JPS59146463A - 光熱磁気記録媒体の製法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、光磁気メモリー、磁気記録、表示素ｒ・など
に用いられ、磁気カー効果あるい（ｒまノアラテー効果
なとの磁気光学効果を用いてＲ’ｊ’Ｌみ出すことので
きる光磁気記録媒体の製法に関する１、従来、光磁気記
録媒体の記録磁性層としてはＭ　ｎ　Ｉ：３　ｉ、Ｍ　
ｎ　Ｃ旧３〕などの多結晶薄膜、Ｇ、：ｉＣＯ，、Ｇａ
Ｆ　ｅ。

’、１’　ｂ　Ｆｅ、、　ｌ）ｙ　Ｐ　ｅ、ＧｄＴ　ｂ
Ｆｅ、、Ｔ　ｂＤｙＦｅなとの非晶１’４＋、７（す１
摸、（、”＋　６−　、Ｌ　Ｇなとの中、結晶ンｉり膜
などが・翔らｔｉ、−（いＺ、１、これらの尚、膜のう
ち、大ｕ’ｉ−ｉ　、債の肋膜をシ：Ｚ温近傍のｉニア
＋’Ｌ度で製作する際の製ｉ％ｑ性、侶弓を小さな光、
’ｇＪ（ゴーネルギーで■き込むだめのり）き込ム効率
、：Ｊ、−、ｉび−Ｊ（、き込まれた信号をＳ／Ｎ比上
くん゛しみ出ず）３−めの読み出し効率を勘案して、最
近でにｊ、前ｔｉｌ：Ｊｔ品１１ノ↓薄膜が光熱磁気記
録媒体用として優ｉｔでいると考えられている。ｔ＋！
ｉに、（’、？　ｄ　’］”　’ｂ　Ｆｅはカー回転角
も人きく、／、！ｌ−０Ｃ前後のギューリ一点を持ｐの
−Ｃ１光熱磁気記録媒体用としてｌ徒適である４、しか
しながら、Ｇ　ｄ、Ｔ　ｂ　Ｆ　ｅをはじ７めとし′こ
、一般に非晶質ｌ１ｍ性体に、耐食性が劣り、湿気をイ
」する各回気中では腐食されて磁気Ｖ＋！Ｊケ１−の劣
化、夕ｌ観の劣化を生じるという欠点がある。

このような欠点を除くために、従来から、男品質磁性体
の記録磁性層の−１−に、例えば透明物ｌｌｉの保護カ
バー、例えば５ｉ０２．ＳｉＯの保護層を設けたり、さ
らに不活性ガスにより封じ込め／ｊ−ｊ−イスク状記録
媒体が提案されている。

本発明の目的は、記録磁性層の耐食訃が優れた光熱磁気
記・貼媒体を製□造する方法を提供すること°二。ａ’
ｉ’ｇ１昌。二。、４．７゜、１゜、。二。′、７′の
減少・および成□＋＋ｇ蒔■１の殖縮が：可能１な、光
熱磁気記録媒体の製法を提供ずやことにある。

本発明のこれらの目的は′茨の光・熱磁気記録媒体の製
法によシ達成される。

ｘｊｊ、タデ中で１．’、Ｊ”；、板上に、記録磁性層
、、１を形成し、引続いでこの真空を破る。ことなく金
属１：だは酸化物の〆１、し膜を該記録磁性層に接して
形成、、Ｌ、’ついで、別の真空槽においてその・上・
に・保護膜を形成することを特徴とすする光熱・磁：・
気、記録媒体の製法。

本発明の光熱磁気配録媒体の製法によれは、寸ずガ′う
亥もしくはプラス：チ□ツラ基１′板北に、前記の非晶
質の記：録磁性層・が□真空中でスパッタリンクによシ
形成される。この真゛空を破ることなく引、−１いア、
　１ゎ、ニー。￥？、　４．’ｌ’ｉ−ｃユ。盛アエ１
１ッ。Ｊ−ＶＣ１０００人以ド、好捷しくはノ、０．．
θＡ、程度の膜厚を、有する金属まへは酸化物の薄膜が
スパッタリングにより１　　　　　１　　　・　： 形成される。この金属として６′、ｌｌ、ＩＮ　：ｉ、
ノ＼ｅ　、　Ｓ　、ｉ　、　（７，１ニガどが□、また
酸化物としては’１．”　ｊ、　（、’、）　２　、八
／Ｉ！　２Ｃ，）３．　Ｓ：、ｆ、’ｌｚ。

ρ皇！０３・、、などが例示される。ついて別の頁り）
ユ漕に］コ・いて、その上に２、好−４しくは２０００
〜３０００久、め膜厚のイ戚護膜ｌ成される。：こ、め
葆′伜膜は、上記薄膜と同−材料からなるものでもよい
し、あ□るい（は別の材料からなるものでもよい。保護
膜の４′；Ａ料としては、Ｅ、’　ｉ　、　Ａ、、ｌ　
、　Ｓ　ｊ、　、　Ｃ１７などの金属’、Ｉ’　：ｉ、
０２　。

八ｔ；２０．３．８１（Ｊｚ、　ＣＦ２Ｏ，３などの酸
化物が例示さ〕Ｌる。

記録磁性層を形成した：のどは別の真空槽において記録
磁性層の」二に保護膜を形成するに尚り、：ＩＩ２　行
、磁性層を形成した真空′槽の真空をｉ波ること々・く
、引続いて同一真空槽に存いて、Ｊ二”　ｓ己の薄層を
□記録磁性層上に予め形成１〜でおくととが７ＩＪ要で
ある。

そしヤ、：′こあ１膜は７”０００’Ａ以下の、極く小
さい膜厚令羊分妬□効果を現わすので、１０ｏｏ、、：
以上のｌｌｆグ厚を必要としない、工　　　　　□な□
お１．ワザ磁性層と基−との間に、レーザー光の出力を
有効に利用するへめの熱拡弊防止／！またり、−７１，
袷り・１．読み出し効率を向」ニさせるための反則１９
ノ正層を設けることができる。寸だ、上記保護膜の」、
に接ｊｔ’；削層を介ｔでカラスもしくはプラスチック
基板を貼り合せることもできる。

不発明によれげ、記・録磁性層を形成□したのと同・の
貞ソ）コ槽内て記録磁性層に、接して金属もしくは酸化
物のンｉ〜膜を形成し、ついで別の真空；ｊｉ７Ｊ、、
内で、そのン；、９’、　ｌｉｆ＋、の上に保、獲膜を
形成するこ孕によって、記録磁性層のｌｌｉ’ｌ腐食性
を向」ニさせることができ、」、ノこ別の真空槽で保護
膜を形成する際に生ずるコミなどによる磁性層の汚染の
防止ないし軽く１Ｊ２をすることができる。さ、ら□に
、」−記薄膜は、、２０θＡ以下のような（−＜れ９い
膜でも保護効果を有するから、この薄１摸にに形成され
る保護Ｉ］「の膜厚を洪ぐすることが１□１丁能となる
。

以ドに、本発明方法による光熱磁気記録媒体を模式的に
示す第１図を参照して実施例を示し、本発明をさらに具
体的に説明す、る。

実Ｊｆｊｌｉ例／ ガラス基板／　ａ　Ｊ、：に熱拡散防止層認をポリアク
リレ−＝１・系樹脂を塗布、することによって形成した
。

ついでスパッタリングによってＣｉ　（ｉ　Ｔ″ｌ）Ｆ
　ｔ）のへ己；筐六磁性層３を形成した。この真空を：
破ることなく、この磁性層の上にＴ１クーゲットからの
活性化スパッタリング法によってｌ″ｉ０２からなる薄
１漠ｑを２００Ａの膜厚で形成した。ついで、これをＪ
１空蒸着装置に移して重子ビーム加熱により保護膜Ｓと
してＴ］０２を、２００・０Ａｏ′膜厚□で蒸着した。

この上に接着剤層乙を介してガラス基板／１）を貼り合
せた。　　　　□ 比較のために、Ｔ　ｉ、０２膜を形成することなく、電
子ビー□ム加熱により保護層としてＴ　ｊ、　０２を３
００ＯＡの膜厚で真空蒸着したほかｌ’；Ｉ：　」二記
と同様に操作した。

