JPH0782669B2 - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0782669B2 JPH0782669B2 JP60139769A JP13976985A JPH0782669B2 JP H0782669 B2 JPH0782669 B2 JP H0782669B2 JP 60139769 A JP60139769 A JP 60139769A JP 13976985 A JP13976985 A JP 13976985A JP H0782669 B2 JPH0782669 B2 JP H0782669B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magneto
- recording medium
- optical recording
- magnetic
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、ドキュメントファイル、フロッピーディス
ク、ハードディスクなどに使用される光磁気記録媒体に
関する。
ク、ハードディスクなどに使用される光磁気記録媒体に
関する。
従来の技術 近年、光の熱効果などを利用して磁性薄膜に磁区を書込
んで情報を記録し、磁気光学効果を利用して情報を読み
出すようにした光磁気記録媒体が注目されている。
んで情報を記録し、磁気光学効果を利用して情報を読み
出すようにした光磁気記録媒体が注目されている。
従来、光磁気記録媒体に用いられる記録層としては、Tb
-Fe合金のような希土類−遷移金属系アモルファス磁性
体からなる薄膜が知られている（特公昭57-20691）。こ
のような光磁気記録媒体への情報の記録は、磁性体のキ
ューリ温度または補償温度における保磁力の急激な変化
特性を利用して実施され、具体的には２値信号で変調さ
れたレーザー光を垂直磁化された磁性薄膜に照射、加熱
して磁化の向きを反転させることにより行われる。ま
た、再生は、反転記録された磁性膜の磁気光学効果の差
を利用して行われる。
-Fe合金のような希土類−遷移金属系アモルファス磁性
体からなる薄膜が知られている（特公昭57-20691）。こ
のような光磁気記録媒体への情報の記録は、磁性体のキ
ューリ温度または補償温度における保磁力の急激な変化
特性を利用して実施され、具体的には２値信号で変調さ
れたレーザー光を垂直磁化された磁性薄膜に照射、加熱
して磁化の向きを反転させることにより行われる。ま
た、再生は、反転記録された磁性膜の磁気光学効果の差
を利用して行われる。
希土類−遷移金属系アモルファス磁性体薄膜は、垂直磁
気異方性を示し、保磁力Hcが大きく、カー回転角θkも
大きいので光磁気記録媒体として適している。しかし、
非晶質であるため結晶化温度を有しており、その温度が
350〜400℃程度と低く、メモリ安定性に問題があった。
気異方性を示し、保磁力Hcが大きく、カー回転角θkも
大きいので光磁気記録媒体として適している。しかし、
非晶質であるため結晶化温度を有しており、その温度が
350〜400℃程度と低く、メモリ安定性に問題があった。
発明の目的 本発明は、メモリ安定性の優れた希土類−遷移金属系ア
モルファス磁性体を用いた光磁気記録媒体を提供するも
のである。
モルファス磁性体を用いた光磁気記録媒体を提供するも
のである。
発明の構成 本発明の光磁気記録媒体は、垂直磁気異方性を有する希
土類−遷移金属系アモルファス磁性膜を設けた光磁気記
録媒体において、該磁性膜が一般式（Ｉ）で示される組
成を有することを特徴とする。
土類−遷移金属系アモルファス磁性膜を設けた光磁気記
録媒体において、該磁性膜が一般式（Ｉ）で示される組
成を有することを特徴とする。
｛（Fe1-zCoz）1-xMox｝1-yTby …（Ｉ） x:0.01≦ｘ≦0.2 y:0.1≦ｙ≦0.4 z:0＜ｚ≦0.4） 以下、本発明についてさらに詳細に説明する。
第１図は、本発明の光磁気記録媒体の構成例を示す断面
図であり、基板11上に磁性膜13および保護膜15が積層さ
れている。磁性膜13は、前記一般式（Ｉ）で示した希土
類金属−遷移金属の非晶質合金膜からなり、スパッタ
法、蒸着法、イオンプレーイティング法などにより基板
11上に形成される。希土類金属としてはTb（テルビウ
ム）が用いられる。
図であり、基板11上に磁性膜13および保護膜15が積層さ
れている。磁性膜13は、前記一般式（Ｉ）で示した希土
類金属−遷移金属の非晶質合金膜からなり、スパッタ
法、蒸着法、イオンプレーイティング法などにより基板
11上に形成される。希土類金属としてはTb（テルビウ
ム）が用いられる。
ｘおよびｙを上記範囲とすることにより、優れた垂直異
方性と大きな保磁力が得られる。置換量ｘの好ましい範
囲は0.05≦ｘ≦0.10である。
方性と大きな保磁力が得られる。置換量ｘの好ましい範
囲は0.05≦ｘ≦0.10である。
磁性膜13の膜厚は0.03〜0.5μｍ程度が適当である。
保護膜15は、アルモファス磁性体が酸素や水に酸化腐食
されるのを防止するためのものであり、SiO2,SiO,Si
3N4,AINなどからなる。保護膜は蒸着法、スパッタ法、
イオンプレーティング法などにより形成することができ
る。保護膜の厚さは0.05〜１μｍ程度が好適である。
されるのを防止するためのものであり、SiO2,SiO,Si
3N4,AINなどからなる。保護膜は蒸着法、スパッタ法、
イオンプレーティング法などにより形成することができ
る。保護膜の厚さは0.05〜１μｍ程度が好適である。
基板11としては非磁性材料が用いられ、たとえば、ガラ
ス、プラスチック、セラミックなどの透明基板あるいは
不透明基板が用いられる。
ス、プラスチック、セラミックなどの透明基板あるいは
不透明基板が用いられる。
また、基板と磁性膜との間に保護膜、あるいは磁性膜の
上部に断熱膜や反射膜を設けることもできる。
上部に断熱膜や反射膜を設けることもできる。
発明の効果 本発明によれば、特定のアモルファス希土類−遷移金属
系磁性膜を用いることにより、結晶化温度が高くなり、
メモリ安定性の良好な光磁気記録媒体が得られる。
系磁性膜を用いることにより、結晶化温度が高くなり、
メモリ安定性の良好な光磁気記録媒体が得られる。
実施例１ ２元マグネトロンスパッタ装置を用い、Moのチップ（10
mm×10mm×1mmt）をFe0.9Co0.1の合金ターゲット（150m
mφ，3mmt）の上にのせ、Tbターゲット（150mmφ，3m
mt）と同時に以下の条件でスパッタして、回転している
基板の上に磁性膜を作成した。ここで、Moのチップ数を
調整して、Fe0.9Co0.1の一部をMo置換することにより、
磁性膜のMo置換量を制御した。
mm×10mm×1mmt）をFe0.9Co0.1の合金ターゲット（150m
mφ，3mmt）の上にのせ、Tbターゲット（150mmφ，3m
mt）と同時に以下の条件でスパッタして、回転している
基板の上に磁性膜を作成した。ここで、Moのチップ数を
調整して、Fe0.9Co0.1の一部をMo置換することにより、
磁性膜のMo置換量を制御した。
得られた磁性膜は、振動試料型磁力計にて結晶化温度を
測定し、Moの置換量ｘと結晶化温度との関係を調べ第２
図に示した。
測定し、Moの置換量ｘと結晶化温度との関係を調べ第２
図に示した。
