JPS6145441A - 光学的記録媒体 - Google Patents
光学的記録媒体Info
- Publication number
- JPS6145441A JPS6145441A JP59168029A JP16802984A JPS6145441A JP S6145441 A JPS6145441 A JP S6145441A JP 59168029 A JP59168029 A JP 59168029A JP 16802984 A JP16802984 A JP 16802984A JP S6145441 A JPS6145441 A JP S6145441A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical recording
- recording layer
- film
- substrate
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B13/00—Recording simultaneously or selectively by methods covered by different main groups among G11B3/00, G11B5/00, G11B7/00 and G11B9/00; Record carriers therefor not otherwise provided for; Reproducing therefrom not otherwise provided for
- G11B13/04—Recording simultaneously or selectively by methods covered by different main groups among G11B3/00, G11B5/00, G11B7/00 and G11B9/00; Record carriers therefor not otherwise provided for; Reproducing therefrom not otherwise provided for magnetically or by magnetisation and optically or by radiation, for changing or sensing optical properties
- G11B13/045—Recording simultaneously or selectively by methods covered by different main groups among G11B3/00, G11B5/00, G11B7/00 and G11B9/00; Record carriers therefor not otherwise provided for; Reproducing therefrom not otherwise provided for magnetically or by magnetisation and optically or by radiation, for changing or sensing optical properties combined recording by magnetic and optic means
Landscapes
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光ビームにより記録・再生を行うことが可能
な光学的記録媒体に関するものである。
な光学的記録媒体に関するものである。
従来より、光ディスクに用いられる光学的記録媒体とし
ては、希土類−遷移金属の合金薄膜、非晶質から結晶質
への相転移を利用したカルコゲン化合物等の環−元性酸
化物薄膜、ヒートモード記録媒体、サーモプラスチック
記録媒体等が知られている０例えば、希土類−遷移金属
の合金ｖｉ、膜で形成される光磁気記録媒体としては、
Ｍ ｎ Ｂ ｉ 、 Ｍ ｎ Ｃｕ Ｂ ｉなどの多結
晶薄膜、ＧｄＣｏ、ＧｄＦｅ、ＴｂＦｅ 。
ては、希土類−遷移金属の合金薄膜、非晶質から結晶質
への相転移を利用したカルコゲン化合物等の環−元性酸
化物薄膜、ヒートモード記録媒体、サーモプラスチック
記録媒体等が知られている０例えば、希土類−遷移金属
の合金ｖｉ、膜で形成される光磁気記録媒体としては、
Ｍ ｎ Ｂ ｉ 、 Ｍ ｎ Ｃｕ Ｂ ｉなどの多結
晶薄膜、ＧｄＣｏ、ＧｄＦｅ、ＴｂＦｅ 。
ＤｙＦｅ 、ＧｄＴｂＦｅ 、ＴｂＤｙＦｅなどの非晶
質薄膜、ＧｄＩＧなどの単結晶薄膜などが知られている
。
質薄膜、ＧｄＩＧなどの単結晶薄膜などが知られている
。
これらの薄膜のうち、大面積の薄膜を室温近傍の温度で
製作する際の成膜性、信号を小さな光熱エネルギーで書
き込むための書き込み効率、および書き込まれた信号を
