JPS59140653A - 光熱磁気記録媒体 - Google Patents
光熱磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS59140653A JPS59140653A JP1293983A JP1293983A JPS59140653A JP S59140653 A JPS59140653 A JP S59140653A JP 1293983 A JP1293983 A JP 1293983A JP 1293983 A JP1293983 A JP 1293983A JP S59140653 A JPS59140653 A JP S59140653A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- protective layer
- medium
- recording medium
- titanium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
子などに用いられ、磁気カー効果あるいはファラデー効
果などの磁気光学効果を用いて読み出すことのできる光
磁気記録媒体における改良に関する。
果などの磁気光学効果を用いて読み出すことのできる光
磁気記録媒体における改良に関する。
従来、光磁気記録媒体としてはＭｎＢｉ ＭｎＣｕＢ
ｉ 。
ｉ 。
などの多結晶薄膜、ＧｄＣｏ 、 ＧｄＦｅ 、ＴｂＦ
ｅ 、 ＤｙＦｅ 。
ｅ 、 ＤｙＦｅ 。
ＧｄＴｂＦｅ 、 ＴｂＤｙＦｅなどの非晶質薄膜、Ｇ
ｄＩＧなどの単結晶薄膜などが知られている。
ｄＩＧなどの単結晶薄膜などが知られている。
これらの薄膜のうち、大面積の薄膜を室温近傍の温度で
製作する際の製膜性、信号を小さな光゛熱エネルギーで
書き込むための書き込み効率、および書き込まねた信号
をＳへ比 よく読み出すための読み出し効率を勘案して
、最近では＠配弁晶質薄膜が光熱記録媒体として優ねて
いると考えられている。特に、ＧｄＴｂＦｅはカー回転
角も太き（ 、 １５０℃前後のキューリ一点を持つの
で光熱磁気記録媒体として最適である。
製作する際の製膜性、信号を小さな光゛熱エネルギーで
書き込むための書き込み効率、および書き込まねた信号
をＳへ比 よく読み出すための読み出し効率を勘案して
、最近では＠配弁晶質薄膜が光熱記録媒体として優ねて
いると考えられている。特に、ＧｄＴｂＦｅはカー回転
角も太き（ 、 １５０℃前後のキューリ一点を持つの
で光熱磁気記録媒体として最適である。
しかしながら、ＧｄＴｂＦｅをはじめとして、一般に非
晶質磁性体は、耐食性が悪いという欠点を持っている。
晶質磁性体は、耐食性が悪いという欠点を持っている。
すなわち、大気、水蒸気に触れると磁気特性が低下し、
最終的（では完全に酸化されて透明化するに至る。
最終的（では完全に酸化されて透明化するに至る。
このような欠点を除くために、従来から、光熱磁気記録
媒体の層の上に、例えば透明物質の保護カバー、例えば
ＳｉＯ□ ＳｉＯの保護層を設けたり、さらに不活性ガ
スにより封じ込めたディスク状記録媒体が提案されてい
る。
媒体の層の上に、例えば透明物質の保護カバー、例えば
ＳｉＯ□ ＳｉＯの保護層を設けたり、さらに不活性ガ
スにより封じ込めたディスク状記録媒体が提案されてい
る。
本発明の目的は、適切な保護層により、従来のものよシ
も耐腐食性が優れた光熱磁気記録媒体を提供することＫ
ある。
も耐腐食性が優れた光熱磁気記録媒体を提供することＫ
ある。
本発明者らは種々の材料を検討した結果、チタニウム膜
を保護層として用いることにより、光熱磁気記録媒体の
耐腐食性が向上することを見い出しＮ。チタニウムの膜
は真空蒸着、スパッタリングなどの公知の方法により非
晶質磁性体の記録層の上に形成される。このチタニウム
の膜の厚みは１０００〜１００００久が好ましい。この
下限よりも薄ければ保護層としての機能が不充分であわ
、またこの上限よりも厚くしても、より以上の耐水性の
向上は期待できないのみならず、内部応力の増大により
保護層のばくりかおこるおそれがある。
を保護層として用いることにより、光熱磁気記録媒体の