磁性膜の作成条件 残留ガス圧:1×10-6Torr Arガス圧:5×10-3Torr ターゲット材:Tb,Fe0.9Co0.1＋Mo 放電電力:100W（Tb） 400W（Fe0.9Co0.1＋Mo） スパッタ時間:15min（膜厚1000Å） 基板：スライドガラス 基板回転:30rpm 第２図より、Moを添加することにより、結晶化温度が80
〜130℃位高くなり、メモリ安定性が改善されることが
判る。
〜130℃位高くなり、メモリ安定性が改善されることが
判る。
第１図は、本発明の実施例を示す断面図である。 第２図は、磁性膜中のMoの置換量ｘと結晶化温度との関
係を示すグラフである。 11……基板、13……磁性膜 15,17……保護膜
係を示すグラフである。 11……基板、13……磁性膜 15,17……保護膜
Claims (1)
- 【請求項１】垂直磁気異方性を有する希土類−遷移金属
系アモルファス磁性膜を設けた光磁気記録媒体におい
て、該磁性膜が一般式（Ｉ）で示される組成を有するこ
とを特徴とする光磁気記録媒体。 ｛（Fe1-zCoz）1-xMox｝1-yTby …（Ｉ） x:0.01≦ｘ≦0.2 y:0.1≦ｙ≦0.4 z:0＜ｚ≦0.4）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60139769A JPH0782669B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60139769A JPH0782669B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 光磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS621151A JPS621151A (ja) | 1987-01-07 |
| JPH0782669B2 true JPH0782669B2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=15252970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60139769A Expired - Lifetime JPH0782669B2 (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0782669B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62214537A (ja) * | 1986-03-14 | 1987-09-21 | Seiko Epson Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPS62226450A (ja) * | 1986-03-27 | 1987-10-05 | Seiko Epson Corp | 光磁気記録媒体 |
| KR100468827B1 (ko) * | 1998-04-03 | 2005-08-31 | 삼성전자주식회사 | 비정질경희토류-천이금속과반금속의합금및제조방법 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59168953A (ja) * | 1983-03-16 | 1984-09-22 | Canon Inc | 光熱磁気記録媒体 |
| JPS6139252A (ja) * | 1984-07-27 | 1986-02-25 | Kyocera Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPS61196445A (ja) * | 1985-02-27 | 1986-08-30 | Toshiba Corp | 光磁気デイスク |
| JPS61246946A (ja) * | 1985-04-23 | 1986-11-04 | Pioneer Electronic Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPS61253655A (ja) * | 1985-05-02 | 1986-11-11 | Pioneer Electronic Corp | 光磁気記録媒体 |
-
1985
- 1985-06-26 JP JP60139769A patent/JPH0782669B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS621151A (ja) | 1987-01-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0118506B2 (ja) | ||
| GB2162008A (en) | Magneto-optical recording medium | |
| JPS6227459B2 (ja) | ||
| JPS60128606A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH0782669B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH0351082B2 (ja) | ||
| JPS61258353A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| US5100741A (en) | Magneto-optic recording systems | |
| JPH0343697B2 (ja) | ||
| US4734334A (en) | Magneto-optical recording medium | |
| JP2602425B2 (ja) | 非晶質磁気光学層 | |
| JPS60246041A (ja) | 光熱磁気記録媒体 | |
| JPH0555941B2 (ja) | ||
| JPH0570922B2 (ja) | ||
| JPS59168954A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH0316049A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPS621152A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPS5996714A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS5996713A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0690813B2 (ja) | 非晶質磁気光学層 | |
| JPS6280844A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH0445898B2 (ja) | ||
| JPH0766579B2 (ja) | 光磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPS61278061A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH0664759B2 (ja) | 非晶質磁気光学層 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |