段を講じることが好ましい。
本発明の保護膜は酸化劣化防止性の優れた炭化珪素で構
成される。形成法は磁性膜の場合と同様、各種のスパッ
タリング法又はOVD法等が採用される。厚さは500
〜10000ス程度が適当である。
成される。形成法は磁性膜の場合と同様、各種のスパッ
タリング法又はOVD法等が採用される。厚さは500
〜10000ス程度が適当である。
基板の材料としてはスライドガラス、石英ガラス、パイ
レックスガラス等のガラス;酸化処理し又は処理しない
シリコン:N、、03゜A1.tOB e MfO,M
tO* LiF、 Y2O3・LiF、 Bed、 Z
r(% ・Y、03. The、・OaO等の透明又は
不透明のセラミック材;アクリル樹脂、ポリカーぎネー
ト、ポリエステル等の樹脂が使用される。
レックスガラス等のガラス;酸化処理し又は処理しない
シリコン:N、、03゜A1.tOB e MfO,M
tO* LiF、 Y2O3・LiF、 Bed、 Z
r(% ・Y、03. The、・OaO等の透明又は
不透明のセラミック材;アクリル樹脂、ポリカーぎネー
ト、ポリエステル等の樹脂が使用される。
本発明の光磁気記録媒体による記録、再生は従来と同様
、基板側又はその反対側から変調又は偏向されたレーザ
ー光を照射することによって行なわれる。
、基板側又はその反対側から変調又は偏向されたレーザ
ー光を照射することによって行なわれる。
効 果
以上のように本発明の光磁気記録媒体は保護膜が酸化劣
化防止性の優れた炭化珪素よりなるので、磁性膜の酸化
腐食が防止され、このため、常に安定に高密度記録及び
再生を行なうことができる。
化防止性の優れた炭化珪素よりなるので、磁性膜の酸化
腐食が防止され、このため、常に安定に高密度記録及び
再生を行なうことができる。
以下に本発明の実施例を示す。
実施例]
150簡φの鉄板上に2種類の大きさのTbチップ(1
0mX10mX2■及び5簡×5謔8□ヨ)&ヶ2種類
。太きヶ。。。アッ、pq専y△ チップに同じ)を規則的に配置してターゲット材料を作
った。次にRfスパッタリング装置に前記ターゲット材
料及び基板としてスライドガラス板(大きさ76 w
X 26 m X 1 as )を配置し、ターゲット
上のシャッターを閉じたま\下記条件で60分間放電さ
せてプレスパツタリングを打力い2次にシャッターを開
けて同条件下で3分間放電を続けてメインスパッタリン
グを行ない、750X厚のTbFe0゜よりなる磁性膜
を設けた。
0mX10mX2■及び5簡×5謔8□ヨ)&ヶ2種類
。太きヶ。。。アッ、pq専y△ チップに同じ)を規則的に配置してターゲット材料を作
った。次にRfスパッタリング装置に前記ターゲット材
料及び基板としてスライドガラス板(大きさ76 w
X 26 m X 1 as )を配置し、ターゲット
上のシャッターを閉じたま\下記条件で60分間放電さ
せてプレスパツタリングを打力い2次にシャッターを開
けて同条件下で3分間放電を続けてメインスパッタリン
グを行ない、750X厚のTbFe0゜よりなる磁性膜
を設けた。
残留ガス圧=7〜8×lO−フTorrArガス圧:
1.5 X I F’ Torr放電々カニ400W ノセイアス電圧:0■ 次に前記ターゲット材料を150■φのSiOと入れ代
え、シャッターを閉じた″1−下記条件で60分間放電
させてプレスパツタリングを行ない、ついでシャッター
を開けて同条件で40分間放電を続けてメインスパッタ
リングを行ない1500X厚の8i0よυ匁る保設膜を
設け、第1図のような光磁気記録媒体Aを作成した。
1.5 X I F’ Torr放電々カニ400W ノセイアス電圧:0■ 次に前記ターゲット材料を150■φのSiOと入れ代
え、シャッターを閉じた″1−下記条件で60分間放電
させてプレスパツタリングを行ない、ついでシャッター
を開けて同条件で40分間放電を続けてメインスパッタ
リングを行ない1500X厚の8i0よυ匁る保設膜を
設け、第1図のような光磁気記録媒体Aを作成した。
残留ガス圧: 7〜8 X 10−’ TorrArガ
ス圧: 1. OX 10= Torr放電々カニ20
0W バイアス電圧:0■ 実施例2 磁性膜の形成前に実施例1に記載した保膜膜形成条件で
基板上に予め1500X厚の保護膜を設けた他は実施例
】と同じ方法で第2図のようた光磁気記録媒体Bを作成
した。
ス圧: 1. OX 10= Torr放電々カニ20
0W バイアス電圧:0■ 実施例2 磁性膜の形成前に実施例1に記載した保膜膜形成条件で
基板上に予め1500X厚の保護膜を設けた他は実施例
】と同じ方法で第2図のようた光磁気記録媒体Bを作成
した。
比較例1
保護膜を設は力かった他は実施例1と同じ方法で保護膜
のない光磁気記録媒体Cを作成した。
のない光磁気記録媒体Cを作成した。
比較例2
保護膜用ターゲットとして150mmφのsio。
板を用いた他は実施例1と同じ方法で第2図のようたタ
イプの光磁気記録媒体りを作成した。
イプの光磁気記録媒体りを作成した。
次に以上のようにして得られた各光磁気記録媒体を70
℃、90%RHの雰囲気中に保存して保磁力の変化(保
存後の保磁力Hc’ /初期保磁力Hc)(但し記録媒
体Bはテストせず)及びピンホールの発生状況を調べ、
夫々第3図及び第4図に示すような結果が得られた。第
3図から判るように、保護膜として8i0膜を用いた記
録媒体Aは850時間後も変化はないが、保護膜を用い
々い記録媒体0及び保護膜としてS10.膜を用いた記
録媒体りけ磁性膜の劣化が進行し、保磁力の低下が大き
い。また第4図から判るように8i0膜を用いた記録媒
体Aは160時間後本ピンホールの発生は1〜2個とき
わめて僅かであるが、保護膜を用いない記録媒体0及び
5i01膜を用いた記録媒体りはピンホールの発生が著
しく、腐食が進行している。
℃、90%RHの雰囲気中に保存して保磁力の変化(保