耐腐食性が向上することを見い出しＮ。チタニウムの膜
は真空蒸着、スパッタリングなどの公知の方法により非
晶質磁性体の記録層の上に形成される。このチタニウム
の膜の厚みは１０００〜１００００久が好ましい。この
下限よりも薄ければ保護層としての機能が不充分であわ
、またこの上限よりも厚くしても、より以上の耐水性の
向上は期待できないのみならず、内部応力の増大により
保護層のばくりかおこるおそれがある。
本発明の光熱磁気記録媒体は、例えば次の方法によって
製造される。すなわち基板上に膜面に垂直な方向に磁化
容易軸を有する非晶質磁性体膜を記録層としてスパッタ
リングなどの公知の方法によって形成したのち、真空を
破ることなく、引続いてチタニウム膜を記録層の上に形
成する方法である。通常ゴミの影響をさけるため、基板
側から書込み、読み出しを行うので保護層が不透明であ
ってもかまわない。
製造される。すなわち基板上に膜面に垂直な方向に磁化
容易軸を有する非晶質磁性体膜を記録層としてスパッタ
リングなどの公知の方法によって形成したのち、真空を
破ることなく、引続いてチタニウム膜を記録層の上に形
成する方法である。通常ゴミの影響をさけるため、基板
側から書込み、読み出しを行うので保護層が不透明であ
ってもかまわない。
本発明の光熱磁気記録媒体は、さらに従来知られている
ようなエアーサンドインチ構造にしたり貼り合わせ構造
にすることができる。
ようなエアーサンドインチ構造にしたり貼り合わせ構造
にすることができる。
本発明の光熱磁気記録媒体は保護層としてチタニウム膜
を用いることにより、従来のものよりも優れた耐腐食性
を付・与されている。さらに上記のようにエアーサンド
インチ構造などにすることにより、その耐腐食性は一層
向上する。
を用いることにより、従来のものよりも優れた耐腐食性
を付・与されている。さらに上記のようにエアーサンド
インチ構造などにすることにより、その耐腐食性は一層
向上する。
以下に実施例を示して本願発明を具体的に説明する。
実施例１
高周波スパッタ装置において、１インチ角の白板ガラス
を基板とし、１００１ｎＴｌφのＦｅの上に５龍角のＧ
ｄ％Ｔｂ片を均一に並べたものを複合ターゲットとして
、記録層をスパッタによシ形成した。この記録層の上に
真空蒸着装置によって電子ビーム加熱（Ｃより保護層と
してチタニウムを３０００″Ａの膜厚で蒸着した。この
ようにして作製された光熱磁気記録媒体を、温度８５℃
、相対湿度８５チの恒温恒湿槽に入れて、耐腐食性試験
を行った。
を基板とし、１００１ｎＴｌφのＦｅの上に５龍角のＧ
ｄ％Ｔｂ片を均一に並べたものを複合ターゲットとして
、記録層をスパッタによシ形成した。この記録層の上に
真空蒸着装置によって電子ビーム加熱（Ｃより保護層と
してチタニウムを３０００″Ａの膜厚で蒸着した。この
ようにして作製された光熱磁気記録媒体を、温度８５℃
、相対湿度８５チの恒温恒湿槽に入れて、耐腐食性試験
を行った。
比較のために、保護層を有しない本の、および３、ＯＯ
Ｏ′Ａの膜厚のＳｉ０層を保護層として蒸着したものを
同時に試験に供した。試１険結果を第１図に示した。第
１図の縦軸には保磁力の変化が初期値に対する比として
示され、横軸には試験時間が示さねている。保磁力の低
下の大きいものほど、腐食が進んだことを示している。
Ｏ′Ａの膜厚のＳｉ０層を保護層として蒸着したものを
同時に試験に供した。試１険結果を第１図に示した。第
１図の縦軸には保磁力の変化が初期値に対する比として
示され、横軸には試験時間が示さねている。保磁力の低
下の大きいものほど、腐食が進んだことを示している。
第１図の結果から明らかなようπ、チタニウム膜を保護
層としだものが最もすぐれた耐腐食性を示している。
層としだものが最もすぐれた耐腐食性を示している。
実施例２
実施例１と同様にしてチタニウムを１０００久、５００
０°およびｘｏｏｏｏ′Ａの膜厚で保護層として真空蒸
着した光熱磁気記録媒体を作製した。これらを実施例Ｉ
Ｋおけると同様の耐腐食性試験に供した結果、実施例１
の光熱磁気記録体と略喀同じ耐腐食性を示した。
０°およびｘｏｏｏｏ′Ａの膜厚で保護層として真空蒸
着した光熱磁気記録媒体を作製した。これらを実施例Ｉ