Ｓ／Ｎ比よく読み出。
製作する際の成膜性、信号を小さな光熱エネルギーで書
き込むための書き込み効率、および書き込まれた信号を
Ｓ／Ｎ比よく読み出。
すための読み出し効率等を勘案して、最近では前記非晶
質Ｒ１１ｉＪが光熱記録媒体として優れていると考えら
れている。ＧｄＴｂＦｅはカー回転角も大きく、１５０
℃前後のキューリ一点を持つので光熱磁気記録媒体とし
て適している。更に発明者等はカー回転角を向上させる
目的で研究した結果、ＧｄＴｂＦｅＣｏがカー回転角が
充分に大きく、Ｓ／Ｎ比の良い読み出しが可能な光磁気
記録媒体であることを見い出した。
質Ｒ１１ｉＪが光熱記録媒体として優れていると考えら
れている。ＧｄＴｂＦｅはカー回転角も大きく、１５０
℃前後のキューリ一点を持つので光熱磁気記録媒体とし
て適している。更に発明者等はカー回転角を向上させる
目的で研究した結果、ＧｄＴｂＦｅＣｏがカー回転角が
充分に大きく、Ｓ／Ｎ比の良い読み出しが可能な光磁気
記録媒体であることを見い出した。
しかしながら、一般に前記ＧｄＴｂ Ｆｅ等の光磁気記
録媒体をはじめとする磁気記録媒体に用いられる非晶質
磁性体は、耐食性が悪いという欠点を持っている。すな
わち、大気、本法気に触れると磁気特性が低下し、＠終
的には完全に酸化されて透明化するに至る。また、この
問題点は、光磁気記録媒体のみならず、前述した光学的
記録媒体の共通の課題である。
録媒体をはじめとする磁気記録媒体に用いられる非晶質
磁性体は、耐食性が悪いという欠点を持っている。すな
わち、大気、本法気に触れると磁気特性が低下し、＠終
的には完全に酸化されて透明化するに至る。また、この
問題点は、光磁気記録媒体のみならず、前述した光学的
記録媒体の共通の課題である。
このような欠点を除くために、従来から、記録層の上に
、例えば透明物質の保護カバー、例えば５ｉ０２．Ｓｉ
Ｏの保護層を設けたり、さらに不活性ガスによって記録
層を封じ込めたエアーサンドイッチ構造や貼り合せ構造
のディスク状記録媒体が提案されているが、実用上十分
な耐食性が得られなかった。
、例えば透明物質の保護カバー、例えば５ｉ０２．Ｓｉ
Ｏの保護層を設けたり、さらに不活性ガスによって記録
層を封じ込めたエアーサンドイッチ構造や貼り合せ構造
のディスク状記録媒体が提案されているが、実用上十分
な耐食性が得られなかった。
本発明の目的は、記録媒体としての特性を損０なう車な
く、耐食性を向上せしめた光学的記録：゛媒体を提供す
る事にある。
く、耐食性を向上せしめた光学的記録：゛媒体を提供す
る事にある。
本発明の上記目的は、基板上に光学的記録層を設けて成
る光学的記録媒体において、該光学的記録層の片側又は
両側に、炭化ケイ素から成る保護膜を形成することによ
って達成される。
る光学的記録媒体において、該光学的記録層の片側又は
両側に、炭化ケイ素から成る保護膜を形成することによ
って達成される。
炭化ケイ素膜は、例えばＲＦスパッタ等の方法によって
形成される。本発明において、光学的記録層に引き続い
て炭化ケイ素膜を形成する場合には、記録層をスパッタ
リングなどの方法で形成した後、真空を破ることなく連
続して窒化膜を形成するのが望ましい。また、基板上に
炭化ケイ素膜を形成し、その上に光学的記録層を形成し
て、更に炭化ケイ素膜を形成する場合にも、真空を破ら
ずに同一槽内で連続的に成膜。
形成される。本発明において、光学的記録層に引き続い
て炭化ケイ素膜を形成する場合には、記録層をスパッタ
リングなどの方法で形成した後、真空を破ることなく連
続して窒化膜を形成するのが望ましい。また、基板上に
炭化ケイ素膜を形成し、その上に光学的記録層を形成し
て、更に炭化ケイ素膜を形成する場合にも、真空を破ら
ずに同一槽内で連続的に成膜。
したほうが良い。
以下実施例をあげて、本発明を更に詳細に説明する。
〔実施例１〕
ＲＦスパッタ装置において、１インチ角の白板ガラスを
基板とし、１００ｍｍφの鉄（Ｆ ｅ）片の上に５ｍｍ
角のガドリニウム（Ｇｄ）およびテルビウム（Ｔｂ）の
小片を均一にならべたものを複合ターゲットとしてスパ
ッタリングを行ない、ＧｄＴｂＦｅ３元系非晶質磁性膜
からなる厚さ１０００人の光学的記録層を形成した。
基板とし、１００ｍｍφの鉄（Ｆ ｅ）片の上に５ｍｍ
角のガドリニウム（Ｇｄ）およびテルビウム（Ｔｂ）の
小片を均一にならべたものを複合ターゲットとしてスパ
ッタリングを行ない、ＧｄＴｂＦｅ３元系非晶質磁性膜
からなる厚さ１０００人の光学的記録層を形成した。
引き続いて真空槽内を４Ｘ１０−４Ｐａ程度排気後、ア
ルゴ７ （Ａ ｒ）ガスを４Ｘ ｌ Ｏ−１，Ｐ ａ導
入し、同一槽（ハ）にある第２のターゲットとして炭化
ケイ素を用いて、スパッタリングにより前記記録層上に
厚さ２０００人の炭化ケイ素膜を成膜した。
ルゴ７ （Ａ ｒ）ガスを４Ｘ ｌ Ｏ−１，Ｐ ａ導
