JPS60131659A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS60131659A JPS60131659A JP23943383A JP23943383A JPS60131659A JP S60131659 A JPS60131659 A JP S60131659A JP 23943383 A JP23943383 A JP 23943383A JP 23943383 A JP23943383 A JP 23943383A JP S60131659 A JPS60131659 A JP S60131659A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- silicon nitride
- protective film
- magneto
- magnetic film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明はレーザー光により記録、再生を行なうための光
磁気記録媒体に関する。
磁気記録媒体に関する。
従来技術
光磁気記録媒体はレーザー光により磁気光学的に記録、
再生を行なう記録媒体で、その基本構成はガラス板のよ
うな透明基板上に希土類金属〜遷移金属合金のような垂
直磁化可能な磁性膜を設けたものであるか、従来知られ
ている磁性膜、特に希土類金属〜遷移金属合金系磁性膜
は空気中の水分や酸素、或いは熱によって酸化腐食を受
け易く、このため保存中、磁気光学特性（例えば保磁力
）が劣化するばかりでなく、ピンホールが多量に発生し
て使用できなくなるという大きな欠点がある。そこで磁
性膜上に更に８１０． ８１０．等の保護膜を設ける試
みもなされているが、未だ満足すべき結果は得られてい
ない。
再生を行なう記録媒体で、その基本構成はガラス板のよ
うな透明基板上に希土類金属〜遷移金属合金のような垂
直磁化可能な磁性膜を設けたものであるか、従来知られ
ている磁性膜、特に希土類金属〜遷移金属合金系磁性膜
は空気中の水分や酸素、或いは熱によって酸化腐食を受
け易く、このため保存中、磁気光学特性（例えば保磁力
）が劣化するばかりでなく、ピンホールが多量に発生し
て使用できなくなるという大きな欠点がある。そこで磁
性膜上に更に８１０． ８１０．等の保護膜を設ける試
みもなされているが、未だ満足すべき結果は得られてい
ない。
目 的
本発明の目的は保護膜を窒化珪素で形成することにより
、磁性膜の特性劣化及び腐食を防止した光磁気記録媒体
を提供することである。
、磁性膜の特性劣化及び腐食を防止した光磁気記録媒体
を提供することである。
構成
本発明の光磁気記録媒体は第１図に示すように透明基板
ｌ上に希土類金属〜遷移金属合金からなる非晶質磁性膜
２及び窒化珪素の保護膜３を順次設けたことを特徴とす
るものである。
ｌ上に希土類金属〜遷移金属合金からなる非晶質磁性膜
２及び窒化珪素の保護膜３を順次設けたことを特徴とす
るものである。
窒化珪素（Ｓｉ、Ｎ、）Ｉ／ｉ耐酸化性、副木性、耐化
学薬品性、耐熱性等に優れたセラミック材料として知ら
れている。本発明はこのように優れた特性を有する窒化
珪素を保護膜として利用したものである。
学薬品性、耐熱性等に優れたセラミック材料として知ら
れている。本発明はこのように優れた特性を有する窒化
珪素を保護膜として利用したものである。
本発明の記録媒体に用いられるその他の材料は従来と同
じでよい。即ち透明基板の材料としてはスライドガラス
板石英ガラス、パイレックスガラス等のガラス；酸化処
理し又は処理しないシＩＪ ：ｆン；Ａ看１０１＊Ａ為
Ｏ３・Ｍｇ０゜Ｍｇｏ−ＬｔＦ’、 ｙ、 ０＠ −Ｌ
ｉＦ、Ｂｏｏ、 ＺｒＯ２＠Ｙ＊ ０ｓ ｓ Ｔｈａｔ
・Ｃａ０等の透明セラミック材等の透明無機材料やアク
リル樹脂、ポリカーゼネート樹脂、ぼりエステル樹脂等
の透明有機材料が使用される。また磁性膜の材料として
は希土類金属〜遷移金属の非晶質合金、例えばＴｂＦｅ
、 ＴｂＦｅＣｏ、 Ｇ’ｄＴｂ’Ｆｅ、 ＴｂＦｅＣ
ｏＧｄ。
じでよい。即ち透明基板の材料としてはスライドガラス
板石英ガラス、パイレックスガラス等のガラス；酸化処
理し又は処理しないシＩＪ ：ｆン；Ａ看１０１＊Ａ為
