JPS60145525A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

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JPS60145525A
JPS60145525A JP59001406A JP140684A JPS60145525A JP S60145525 A JPS60145525 A JP S60145525A JP 59001406 A JP59001406 A JP 59001406A JP 140684 A JP140684 A JP 140684A JP S60145525 A JPS60145525 A JP S60145525A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、光磁気メモリー、磁気記録、表示素子などに
用いられる磁気記録媒体における改良に関する。
従来、前記磁気記録媒体の内、例えは光磁気記録媒体と
してはＭｎＮ　ｉ　、ＭｎＣｕＢ　ｉなどの多結晶薄膜
、ＧｄＣｅ　、ＧｄＦｅ　、ＴｂＦｅ　、ＤｙＦｅ　、
ＧｄＴｂＦｅ　、ＴｄＤｙＦｅ　、ＧｄＦｅＣｏ　、Ｔ
ｂＦｅａＣｏ　、ＧｄＴｂＣｏなどの非晶質薄膜、Ｇｄ
ＩＧなどの単結晶薄１１ジなど力く知られている。
これらの薄膜のうち、大面積の薄膜を室温近傍の温１隻
で製作する際の製膜性、信吋を小さな光、４％エネルギ
ーで書き込むだめの書き込み効率、および書き込まれた
信号をＳ／Ｎ比よく読み出すだめの読み出し効率を勘案
して、最近では前記Ｊ１−１〜１．質７専脱か光熱記録
媒体として優れていると考えられている。特に、ＧｄＴ
ｂＦｅはカー回転角も大きく、１５０°Ｃ前後のキ。−
り一点を持つので光熱磁気記録媒体として最適である・ しかしなから、一般に前記Ｇ　ｄ　Ｔ　ｂ　Ｆ　ｅ　′
：’；の光磁気記録媒体をはじめとする磁気記録媒体に
川１．％られる非晶質磁性体は、１耐食性か悪ｌ／）と
し）う欠ｊ９゜を持っている。すなわち、火気、水７１
気−角虫れると磁気特性が低下し、最終的には完全に酸
化されて透明化するに至る。
このような欠点を除くために、従来から磁気記録媒体の
層のＬに、例えば透明物質の保護カッ＜−、例えばＳｉ
Ｏ□、ＳｉＯの保護を設けたり、さらに不活性ガスによ
り封じ込めたディスク状記録媒体が提案されている。
しかしながら、磁気記録層が〜数百人と薄い場合には、
酸化物の薄膜、例えばＳｉｎ、５ｉ０２、Ａ１２０ａ膜
の保護による耐久性向−Ｌ効果は、充分ではない。また
、窒化物の薄膜、例えばＡＩＮ、Ｓｉ３Ｎ４膜の保護層
では、プラスチック基板との密着性が酸化物より劣り、
また屈折率が高ずざるという欠点がある。
本発明の（」的は、非晶質磁性体を用いる磁気記録媒体
のの１ｉ目食性、Ｉ耐久性を向トし、封つ書込み、１涜
出し効果の向−１二もＩｑ能な磁気記録媒体を提供する
ことにある。
本発明の磁気記録媒体は」一連の目的を達成するために
開発されたものであり、より詳しくは、プラスチック基
板上に、非晶質磁性体からなる記録層を設けてなる磁気
記録媒体において、該記録層の片側または両側に酸化物
と窒化物との混合１（りを設けたことを特徴とするもの
である。
すなわち本発明で用いる窒化物と酸化物との混合膜は、
酸化物単独に比べて耐食性、耐久性に役れ、プラスチッ
ク基板との密着性が優れ、更に窒化物と酸化物との混合
比を変化させることにより、屈折率の調節も容易である
ため、書込み、読出し効果の向−１：もＩｉｆ能となる
。
以下、未発明を更に詳細に説明する。以下の記載におい
て、量比を表わす１％」および「部ｊは、特に断わらな
い限り、小量基準とする。
未発明の磁気記録媒体の々ｒましい一実施例として、光
記録再生用の磁気記録媒体の積層を図面にｉｆ＜す。図
において、占込み側プラスチックス（板１ａ１−に、程
合１１り２を形成せしめ、順次、記録磁性層３、スペー
サー層４、反射音５を形成し、更に接着層６を介して外
部プラスチ、り基板１ｂと貼り合わせることにより磁気
記録媒体が得られる。
プラスチック基板１ａとしては、アクリル系樹脂等から
なる厚さが１ｍｍ程度の透明プラスチックディスク基板
がりｆましく用いられる。
混合１１桑２としては、ＡＩＮとＡｌ２０ｇ、または５
ｉａＮａと５ｉＯ１またはＳ　ｉ　３　Ｎ　４と５ｔ０
２が好ましく用いられる。これら混合１１儲の製造法は
、基本的には限定されないが、好ましくは、Ａ１．Ｓｉ
、ＡＩＮ、Ｓｉ３Ｎ４等を蒸着源とした反応性蒸着法ま
たは反応性スパッタ法が用いられる。これら方法で形成
される場合、雰囲気カスであるＯ、、Ｎ２のガス流４−
比によって、容易に醇化物と窒化物の混合比を変化させ
ることができ、適当なＮ１成の混合膜を形成することか