入し、同一槽（ハ）にある第２のターゲットとして炭化
ケイ素を用いて、スパッタリングにより前記記録層上に
厚さ２０００人の炭化ケイ素膜を成膜した。
〔実施例２〕
ＲＦスパッタ装置において、真空槽中を４×１０−４
Ｐ ａ程度排気後、アルゴン（Ａｒ）ガスを４Ｘ１０−
ＩＰａ程度まで導入した。そして、ポリメチルメタアク
リレート（ＰＭＭＡ）を基板として第１のターゲットと
して炭化ケイ素を用い、スパッタリングにより基板上に
厚さ２００人の炭化ケイ素膜を形成した。その上に引き
続いて実施例１のものと同じＦｅ、Ｇｄ。
Ｐ ａ程度排気後、アルゴン（Ａｒ）ガスを４Ｘ１０−
ＩＰａ程度まで導入した。そして、ポリメチルメタアク
リレート（ＰＭＭＡ）を基板として第１のターゲットと
して炭化ケイ素を用い、スパッタリングにより基板上に
厚さ２００人の炭化ケイ素膜を形成した。その上に引き
続いて実施例１のものと同じＦｅ、Ｇｄ。
Ｔｂの複合ターゲットを第２のターゲットとして、スパ
ッタリングにより厚さ１０００人の記録層を形成した。
ッタリングにより厚さ１０００人の記録層を形成した。
更に槽内を４ＸＩＯ−４Ｐａ程度排気後、Ａｒガスを４
ＸｌＯ−ＩＰａ導入して、第１のターゲットを用いて前
記記録層上に厚さ２０００人の炭化ケイ素膜を形成した
。
ＸｌＯ−ＩＰａ導入して、第１のターゲットを用いて前
記記録層上に厚さ２０００人の炭化ケイ素膜を形成した
。
前述の実施例１及び２に従って作成した光学的記録媒体
を７０°Ｃ１８５％ＲＨの恒温恒湿槽に入れて、耐腐食
性試験を行なった結果を第１図及び第２図に示す、第１
図、第２図において、横軸は試験時間〔単位は時間（Ｈ
）〕を示し、縦軸は保磁力Ｈｃの変化を保磁力の初期値
Ｈｃｏに対する比で示した。ここで保磁力の低下が激し
い程、腐食が進行したことを示す。
を７０°Ｃ１８５％ＲＨの恒温恒湿槽に入れて、耐腐食
性試験を行なった結果を第１図及び第２図に示す、第１
図、第２図において、横軸は試験時間〔単位は時間（Ｈ
）〕を示し、縦軸は保磁力Ｈｃの変化を保磁力の初期値
Ｈｃｏに対する比で示した。ここで保磁力の低下が激し
い程、腐食が進行したことを示す。
第１図の１は実施例１の試験結果を示し、２゜３は比較
例の結果を示す、３の比較例はガラス基板上に実施例１
と同様のＧｄＴｂＦｅ３元系非晶質磁性膜から成る厚さ
１０００人の光学的記録層を形成し、保護膜を設けない
もの、２の比較例は３−の比較例の記録層の上に保護膜
としてＳｉＯを３０００人蒸着したものである。このよ
うに炭化ケイ素を保護層として設けたものは、従来の光
学的記録媒体に比較して耐腐食性が格段に優れているこ
とがわかる。
例の結果を示す、３の比較例はガラス基板上に実施例１
と同様のＧｄＴｂＦｅ３元系非晶質磁性膜から成る厚さ
１０００人の光学的記録層を形成し、保護膜を設けない
もの、２の比較例は３−の比較例の記録層の上に保護膜
としてＳｉＯを３０００人蒸着したものである。このよ
うに炭化ケイ素を保護層として設けたものは、従来の光
学的記録媒体に比較して耐腐食性が格段に優れているこ
とがわかる。
第２図の４は、実施例２の試験結果を示し、５．６に比
較例の結果を示す、６の比較例は、ＰＭＭＡ基板上に実
施例２と同様のＧｄＴｂＦｅ３元系非晶質磁性Ｎから成
る厚さ１０００人の光学的記録層を形成し、保護膜を設
けないもの、５の比較例はＰＭＭＡ基板上のＳｉＯ膜を
２００人設け、この上にＧｄＴｂＦｅから成 ４る厚
さ１０００人の記録層を形成して、更に記録層の上にＳ
ｉＯから成る保護；漠を３０００人基着したものである
。第２図においても、炭化ケイ素の保ａｌｌ’ｆｆが、
耐腐食性の向上に有効であることがわかる。
較例の結果を示す、６の比較例は、ＰＭＭＡ基板上に実
施例２と同様のＧｄＴｂＦｅ３元系非晶質磁性Ｎから成
る厚さ１０００人の光学的記録層を形成し、保護膜を設
けないもの、５の比較例はＰＭＭＡ基板上のＳｉＯ膜を
２００人設け、この上にＧｄＴｂＦｅから成 ４る厚
さ１０００人の記録層を形成して、更に記録層の上にＳ
ｉＯから成る保護；漠を３０００人基着したものである
。第２図においても、炭化ケイ素の保ａｌｌ’ｆｆが、
耐腐食性の向上に有効であることがわかる。
本発明は、上記実施例に限らず種々の応用が可能である
。例えば、光学的記録層は光磁気記録の磁性膜のみなら
ず、従来技術の説明の部分で述べたような、いかなる光
学的記録材料を用いてもかまわない。また、本発明に基
づいて構成された光学的記録媒体を、周知のエアーサン
ドインチ構造にしたり、或いはガラス板などと貼り合せ
た構造とする事により、更に耐腐食性を向上させる事が
出来る。
。例えば、光学的記録層は光磁気記録の磁性膜のみなら
ず、従来技術の説明の部分で述べたような、いかなる光
学的記録材料を用いてもかまわない。また、本発明に基
づいて構成された光学的記録媒体を、周知のエアーサン
ドインチ構造にしたり、或いはガラス板などと貼り合せ