存後の保磁力Hc’ /初期保磁力Hc)(但し記録媒
体Bはテストせず)及びピンホールの発生状況を調べ、
夫々第3図及び第4図に示すような結果が得られた。第
3図から判るように、保護膜として8i0膜を用いた記
録媒体Aは850時間後も変化はないが、保護膜を用い
々い記録媒体0及び保護膜としてS10.膜を用いた記
録媒体りけ磁性膜の劣化が進行し、保磁力の低下が大き
い。また第4図から判るように8i0膜を用いた記録媒
体Aは160時間後本ピンホールの発生は1〜2個とき
わめて僅かであるが、保護膜を用いない記録媒体0及び
5i01膜を用いた記録媒体りはピンホールの発生が著
しく、腐食が進行している。
以上の結果から本発明の炭化珪素保護膜による酸化劣化
防止効果は明らかである。
防止効果は明らかである。
第1〜2図は本1発明の光磁気記録媒体の構成図、第3
図は実施例1並びに比較例1及び2で作成した光磁気記
録媒体の保存による保磁力変化を表わす曲線図、第4図
は実施例1及び2、並びに比較例1及び2で作成した光
磁気記録媒体の保存によるピンホールの発生状態を表わ
す曲線図である。 1・・・基 板 2・・・磁性膜 3.3′・・・保護膜 A・・・実施例1で作成した光磁気記録媒体B・・・実
施例2で作成した光磁気記録媒体C・・・比較例1で作
成した光磁気記録媒体D・・・比較例2で作成した光磁
気記録媒体Hc・・・初期保磁力 He’・・・保存後の保磁力 市1図 市2図 馬3図
図は実施例1並びに比較例1及び2で作成した光磁気記
録媒体の保存による保磁力変化を表わす曲線図、第4図
は実施例1及び2、並びに比較例1及び2で作成した光
磁気記録媒体の保存によるピンホールの発生状態を表わ
す曲線図である。 1・・・基 板 2・・・磁性膜 3.3′・・・保護膜 A・・・実施例1で作成した光磁気記録媒体B・・・実
施例2で作成した光磁気記録媒体C・・・比較例1で作
成した光磁気記録媒体D・・・比較例2で作成した光磁
気記録媒体Hc・・・初期保磁力 He’・・・保存後の保磁力 市1図 市2図 馬3図
Claims (1)
- 1、基板上に膜面に対し垂直方向に磁化容易軸を有する
磁性膜及びその上に保護膜を有する光磁気記録媒体にお
いて1.前記保護膜が炭化珪素よυなることを特徴とす
る光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8807984A JPS60231937A (ja) | 1984-05-01 | 1984-05-01 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8807984A JPS60231937A (ja) | 1984-05-01 | 1984-05-01 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60231937A true JPS60231937A (ja) | 1985-11-18 |
Family
ID=13932854
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8807984A Pending JPS60231937A (ja) | 1984-05-01 | 1984-05-01 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60231937A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6145441A (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-05 | Canon Inc | 光学的記録媒体 |
US4777068A (en) * | 1984-08-10 | 1988-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical recording medium |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60163247A (ja) * | 1984-02-06 | 1985-08-26 | Ulvac Corp | 光磁気記録体 |
JPS60177454A (ja) * | 1984-02-22 | 1985-09-11 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 耐久性にすぐれた光磁気記録媒体 |
-
1984
- 1984-05-01 JP JP8807984A patent/JPS60231937A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60163247A (ja) * | 1984-02-06 | 1985-08-26 | Ulvac Corp | 光磁気記録体 |
JPS60177454A (ja) * | 1984-02-22 | 1985-09-11 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 耐久性にすぐれた光磁気記録媒体 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6145441A (ja) * | 1984-08-10 | 1986-03-05 | Canon Inc | 光学的記録媒体 |
US4777068A (en) * | 1984-08-10 | 1988-10-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Optical recording medium |
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