できる。
従ってＳｉ３Ｎ４と５ｉ０２の混合１模の場合には、５
ｊ０２膜の屈折率である１、４５から５ｊ３Ｎ　ａ　Ｉ
Ｉ！ｌ！の屈折率である２、０まで任７Ｇ、の屈折率の
混合＋１Ｑを得ることができる。またＡＩＮとＡ　ｌ　
２０３の４Ｆ４合膜の場合には、Ａｌ２Ｏ３膜の屈折率
である１、６からＡＩＮＩ模の屈折率である２、３まで
任意の屈折率の混合ＩＩＩを得ることができる。
混合膜の厚さは、５００〜３０００人程度が適当であり
、また混合膜中の窒化物と酸化物の比は、９：Ｌ−１：
９、好ましくは７：３〜３ニアの範囲で任、ａ、の比率
とすることかでき、また厚さ方向に組成比の変化による
ｈＪ１折率の変化をグーえることもできる。
記録磁性層３としては、例えば、厚さが２００人［１１
１後のＧｄＴｂＦｅの３凡系非晶質膜、ＧｄＴｂＦｅＣ
ｏの４元系非晶質膜笠が好ましく用いられる。
またスペーサー層４としては、厚さが５００〜３０００
人程度の、５ｉ０２もしくは５ｉｌｌ模あるいは上記し
た層２と同様な混合１１りが好ましく用いられる。
接６層５としては、シリコーン系接漬剤、例えは東しシ
リコーン（株）製５Ｅ１７００などを、ＩＯ延程１Ｗの
厚さで用いれはよい。
外部プラスチック基板１ｂとしては、プラスチック基板
１ａと同様にアクリル樹脂基板等が好ましく用いられる
。
」−記においては、一実施例として、光記録再生川の磁
気記録媒体を説明したが、本発明の磁気記録媒体は耐久
性の改善された非晶質磁気記録媒体として、光磁気メモ
リー、磁気記録、表示素子などに一般に使用Ｍｆ能であ
る。
」一連したように本発明によれば、非晶質記録磁性層の
片側または両側に、窒化物と酸化物との混合膜を設ける
ことにより、特に基板がアクリル系樹脂等のプラスチッ
ク基板からなる場合に、記録磁性層の耐久性を向上させ
、また窒化物と酸化物の混合比を変化させて混合ｎ９の
屈折率を調節することにより、書込み、読出し効率の向
上も可能な磁気記録媒体が提供ξれる。
以下実施例により本発明を更に具体的に説明する。
Ｘ］ｕ飢」 実質的に図面に示すような積層構造の磁気記録媒体を製
造した。
すなわち厚さ１ｍｍの書込み側プラスチック基板の上に
、下引き層としてＳｉ３Ｎ４と５ｉ０２とからなる屈折
率約１．７，１１９圧約１０００人の混合膜２を反応性
蒸着法により形成し、記録磁性層３として厚さ２００人
のＧｄＴｂＦｅＣｏ４元系非晶質膜をスパッタ法により
設け、さらに反射層５として厚さ１ｏｏｏ人のＡＩ膜を
設け、さらに厚さ１０ルｍのシリコーン系接着剤（ＳＥ
Ｌ７００）層６を介して、厚さ１ｍｍのアクリル樹脂製
外部基板を接着した。
得られた記録媒体において、基板と混合膜との接着性は
強固なものであり、４５℃、９０％、２００昨間の耐湿
テストの結果、磁性層の腐食、磁気特性の劣化は見られ
ず、耐久性が向−１−シた。またに記混合膜の代わりに
屈折率が１．４５の５ｉ０２膜を用いたときに比較して
、反射層１に効果、回転角の増大により、書込み、読出
し効率を向］ニさせることができた。
裏」ｕ」ヱ Ｓｉ３Ｎ４と５ｉ０２とからなる混合１１りの代わりに
、反応性スパッタ法により得た厚さ１０００人、屈折率
約ｉ、ｇのＡＩＮとＡｌ２Ｏ，とかもなる混合膜を形成
した磁気記録媒体を得た。この磁気記録媒体についても
実施例１と同様の耐久性および書込み、読出し効率の向
上が得られた。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の適用される光記録再生用の磁気記録媒体
の積層構造を説明するだめの厚さ方向模式断面図である
。 ｌａ、ｌｂｅφプラスチック基板 ２・・窒化物−耐化物混合膜（下引き層）３・・記録磁
性層 ４・φ窒化物−酸化物混合Ｉ１Ｍ（スペーサー層）５・
・反Ｑ４層 ６・・接着層

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、プラスチック裁板４−に、非晶質磁性体からなる記
    録層を設けてなる磁気記録媒体において、該記録層の片
    側または両側に酸化物と窒化物との混合膜を設けたこと
    を特徴とする磁気記録媒体。 ２、該混合膜が同一金属種の窒化物と酸化物とからなる
    ４、′ｒｉｉ’ｌ請求の範囲第１項に記載の磁気記録媒
    体。 ３、該混合＋＋ｔａがＳｉ３Ｎ４とＳｉＯ２との混合物
    、Ｓｉ３Ｎ４とＳｉＯとの混合物、またはＡＩＮとＡｌ
    ２Ｏ３との混合物からなる４１Ｊ１請求の範囲第２項に
    記載の磁気記録媒体。
JP59001406A 1984-01-10 1984-01-10 磁気記録媒体 Granted JPS60145525A (ja)

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