JPS6139252A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPS6139252A JPS6139252A JP15849684A JP15849684A JPS6139252A JP S6139252 A JPS6139252 A JP S6139252A JP 15849684 A JP15849684 A JP 15849684A JP 15849684 A JP15849684 A JP 15849684A JP S6139252 A JPS6139252 A JP S6139252A
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- thin film
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
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- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はシリコン（Ｓｉ）を含む非晶質磁性薄膜から成
る新規な光磁気記録媒体に関するものである。
る新規な光磁気記録媒体に関するものである。
近年、光磁気記録媒体を用いた高密度記録が盛んに研究
されている。これは大量の情報を高密度に記録するため
、レーザー光を投光して記録媒体を局部加熱することに
よりビットを書き込み、磁気光学効果を利用して読み出
すというものである。
されている。これは大量の情報を高密度に記録するため
、レーザー光を投光して記録媒体を局部加熱することに
よりビットを書き込み、磁気光学効果を利用して読み出
すというものである。
これらの記録媒体に要求される特性として非晶質垂直磁
化膜を形成すると同時に、カー回転角、反射率、保磁力
が共に大きく、且つキュリ一温度もしくは補償温度が記
録及び再生に適当な範囲にあることであり、とりわけ、
再生のＳ／Ｎ比を向上させるために大きなカー回転角が
要求されている。更に、書き込みの投光源となる半導体
レーザーを用いるに際しては低パワーのレーザーを用い
ても書き込みが可能となるような記録媒体の開発
′が進められている。
化膜を形成すると同時に、カー回転角、反射率、保磁力
が共に大きく、且つキュリ一温度もしくは補償温度が記
録及び再生に適当な範囲にあることであり、とりわけ、
再生のＳ／Ｎ比を向上させるために大きなカー回転角が
要求されている。更に、書き込みの投光源となる半導体
レーザーを用いるに際しては低パワーのレーザーを用い
ても書き込みが可能となるような記録媒体の開発
′が進められている。
斯様な現状の中で、希土類元素−遷移金属（以下、ＲＥ
−ＴＭと略す）から成る非晶質合金薄膜を用いた光磁
気記録媒体においては、カー回転角を大きくするのに伴
ってキュリ一温度が大きくなることが判ってセリ、この
ためＳ／Ｎ比を向上させるために書き込みに要するレー
ザー光のパワーを大きくせざるを得ない。従って、この
ＥＥ −ＴＭ 系記録媒体を単層ＩＩＩＫして記録及び
再生を行なう場合、媒体のキュリ一温度に概ね２５０℃
以下という制約があるため、必然的にカー回転角の上限
も決まってくることになる。
−ＴＭと略す）から成る非晶質合金薄膜を用いた光磁
気記録媒体においては、カー回転角を大きくするのに伴
ってキュリ一温度が大きくなることが判ってセリ、この
ためＳ／Ｎ比を向上させるために書き込みに要するレー
ザー光のパワーを大きくせざるを得ない。従って、この
ＥＥ −ＴＭ 系記録媒体を単層ＩＩＩＫして記録及び
再生を行なう場合、媒体のキュリ一温度に概ね２５０℃
以下という制約があるため、必然的にカー回転角の上限
も決まってくることになる。
更に上述したような光磁気記録方式においては。
書き込み及ル読み出しに用いるレーザー光のパワ−を大
きくしてビット記録及び読み出しのＳ／Ｎ比を向上しよ
うとすると繰り返しのヒートサイクルにより非晶質磁性
薄膜の熱的安定性に問題がでてくる。即ち、このヒート
サイクルに対する熱的安定性の指標として媒体の結晶化
開始温度（Ｔｃｒｙ。
きくしてビット記録及び読み出しのＳ／Ｎ比を向上しよ
うとすると繰り返しのヒートサイクルにより非晶質磁性
薄膜の熱的安定性に問題がでてくる。即ち、このヒート
サイクルに対する熱的安定性の指標として媒体の結晶化
開始温度（Ｔｃｒｙ。
）とキュリ一点（Ｔｃ）の差△Ｔ（△Ｔ ＝ Ｔｃｒｙ
、 −Ｔｃ）があり、この△Ｔが大きいほどこの媒体は
書き込みゃ読み出しのそれぞれの繰り返しに対して安定
した光磁気特性を維持することができる。更に光゛磁気
記録媒体の耐環境特性、即ち安定した非晶質状態を維持
するためにはＴＣｒ３’、が高い値を取るの−が望まし
い。
、 −Ｔｃ）があり、この△Ｔが大きいほどこの媒体は
書き込みゃ読み出しのそれぞれの繰り返しに対して安定
した光磁気特性を維持することができる。更に光゛磁気
記録媒体の耐環境特性、即ち安定した非晶質状態を維持
するためにはＴＣｒ３’、が高い値を取るの−が望まし
い。
そこで、ＲＥ −ＴＭ系系層層膜ら成る光磁気記録媒体
を用いて更に有効に記録及び再生を行なうためにキュリ
一温度を変えずにカー回転角を向上させるような添加元
素もしくはカー回転角を変えずにキュリ一温度の特性を
向上させ、またΔＴやＴａｒｙ、を大きくするような添
加元素を見い出すとよい。
を用いて更に有効に記録及び再生を行なうためにキュリ
一温度を変えずにカー回転角を向上させるような添加元
素もしくはカー回転角を変えずにキュリ一温度の特性を
向上させ、またΔＴやＴａｒｙ、を大きくするような添
加元素を見い出すとよい。
これらの添加元素としてＧｅ等が周知となっているが未
だ満足し得るような元素が見い出されていない。即ち、
添加元素としてのＧｅは結晶化温度を向上させることに
より非晶質膜の熱的安定化を計ることができるが、カー
回転角及びキュリ一温度のそれぞれの特性の向上に顕著
な効果が認められず、又、工業生産を考えた場合、希少
な金属元素であるためにＴｂ並みに比較的高価な材料で
あり、Ｇｅに代替可能な安価な材料が求め−られる。
だ満足し得るような元素が見い出されていない。即ち、
添加元素としてのＧｅは結晶化温度を向上させることに
より非晶質膜の熱的安定化を計ることができるが、カー
回転角及びキュリ一温度のそれぞれの特性の向上に顕著
な効果が認められず、又、工業生産を考えた場合、希少
な金属元素であるためにＴｂ並みに比較的高価な材料で
あり、Ｇｅに代替可能な安価な材料が求め−られる。
本発明は上記事情に鑑み鋭意研究の結果、シリコン（Ｓ
ｉ）を添加元素として用いることにより叙上のすべての
難点が屏息できることを見い出した。
ｉ）を添加元素として用いることにより叙上のすべての
難点が屏息できることを見い出した。
本発明は上記知見に基づいて完成されたものであり、そ
の目的はＳｌを所定範囲内で添加してカー回転角を向上
せしめ、単層膜によっても記録及び再生を可能とした光
磁気記録媒体を提供することにある。
の目的はＳｌを所定範囲内で添加してカー回転角を向上
せしめ、単層膜によっても記録及び再生を可能とした光
磁気記録媒体を提供することにある。
本発明の他の目的は媒体の結晶化温度を高めて熱安定性
に優れ、光磁気特性の経時的な劣化が少ない光磁気記録
媒体を提供することにある。
に優れ、光磁気特性の経時的な劣化が少ない光磁気記録
媒体を提供することにある。
本発明によれば膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有する
非晶質磁性薄膜から成る光磁気記録媒体に詔いて、 こ
の非晶質磁性薄膜に８１を含むことを特徴とする光磁気
記録媒体が提供される。
非晶質磁性薄膜から成る光磁気記録媒体に詔いて、 こ
の非晶質磁性薄膜に８１を含むことを特徴とする光磁気
記録媒体が提供される。
以下、本発明の詳細な説明する。 一本発明の光
磁気記録媒体は膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する
非晶質磁性薄膜から成り、更にその薄膜はＲＥ −ＴＭ
Ｍ非晶質合金から成ると共に８１を所定量含有させるの
がよい。
磁気記録媒体は膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有する
非晶質磁性薄膜から成り、更にその薄膜はＲＥ −ＴＭ
Ｍ非晶質合金から成ると共に８１を所定量含有させるの
がよい。
とのＲＥ −ＴＭＭ合金には種々の合金が選択されるが
、とりわけＲＥ （希土類元素）としてＧｄ、Ｔ。
、とりわけＲＥ （希土類元素）としてＧｄ、Ｔ。
、 Ｄｙ、 Ｈｏ、 Ｅｒ等から少なくとも一種の元
素が選択され、 ＴＭ （遷移金属）としてＰｅ５ｏ合
金から成る事が好ましい。具体的には元来、キュリ一温
度及びカー回転角が比較的硬れた特性値を示すＴｂＦｅ
Ｃｏ 、 ＧｃｌＴｂＦｅＣｏ 、 ＧｄＤ７Ｆｅ（１
！Ｏ、ＤｙＦｅｏｏ等々がヨイ。
素が選択され、 ＴＭ （遷移金属）としてＰｅ５ｏ合
金から成る事が好ましい。具体的には元来、キュリ一温
度及びカー回転角が比較的硬れた特性値を示すＴｂＦｅ
Ｃｏ 、 ＧｃｌＴｂＦｅＣｏ 、 ＧｄＤ７Ｆｅ（１
！Ｏ、ＤｙＦｅｏｏ等々がヨイ。
前記Ｓ１の添加量はＥＥ −ＴＭ ；ｉ非晶質合金の材
料にもよるが、非晶質磁性薄膜中１乃至１０ ａｔｏｍ
ｊ−ｃ％の範囲に設定するとよい。このように範囲設定
することによりカー回転角を向上させ且つ結晶化温度を
高めるという添加効果が顕著に認められるためである。
料にもよるが、非晶質磁性薄膜中１乃至１０ ａｔｏｍ
ｊ−ｃ％の範囲に設定するとよい。このように範囲設定
することによりカー回転角を向上させ且つ結晶化温度を
高めるという添加効果が顕著に認められるためである。
特にＩＱ ａｔｏｍｔｃ％以下と上限を一設定したのは
この範囲を越えるとスパッタ中８１の酸−化物が膜中に
無視し得ないほど生成していることが認められ、実効上
顕著に識別し得る程度にまで希土類元素の酸化が誘起さ
れているためである。
この範囲を越えるとスパッタ中８１の酸−化物が膜中に
無視し得ないほど生成していることが認められ、実効上
顕著に識別し得る程度にまで希土類元素の酸化が誘起さ
れているためである。
これにより角形性及びカー回転角が劣化することになる
。
。
本発明によれ−ば、 Ｓ１添加のＲＥ −ＴＭ糸非晶質
合金薄膜を単層膜の光磁気記録媒体として用いて −
゛ソノ組成ヲ（Ｒｌｈ ＴＭ＋−ｘ ）１−７ Ｓｉｙ
トＨ記Ｌり場合、ｙの範囲が０．０１４：５’ ４０
．１であると共にＸの範囲がＱ、１４ Ｘ ４０．４に
設定されているとよい。
合金薄膜を単層膜の光磁気記録媒体として用いて −
゛ソノ組成ヲ（Ｒｌｈ ＴＭ＋−ｘ ）１−７ Ｓｉｙ
トＨ記Ｌり場合、ｙの範囲が０．０１４：５’ ４０
．１であると共にＸの範囲がＱ、１４ Ｘ ４０．４に
設定されているとよい。
Ｘの範囲を設定した理由はｙの値及びＲＩＩＥ −ＴＭ
糸金合金材料関連するが、Ｘが０．１未満の場合、本合
金の磁気的補償組成（０，１４＜ Ｘ ＜ ０．２８
）を大きく外れるため、飽和磁化ＭＳが非常に大きくな
る。
糸金合金材料関連するが、Ｘが０．１未満の場合、本合
金の磁気的補償組成（０，１４＜ Ｘ ＜ ０．２８
）を大きく外れるため、飽和磁化ＭＳが非常に大きくな
る。
従って保磁力］ｌ（ＣはＨａ ｏＣ１／ＭＳの関係によ