Ｏ３・Ｍｇ０゜Ｍｇｏ−ＬｔＦ’、 ｙ、 ０＠ −Ｌ
ｉＦ、Ｂｏｏ、 ＺｒＯ２＠Ｙ＊ ０ｓ ｓ Ｔｈａｔ
・Ｃａ０等の透明セラミック材等の透明無機材料やアク
リル樹脂、ポリカーゼネート樹脂、ぼりエステル樹脂等
の透明有機材料が使用される。また磁性膜の材料として
は希土類金属〜遷移金属の非晶質合金、例えばＴｂＦｅ
、 ＴｂＦｅＣｏ、 Ｇ’ｄＴｂ’Ｆｅ、 ＴｂＦｅＣ
ｏＧｄ。
ＧｄＣｏ等が用いられる。
不発明の光磁気記録媒体を作るには透明基板上に前述の
ような磁性膜材料を真空蒸着、スパッタリング（ＲＦス
パッタリング、高温又は低温マグネトロンスパッタリン
グ、反応性ス・ゼツタリング等）、ＣＶＤ法（光励起レ
ーティング等の方法で均一に付着せしめて磁性膜を形成
し、更にその上に窒化珪素を同様な方法で均一に付着せ
しめて保護膜を形成すればよい。なお磁性膜及び保護膜
の厚さは夫＃１００Ａ−１μｍ１５００Ａ 〜１０ｐｍ
程度が適当である。
ような磁性膜材料を真空蒸着、スパッタリング（ＲＦス
パッタリング、高温又は低温マグネトロンスパッタリン
グ、反応性ス・ゼツタリング等）、ＣＶＤ法（光励起レ
ーティング等の方法で均一に付着せしめて磁性膜を形成
し、更にその上に窒化珪素を同様な方法で均一に付着せ
しめて保護膜を形成すればよい。なお磁性膜及び保護膜
の厚さは夫＃１００Ａ−１μｍ１５００Ａ 〜１０ｐｍ
程度が適当である。
本発明では基板に吸着された空気や水分、或いは基板が
アクリル樹脂のように空気透過性材料からなる場合は基
板を透過する空気や水分等による影響を避けるため、第
２図に示すように基板１と磁性膜２との間に更に窒化珪
素の中間層４を設けることができる。この中間層の厚さ
は５０（ＩＡ〜１１０ｌ１程度が適当である。
アクリル樹脂のように空気透過性材料からなる場合は基
板を透過する空気や水分等による影響を避けるため、第
２図に示すように基板１と磁性膜２との間に更に窒化珪
素の中間層４を設けることができる。この中間層の厚さ
は５０（ＩＡ〜１１０ｌ１程度が適当である。
以上のようにして得られる本発明の光磁気記録媒体によ
る記録、再生法は従来と全く同じである。即ち記録（及
び消去）はコン−ニーター、各槙計測機器からの２値信
号で変調されたレーザー光を基板側から照射することに
より、また再生は記録時の強度よりも弱い偏向されたレ
ーザー光を同様に基板側から照射し、その反射光を検光
子に通して２値信号として検出することにより行なう。
る記録、再生法は従来と全く同じである。即ち記録（及
び消去）はコン−ニーター、各槙計測機器からの２値信
号で変調されたレーザー光を基板側から照射することに
より、また再生は記録時の強度よりも弱い偏向されたレ
ーザー光を同様に基板側から照射し、その反射光を検光
子に通して２値信号として検出することにより行なう。
効果
以上の如く本発明の光磁気記録媒体は磁性膜が耐酸化性
、耐水性、耐化学薬品性、耐熱性等に優れた窒化珪素か
らなる保護膜で保護されているので、磁性膜の酸化、従
って特性劣化及び腐食を防止することができる。
、耐水性、耐化学薬品性、耐熱性等に優れた窒化珪素か
らなる保護膜で保護されているので、磁性膜の酸化、従
って特性劣化及び腐食を防止することができる。
実施例１
１５０Ｂφの鉄板上にＴｂチップ（大きさ１ ＯｍＸ
Ｉ ＯｍＸ ２ｍｍ及び５ ｇｌｌ Ｘ ５１１ＥＩＩ
Ｘ ２ｍ＋１の２８類）及びＣＯ−チツプ大きさはＴ
ｂチップに同じ）をＦ＠／Ｃｏ／Ｔｂ−６３，７／ ６
．３／３０の面積比になるように規則正しく配置し、こ
れをターゲットとしてスライドガラス板（大きさ７６
ＩｕＩＸ ２６１ｇ Ｘ Ｏ，９ｇ ）上にＡｒガス分
圧１．５ ｘ １０”” Ｔｏｒｒ、残留ガス圧７−８
Ｘ１０−’Ｔｏｒｒ４放１１．に力４００Ｗ、ノ？ィア
ス電圧０ｖの条件で約１時間ＲＦスノＲツタリングを行
ない、厚さ７５０人のＴｂＦ＠Ｃ。
Ｉ ＯｍＸ ２ｍｍ及び５ ｇｌｌ Ｘ ５１１ＥＩＩ
Ｘ ２ｍ＋１の２８類）及びＣＯ−チツプ大きさはＴ
ｂチップに同じ）をＦ＠／Ｃｏ／Ｔｂ−６３，７／ ６
．３／３０の面積比になるように規則正しく配置し、こ
れをターゲットとしてスライドガラス板（大きさ７６
ＩｕＩＸ ２６１ｇ Ｘ Ｏ，９ｇ ）上にＡｒガス分
圧１．５ ｘ １０”” Ｔｏｒｒ、残留ガス圧７−８
Ｘ１０−’Ｔｏｒｒ４放１１．に力４００Ｗ、ノ？ィア
ス電圧０ｖの条件で約１時間ＲＦスノＲツタリングを行
ない、厚さ７５０人のＴｂＦ＠Ｃ。
系非晶質合金磁性膜を設けた。次にこの磁性膜上Ｆｃ窒
化珪素粉末をターゲットとしてＡｒガス分圧、１． Ｑ
Ｘ、１０”” Ｔｏｒｒ 、残留ガ、圧７〜．’８
Ｘ １’０−’ Ｔｏｒｒ 、放電々力２ｏｏｗ、／ｓ
イアス電圧０ｖの条件で約２時間ＲＦスパッタリングを
行ない、厚さ１５００人（１）窒化珪素保該膜を設けて
光磁気記録媒体を作った。
化珪素粉末をターゲットとしてＡｒガス分圧、１． Ｑ
Ｘ、１０”” Ｔｏｒｒ 、残留ガ、圧７〜．’８
Ｘ １’０−’ Ｔｏｒｒ 、放電々力２ｏｏｗ、／ｓ
イアス電圧０ｖの条件で約２時間ＲＦスパッタリングを
行ない、厚さ１５００人（１）窒化珪素保該膜を設けて
光磁気記録媒体を作った。
実施例２
基板と磁性膜との間に実施例１と同じ保護膜形成法に従
って厚さ１５００人の中間層を設けた他は実施例１と同
じ方法で光磁気記録媒体を作った・ 比較例１ 保１ａｌｌ！形成用ターゲットとして酸化珪素（Ｓｔ（
ｈ）粉末を用いた他は実施例１と同じ方法で保賎膜が酸
化珪素よりなる光磁気記録媒体を作った。
って厚さ１５００人の中間層を設けた他は実施例１と同
じ方法で光磁気記録媒体を作った・ 比較例１ 保１ａｌｌ！形成用ターゲットとして酸化珪素（Ｓｔ（
ｈ）粉末を用いた他は実施例１と同じ方法で保賎膜が酸
化珪素よりなる光磁気記録媒体を作った。
比較例２
保護膜を設けなかった他は実施例１と同じ方法で保護膜
のない光磁気記録媒体を作った。
のない光磁気記録媒体を作った。
次に以上の光磁気記録媒体を７０℃、９ＯチＲＨの環境
下に保存し、保磁力の経時変化（保存試験後の保磁力Ｅ
ｆｃ／保存試験前の初期保磁力Ｈｅ比で表わすが、実施
例２のサンプルは除く。）及びピンホールの発生状況を
調べた。その結果を第３〜４図に示す。図中Ａは実施例
１、ＢＦｉ笑施例２、Ｃは比較例１、Ｄは比較例２の各
サンプルである。第３図から明らかなように、窒化珪素
の保護膜を有する実施例１のサンプルＡ及び実施例２の
サンプルＢは８５０時間保存後も保持力の変化はないが
、酸化珪素の保護膜を有する比較例１のサンプ／Ｉ／Ｃ
及び保護膜のない比較例２のサンプルＤは磁性膜の酸化
腐食が進行した結果、保磁力の低下が著しい。また第４
図から明らかなように、窒化珪素の保護膜な有する実施
例１のサンプルＡ１及び窒化珪素の保護膜。
下に保存し、保磁力の経時変化（保存試験後の保磁力Ｅ
ｆｃ／保存試験前の初期保磁力Ｈｅ比で表わすが、実施
例２のサンプルは除く。）及びピンホールの発生状況を
調べた。その結果を第３〜４図に示す。図中Ａは実施例
１、ＢＦｉ笑施例２、Ｃは比較例１、Ｄは比較例２の各
サンプルである。第３図から明らかなように、窒化珪素
の保護膜を有する実施例１のサンプルＡ及び実施例２の
サンプルＢは８５０時間保存後も保持力の変化はないが
、酸化珪素の保護膜を有する比較例１のサンプ／Ｉ／Ｃ
及び保護膜のない比較例２のサンプルＤは磁性膜の酸化
腐食が進行した結果、保磁力の低下が著しい。また第４
図から明らかなように、窒化珪素の保護膜な有する実施
例１のサンプルＡ１及び窒化珪素の保護膜。
窒化珪素の中間層の両層を有する実施例２のサンプルＢ
はいずれも１６０時間保存後のピンホールの発生数は１
〜２個であるが、酸化珪素の保護膜を・有する比較例１
のサンプルＣ及び保護膜のない比較例２のサンプルＤは
酸化腐食が進行した結果、ピンホールの発生が著しい。
はいずれも１６０時間保存後のピンホールの発生数は１
〜２個であるが、酸化珪素の保護膜を・有する比較例１
のサンプルＣ及び保護膜のない比較例２のサンプルＤは
酸化腐食が進行した結果、ピンホールの発生が著しい。
Ｍ】〜２図は本発明の光磁気記録媒体の構成図、Ｍ３〜
４図は実施例で行なった保存試験の結果を示す。 １・・・透明基板 ２・・・磁性膜 ３・・・保護膜 ４・・・中間層 Ａ・・・実施例１の光磁気記録媒体 Ｂ・・・実施例２の光磁気記録媒体 Ｃ・・・比較例１の光磁気記録媒体 Ｄ・・・比較例２の光磁気記録媒体 Ｈｅ・・・保存試験前の初期保磁力 Ｈ’ｅ・・・保存試験後の保磁力 懲１図 ０ ５００ ■ 保存吋馴ｈｒｓ） 第４図 褌今吟間（ｔ’ｌｒｓ）