た構造とする事により、更に耐腐食性を向上させる事が
出来る。
以上説明したように、本発明は光学的記録媒体において
、記録層の片側又は両側に炭化ケイ素から成る保護ｌＩ
Ｑを形成する事によって、耐腐食性を格段に向上せしめ
る効果を有するものである。
、記録層の片側又は両側に炭化ケイ素から成る保護ｌＩ
Ｑを形成する事によって、耐腐食性を格段に向上せしめ
る効果を有するものである。
第１図及び第２図は、夫々本発明に基づく光学的記録媒
体の耐腐食性試験の結果を示す図である。 ｙＪ＃！時間 肌験叫間
体の耐腐食性試験の結果を示す図である。 ｙＪ＃！時間 肌験叫間
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 基板上に光学的記録層を設けて成る光学的 記録媒体において、前記記録層の片側又は両側に、炭化
ケイ素から成る保護膜を形成したことを特徴とする光学
的記録媒体。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59168029A JPS6145441A (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | 光学的記録媒体 |
| US06/762,447 US4777068A (en) | 1984-08-10 | 1985-08-05 | Optical recording medium |
| GB08519965A GB2164061B (en) | 1984-08-10 | 1985-08-08 | Optical recording medium |
| FR858512231A FR2569033B1 (fr) | 1984-08-10 | 1985-08-09 | Support d'enregistrement optique |
| DE19853528701 DE3528701A1 (de) | 1984-08-10 | 1985-08-09 | Lichtaufzeichnungsmaterial |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59168029A JPS6145441A (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | 光学的記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6145441A true JPS6145441A (ja) | 1986-03-05 |
Family
ID=15860496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59168029A Pending JPS6145441A (ja) | 1984-08-10 | 1984-08-10 | 光学的記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6145441A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60187603U (ja) * | 1984-05-22 | 1985-12-12 | 東レ株式会社 | 履物 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60231937A (ja) * | 1984-05-01 | 1985-11-18 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS6134747A (ja) * | 1984-07-27 | 1986-02-19 | Hitachi Ltd | 光磁気多層膜媒体 |
-
1984
- 1984-08-10 JP JP59168029A patent/JPS6145441A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60231937A (ja) * | 1984-05-01 | 1985-11-18 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS6134747A (ja) * | 1984-07-27 | 1986-02-19 | Hitachi Ltd | 光磁気多層膜媒体 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60187603U (ja) * | 1984-05-22 | 1985-12-12 | 東レ株式会社 | 履物 |
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