り本組成域では垂直磁化膜が形成されたとしても極めて
小さな保磁力となり、微小ビットの保持が困難となる。
り本組成域では垂直磁化膜が形成されたとしても極めて
小さな保磁力となり、微小ビットの保持が困難となる。
或いは一軸異方性エネルギーＫｕがＫｕ ＜ ｚｒＭＭ
となり、垂直磁化膜が形成されなくなる。又、Ｘが本組
成域中一段と小さくなると成膜中詰晶化が部分的におき
、非晶質相と結晶相の混在した不安定な膜となりやすい
。
となり、垂直磁化膜が形成されなくなる。又、Ｘが本組
成域中一段と小さくなると成膜中詰晶化が部分的におき
、非晶質相と結晶相の混在した不安定な膜となりやすい
。
Ｘが０．４を越える場合、前記と同様に磁気的補償組成
を大きく外れるため、保磁力が小さくなり微小ビットの
保持が困難となる。又、全組成に占める遷移金属の総量
も少いため力、−回転角が小さくなり、実用に供さない
。
を大きく外れるため、保磁力が小さくなり微小ビットの
保持が困難となる。又、全組成に占める遷移金属の総量
も少いため力、−回転角が小さくなり、実用に供さない
。
かくしてＳｌを添加した非晶質磁性薄膜を用いると８１
無添加のものに比べてカー回転角及び結晶化温度のそれ
ぞれの特性が顕著に向上し、その結果、単層膜によって
も記録及び再生を可能とし、且つ熱安定性に優れて光磁
気特性の経時的劣化が少ない光磁気記録媒体が提供でき
る。加えて、ＳｌはＧθに比べて一層安価な材料であり
、工業生産上好適な添加材料と言える。
無添加のものに比べてカー回転角及び結晶化温度のそれ
ぞれの特性が顕著に向上し、その結果、単層膜によって
も記録及び再生を可能とし、且つ熱安定性に優れて光磁
気特性の経時的劣化が少ない光磁気記録媒体が提供でき
る。加えて、ＳｌはＧθに比べて一層安価な材料であり
、工業生産上好適な添加材料と言える。
次に上記した本発明の光磁気記録媒体を製作するに当り
、スパッタリング、真空蒸着、イオンブレーティング等
４種々の方法でも製作でき名が、図のマグネトロンスパ
ッタリング装置を用いてＴｌ）ＦｅＣｏ８１合金薄膜を
形成する場合を例にとって詳述する。
、スパッタリング、真空蒸着、イオンブレーティング等
４種々の方法でも製作でき名が、図のマグネトロンスパ
ッタリング装置を用いてＴｌ）ＦｅＣｏ８１合金薄膜を
形成する場合を例にとって詳述する。
図中、真空槽（１１の内部にはＴｂ、 Ｆｅ、 Ｃｏ、
Ｓｌから成るターゲット（２）、回転駆動されること
によりＴｂＦｅＣｏＳｉ合金薄膜が形成される円板状の
基板（３）が配置されている。
Ｓｌから成るターゲット（２）、回転駆動されること
によりＴｂＦｅＣｏＳｉ合金薄膜が形成される円板状の
基板（３）が配置されている。
ターゲット（２）と基板（３）の間には高周波電源（４
）により高周波電圧が印加されるとともに基板（３）に
対して正もしくは負のバイアス電圧を印加することがで
きるように直流電源（５）が付設しである。
）により高周波電圧が印加されるとともに基板（３）に
対して正もしくは負のバイアス電圧を印加することがで
きるように直流電源（５）が付設しである。
このターゲット（２）の下側にはプレーナーマグネトロ
ン型カソードに基づき、アルニコ、フェライト、サマリ
ウムコバルト製の永久磁石（６）が備えつけられ、これ
により電場と磁場の直交するペニング放電現象を利用し
て放電ガス分子のイオン化効率が高められ、量産に適し
た高速成膜が可能となる。
ン型カソードに基づき、アルニコ、フェライト、サマリ
ウムコバルト製の永久磁石（６）が備えつけられ、これ
により電場と磁場の直交するペニング放電現象を利用し
て放電ガス分子のイオン化効率が高められ、量産に適し
た高速成膜が可能となる。
本発明において使用されるＴＩ）、Ｆｅ、ＣＯ，Ｓｉ。
から成るターゲット（２）は、例えばＦｅ製円板の上に