４図は実施例で行なった保存試験の結果を示す。 １・・・透明基板 ２・・・磁性膜 ３・・・保護膜 ４・・・中間層 Ａ・・・実施例１の光磁気記録媒体 Ｂ・・・実施例２の光磁気記録媒体 Ｃ・・・比較例１の光磁気記録媒体 Ｄ・・・比較例２の光磁気記録媒体 Ｈｅ・・・保存試験前の初期保磁力 Ｈ’ｅ・・・保存試験後の保磁力 懲１図 ０ ５００ ■ 保存吋馴ｈｒｓ） 第４図 褌今吟間（ｔ’ｌｒｓ）
Claims (1)
- １、透明基板上に希土類金属〜遷移金属合金からなる非
晶質磁性膜及び窒化珪素よりなる保護膜を設けてなる光
磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23943383A JPS60131659A (ja) | 1983-12-19 | 1983-12-19 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23943383A JPS60131659A (ja) | 1983-12-19 | 1983-12-19 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60131659A true JPS60131659A (ja) | 1985-07-13 |
Family
ID=17044698
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23943383A Pending JPS60131659A (ja) | 1983-12-19 | 1983-12-19 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60131659A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6226660A (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-04 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気光学記憶素子の製造方法 |
| JPH01173453A (ja) * | 1987-12-28 | 1989-07-10 | Mitsubishi Kasei Corp | 光磁気記録媒体 |
| US5098761A (en) * | 1989-01-09 | 1992-03-24 | Toray Industries, Inc. | Optical recording medium |
| US5695866A (en) * | 1991-11-07 | 1997-12-09 | Toray Industries Inc. | Optical recording medium |
-
1983
- 1983-12-19 JP JP23943383A patent/JPS60131659A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6226660A (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-04 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気光学記憶素子の製造方法 |
| JPH01173453A (ja) * | 1987-12-28 | 1989-07-10 | Mitsubishi Kasei Corp | 光磁気記録媒体 |
| US5098761A (en) * | 1989-01-09 | 1992-03-24 | Toray Industries, Inc. | Optical recording medium |
| US5695866A (en) * | 1991-11-07 | 1997-12-09 | Toray Industries Inc. | Optical recording medium |
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