」二記のようにして得られた本発明方法による光熱磁気
記録媒体と本発明によらないそれとを温度ｇ　３　’ｃ
　％相対Ｊ屈度ｇ汐係の・１・亘７晶”１任Ｚ摺ｉ曹に
おいて１制腐食性試験を行なった。・ 本発明方法によるものは、ｊ００時間後における保磁力
は初期値の〜ｑ０係であったのに対して不発・明方法に
よらないものは初期値の〜４０係で′１層　メｌ＋ｉ’
：ｉ　　Ｆｌｌ　　、ノ呂１０２かＬ）−へ２）　７：
、ｉｌｌ　ｌψダグ−−？θ（フッ〜の１１ψ厚（＝ｊ
ヒ成Ｌ　ｒ−／、）−１，・、！′ム′と蒸々−Ｉ装置
に１．・い−仁保護）１ψ）１■、（１，て△ｆ２（１
：＜　　ノー−，２θθθ２へのＩ［”ｊ　１１．２　
ｆ　、４ａ　才１’　Ｌ　７”　Ｖ”−Ｊ’かｉｒｉ　
−Ｘ、：ｆｉ’１１−ｉ　１＋ｌｌ　ｌと同１求Ｋ　ｌ
・’ａ　ｆ’ｒ　ｔ−／（＝　、、１：ｌ；　１１咬の
／６−＾〆）７ｉＴ、１、；す、１１・声／Ｊ−を形成
ずく′、、ことなで、東ノン′に一着し装置Ｋ　ｊ、・
ｌハて７＼ｆ２　（’、）　３　　を、？０θ０Ａの１
嵌１％１−テＭ　沼したａ　ｉ’）’　ｌ’Ｊ、　−１
，’：　Ｆｌｌ４とＰＩ　ＩＲｋｃ　：１１：Ｑ；　（
’！’　Ｌ　ｋ　、、実ノー′ｉ１λ例／におけると同
様（・′（暖＆、食試、１１倹−ｊｊｆ’ｌ’乙−二〕
／・二へ、占　１４吉　、　　・１・′ｉ已　ＤＪＩ　
　ノｊ　／ノ、ＩＩ（−よ　イ）　も　の　１ニア４、
　夕　Ｃノ　θ　１１口ｌ。　後　、−）１鵠と（、％
’ｔ、力は社Ｉ　Ｊｌ、ｌＩ　（ｔ＋’ｌｉの〜９θつ
る−（−あつ。′（のに体Ｉ　Ｌ−Ｃ１＜　′蹟ｉ！月
））ム」、によらないもの（・；１、〜７θ係てあつ）
だ１．１、記の′−ぢ加！例の結−１１，１かも明らか
なように、１く冗明　ノＪ　／）、に　。１．る　）″
１□ルー、栄　隻い記　緑媒１本（・；１己、　　イ＼
イｉｊ　ＩＩ月　’）　７ノ、（・こ、１、らｈいもの
Ｕ・−且：　Ｌ、、　−ｉ’ｒ　４宋鎚υの鱒Ｉ・か少
なく、この（−とＣ１、同一　７ビ１、′〕）′梗１１
ノ・１−（Ｉ子弟＋Ｖ記録層を１１．ニ成し、一つい−
（記録（Ｉ灸仕［′１層に接［７で全屈もシー＜は凸・
２１ヒ’（’ｙ）の薄１ｌｌ（を月２成−４“ン、・こ
とシ・−より、記、録磁性層の腐葭かより効１１１．的
に１；Ｉ）市きれ−Ｃいることを示している。

γ−１，”！Ｉ　　ｉＩ′１’、ｉ　　□じ　ｌン！’
ｌ　　−’ｉコ　　６二　１−１ｌＨ”、　　１１１１
第　／　　１．＊ｌ　ｉ：’−、−、ｌ、”、Ａ＼発ｆ
９Ｊ　’Ｊ　＃：：　ｊ（−ｊ　　仏）’［、）、Ｊｔ
　７．Ｓ；　！４．．　、ｌ己（Ｑ、（、、〕：、１１
．．ｋ　　＜’。

、Ｉ：に１−１Ｅ、的（（−咋−Ｊ　（支ｊ１川−（−
゛ある。

／ａ、、／’ｌ）・・力、フスーノ古１反〜？　・熱拡
散：（）Ｊ↓ｌ一層 、？　　　・・・　１．己　、１・深１１μ　・［（１
層グ　・薄膜 （９・・保護１１ψ 乙　　　　・・　１妾　４”’７　　ｉ’ｉｌｌ　層ｆ
侍；、７″１：　Ｈ：ｊ　１Ｉｔｔ１　人”ｊ’　ヤ’
　シＩ′４、式会、ｒｌ：第１図 第１頁の続き ■発　明　者　飯島繁治 東京都太田区下丸子３丁ＬＩ３０番 ２号キャ７ノン株式会社内 座・発　明　者　吉原論 東京都大田区下丸「３丁目３０番 ２号キャノン株式会社内 ＠発　明　者　高野勝彦 東京都大田区−Ｆ丸千３丁目３０番 ２号キャノン株式会社内

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｉ　Ｌ′５空中′Ｃ１基板上に記録磁１律層を形成し、
   引、１・２”Ｉ、いて、このＩＬ空を破ることなく金属
   寸だは酸化物の薄膜を該１１〕録磁性層に接して形成し
   、ついて、別の真空槽においてその」−に保護膜を形成
   −することを慣徴とする丸熱磁気記録媒体の戦法。 ２、　　　　該　（Ｊｌ）　　膜　カＴ−ｐ　］、　Ａ
   　ｅＮ　　Ｓｉ、　Ｃｒ、ＴｉＯ２、Ａｅ　２０：＋、
   　５１０２　もしく　Ｉｒ、１．０ｒ　２（’）　３　
   　からナル’ｉ’ｊＪ’　Ｈ′ｌ’　ｔ：ｆｊ　求ノ範
   囲第１項記載の方法。