角形状のＴ’ｂチップ、ＣＯチップ、Ｓ１チツプを適当
な数だけ載置して構成されるが、Ｔｂ製円板、Ｃｏ製円
板、Ｓｉ製円板のそれぞれに他成分金属元素のチップを
載置したものであってもよく、更に斯様なチップの形状
を角形状に代えて扇形状勢任意の形状に変更してもよい
。この他、合金ターゲ −ットもしくは多元系ターゲッ
トにより構成しても何ら変わるところがないのは言うま
でもない。
角形状のＴ’ｂチップ、ＣＯチップ、Ｓ１チツプを適当
な数だけ載置して構成されるが、Ｔｂ製円板、Ｃｏ製円
板、Ｓｉ製円板のそれぞれに他成分金属元素のチップを
載置したものであってもよく、更に斯様なチップの形状
を角形状に代えて扇形状勢任意の形状に変更してもよい
。この他、合金ターゲ −ットもしくは多元系ターゲッ
トにより構成しても何ら変わるところがないのは言うま
でもない。
本発明においてはカー回転角が大きく、且つ高保磁力、
角形比にも優れた好適な光磁気記録媒体を得るために、
基板（３）に対して正もしくは負のバイアス電圧を印加
してもよいが、無バイアスによっても本発明の目的を十
分に達成することができる。このとき、雰囲気ガス圧を
所定の範囲に設定するのがよ（、雰囲気ガス圧がＩ Ｘ
１０ Ｔｏｒｒ未満では安定な放電状態が得られず
、成膜が困難となり、５０ Ｘ １０ Ｔｏｒｒを越
えると磁性薄膜中に含まれるアルゴン（Ａｒ）や酸素（
０１が増加して膜特性が劣化し、大きなカー回転角や大
きな保磁力を得ることがむずかしく、また均一性、安定
性も得ニ＜＜ナルタメ、１ｘｉｏ 〜５ｏｘｉｏ
Ｔｏｒｒ、好適には３×１０〜２０ Ｘ １０ Ｔｏ
ｒｒの範囲に設定される。
角形比にも優れた好適な光磁気記録媒体を得るために、
基板（３）に対して正もしくは負のバイアス電圧を印加
してもよいが、無バイアスによっても本発明の目的を十
分に達成することができる。このとき、雰囲気ガス圧を
所定の範囲に設定するのがよ（、雰囲気ガス圧がＩ Ｘ
１０ Ｔｏｒｒ未満では安定な放電状態が得られず
、成膜が困難となり、５０ Ｘ １０ Ｔｏｒｒを越
えると磁性薄膜中に含まれるアルゴン（Ａｒ）や酸素（
０１が増加して膜特性が劣化し、大きなカー回転角や大
きな保磁力を得ることがむずかしく、また均一性、安定
性も得ニ＜＜ナルタメ、１ｘｉｏ 〜５ｏｘｉｏ
Ｔｏｒｒ、好適には３×１０〜２０ Ｘ １０ Ｔｏ
ｒｒの範囲に設定される。
本装置においては基板１回転当り０．１〜３０人、好適
には０．１〜１０又となるように基板の回転速度が設定
される。
には０．１〜１０又となるように基板の回転速度が設定
される。
更にまた、成膜時にはターゲット（２）と基板（３）の
間に０〜２．５ ｋｇｖの高周波電力が印加される。
間に０〜２．５ ｋｇｖの高周波電力が印加される。
かくして、上記した通りの設定条件を満たすことによっ
てＴｂ、 Ｆｅ、 Ｃｏ、 Ｓ’ｒの元素が所定の比率
から成るＴｂＦｅＣｏＳｉ合金薄膜が形成される。
てＴｂ、 Ｆｅ、 Ｃｏ、 Ｓ’ｒの元素が所定の比率
から成るＴｂＦｅＣｏＳｉ合金薄膜が形成される。
次に、本発明の実施例を述べる。
装置を使用し、ターゲット（２）としてはＦｅ製円板（
６インチφ）の上ニＴｂ 、 Ｃｏ 、 ８１のチップ
（１０Ｘ １０ Ｘ １ ｆｌの角形）を置き、その
枚数を変−えて成膜の組成−ｆｌｉｌＪ御を行った。
６インチφ）の上ニＴｂ 、 Ｃｏ 、 ８１のチップ
（１０Ｘ １０ Ｘ １ ｆｌの角形）を置き、その
枚数を変−えて成膜の組成−ｆｌｉｌＪ御を行った。
ＴＯＩ”ｒに設定し、 プレスパツタ後、ターゲット（
２）に印加する高周波電力量を２００ Ｗに設定し、ガ
ラス基板（７６Ｘ２６Ｘ１．１ｇｌ ）上＋ｃ ＴｂＦ
ｅＣｏＳｉ膜を形成した。尚、この薄膜についてＸ線回
折及びトルクメーターにより測定したところ、それぞれ