Ｋおけると同様の耐腐食性試験に供した結果、実施例１
の光熱磁気記録体と略喀同じ耐腐食性を示した。
実施例３
高周波スパッタ装置において、１インチ角の白板ガラス
を基板とし、第１のターゲットとして実施例１のものと
同じＦｅ １Ｇｄ 、 Ｔｂ複合ターゲットを用いて記
録層を形成した。ついで同一槽内にある第２のターゲッ
トとして、１００＋ｍｍφ、厚み３朋のチタニウム板を
用いてスパッタにより保護層を形成した。このようにし
て作成した光熱磁気記録媒体について、実施例１と同様
に８５℃、相対湿度８５％において耐腐食性試験を行っ
た。結果は実施例Ｉのものと同様であった。
を基板とし、第１のターゲットとして実施例１のものと
同じＦｅ １Ｇｄ 、 Ｔｂ複合ターゲットを用いて記
録層を形成した。ついで同一槽内にある第２のターゲッ
トとして、１００＋ｍｍφ、厚み３朋のチタニウム板を
用いてスパッタにより保護層を形成した。このようにし
て作成した光熱磁気記録媒体について、実施例１と同様
に８５℃、相対湿度８５％において耐腐食性試験を行っ
た。結果は実施例Ｉのものと同様であった。
第１図は本発明による光熱磁気記録媒体の耐腐食性試験
績−果を、保護層を有しないもの、およびＳｉＯの保護
層を有するものの試験結果とともに示したグラフである
。 特許出願人 キャノン株式会社 耶１頁の続き ０発 明 者 吉原論 東京都大田区下丸子３丁目３０番 ２号キャノン株式会社内 ０発 明 者 高野腸溶 東京都大田区下丸子３丁目３０番 ２号キャノン株式会社内
績−果を、保護層を有しないもの、およびＳｉＯの保護
層を有するものの試験結果とともに示したグラフである
。 特許出願人 キャノン株式会社 耶１頁の続き ０発 明 者 吉原論 東京都大田区下丸子３丁目３０番 ２号キャノン株式会社内 ０発 明 者 高野腸溶 東京都大田区下丸子３丁目３０番 ２号キャノン株式会社内
Claims (1)
- １ 基板上に形成され、かつ膜面に垂直な方向に磁化容
易軸を有する非晶質磁性合金膜の記録層および該記＠層
上に形成されたチタニウム膜の保護層からなることを特
徴とする光熱磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1293983A JPS59140653A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 光熱磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1293983A JPS59140653A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 光熱磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59140653A true JPS59140653A (ja) | 1984-08-13 |
Family
ID=11819250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1293983A Pending JPS59140653A (ja) | 1983-01-31 | 1983-01-31 | 光熱磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59140653A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63113835A (ja) * | 1986-10-29 | 1988-05-18 | Kyocera Corp | 光磁気記録素子 |
-
1983
- 1983-01-31 JP JP1293983A patent/JPS59140653A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63113835A (ja) * | 1986-10-29 | 1988-05-18 | Kyocera Corp | 光磁気記録素子 |
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