非晶質及び垂直磁化膜となっていることが確かめられた
。
２）に印加する高周波電力量を２００ Ｗに設定し、ガ
ラス基板（７６Ｘ２６Ｘ１．１ｇｌ ）上＋ｃ ＴｂＦ
ｅＣｏＳｉ膜を形成した。尚、この薄膜についてＸ線回
折及びトルクメーターにより測定したところ、それぞれ
非晶質及び垂直磁化膜となっていることが確かめられた
。
かくして第１表に示す通りにチップ枚数を変えて得られ
た幾通りかのＴｂＦｅＣｏＳｉ合金薄膜について、対称
角振動法を用いたカー効果測定装置によりカー回転角（
θｋｓ ）及び反射率＠）を、振動試料型磁力計（ＶＳ
Ｍ ）でキュリ一温度を、示差熱分析計（１０℃／幅で
昇温し、発熱ピークの開始点から結晶化温度を求める）
により結晶化温度（Ｔｃｒｙ、 ）を測定し、更に工Ｃ
Ｐ発光分光装置により組成分析を行ったところ、第１表
に示す通りの結果が得られ第１表から明らかな通り、本
発明の試料番号２乃至５においてはキュリ一温度が試料
番号１（Ｓ１無添加）と比べて同等かもしくは低くなっ
て詔り、キュリ一温度特性に向上が認められる。加えて
、カー回転角についても顕著な向上が認められ、本発明
の目的が達成されたことは明白である。更に結晶化温度
ＴＯｒ７．及び△ＴについてはＳｌの添加量が大きくな
るのに伴って一段と大きな値となっている。
た幾通りかのＴｂＦｅＣｏＳｉ合金薄膜について、対称
角振動法を用いたカー効果測定装置によりカー回転角（
θｋｓ ）及び反射率＠）を、振動試料型磁力計（ＶＳ
Ｍ ）でキュリ一温度を、示差熱分析計（１０℃／幅で
昇温し、発熱ピークの開始点から結晶化温度を求める）
により結晶化温度（Ｔｃｒｙ、 ）を測定し、更に工Ｃ
Ｐ発光分光装置により組成分析を行ったところ、第１表
に示す通りの結果が得られ第１表から明らかな通り、本
発明の試料番号２乃至５においてはキュリ一温度が試料
番号１（Ｓ１無添加）と比べて同等かもしくは低くなっ
て詔り、キュリ一温度特性に向上が認められる。加えて
、カー回転角についても顕著な向上が認められ、本発明
の目的が達成されたことは明白である。更に結晶化温度
ＴＯｒ７．及び△ＴについてはＳｌの添加量が大きくな
るのに伴って一段と大きな値となっている。
更に本発明の実施例によれば、反射率（Ｒ１が試料番号
１と比べてほとんど変化しないため、再生性能指数５×
θには試料番号１よりも優れた値を得ることができた。
１と比べてほとんど変化しないため、再生性能指数５×
θには試料番号１よりも優れた値を得ることができた。
また試料番号６においてはＴｃｒｙ、 及びΔＴが著
しく向上して熱安定性に優れ、光磁気特性の経時的な劣
化が少なくなり、更にキュリ一温度の特性も向上してい
るが、カー回転角の向上が望めなかった。
しく向上して熱安定性に優れ、光磁気特性の経時的な劣
化が少なくなり、更にキュリ一温度の特性も向上してい
るが、カー回転角の向上が望めなかった。
以上の通り、本発明の光磁気記録媒体によればＳｌを所
定量添加したことによりカー回転角が顕著に向上し、尚
且つキュリ一温度特性も向上させることができ、更に結
晶化温度及び八Ｔも大きくなった。その結果、単層＊Ｓ
とよっても記録及び再生を可能とし、また熱安定性に優
れ、光磁気特性の経時的な劣化が少ない光磁気記録媒体
が提供される。
定量添加したことによりカー回転角が顕著に向上し、尚
且つキュリ一温度特性も向上させることができ、更に結
晶化温度及び八Ｔも大きくなった。その結果、単層＊Ｓ
とよっても記録及び再生を可能とし、また熱安定性に優
れ、光磁気特性の経時的な劣化が少ない光磁気記録媒体
が提供される。
図は光磁気記録媒体を生成するためのマグネトロンスパ
ッタリング装置の概略図である。 ２・・・ターゲット ３・・・基 板
ッタリング装置の概略図である。 ２・・・ターゲット ３・・・基 板
Claims (1)
- 膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有する非晶質磁性薄膜
から成る光磁気記録媒体において、該非晶質磁性薄膜に
シリコン（Ｓｉ）を含むことを特徴とする光磁気記録媒
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15849684A JPS6139252A (ja) | 1984-07-27 | 1984-07-27 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15849684A JPS6139252A (ja) | 1984-07-27 | 1984-07-27 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6139252A true JPS6139252A (ja) | 1986-02-25 |
Family
ID=15673005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15849684A Pending JPS6139252A (ja) | 1984-07-27 | 1984-07-27 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6139252A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS621151A (ja) * | 1985-06-26 | 1987-01-07 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59103314A (ja) * | 1982-12-03 | 1984-06-14 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS59168953A (ja) * | 1983-03-16 | 1984-09-22 | Canon Inc | 光熱磁気記録媒体 |
| JPS60128606A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-09 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
-
1984
- 1984-07-27 JP JP15849684A patent/JPS6139252A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59103314A (ja) * | 1982-12-03 | 1984-06-14 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS59168953A (ja) * | 1983-03-16 | 1984-09-22 | Canon Inc | 光熱磁気記録媒体 |
| JPS60128606A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-09 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気記録媒体 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS621151A (ja) * | 1985-06-26 | 1987-01-07 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
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